JP2015128269A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015128269A5 JP2015128269A5 JP2013273627A JP2013273627A JP2015128269A5 JP 2015128269 A5 JP2015128269 A5 JP 2015128269A5 JP 2013273627 A JP2013273627 A JP 2013273627A JP 2013273627 A JP2013273627 A JP 2013273627A JP 2015128269 A5 JP2015128269 A5 JP 2015128269A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- plan
- view
- connecting portion
- vibrating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013273627A JP6287208B2 (ja) | 2013-12-27 | 2013-12-27 | 振動子、発振器、電子機器、物理量センサーおよび移動体 |
| US14/582,621 US9450562B2 (en) | 2013-12-27 | 2014-12-24 | Resonator, oscillator, electronic apparatus, physical quantity sensor, and mobile object |
| CN201410828016.1A CN104753491B (zh) | 2013-12-27 | 2014-12-26 | 振子、振荡器、电子设备、物理量传感器和移动体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013273627A JP6287208B2 (ja) | 2013-12-27 | 2013-12-27 | 振動子、発振器、電子機器、物理量センサーおよび移動体 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2015128269A JP2015128269A (ja) | 2015-07-09 |
| JP2015128269A5 true JP2015128269A5 (cg-RX-API-DMAC7.html) | 2017-02-02 |
| JP6287208B2 JP6287208B2 (ja) | 2018-03-07 |
Family
ID=53483057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2013273627A Active JP6287208B2 (ja) | 2013-12-27 | 2013-12-27 | 振動子、発振器、電子機器、物理量センサーおよび移動体 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9450562B2 (cg-RX-API-DMAC7.html) |
| JP (1) | JP6287208B2 (cg-RX-API-DMAC7.html) |
| CN (1) | CN104753491B (cg-RX-API-DMAC7.html) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI634742B (zh) * | 2013-11-16 | 2018-09-01 | 精工愛普生股份有限公司 | 振動片、振動子、振盪器、電子機器及移動體 |
| KR20160076711A (ko) * | 2014-12-23 | 2016-07-01 | 삼성전기주식회사 | 튜닝 포크형 진동자 |
| JP6318418B1 (ja) * | 2017-07-24 | 2018-05-09 | 有限会社ピエデック技術研究所 | 圧電振動子、圧電ユニット、圧電発振器と電子機器 |
| JP2021013132A (ja) * | 2019-07-09 | 2021-02-04 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、電子機器、及び移動体 |
Family Cites Families (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1788702A3 (en) | 2000-12-25 | 2008-01-16 | Seiko Epson Corporation | Vibrating piece, vibrator, oscillator, and electronic equipment |
| JP2002261575A (ja) | 2000-12-25 | 2002-09-13 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
| US7528682B2 (en) * | 2002-03-06 | 2009-05-05 | Piedek Technical Laboratory | Electronic apparatus having display portion and oscillator and manufacturing method of the same |
| JP2006196932A (ja) | 2003-05-07 | 2006-07-27 | Seiko Epson Corp | 音叉型圧電デバイスの製造方法および音叉型圧電デバイス |
| JP4211578B2 (ja) * | 2003-11-13 | 2009-01-21 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片とその製造方法、ならびに圧電デバイスおよび圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
| JP4631329B2 (ja) * | 2004-07-01 | 2011-02-16 | パナソニック株式会社 | 角速度センサ及びその製造方法 |
| US20080211350A1 (en) * | 2006-08-18 | 2008-09-04 | Epson Toyocom Corporation | Piezoelectric resonator element and piezoelectric device |
| JP4389924B2 (ja) * | 2006-11-07 | 2009-12-24 | エプソントヨコム株式会社 | 圧電デバイス |
| US7859172B2 (en) * | 2007-06-19 | 2010-12-28 | Epson Toyocom Corporation | Piezoelectric resonator, manufacturing method thereof and lid for piezoelectric resonator |
| JP4990047B2 (ja) * | 2007-07-02 | 2012-08-01 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片及び圧電デバイス |
| DE602007004102D1 (de) * | 2007-07-19 | 2010-02-11 | Eta Sa Mft Horlogere Suisse | Piezoelektrischer Resonator mit optimierten Bewegungsfähigkeiten |
| JP5100753B2 (ja) * | 2007-09-13 | 2012-12-19 | シチズンホールディングス株式会社 | 水晶振動子片およびその製造方法 |
| JP4553157B2 (ja) * | 2007-11-20 | 2010-09-29 | エプソントヨコム株式会社 | 音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動子 |
| JP5134357B2 (ja) * | 2007-12-20 | 2013-01-30 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電振動子の製造方法 |
| JP5175128B2 (ja) * | 2008-04-04 | 2013-04-03 | 日本電波工業株式会社 | 音叉型圧電振動片および圧電デバイス |
| JP2010166198A (ja) | 2009-01-14 | 2010-07-29 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動子 |
| JP5565154B2 (ja) * | 2009-09-11 | 2014-08-06 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、および電子機器 |
| KR101214318B1 (ko) * | 2009-09-18 | 2013-01-09 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 진동편, 진동자, 발진기 및 전자기기 |
| JP5617392B2 (ja) * | 2010-07-09 | 2014-11-05 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子及び発振器 |
| US9130148B2 (en) * | 2011-02-25 | 2015-09-08 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator plate, piezoelectric resonator, method for manufacturing piezoelectric resonator plate, and method for manufacturing piezoelectric resonator |
| JP5872314B2 (ja) * | 2012-02-13 | 2016-03-01 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計 |
-
2013
- 2013-12-27 JP JP2013273627A patent/JP6287208B2/ja active Active
-
2014
- 2014-12-24 US US14/582,621 patent/US9450562B2/en active Active
- 2014-12-26 CN CN201410828016.1A patent/CN104753491B/zh active Active