JP2015155504A - ポリイミド樹脂の製造方法、ポリイミド膜の製造方法、ポリアミック酸溶液の製造方法、ポリイミド膜、及びポリアミック酸溶液 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】N,N,N’,N’−テトラメチルウレアと、特定の非プロトン性極性有機溶剤、及び特定のグリコールエーテル類からなる群より選択される少なくとも1種の溶剤と、からなる混合溶剤中で、テトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分とを反応させて得られるポリアミック酸を加熱してポリイミド樹脂を生成させる。
【選択図】なし
Description
また、本発明は、耐熱性及び機械的特性に優れ、吸湿性の低いポリイミド膜を、発泡を抑制しつつ製造できる、ポリイミド膜の製造方法を提供することを目的とする。
さらに、本発明は、ポリイミド樹脂製造時の発泡を抑制でき、且つ、耐熱性及び機械的特性に優れ、吸湿性の低いポリイミド樹脂を与えるポリアミック酸溶液の製造方法を提供することを目的とする。
これらに加え、本発明は、これらの方法により得られるポリイミド膜と、ポリアミック酸溶液とを提供することを目的とする。
N−メチル−2−ピロリドン、N−エチル−2−ピロリドン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、及びγ−ブチロラクトンからなる非プロトン性極性有機溶剤;及び、
ジエチレングリコールジアルキルエーテル、エチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、及びプロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネートからなるグリコールエーテル類;
からなる群より選択される少なくとも1種の溶剤と、からなる混合溶剤中で、テトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分とを反応させて得られるポリアミック酸を加熱する、ポリイミド樹脂の製造方法である。
N−メチル−2−ピロリドン、N−エチル−2−ピロリドン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、及びγ−ブチロラクトンからなる非プロトン性極性有機溶剤;及び、
ジエチレングリコールジアルキルエーテル、エチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、及びプロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネートからなるグリコールエーテル類;
からなる群より選択される少なくとも1種の溶剤と、からなる混合溶剤中で、テトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分とを反応させて得られるポリアミック酸溶液を基体上に塗布して形成されるポリイミド前駆体膜を加熱する、ポリイミド膜の製造方法である。
N−メチル−2−ピロリドン、N−エチル−2−ピロリドン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、及びγ−ブチロラクトンからなる非プロトン性極性有機溶剤;
及び、
ジエチレングリコールジアルキルエーテル、エチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、及びプロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネートからなるグリコールエーテル類;
からなる群より選択される少なくとも1種の溶剤と、からなる混合溶剤中で、テトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分とを反応させる、ポリアミック酸溶液の製造方法である。
第一の態様は、N,N,N’,N’−テトラメチルウレアと、特定の非プロトン性極性有機溶剤、及び特定のグリコールエーテル類からなる群より選択される少なくとも1種の溶剤と、からなる混合溶剤中で、テトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分とを反応させて得られるポリアミック酸を加熱する、ポリイミド樹脂の製造方法である
以下、ポリアミック酸と、ポリアミック酸を加熱するポリイミド樹脂の生成方法とについて説明する。
第一の態様に係るポリイミド樹脂の製造方法において、ポリイミド樹脂の生成に使用されるポリアミック酸は、特に限定されず、従来からポリイミド樹脂の前駆体として知られているポリアミック酸から適宜選択される。
ポリアミック酸の合成原料となるテトラカルボン酸二無水物成分は、ジアミン成分と反応することによりポリアミック酸を形成可能なものであれば特に限定されない。テトラカルボン酸二無水物成分は、従来からポリアミック酸の合成原料として使用されているテトラカルボン酸二無水物から適宜選択することができる。テトラカルボン酸二無水物成分は、芳香族テトラカルボン酸二無水物であっても、脂肪族テトラカルボン酸二無水物であってもよいが、得られるポリイミド樹脂の耐熱性の点から、芳香族テトラカルボン酸二無水物が好ましい。テトラカルボン酸二無水物成分は、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
ポリアミック酸の合成原料となるジアミン成分は、テトラカルボン酸二無水物成分と反応することによりポリアミック酸を形成可能なものであれば特に限定されない。ジアミン成分は、従来からポリアミック酸の合成原料として使用されているジアミンから適宜選択することができる。ジアミン成分は、芳香族ジアミンであっても、脂肪族ジアミンであってもよいが、得られるポリイミド樹脂の耐熱性の点から、芳香族ジアミンが好ましい。ジアミン成分は、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
テトラカルボン酸二無水物成分と、ジアミン成分との反応は、N,N,N’,N’−テトラメチルウレアと、特定の非プロトン性極性有機溶剤、及び特定のグリコールエーテル類からなる群より選択される少なくとも1種の溶剤と、からなる混合溶剤中で行われる。このような混合溶剤中で合成されたポリアミック酸を加熱してポリイミド樹脂を生成させることで、耐熱性及び機械的特性に優れ、吸湿性の低いポリイミド樹脂を製造でき、且つ、ポリイミド樹脂製造時の発泡を抑制できる。
以下、混合溶剤に含まれる、N,N,N’,N’−テトラメチルウレア、非プロトン性極性有機溶剤、及びグリコールエーテル類について説明する。
N,N,N’,N’−テトラメチルウレアの大気圧下での沸点は177℃であって、テトラカルボン酸二無水物成分、ジアミン成分、及び生成するポリアミック酸を溶解可能な溶媒の中では比較的沸点が低い。このため、ポリアミック酸を、例えば、180℃のような低い温度で加熱してポリイミド樹脂を製造する場合でも、N,N,N’,N’−テトラメチルウレアは生成するポリイミド樹脂中に残存しにくい。従って、N,N,N’,N’−テトラメチルウレアは、得られるポリイミド樹脂の種々の物性へ与える悪影響が少ない。
しかし、特定の非プロトン性極性有機溶剤、特定のグリコールエーテル類、及びγ−ブチロラクトンからなる群より選択される少なくとも1種の溶剤と、N,N,N’,N’−テトラメチルウレアとを組み合わせて使用することにより、このような問題が解消される。
混合溶剤に配合する非プロトン性極性有機溶剤としては、N−メチル−2−ピロリドン、N−エチル−2−ピロリドン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、及びγ−ブチロラクトンからなる群より選択される1種以上を用いる。
混合溶剤に配合するグリコールエーテル類としては、ジエチレングリコールジアルキルエーテル、エチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、及びプロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネートからなる群より選択される一種以上を用いる。
以上説明した、テトラカルボン酸二無水物成分と、ジアミン成分とを、上記の特定の溶媒から構成される混合溶剤中で反応させてポリアミック酸を合成する。ポリアミック酸を合成する際の、テトラカルボン酸二無水物成分及びジアミン成分の使用量は特に限定されないが、テトラカルボン酸二無水物成分1モルに対して、ジアミン成分を0.50〜1.50モル用いるのが好ましく、0.60〜1.30モル用いるのがより好ましく、0.70〜1.20モル用いるのが特に好ましい。
上記のようにして得られるポリアミック酸を、加熱してポリイミド樹脂を生成させる。その際、ポリアミック酸を加熱する温度は、所望する性能のポリイミド樹脂が得られる温度であれば特に限定されない。ポリアミック酸を加熱する温度は、120〜350℃が好ましく、150〜350℃がより好ましい。このような範囲の温度でポリアミック酸を加熱することにより、生成するポリイミド樹脂の熱劣化や熱分解を抑制しつつ、ポリイミド樹脂を生成させることができる。
本発明の第二の態様は、N,N,N’,N’−テトラメチルウレアと、特定の非プロトン性極性有機溶剤、及び特定のグリコールエーテル類からなる群より選択される少なくとも1種の溶剤と、からなる混合溶剤中で、テトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分とを反応させて得られるポリアミック酸溶液を基体上に塗布して形成されるポリイミド前駆体膜を加熱する、ポリイミド膜の製造方法である。
本発明の第三の態様は、第二の態様に係る方法により形成されるポリイミド膜である。第三の態様に係るポリイミド膜は、第二の態様に係る方法により製造されているため、耐熱性及び機械的特性に優れ、吸湿性が低い。
しかし、前述の混合溶剤を用いる場合、ポリイミド膜中に混合溶剤が残留しにくいことや、ポリイミド膜中に残存する混合溶剤のポリイミド膜の諸物性への悪影響が少ないこととから、耐熱性及び機械的特性に優れ、吸湿性が低いポリイミド膜が形成される。
本発明の第四の態様は、N,N,N’,N’−テトラメチルウレアと、特定の非プロトン性極性有機溶剤、及び特定のグリコールエーテル類からなる群より選択される少なくとも1種の溶剤と、からなる混合溶剤中で、テトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分とを反応させる、ポリアミック酸溶液の製造方法である。第四の態様に係るポリアミック酸溶液の製造方法は、第一の態様について説明した、ポリアミック酸溶液の製造方法と同様である。
本発明の第五の態様は、第四の態様に係る方法により得られるポリアミック酸溶液である。第五の態様に係るポリアミック酸溶液は、ポリイミド樹脂製造時の発泡を抑制でき、且つ、耐熱性及び機械的特性に優れ、吸湿性の低いポリイミド樹脂を与える。
実施例及び比較例では、以下に示すTC1〜TC3を、テトラカルボン酸二無水物成分として用いた。また、実施例及び比較例では、以下に示すDA1〜DA3をジアミン成分として用いた。
撹拌機、撹拌羽根、還流冷却機、窒素ガス導入管を備えた容量5Lのセパラブルフラスコに、それぞれ表1、表2、又は表5に記載の種類及び量の、テトラカルボン酸二無水物と、ジアミンと、溶剤とを投入した。窒素ガス導入管よりフラスコ内に窒素を導入し、フラスコ内を窒素雰囲気とした。次いで、フラスコの内容物を撹拌しながら、表1、表2、又は表5に記載の温度及び時間で、テトラカルボン酸二無水物と、ジアミンとを反応させて、ポリアミック酸溶液を得た。
得られたポリアミック酸を用いて、以下の方法に従ってポリイミド膜を形成して、ポリイミド膜の耐熱性、誘電率、引張伸度、及び吸湿性と、ポリアミック酸を用いてポリイミド膜を形成する際の製膜性(発泡)とを評価した。
得られたポリアミック酸溶液をウエハ基板上に、スピンコーター(ミカサ製、1H−360S)により塗布した。ウエハ基板上の塗布膜を表1、表2、又は表5に記載の焼成温度で20分間加熱して、膜厚約0.9μmのポリイミド膜を形成した。得られたポリイミド膜から、耐熱性評価用の試料5μgを削り取った。耐熱性評価用のポリイミド樹脂の試料を用いて、示差熱/熱重量測定装置(TG/DTA−6200、セイコーインスツル株式会社製)による測定を行い、TG曲線を得た。得られたTG曲線から、試料の5%重量減少温度を求めた。5%重量減少温度が300℃以上である場合を○と判定し、300℃未満である場合を×と判定した。耐熱性の評価結果を表3、表4、及び表6に記す。
得られたポリアミック酸溶液をウエハ基板上に、スピンコーター(ミカサ製、1H−360S)により塗布した。ウエハ基板上の塗布膜を表1、表2、又は表5に記載の焼成温度で20分間加熱して、膜厚約0.9μmのポリイミド膜を形成した。得られたポリイミド膜を試料として用い、周波数0.1MHzの条件で、誘電率測定装置(SSM−495、日本セミラボ株式会社製)により、ポリイミド樹脂の比誘電率を測定した。比誘電率が4.2以下である場合を○と判定し、4.2超である場合を×と判定した。誘電率の評価結果を表3、表4、及び表6に記す。
得られたポリアミック酸溶液をウエハ基板上に、アプリケーター(YOSHIMITSU SEIKI製、TBA−7型)により塗布した。ウエハ基板上の塗布膜を表1、表2、又は表5に記載の焼成温度で20分間加熱して、膜厚約10μmのポリイミド膜を形成した。得られたポリイミド膜から、IEC450規格に従った形状のダンベル型試験片を打ち抜いて、引張伸度測定用の試験片を得た。得られた試験片を用いて、チャック間距離20mm、引張速度2mm/分の条件で、万能材料試験機(TENSILON、株式会社オリエンテック製)によって、ポリイミド樹脂の破断伸度を測定した。破断伸度が25%以上である場合を○と判定し、25%未満である場合を×と判定した。引張伸度の評価結果を表3、表4、及び表6に記す。
得られたポリアミック酸溶液をウエハ基板上に、アプリケーター(YOSHIMITSU SEIKI製、TBA−7型)により塗布した。ウエハ基板上の塗布膜を表1、表2、又は表5に記載の焼成温度で20分間加熱して、膜厚約10μmのポリイミド膜を形成した。得られたポリイミド膜を目視観察し、ポリイミド膜に、膨れ、割れ、発泡等の不具合がほとんど観察されなかったものを◎と判定し、これらの不具合がポリイミド膜の全面積の10〜30%程度の範囲に観察されたものを○と判定し、これらの不具合がポリイミド膜の全面積の約30%の範囲を超えて観察されたものを×と判定した。製膜性の評価結果を表3、表4、及び表6に記す。
得られたポリアミック酸溶液をウエハ基板上に、アプリケーター(YOSHIMITSU SEIKI製、TBA−7型)により塗布した。ウエハ基板上の塗布膜を表1、表2、又は表5に記載の焼成温度で20分間加熱して、膜厚約10μmのポリイミド膜を形成した。形成されたポリイミド膜に対してTDS(Thermal Desorption Spectroscopy)を用いて常温から200℃に昇温した際の、膜中から脱離するガスを質量分析計で検出し、水のピークM/z=18の検出値を測定し、吸湿性を評価した。トータルのピーク強度が6.5×10−9以下の場合を○と判定し、トータルのピーク強度が6.5×10−9超7.0×10−9以下の場合を△と判定し、7.0×10−9超の場合を×と判定した。吸湿性の評価結果を表3、表4、及び表6に記す。
Claims (11)
- N,N,N’,N’−テトラメチルウレアと、
N−メチル−2−ピロリドン、N−エチル−2−ピロリドン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、及びγ−ブチロラクトンからなる非プロトン性極性有機溶剤;及び、
ジエチレングリコールジアルキルエーテル、エチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、及びプロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネートからなるグリコールエーテル類;
からなる群より選択される少なくとも1種の溶剤と、からなる混合溶剤中で、テトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分とを反応させて得られるポリアミック酸を加熱する、ポリイミド樹脂の製造方法。 - 前記N,N,N’,N’−テトラメチルウレアと組み合わせて使用される溶剤が、
N−メチル−2−ピロリドン、N−エチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、及び1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノンからなる非プロトン性極性溶剤から選択される2種以上の溶剤であるか、
ジエチレングリコールジアルキルエーテル、エチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、及びプロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネートからなるグリコールエーテル類から選択される少なくとも1種と、γ−ブチロラクトンとからなる溶剤である、請求項1に記載のポリイミド樹脂の製造方法。 - 前記加熱を120〜350℃で行う、請求項1又は2に記載のポリイミド樹脂の製造方法。
- 前記混合溶剤の質量に対する、N,N,N’,N’−テトラメチルウレアの質量の比率が5質量%〜95質量%である、請求項1〜3のいずれか1項に記載のポリイミド樹脂の製造方法。
- N,N,N’,N’−テトラメチルウレアと、
N−メチル−2−ピロリドン、N−エチル−2−ピロリドン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、及びγ−ブチロラクトンからなる非プロトン性極性有機溶剤;及び、
ジエチレングリコールジアルキルエーテル、エチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、及びプロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネートからなるグリコールエーテル類;
からなる群より選択される少なくとも1種の溶剤と、からなる混合溶剤中で、テトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分とを反応させて得られるポリアミック酸溶液を基体上に塗布して形成されるポリイミド前駆体膜を加熱する、ポリイミド膜の製造方法。 - 前記加熱を120〜350℃で行う、請求項5に記載のポリイミド膜の製造方法。
- 前記混合溶剤の量が、前記テトラカルボン酸二無水物成分の量と前記ジアミン成分の量との合計100質量部に対して、20〜2000質量部である、請求項5又は6に記載のポリイミド膜の製造方法。
- 請求項5〜7のいずれか1項に記載の方法で製造される、ポリイミド膜。
- N,N,N’,N’−テトラメチルウレアと、
N−メチル−2−ピロリドン、N−エチル−2−ピロリドン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、及びγ−ブチロラクトンからなる非プロトン性極性有機溶剤;及び、
ジエチレングリコールジアルキルエーテル、エチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、及びプロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネートからなるグリコールエーテル類;
からなる群より選択される少なくとも1種の溶剤と、からなる混合溶剤中で、テトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分とを反応させる、ポリアミック酸溶液の製造方法。 - 前記混合溶剤の量が、前記テトラカルボン酸二無水物成分の量と前記ジアミン成分の量との合計100質量部に対して、20〜2000質量部である、請求項9に記載のポリイミド膜の製造方法。
- 請求項9又は10に記載の方法で製造される、ポリアミック酸溶液。
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