JP2015129331A - 磁性材スパッタリングターゲット及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】Bを10〜30at%含有し、Coを30〜50at%含有し、Feを30〜50at%含有するスパッタリングターゲット及びその製造方法であって、原料を溶解後、5〜30℃/分で冷却してインゴットを作製したターゲットの共晶組織中の視野25μm×25μm内に長径が2μm以下のBプア粒子が平均20個以下であることを特徴とするスパッタリングターゲット。
【選択図】図1
Description
1)Bを10at%以上30at%以下含有し、Coを30at%以上50at%以下含有し、Feを30at%以上50at%以下含有するスパッタリングターゲットであって、ターゲットの共晶組織中の視野25μm×25μm内に長径が2μm以下のBプア粒子が平均20個以下であることを特徴とするスパッタリングターゲット。
2)Bを10at%以上30at%以下含有し、Coを30at%以上50at%以下含有し、Feを30at%以上50at%以下含有する原料を溶解・鋳造してインゴットを作製し、これを機械加工してターゲットを作製するスパッタリングターゲットの製造方法であって、原料を溶解鋳造後、5〜30℃/分で冷却してインゴットを作製することを特徴とするスパッタリングターゲットの製造方法。
原料として、Co、Fe、Bを使用し、これをCo:40at%、Fe:40at%、B:20at%に調合した。次に、これをセラミックス製坩堝に入れ、約1200℃で加熱溶解し、金属製鋳型直下の振動機を30Hzで作動させた後、溶湯を金属製鋳型に移し、5〜30℃/分で冷却し、炉から取り出した。次に、これを直径164mm、厚さ4mmの形状へ切削加工して、スパッタリングターゲットとした。ターゲットの組織写真(倍率:300倍)を図2に示す。このターゲットの共晶組織中の視野25μm×25μm内をランダムに4箇所観察した結果、長径が2μm以下(直径2μmの円の中に収まるサイズ)のBプア粒子は平均2個と少なかった。また、このターゲットの漏洩磁束密度を測定した結果、30.4%と後述する比較例1に比べて向上した。以上の結果を表1に示す。
なお、ターゲットのどの部分を観察しても、共晶組織に関しては、粒子径に大きな変化はなく、そのばらつきは小さいが、初晶に関しては、ターゲットの端の方が小さく、中心の方が大きいという傾向にある。
原料として、Co、Fe、Bを使用し、これをCo:40at%、Fe:40at%、B:20at%に調合した。次に、これをセラミックス製坩堝に入れ、約1200℃で加熱溶解し、金属製鋳型直下の振動機を150Hzで作動させた後、溶湯を金属製鋳型に移し、5〜30℃/分で冷却し、炉から取り出した。次に、これを直径164mm、厚さ4mmの形状へ切削加工して、スパッタリングターゲットとした。このターゲットの共晶組織中の視野25μm×25μm内をランダムに4箇所観察した結果、長径が2μm以下のBプア粒子は平均2個と少なかった。また、このターゲットの漏洩磁束密度を測定した結果、32.4%と後述する比較例1に比べて向上した。
原料として、Co、Fe、Bを使用し、これをCo:40at%、Fe:40at%、B:20at%に調合した。次に、これをセラミックス製坩堝に入れ、約1200℃で加熱溶解し、溶湯を予め800℃に加温した金属製鋳型に移し、5〜20℃/分で冷却し、炉から取り出した。次に、これを直径164mm、厚さ4mmの形状へ切削加工して、スパッタリングターゲットとした。このターゲットの共晶組織中の視野25μm×25μm内をランダムに4箇所観察した結果、長径が2μm以下のBプア粒子は平均1個と少なかった。また、このターゲットの漏洩磁束密度を測定した結果、31.0%と後述する比較例1に比べて向上した。
原料として、Co、Fe、Bを使用し、これをCo:40at%、Fe:40at%、B:20at%に調合した。次に、これをセラミックス製坩堝に入れ、約1200℃で加熱溶解した後、溶湯をカーボン製鋳型に移し、5〜30℃/分で冷却し、炉から取り出した。次に、これを直径164mm、厚さ4mmの形状へ切削加工して、スパッタリングターゲットとした。ターゲットの組織写真(倍率:300倍)を図3に示す。このターゲットの共晶組織中の視野25μm×25μm内をランダムに4箇所観察した結果、長径が2μm以下のBプア粒子は平均0個と少なかった。また、このターゲットの漏洩磁束密度を測定した結果、31.7%と後述する比較例1に比べて向上した。
原料として、Co、Fe、Bを使用し、これをCo:40at%、Fe:40at%、B:20at%に調合した。次に、これをセラミックス製坩堝に入れ約1200℃で加熱溶解した後、金属製鋳型に移し、振動せずに、30〜50℃/分で冷却し、炉から取り出した。次に、これを直径164mm、厚み4mmの形状へ切削加工して、スパッタリングターゲットとした。ターゲットの組織写真(倍率:300倍)を図4に示す。このターゲットの共晶組織中の視野25μm×25μm内をランダムに4箇所に観察した結果、長径が2μm以下のBプア粒子は平均56個であった。また、このターゲットの漏洩磁束密度を測定した結果、15.7%であった。
Claims (2)
- Bを10at%以上30at%以下含有し、Coを30at%以上50at%以下含有し、Feを30at%以上50at%以下含有するスパッタリングターゲットであって、ターゲットの共晶組織中の視野25μm×25μm内に長径が2μm以下のBプア粒子が平均20個以下であることを特徴とするスパッタリングターゲット。
- Bを10at%以上30at%以下含有し、Coを30at%以上50at%以下含有し、Feを30at%以上50at%以下含有する原料を溶解・鋳造してインゴットを作製し、これを機械加工してターゲットを作製するスパッタリングターゲットの製造方法であって、原料を溶解後、5〜30℃/分で冷却してインゴットを作製することを特徴とするスパッタリングターゲットの製造方法。
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