JP2015122357A - ウェーハの乾燥装置及びウェーハの乾燥方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェーハの第1表面側に設けられた第1エアー供給管と、ウェーハの第2表面側に設けられた第2エアー供給管とを有するエアー供給部と、ウェーハを垂直に保持するウェーハ保持部とを含み、ウェーハがエアー供給部に対して相対的に移動するように構成され、第1エアー供給管には、ウェーハ側に所定の間隔で隔てられた複数の第1エアー吹き出し口が設けられ、第2エアー供給管には、ウェーハ側に所定の間隔で隔てられた複数の第2エアー吹き出し口が設けられ、複数の第1エアー吹き出し口及び複数の第2エアー吹き出し口は、それぞれ、ウェーハの垂直方向の中心線に対して周辺部から中央部に向かってエアーを吹き付けるように、ウェーハに対して垂直方向に対して角度をつけて設けられるウェーハの乾燥装置。
【選択図】図1
Description
また、最終工程の乾燥目的としては、ウェーハ清浄度を改善、最終品質検査に対応、出荷に対応するため、等がある。
すなわち、所定の間隔で隔てられた複数のエアー吹き出し口(第1エアー吹き出し口208、第2エアー吹き出し口210)をそれぞれ有する2本のパイプ(第1エアー供給管204、第2エアー供給管206)の間を、エアー212を吹き出しながらウェーハ220を下から上へ通過させることにより、ウェーハ220の両面を同時に乾燥させている。
このようにして、吹き付けられたエアー212と重力により、ウェーハ220の表面上の液滴は、ウェーハ220の上方移動と共に下方へ移動していき、ウェーハ220から落下していく。
そして、ウェーハ220が完全に2本のパイプ(第1エアー供給管204、第2エアー供給管206)を通過したときに、ウェーハ220の全面の乾燥を終了する。
なお、図5(a)は、乾燥装置200を側面から見た図であり、図5(b)は、図5(a)の乾燥装置200を水平方向に90°回転させたときの乾燥装置200を側面から見た図である。
図8(a)に測定フローを示し、図8(b)に測定箇所を示す。
図8(c)にウェーハ外周部と中央付近に乾き残しが発生したウェーハのレーザー変位形を用いた形状測定結果(1回目測定結果)を示し、図8(d)に再乾燥し乾き残しを除去したウェーハのレーザー変位形を用いた形状測定結果(2回目測定結果)を示す。
図8(c)では、水滴の影響により、測定機で処理できるノイズレベルを超えたために、この部分のデータが削除され、形状が途切れてしまったり(ウェーハの中央部参照)、あるいは急峻な形状の変化があるかのような結果(ウェーハの周辺部参照)になってしまっている。
このウェーハを完全に乾燥させ、再測定した図8(d)では、図8(c)で見られたような不連続な形状変化は見られず、連続的な形状を示した。
上記のような再乾燥、あるいは、ウェーハの移動速度を低下させて乾燥時間を延長することでも乾き残しの低減が期待できるが、いずれも生産性の低下を招いてしまう。
まず、ウェーハ表面上の乾き残しについて説明する。
図6に示したように、エアー吹き出し口は一定間隔で配置されている。この吹き出し口から吹き付けられた気体は、ウェーハ上で圧力分布を発生させる。すなわち、吹き出し口に対応する位置では圧力が高く、吹き出し口間では圧力が低くなる)
ウェーハ上に水たまりのように存在していた液体は、この圧力分布により圧力の低い方へ分散移動する。
従って、圧力が低いところに水滴が分散し残りやすくなってしまう。
しかしながら、吹き出し方向を下に向けすぎると、吹き出し口とウェーハとの間の距離が長くなり、ウェーハ上での吹きつけ圧力が全体的に低下し、特に吹き出し口間に相当する箇所での乾き残しが助長される。
図9(a)は、乾燥装置200を側面から見た図であり、図9(b)は、図9(a)の乾燥装置200を水平方向に90°回転させたときの乾燥装置200を側面から見た図である。なお、図9(a)において、エアー供給管は省略されている。
ウェーハ220の端面においては、エアー212を吹き付けられた液体の一部は、ウェーハの外に飛散するが、一部は端面に付着したまま水滴234として残留する。
ウェーハ表面上を下方移動する液体は、ウェーハの移動速度(ウェーハ上の吹きつけ口移動速度)とある程度まとまった量で移動するため、比較的落下しやすい。
一方、ウェーハ220の端面に付着した水滴234は、重力によりウェーハ220の端面に沿ってゆっくり下方へ移動する。この水滴は比較的量が少なく、液体の表面張力により落下しづらい。このようにゆっくり移動するため、最下点に到達したときには既に吹き付けノズルが通過してしまい、ウェーハ220の最下点で吹き付けられる機会を逃しやすく、乾き残しとなりやすい。
さらに、ウェーハ220の最下点で吹き付けられるチャンスがあった場合でも、ウェーハ220の表裏の吹きつけ口高さや角度の僅かな違いで、気圧が低い方へ液滴236が移動してしまい、効果的に液滴を落下させることは難しい。
第1エアー供給管、及び、前記第2エアー供給管がこのような構成であれば、ウェーハ表面上の液滴を、より確実にウェーハの垂直方向の中心線に対して中央に集めながら乾燥することができる。
上記の構成であれば、エアー供給部を移動させる必要がないので、乾燥装置をよりシンプルな構造にすることができる。
上記の構成であれば、ウェーハを移動させる必要がないので、乾燥中にウェーハ保持部からウェーハが落下することを確実に防ぐことができる。
ウェーハとして、半導体ウェーハを好適に乾燥することができる。
前述したように、図5の乾燥装置200においては、乾き残しが発生してしまうことがあるという問題があり、乾き残しが発生すると、図8に示したように、中間検査で実施する測定(例えば、光学式ウェーハ断面形状測定機での測定)の測定結果の信頼性を低下させてしまうという問題があった。
図1(a)は本発明のウェーハの乾燥装置100の上面から見た図を示しており、図1(b)は本発明のウェーハの乾燥装置100の側面から見た図を示しており、図1(c)は図1(b)の乾燥装置100を水平方向に90°回転させたときの乾燥装置100を側面から見た図である。
第1エアー供給管104は、ウェーハ120の第1表面側に設けられ、第2エアー供給管106は、ウェーハ120の第2表面側に設けられている。第1エアー供給管104には、ウェーハ120側に所定の間隔で隔てられた複数の第1エアー吹き出し口108が設けられ、第2エアー供給管106には、ウェーハ120側に所定の間隔で隔てられた複数の第2エアー吹き出し口110が設けられている。
エアー供給部102が固定され、ウェーハ保持部114がウェーハ120を垂直方向に移動させる構成とすることができるし、ウェーハ保持部114がウェーハ120を固定し、エアー供給部102が垂直方向に移動する構成とすることもできる。
図2を参照しながら、さらに詳細に説明すると、連結部116側の第1エアー吹き出し口108は、エアー供給口122側の第1エアー吹き出し口108とは逆方向に角度が付けられていて、ウェーハ120の垂直方向の中心線に対して周辺部から中央部に向かってエアーを吹き付けるようになっている。
第2エアー吹き出し口110も第1エアー吹き出し口108と同様の構成になっている。
このような構成により、水滴をウェーハ120の垂直方向の中心線に対して中央部に集めることができる。
A線上では、まずウェーハの垂直方向の中央線に対する中央部にエアーが吹き付けられる。ここでエアーが吹き付けられた液滴は、その重力と吹き付け圧力差から主に下方に落下していく。側方に移動しようとしても、曲げられた吹き出し管から吹き出されるエアーに妨げられ、移動できない。
ウェーハの上方移動が進んだB線上では、既にウェーハ120の垂直方向の中央線に対する中央部では、エアー吹き出し口が通過してしまっているため、エアー吹き出し圧力が低下している。一方、ウェーハ外周部では、ちょうどエアー吹き出し口が通過しているので、エアーの吹き出し圧力が高まっている。この圧力差により、ウェーハ120の表面の液滴は、ウェーハの垂直方向の中央線に対する外周部から中央部へ集められる。さらに液滴が集められることにより、その重力が増加する。
最終的にウェーハ120の垂直方向の中央線に対する中央部の最下端に集まった液滴は、増加重力が表面張力を上回り、自然に落下しやすい状態にあり、さらに吹き付けられたエアーにより落下する。
また、第1エアー供給管104、及び、第2エアー供給管106は、図1では、中央部が高くなっているものを例示したが、第1エアー吹き出し口108、及び、第2エアー吹き出し口110が、図2に示すようにウェーハに対して角度をつけて設けられているものであれば、第1エアー供給管104、及び、第2エアー供給管106は、曲がっていなくても良い。
上記で説明した図1のウェーハの乾燥装置100を用いて、ウェーハ120をエアー供給部102に対して相対的に上方向に移動させながら、第1エアー供給管104に設けられた複数のエアー吹き出し口108、及び、第2エアー供給管106に設けられた複数のエアー吹き出し口110から、エアーを吹き付けて、ウェーハ120の表面に付着した液体をウェーハの垂直方向の中心線に対して中央部に寄せながら落下させて、ウェーハ120の両面を同時に乾燥させる。
(実施例)
エアー供給管の外径a:直径13mm
エアー供給管の内径b:直径9mm
エアー供給管の肉厚c:直径2mm
吹き出し口径d :直径1mm
吹き出し口間隔e :5mm
吹き出し口角度(水平方向)f:15°
エアー供給管の間隔g:中央部15mm、端部17mm
エアー供給管の曲げ角度h:165°
エアー供給圧力 :0.5MPa
ウェーハ移動速度j :25mm/sec
吹き出し口角度(上下方向)k:−5°
実施例と同様のシリコンウェーハの両面乾燥を、以下の点を除いて実施例と同様のウェーハの乾燥装置により行った。ただし、比較例においては、エアー供給管を曲げない構成とし(すなわち、エアー供給管の曲げ角度h:180°)、吹き出し口角度(水平方向)fを0°とし、吹き出し口角度(上下方向)kを0°とし、吹き出し口間隔eを10mmとし、エアー供給管の間隔gを17mmの平行配置とした。
その結果、比較例の両面乾燥後のシリコンウェーハでは、図8(c)に示したような乾き残しによる測定異常が5%発生したが、実施例の両面乾燥後のシリコンウェーハでは、上記の測定異常を0.5%に低減することができた。
104、204…第1エアー供給管、 106、206…第2エアー供給管、
108、208…第1エアー吹き出し口、 110、210…第2エアー吹き出し口、
112、212…エアー、 114…ウェーハ保持部(ウェーハハンド)、
116…連結部、 120、220…ウェーハ、 122…エアー供給口、
124…第1エアー供給口、 126…第2エアー供給口、 230…乾き残し、
234…水滴、 136、236…ウェーハ最下点の水滴、
a…エアー供給管の外径、 b…エアー供給管の内径、 c…エアー供給管の肉厚、
d…吹き出し口径、 e…吹き出し口間隔、 f…吹き出し口角度(水平方向)、
g…エアー供給管の間隔、 h…エアー供給管の曲げ角度、 i…エアー供給圧力、
j…ウェーハ移動速度、 k…吹き出し口角度(上下方向)。
Claims (6)
- ウェーハの両面を同時に乾燥させるウェーハの乾燥装置であって、
前記ウェーハの第1表面側に設けられた第1エアー供給管と、前記ウェーハの第2表面側に設けられた第2エアー供給管とを有するエアー供給部と、
前記ウェーハを垂直に保持するウェーハ保持部と
を含み、
前記ウェーハが前記エアー供給部に対して相対的に移動するように構成され、
前記第1エアー供給管には、前記ウェーハ側に所定の間隔で隔てられた複数の第1エアー吹き出し口が設けられ、
前記第2エアー供給管には、前記ウェーハ側に所定の間隔で隔てられた複数の第2エアー吹き出し口が設けられ、
前記複数の第1エアー吹き出し口、及び、前記複数の第2エアー吹き出し口は、それぞれ、前記ウェーハの垂直方向の中心線に対して周辺部から中央部に向かってエアーを吹き付けるように、前記ウェーハに対して垂直方向に対して角度をつけて設けられているものであることを特徴とするウェーハの乾燥装置。 - 前記第1エアー供給管、及び、前記第2エアー供給管は、その中央部が端部より高くなっているものであることを特徴とする請求項1に記載のウェーハの乾燥装置。
- 前記エアー供給部が固定され、前記ウェーハ保持部が前記ウェーハを垂直方向に移動させるものであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のウェーハの乾燥装置。
- 前記ウェーハ保持部が前記ウェーハを固定し、前記エアー供給部が垂直方向に移動するものであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のウェーハの乾燥装置。
- 前記ウェーハは、半導体ウェーハであることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のウェーハの乾燥装置。
- 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のウェーハの乾燥装置を用いたウェーハの乾燥方法であって、
前記ウェーハを前記エアー供給部に対して相対的に上方向に移動させながら、前記複数の第1エアー吹き出し口、及び、前記複数の第2エアー吹き出し口からエアーを前記ウェーハに吹き付けて、前記ウェーハの表面に付着した液体を前記ウェーハの垂直方向の中心線に対して中央部に寄せながら落下させて、前記ウェーハの両面を同時に乾燥させることを特徴とするウェーハの乾燥方法。
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