JP2003031512A - 入出制御装置を備える拡散炉 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 拡散炉１０は入出制御装置１２を備え、入出
制御装置１２に含まれるコントローラ１４はオペレータ
の指示に従って、ボートエレベータ３４の昇降を制御す
る。ボートエレベータ３４の上昇中では、エンコーダ２
２ａからのパルスがカウンタ１４ａでカウントされる。
コントローラ１４は、カウント値がレジスタ１４ｂに記
憶されたカウント値Ｐと一致すれば、ボートエレベータ
３４を停止させる。ここで、コントローラ１４は、上限
センサ２４がオンであれば拡散処理に移行するが、オフ
であればボートエレベータ３４を上限位置Ｂに強制的に
移動してから拡散処理に移行する。拡散処理が終了する
と、上昇時と同様に、パルスのカウント値に基づいてボ
ートエレベータ３４が下降され、下限センサ２６の出力
に応じて強制的に下限位置Ａに移動される。 【効果】 ウェハを拡散炉へ確実に入出することができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は入出制御装置を備える
拡散炉に関し、特にたとえば、複数のウェハを拡散炉本
体内に搬送し、ウェハを拡散処理してから拡散炉本体外
へ搬送するボートの移動を制御する、入出制御装置を備
える拡散炉に関する。

【０００２】

【従来の技術】図５に示す従来の拡散炉１は、入出制御
装置２を備えている。この入出制御装置２は、ウェハ３
を拡散炉本体４へ搬送したり、ウェハ３を拡散炉本体４
から搬出したりするボートエレベータ５の移動（昇降）
を制御する。たとえば、ボートエレベータ５にウェハ３
が載置され、オペレータによってウェハ３の搬入の指示
すなわちボートエレベータ５の上昇の指示が入力される
と、コントローラ６はドライバ７を制御してモータ８を
回転させ、ボートエレベータ５を上昇させる。ボートエ
レベータ５の移動中では、モータ８に設けられたエンコ
ーダ８ａから発せられるパルスをコントローラ６に設け
られたカウンタ６ａでカウントし、パルス数（カウント
値）が所定値になると、つまりカウント値がレジスタ６
ｂに記憶された上昇時の目標値と一致すると、コントロ
ーラ６はボートエレベータ５を停止させ、（不純物）拡
散処理に移行する。拡散処理では、テーブル５ａが回転
され、ヒータ９によって炉芯管４ａ内が加熱され、窒素
ガス、酸素ガスおよびオキシ塩化燐のような成膜ガスが
炉芯管４ａ内に流される。したがって、ウェハ３の表面
に不純物（燐）が均一に拡散される。拡散処理が終了す
ると、コントローラ６はドライバ７を制御してモータ８
を上昇時とは逆向きに回転させ、ボートエレベータ５を
下降させる。ボートエレベータ５を下降させる場合もま
た、カウンタ６ａでエンコーダ８ａから発せられるパル
スをカウントし、カウント値がレジスタ６ｂに記憶され
た下降時の目標値と一致するまで、ボートエレベータ５
を下降させて、ウェハ３を拡散炉本体４から搬出してい
た。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、この従来技術
では、エンコーダ８ａから発せられるパルスをカウント
して、ボートエレベータ５の移動（昇降）を制御してい
るため、パルス数を誤カウントしてしまった場合には、
ボートエレベータ５が途中で停止してしまっていた。た
とえば、上昇中にボートエレベータ５が途中で停止して
しまうと、炉芯管４ａが密閉されないまま拡散処理が実
行されるため、成膜ガスが炉芯管４ａから漏れてしま
い、ウェハ３に加工異常が発生するという問題があっ
た。また、下降中にボートエレベータ５が途中で停止し
てしまうと、ヒータ９の余熱によってウェハ３が過熱し
てしまい、加工異常が発生するという問題もあった。通
常、一度に１５０枚〜１７０枚のウェハ３が拡散処理さ
れるため、加工異常が発生し、ウェハ３を廃棄しなけれ
ばならない場合には、多大な損害を引き起こしていた。

【０００４】それゆえに、この発明の主たる目的は、ウ
ェハを拡散炉本体へ確実に入出することができる、入出
制御装置を備える拡散炉を提供することである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この発明は、複数のウェ
ハを拡散炉本体内に搬入し、ウェハに拡散処理を施して
から拡散炉本体外へ搬出するボートの移動を制御する入
出制御装置を備える拡散炉において、ウェハを拡散炉本
体から搬出完了する原点位置とウェハを拡散炉本体へ搬
入完了する目標位置との間でボートを移動させる移動手
段、および原点位置と目標位置との間でボートが停止し
たとき、ボートを原点位置または目標位置に強制的に移
動させる強制移動手段を備えることを特徴とする、入出
制御装置を備える拡散炉である。

【０００６】

【作用】この発明の拡散炉は入出力制御装置を備え、こ
の入出力制御装置は複数のウェハを拡散炉本体内に搬入
し、ウェハを拡散処理してから拡散炉本体外へ搬出する
ボートの移動を制御する。移動手段は、原点位置と目標
位置との間でボートを移動させる。この原点位置はウェ
ハを拡散炉本体から搬出完了した時のボートの位置であ
り、目標位置はウェハを拡散炉本体へ搬入完了した時の
ボートの位置である。強制移動手段は、原点位置と目標
位置との間でボートが停止したとき、ボートを原点位置
または目標位置に強制的に移動させる。このように、ボ
ートが途中で停止してしまった場合であっても、強制移
動手段によって、ボートを原点位置あるいは目標位置に
確実に移動させることができる。

【０００７】たとえば、移動手段はモータを含み、モー
タに設けられたエンコーダのようなパルス発生手段から
発せられるパルスがカウント手段によってカウントされ
る。移動手段は、このカウント手段のカウント値に基づ
いてモータを回転駆動させる。具体的には、カウント値
が所定値になるまで、モータが回転駆動され、ボートが
移動（昇降）される。したがって、所定値を予め試験等
により取得しておけば、ボートを原点位置あるいは目標
位置に移動させることができる。

【０００８】また、原点位置検出手段は原点位置でボー
トを検出し、目標位置検出手段は目標位置でボートを検
出する。したがって、移動手段で移動した結果、すなわ
ちカウント値に基づいてボートを移動した結果、ボート
が原点位置検出手段あるいは目標位置検出手段でボート
が検出されない場合には、強制移動手段が原点位置検出
手段あるいは目標位置検出手段でボートが検出されるま
で、モータを回転駆動させる。このため、ボートを確実
に原点位置あるいは目標位置に移動させることができ
る。

【０００９】

【発明の効果】この発明によれば、ボートが途中で停止
してしまっても、強制的に原点位置または目標位置に移
動させることができるので、ウェハを拡散炉本体へ確実
に入出することができる。したがって、加工異常などの
品質上の問題が発生することがなく、ウェハの歩留まり
が低下するのを防止することができる。

【００１０】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。

【００１１】

【実施例】図１を参照して、この実施例の拡散炉１０は
入出制御装置１２を備え、この入出制御装置１２はコン
トローラ１４を含む。コントローラ１４には、操作パネ
ル１６およびディスプレイ１８が接続される。入出制御
装置１２はまた、ドライバ２０およびステップモータの
ようなモータ２２を含み、コントローラ１４はドライバ
２０を介してモータ２２に接続される。また、モータ２
２に設けられたエンコーダ２２ａは、ドライバ２０を介
してコントローラ１４に接続される。さらに、入出制御
装置１２は上限センサ２４および下限センサ２６を含
み、上限センサ２４および下限センサ２６はコントロー
ラ１４に接続される。

【００１２】また、拡散炉１０は縦型の加熱炉（拡散
炉）本体２８を含み、拡散炉本体２８には炉芯管３０が
設けられる。拡散炉本体２８および炉芯管３０のそれぞ
れは、図１において、断面を示しているが、ほぼ円筒形
状に形成される。拡散炉本体２８はまた、ヒータ３２を
含み、ヒータ３２は炉芯管３０の外周を覆うように設け
られる。つまり、ヒータ３２もまた円筒形状に形成され
る。図示は省略するが、ヒータ３２は、ドライバ２０と
異なるドライバを介してコントローラ１４に接続され、
コントローラ１４によってオン／オフが制御される。さ
らに、炉芯管３０には、ガス導入口３０ａが設けられ
る。

【００１３】さらに、拡散炉１０は石英ガラスのような
耐熱性物質で形成されたボートエレベータ３４を含み、
ボートエレベータ３４には同じく石英ガラスで形成され
たテーブル３６が設けられる。このテーブル３６は、ボ
ートエレベータ３４内に設けられるステップモータのよ
うなモータ３８のモータ軸（図示せず）と連結され、水
平方向に回転可能に設けられる。また、テーブル３６に
は、たとえば石英ガラスで形成されたケース４０が載置
され、このケース４０には複数（この実施例では、１５
０枚〜１７０枚）のウェハ４２が収納されている。な
お、モータ３８は、図示しないドライバを介してコント
ローラ１４に接続され、コントローラ１４によって回転
が制御される。

【００１４】また、ボートエレベータ３４はボールネジ
４４とボールネジ機構で連結され、ボールネジ４４の回
転に従って、図１に示す原点位置（下限位置）Ａと目標
位置（上限位置）Ｂとの間で移動することができる。

【００１５】なお、下限位置Ａは拡散炉本体２８（炉芯
管３０）からウェハ４２の搬出を完了（出炉完了）した
ときのボートエレベータ３４の位置であり、上限位置Ｂ
は拡散炉本体２８（炉芯管３０）にウェハ４２の搬入を
完了（入炉完了）したときのボートエレベータ３４の位
置である。

【００１６】ボールネジ４４は、たとえば地面あるいは
拡散炉１０の基台に回転可能に軸支され、その下端部に
は、プーリ４６が設けられる。このプーリ４６は、タイ
ミングベルト４８を介して入出制御装置１２に含まれる
モータ２２の回転軸２２ｂに固定されたプーリ５０と連
結される。つまり、モータ２２が回転すると、その回転
力がプーリ５０、タイミングベルト４８およびプーリ４
６を介してボールネジ４４に伝達される。

【００１７】なお、モータ２２は減速機付きのステップ
モータであり、モータ２２の回転速度（回転数）が１０
分の１に減速されてプーリ５０に伝達される。

【００１８】たとえば、この拡散炉１０では、入出制御
装置１２に含まれるコントローラ１４がボートエレベー
タ３４の移動すなわち上昇および下降を制御するととも
に、ヒータ３２を制御している。すなわち、コントロー
ラ１４は、拡散炉本体２８へのボートエレベータ３４の
入出を制御するとともに、ウェハ４２の拡散処理を制御
している。

【００１９】複数のウェハ４２が装着されたケース４０
がテーブル３６に載置され、オペレータが操作パネル１
６に設けられた上昇ボタンあるいは開始ボタン（図示せ
ず）を操作すると、ボタン操作に対応する指示がコント
ローラ１４に与えられる。したがって、コントローラ１
４は、その指示を受けて、ドライバ２０にボートエレベ
ータ３４を上昇させるための駆動パルスを出力する。す
ると、ドライバ２０からモータ２２に駆動パルスに対応
する駆動電圧が与えられ、モータ２０が回転する。した
がって、ボートエレベータ３４が上昇される。

【００２０】また、ボートエレベータ３４の移動中で
は、エンコーダ２２ａからドライバ２０を介して、モー
タ２２の回転数に対応するパルスがコントローラ１４に
与えられる。コントローラ１４は、パルスの個数をカウ
ンタ１４ａでカウントする。コントローラ１４はレジス
タ１４ｂに予め記憶してあるカウント値Ｐを参照して、
ボートエレベータ１４が目標位置すなわち上限位置Ｂに
到着したかどうかを判断している。つまり、ウェハ４２
が拡散炉本体２８（炉芯管３０）に入炉されたかどうか
を判断している。

【００２１】なお、カウント値Ｐは、予め試験等によ
り、ボートエレベータ３４を実際に下限位置Ａから上限
位置Ｂに上昇させた場合の全パルス数から、ブレーキパ
ルスを出力してからボートエレベータ３４が停止するま
でに検出されるパルス数を減算した値である。

【００２２】また、コントローラ１４は、カウンタ１４
ａのカウント値に基づいて、ボートエレベータ３４の移
動距離をディスプレイ１８に表示する。この実施例で
は、下限位置Ａから上限位置Ｂまでの距離は１４２７ｍ
ｍであり、ボートエレベータ３４が正常に上昇している
場合には、ディスプレイ１８に０から１４２７までの数
字が連続的に表示される。したがって、オペレータはモ
ータ２２が正常に回転しているかどうか、すなわちボー
トエレベータ３４が正常に上昇しているかどうかを監視
することができる。

【００２３】なお、この実施例では、コントローラ１４
は、エンコーダ２２ａから発せられるパルスを５０００
個検出すると、ボートエレベータ３４が１cm上昇したと
判断し、パルス数に応じた移動距離をディスプレイ１８
に表示している。

【００２４】そして、コントローラ１４は、カウンタ１
４ａのカウント値がレジスタ１４ｂに記憶されたカウン
ト値Ｐと一致すると、ボートエレベータ３４が上限位置
Ｂに到着したと判断する。つまり、入炉が完了したと判
断する。したがって、コントローラ１４は、ドライバ２
０を制御して、すなわちブレーキパルスを出力して、モ
ータ２２を停止させる。つまり、ボートエレベータ３４
を停止させる。

【００２５】しかし、カウンタ１４ａがパルス数を誤カ
ウントしてしまうと、実際には入炉が完了していないの
に、コントローラ１４はソフト的に入炉が完了したと判
断してしまい、ボートエレベータ３４を停止して、次の
拡散処理に移行してしまう。

【００２６】このため、この実施例では、上限センサ２
４でボートエレベータ３４を検出することにより、機械
的に入炉が完了したかどうかも検出するようにしてあ
る。

【００２７】なお、上限センサ２４はたとえば反射型の
光センサであり、ボートエレベータ３４を検出すると、
上限センサ２４はオンし、そのオン信号がコントローラ
１４に与えられる。一方、ボートエレベータ３４を検出
しない場合には、上限センサ２４はオフし、コントロー
ラ１４には信号が与えられない。また、下限センサ２６
も同様のセンサである。さらに、上限センサ２４および
下限センサ２６は、発光部および受光部を備える光セン
サを用いてもよい。この場合には、ボートエレベータ３
４に遮光板を設けて、光センサの発光部から受光部に発
せられる光を遮るようにすれば、コントローラ１４は光
センサからの信号を受けてボートエレベータ１４が下限
位置Ａあるいは上限位置Ｂにあるかどうかを知ることが
できる。

【００２８】したがって、コントローラ１４は、カウン
タ１４ａのカウント値に基づいてボートエレベータ３４
を停止させると、上限センサ２４からオン信号があるか
どうかを判断する。コントローラ１４は、上限センサ２
４からオン信号があれば、入炉が完了していると判断
し、拡散処理に移行する。一方、上限センサ２４からオ
ン信号がなければ、入炉が完了していないと判断し、再
度ドライバ２０を制御してモータ２２を回転させ、上限
センサ２４からオン信号が得られるまで、ボートエレベ
ータ３４を強制的に上昇させる。

【００２９】なお、ボートエレベータ３４を強制的に上
昇させた場合には、上限センサ２４がオンすると、ボー
トエレベータ３４を停止するようにしてあるため、カウ
ント値に基づいてボートエレベータ３４を移動（上昇）
させている場合よりも低速でボートエレベータ３４を移
動させるようにすれば、短い距離でボートエレベータ３
４を停止させることができる。したがって、正確に上限
位置Ｂで停止させることができる。

【００３０】図２に示すように、ボートエレベータ３４
が上限位置Ｂで停止されると、コントローラ１４はウェ
ハ４２に（不純物）拡散処理を施す。具体的には、コン
トローラ１４はヒータ３２をオンし、炉芯管３０内のウ
ェハ４２を加熱する。なお、不純物拡散処理の場合に
は、炉芯管３０内が１０００℃〜１２００℃に熱せられ
る。

【００３１】また、コントローラ１４の指示に従って、
Ｎ₂ （窒素ガス）、Ｏ₂ （酸素ガス）およびＰＯＣｌ₃
（オキシ塩化燐）あるいはＢＢｒ₃ （ボロン）のような
成膜ガスＧがガス導入口３０ａから炉芯管３０内に導入
される。具体的には、窒素ガスと窒素ガスに対して数％
の酸素ガスとを流した炉芯管３０内の雰囲気中に、窒素
ガスの流量に対して数％のオキシ塩化燐を流し込んで、
燐拡散を実行している。

【００３２】さらに、コントローラ１４は、図示しない
ドライバを制御してモータ３８を回転させ、テーブル３
６を回転させる。したがって、ケース４０に収納された
ウェハ４２も回転される。このように、回転させること
により、温度むらが発生するのを防止し、均一に燐を拡
散している。

【００３３】このような拡散処理が所定時間実行され、
ウェハ４２の表面に均一に不純物（燐）が拡散される。
なお、コントローラ１４は、図示しないタイマで時間を
カウントすることにより、拡散処理の時間を監視してい
る。

【００３４】拡散処理が終了すると、ボートエレベータ
３４が下降され、ウェハ４２が拡散炉本体２８（炉芯管
３０）から搬出される。つまり、コントローラ１４は、
ボートエレベータ３４を下降させるための駆動パルスを
ドライバ２０に与え、モータ２２が上昇時とは逆向きに
回転される。したがって、ボールネジ４４も上昇時とは
逆向きに回転され、ボートエレベータ３４が下降する。

【００３５】ボートエレベータ３４の下降時にも、コン
トローラ１４はエンコーダ２２ａから発せられるパルス
を検出し、そのパルスをカウントすることにより、ボー
トエレベータ３４が下限位置Ａに到達したかどうかを判
断している。コントローラ１４は、カウンタ１４ａのカ
ウント値がレジスタ１４ｂに記憶されたカウント値Ｑと
同じになると、ボートエレベータ３４が原点位置Ａに到
達したと判断して、ボートエレベータ３４を停止する。
つまり、コントローラ１４は、ドライバ２０へブレーキ
パルスを出力する。

【００３６】なお、カウント値Ｑは、上述のカウント値
Ｐと同じように、試験等で実際にボートエレベータ３４
を上限位置Ｂから下限位置Ａに下降させた場合の全パル
ス数から、ブレーキパルスを出力してからボートエレベ
ータ３４が停止するまでに検出されるパルス数を減算し
た値であり、通常カウント値Ｐと同じ値である。

【００３７】続いて、下限センサ２６からオン信号が出
力されているかどうかを判断する。つまり、機械的にボ
ートエレベータ３４が原点位置Ａに到達しているかどう
かを判断する。下限センサ２６からオン信号が出力され
ていれば、コントローラ１４はウェハ４２の出炉が完了
していると判断し、処理を終了する。一方、下限センサ
２６からオン信号が出力されてなければ、ウェハ４２の
出炉が完了してないと判断し、再度ドライバ２０を制御
してモータ２２を回転させ、下限センサ２６からオン信
号が得られるまで、ボートエレベータ３４を強制的に下
降させる。

【００３８】なお、ボートエレベータ３４を強制的に下
降させる場合もまた、強制的に上昇させる場合と同様
に、カウント値に基づいて下降させるときの速度よりも
低速で下降される。したがって、ボートエレベータ３４
を正確に下限位置Ａに停止させることができる。

【００３９】具体的には、コントローラ１４は、図２お
よび図３に示すフロー図に従って処理する。オペレータ
が操作パネル１６に設けられた開始ボタンあるいは上昇
ボタンを操作すると、図３に示すように、コントローラ
１４は処理を開始し、ステップＳ１でボートエレベータ
３４を上方向に移動させる。つまり、コントローラ１４
は、ドライバ２０を制御してボートエレベータ１４が上
昇するように、モータ２２を駆動する。続くステップＳ
３では、カウンタ１４ａのカウント値が所定値（Ｐ）に
なったかどうかを判断する。つまり、カウンタ１４ａの
カウント値がレジスタ１４ｂに記憶されたカウント値Ｐ
と一致するかどうかを判断する。

【００４０】ステップＳ３で“ＮＯ”であれば、つまり
カウンタ１４ａのカウント値が所定値（Ｐ）に達してな
ければ、ステップＳ１に戻って、ボートエレベータ３４
を上昇させる。一方、ステップＳ３で“ＹＥＳ”であれ
ば、つまりカウンタ１４ａのカウント値が所定値（Ｐ）
に達していれば、ステップＳ５でドライバ２０にブレー
キパルスを出力して、ボートエレベータ３４を停止させ
る。そして、ステップＳ７では、上限センサ２４がオン
かどうかを判断する。つまり、上限センサ２４からオン
信号が与えられるかどうかを判断する。

【００４１】ステップＳ７で“ＹＥＳ”であれば、つま
り上昇センサ２４がオンであれば、ウェハ４２の入炉が
完了したと判断し、ステップＳ９で上述したような拡散
処理を実行してから、図４に示すステップＳ１７に進
む。

【００４２】一方、ステップＳ７で“ＮＯ”であれば、
つまり上昇センサ２４がオンしてなければ、ウェハ４２
の入炉が完了してないと判断し、すなわち途中でボート
エレベータ３４が停止していると判断し、ステップＳ１
１でボートエレベータ３４を強制的に上昇させる。つま
り、コントローラ１４は、ドライバ２０を制御してモー
タ２２を（低速）回転させ、ボートエレベータ３４を上
昇させる。

【００４３】続いて、ステップＳ１３では、上限センサ
２４がオンしたかどうかを判断する。ステップＳ１３で
“ＮＯ”であれば、つまり上限センサ２４がオンしてな
ければ、ステップＳ１１に戻る。つまり、上限センサ２
４がオンされるまで、ボートエレベータ３４が上昇され
る。一方、ステップＳ１３で“ＹＥＳ”であれば、つま
り上限センサ２４がオンであれば、ウェハ４２の入炉が
完了したと判断し、ステップＳ１５でドライバ２０にブ
レーキパルスを出力して、ボートエレベータ３４を停止
させてからステップＳ９に進む。

【００４４】図４に示すステップＳ１７では、下方向に
ボートエレベータ３４を移動させる。つまり、コントロ
ーラ１４はドライバ２０を制御してボートエレベータ３
４を下降させる。続くステップＳ１９では、カウント値
が所定値（Ｑ）になったかどうかを判断する。つまり、
カウンタ１４ａのカウント値がレジスタ１４ｂに記憶さ
れているカウント値Ｑと同じかどうかを判断する。ステ
ップＳ１９で“ＮＯ”であれば、つまりカウント値が所
定値（Ｑ）に達してなければ、ステップＳ１７に戻っ
て、ボートエレベータ３４を下降させる。

【００４５】一方、ステップＳ１９で“ＹＥＳ”であれ
ば、つまりカウント値が所定値（Ｑ）に達していれば、
ステップＳ２１でドライバ２０にブレーキパルスを出力
して、ボートを停止させる。そして、ステップＳ２３で
は、下限センサ２６がオンかどうかを判断する。つま
り、下限センサ２６からオン信号が得られるかどうかを
判断する。

【００４６】ステップＳ２３で“ＹＥＳ”であれば、つ
まり下限センサ２６がオンであれば、ボートエレベータ
３４の出炉が完了していると判断して、そのまま処理を
終了する。一方、ステップＳ２３で“ＮＯ”であれば、
つまり下限センサ２６がオンしてなければ、途中でボー
トエレベータ３４が停止していると判断し、ステップＳ
２５でボートエレベータ３４を強制的に下降させる。つ
まり、コントローラ１４はドライバ２０を制御して、モ
ータ２２を低速回転させ、ボートエレベータ３４を下降
させる。続くステップＳ２７では、下限センサ２６がオ
ンしたかどうかを判断する。

【００４７】ステップＳ２７で“ＮＯ”であれば、つま
り下限センサ２６がオンされなければ、ウェハ４２の出
炉が完了してないと判断し、ステップＳ２５に戻る。つ
まり、下限センサ２６がオンされるまで、ボートエレベ
ータ３４が下降される。一方、ステップＳ２７で“ＹＥ
Ｓ”であれば、つまり下限センサ２６がオンされれば、
ウェハ４２の出炉が完了したと判断し、ステップＳ２９
でドライバ２０にブレーキパルスを出力して、ボートエ
レベータ３４を停止させてから処理を終了する。

【００４８】この実施例によれば、カウント値に基づい
てボートエレベータの移動を制御するとともに、センサ
でボートエレベータの位置を実際に検出し、原点位置あ
るいは目標位置にボートエレベータが達してない場合に
は、強制的にボートエレベータを原点位置あるいは目標
位置に移動させるので、確実にウェハを拡散炉本体に搬
入することができ、また拡散炉本体から搬出することが
できる。したがって、拡散処理が正常に実行されるた
め、ウェハに品質上の問題が発生することがない。つま
り、ウェハの歩留まりが低下するのを防止することがで
きる。

【００４９】なお、この実施例では、コントローラに設
けられたカウンタでパルス数をカウントするようにした
が、ボートエレベータが移動している時間をカウントす
るようにしてもよい。この場合には、予め試験等によ
り、測定しておいたボートエレベータの昇降に係る時間
がそれぞれレジスタに記憶される。

【００５０】また、この実施例では、ボールネジ機構で
ボートエレベータを昇降するようにしているが、ラック
ピニオン機構でボートエレベータを昇降するようにして
もよい。

【００５１】さらに、この実施例では、縦型の拡散炉本
体へのウェハの入出を制御するようにしているが、横型
の拡散炉本体へのウェハの入出を制御することもでき
る。

【００５２】さらにまた、この実施例では、拡散処理を
施す拡散炉が入出制御装置を備える場合についてのみ示
したが、他の熱酸化処理、アニール処理およびＣＶＤ処
理のような加熱処理を施す拡散炉に同様の入出制御装置
を備えるようにすることもできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を示す図解図である。

【図２】図１に示す拡散炉においてウェハが入炉された
状態を示す図解図である。

【図３】図１に示すコントローラの処理の一部を示すフ
ロー図である。

【図４】図１に示すコントローラの処理の他の一部を示
すフロー図である。

【図５】従来の拡散炉の一例を示す図解図である。

【符号の説明】

１０ …拡散炉 １２ …入出制御装置 １４ …コントローラ １６ …操作パネル １８ …ディスプレイ ２２，３８ …モータ ２４ …上限センサ ２６ …下限センサ ２８ …拡散炉本体 ３０ …炉芯管 ３２ …ヒータ ３４ …ボートエレベータ ３６ …テーブル ４０ …ケース ４２ …ウェハ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4K061 AA01 BA11 EA00 GA10 5F031 CA02 FA01 FA12 HA01 HA42 HA58 HA59 HA60 HA67 JA02 JA23 JA45 JA51 LA09 LA12 MA13 PA03 PA04 PA08

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数のウェハを拡散炉本体内に搬入し、前
   記ウェハに拡散処理を施してから前記拡散炉本体外へ搬
   出するボートの移動を制御する入出制御装置を備える拡
   散炉において、 前記ウェハを前記拡散炉本体から搬出完了する原点位置
   と前記ウェハを前記拡散炉本体へ搬入完了する目標位置
   との間で前記ボートを移動させる移動手段、および前記
   原点位置と前記目標位置との間で前記ボートが停止した
   とき、前記ボートを前記原点位置または前記目標位置に
   強制的に移動させる強制移動手段を備えることを特徴と
   する、入出制御装置を備える拡散炉。
2. 【請求項２】前記移動手段は、モータ、前記モータの回
   転に応じてパルスを発生するパルス発生手段、および前
   記パルス発生手段で発生されたパルスをカウントするカ
   ウント手段を含み、 前記カウント手段のカウント値に基づいて前記モータを
   回転駆動させる、請求項１記載の入出制御装置を備える
   拡散炉。
3. 【請求項３】前記原点位置で前記ボートを検出する原点
   位置検出手段、および前記目標位置で前記ボートを検出
   する目標位置検出手段をさらに備え、 前記強制移動手段は、前記原点位置検出手段または前記
   目標位置検出手段によって前記ボートが検出されるまで
   前記モータを回転駆動させる、請求項２記載の入出制御
   装置を備える拡散炉。