JP2015128047A - 遠隔プラズマソースのためのプラズマブロック - Google Patents
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Abstract
Description
本発明のさらに他の適切な実施形態によれば、前記球面表面または複合球面表面は、5軸加工される。
図1A及び図1Bは、本発明によるプラズマブロックを形成するサブブロック10の実施形態及び比較例を図示したものである。
図1Aの(a)及び(b)は、プラズマブロックを形成する1つのサブブロック10の実施形態についての斜視図及び正面図をそれぞれ図示したものである。
サブブロック10にプラズマの発生ユニットの固定のための多様な構造が形成され、本発明は、このような構造によって制限されるものではない。
以下、本発明による球面表面または複合球面表面R1、R2、R3、R4が形成される過程について説明される。
図2は、本発明によるプラズマブロックを形成するサブブロックに適用可能な連結構造の実施形態を図示したものである。
球面表面または複合球面表面R1、R2、R3、R4は、多様な方法で形成され、本発明は、提示された実施形態に制限されるものではない。
以下、このような球面構造または複合球面構造の加工のための加工ツールの実施形態について説明される。
図3A及び図3Bは、本発明によるプラズマブロックを形成するサブブロックの経路を加工するための加工ツール30の実施形態を図示したものである。
加工ツール30によって内部境界部位が加工され、それにより、内部経路及び外部経路の加工が完了すれば、表面処理工程が進行しうる。
内部経路及び外部経路の加工が完了した2つのサブブロックが結合されてプラズマブロックを形成しうる。
図4は、本発明による遠隔プラズマソースブロック40の実施形態を図示したものである。
サブブロック40a、40bは、多様な構造で形成され、本発明は、提示された実施形態に制限されるものではない。
Claims (4)
- 互いに連結される2つのサブブロックが結合されて形成された外部連結通路と内部連結通路とを含むプラズマブロックにおいて、
前記内部連結通路は、通路の長手方向に沿って直線状に延びる直線延長部分と、前記外部連結通路と合う位置を基準に曲面を形成する曲線で延びる曲線延長部分と、からなり、前記曲線延長部分は、球面表面または複合球面表面を形成することを特徴とするプラズマブロック。 - 前記内部連結通路の球面表面または複合球面表面は、前記外部連結通路の外部表面の折り曲げられた地点で形成される表面に比べて、曲線で延びる長さが同一か、または長いことを特徴とする請求項1に記載のプラズマブロック。
- 前記球面表面または複合球面表面は、5軸加工されることを特徴とする請求項1に記載のプラズマブロック。
- 前記5軸加工のための加工ツールは、加工部位に至る経路を通じて挿入可能な直径を有しながら延びる挿入部材及び挿入部材の端部に形成され、第1方向に延びる第1カッター及び第2方向に延びる第2カッターを含む請求項3に記載のプラズマブロック。
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