JP2015146512A - 水晶加工装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 水晶加工装置10は、水晶ウェハ20に対する電気的な測定と水晶ウェハ20に対する電気的な加工とに兼用される電極30と、水晶ウェハ20に対する電極30の位置を変える位置決め手段40と、水晶ウェハ20の厚み23を電極30によって電気的に測定する測定手段50と、水晶ウェハ20を電極30によって電気的に加工する加工手段60と、位置決め手段40及び測定手段50を制御することによって水晶ウェハ20の厚み23の分布を取得し、この厚み23の分布に基づき加工の量を水晶ウェハ20に対する電極30の位置ごとに決定し、位置決め手段40及び加工手段60を制御することによって水晶ウェハ20を加工する制御手段70と、を備えている。
【選択図】 図1
Description
2.水晶ウェハ170に対する電極棒183の位置と水晶ウェハ170に対するイオンガン193の位置との誤差。
水晶ウェハに対する電気的な測定と前記水晶ウェハに対する電気的な加工とに兼用される電極と、
前記水晶ウェハに対する前記電極の位置を変える位置決め部と、
前記水晶ウェハの厚みを前記電極によって電気的に測定する測定部と
前記水晶ウェハを前記電極によって電気的に加工する加工部と、
前記位置決め部及び前記測定部を制御することによって前記水晶ウェハの厚みの分布を取得し、この厚みの分布に基づき前記加工する量を前記水晶ウェハに対する前記電極の位置ごとに決定し、前記位置決め部及び前記加工部を制御することによって前記水晶ウェハを加工する制御部と、
を備えたものである。
水晶ウェハに対する電極の位置を位置決め部によって変えつつ、前記水晶ウェハの厚みを前記電極によって電気的に測定することにより、前記水晶ウェハの厚みの分布を取得する測定工程と、
前記水晶ウェハに対する前記電極の位置を前記位置決め部によって変えつつ、前記水晶ウェハを前記電極によって電気的に加工し、かつその加工の量を前記測定工程で取得した前記厚みの分布に基づき変えることにより、前記水晶ウェハを加工する加工工程と、
を含むものである。
20 水晶ウェハ
21 第一の主面
22 第二の主面
23 厚み
30 電極
31 第一の電極
32 第二の電極
33 入力配線
40 位置決め部
41 XYZステージ
50 測定部
51 測定器
52 出力配線
60 加工部
61 高周波電源
62 ガスボンベ
63 マスフローコントローラ(MFC)
64 電磁弁
65 電極カバー
66 配管
67 プロセスガス
68 プラズマ
69 出力配線
70 制御部
71 コントローラ
72 電子的スイッチ
171 一方の主面
172 他方の主面
173 厚み
180 水晶加工装置
181 XYステージ
182 金属板
183 電極棒
184 コントローラ
190 真空チャンバ
191 XYステージ
192 金属板
193 イオンガン
194 イオンビーム
Claims (5)
- 水晶ウェハに対する電気的な測定と前記水晶ウェハに対する電気的な加工とに兼用される電極と、
前記水晶ウェハに対する前記電極の位置を変える位置決め部と、
前記水晶ウェハの厚みを前記電極によって電気的に測定する測定部と
前記水晶ウェハを前記電極によって電気的に加工する加工部と、
前記位置決め部及び前記測定部を制御することによって前記水晶ウェハの厚みの分布を取得し、この厚みの分布に基づき前記加工する量を前記水晶ウェハに対する前記電極の位置ごとに決定し、前記位置決め部及び前記加工部を制御することによって前記水晶ウェハを加工する制御部と、
を備えた水晶加工装置。 - 前記水晶ウェハは第一及び第二の主面を有し、前記電極は第一及び第二の電極を有し、
前記第二の電極は、前記第二の主面の全体に接触する状態を維持し、
前記測定部は、前記第一の主面に前記第一の電極を部分的に接触させて、前記第一及び第二の電極によって挟まれた部分の前記水晶ウェハの厚みに対応する電気的特性を測定し、
前記位置決め部は、前記第一の主面に対する前記第一の電極の位置を順次変え、
前記加工部は、前記水晶ウェハの前記第一の主面に前記第一の電極を部分的に対向させて、前記第一及び第二の電極によって挟まれた部分の前記水晶ウェハと前記第一の電極との空間に大気圧下でエッチング用のプラズマを発生させ、
前記制御部は、前記厚みの分布に基づき前記プラズマによるエッチング量を前記第一の主面に対する前記第一の電極の位置ごとに決定する、
請求項1記載の水晶加工装置。 - 水晶ウェハに対する電極の位置を位置決め部によって変えつつ、前記水晶ウェハの厚みを前記電極によって電気的に測定することにより、前記水晶ウェハの厚みの分布を取得する測定工程と、
前記水晶ウェハに対する前記電極の位置を前記位置決め部によって変えつつ、前記水晶ウェハを前記電極によって電気的に加工し、かつその加工の量を前記測定工程で取得した前記厚みの分布に基づき変えることにより、前記水晶ウェハを加工する加工工程と、
を含む水晶加工方法。 - 前記水晶ウェハは第一及び第二の主面を有し、前記電極は第一及び第二の電極を有し、
前記測定工程では、
前記第二の主面の全体に前記第二の電極を接触させた状態で、前記第一の主面に前記第一の電極を部分的に接触させて、前記第一及び第二の電極によって挟まれた部分の前記水晶ウェハの厚みに対応する電気的特性を測定し、かつ、
前記第一の主面に対する前記第一の電極の接触位置を前記位置決め部によって順次変えることにより、前記電気的特性に基づいて前記水晶ウェハの厚みの分布を取得し、
前記加工工程では、
前記第二の主面の全体に前記第二の電極を接触させた状態で、前記水晶ウェハの前記第一の主面に前記第一の電極を部分的に対向させて、前記第一及び第二の電極によって挟まれた部分の前記水晶ウェハと前記第一の電極との空間に大気圧下でエッチング用のプラズマを発生させ、かつ、
前記第一の主面に対する前記第一の電極の対向位置を前記位置決め部によって順次変えつつ、前記プラズマによるエッチング量を前記厚みの分布に基づき変え、前記水晶ウェハを加工する、
請求項3記載の水晶加工方法。 - 前記加工工程の後に、前記水晶ウェハに対する前記電極の位置を前記位置決め部によって変えつつ、前記水晶ウェハの厚みを前記電極によって電気的に再測定することにより、前記水晶ウェハの厚みの分布を再取得する再測定工程を、
更に含む請求項3記載の水晶加工方法。
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