JP2015116656A - 基板保持装置、研磨装置、研磨方法、およびリテーナリング - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の一実施形態に係る基板保持装置を備えた研磨装置を示す模式図である。図1に示すように、研磨装置は、ウェハ(基板)Wを保持し回転させるトップリング(基板保持装置)1と、研磨パッド2を支持する研磨テーブル3と、研磨パッド2に研磨液(スラリー)を供給する研磨液供給ノズル5と、ウェハWの膜厚に従って変化する膜厚信号を取得する膜厚センサ7とを備えている。膜厚センサ7は、研磨テーブル3内に設置されており、研磨テーブル3が1回転するたびに、ウェハWの中心部を含む複数の領域での膜厚信号を取得する。膜厚センサ7の例としては、光学式センサや渦電流センサが挙げられる。
2 研磨パッド
3 研磨テーブル
5 研磨液供給ノズル
7 膜厚センサ
9 研磨制御部
10 トップリング本体
11 トップリングシャフト
12 回転筒
13 モータ
14 上下動機構
16 トップリングヘッド
20 タイミングプーリ
21 トップリングヘッドシャフト
25 ロータリージョイント
26 軸受
27 上下動機構
28 ブリッジ
29 支持台
30 支柱
32 ボールねじ
38 サーボモータ
40 リテーナリング
41 フランジ
42 スペーサ
43 キャリア
45 弾性膜
45a 基板保持面
50〜53 圧力室
60 リテーナリング押圧機構
61 ピストン
62 ローリングダイヤフラム
63 リテーナリング圧力室
65 圧力調整装置
70 磁石
75 連結部材
76 軸部
77 ハブ
78 スポーク
79 ねじ
80 駆動ピン
81 ドライブリング
82 補強ピン
85 球面軸受
88 貫通穴
91 中間輪
92,102 外輪
93,101 内輪
121 円環部
122 パッド押圧部
123 ラジアル溝
124 穴
Claims (17)
- 基板を研磨パッドに押し付けるための基板保持装置であって、
前記基板を保持するトップリング本体と、
前記トップリング本体に保持された前記基板を囲むように配置されたリテーナリングとを備え、
前記リテーナリングは、前記研磨パッドに接触する環状のパッド押圧部を備え、
前記パッド押圧部は、3mm以上、7.5mm以下の幅を有することを特徴とする基板保持装置。 - 前記パッド押圧部は、3mm以上、5mm以下の幅を有することを特徴とする請求項1に記載の基板保持装置。
- 前記パッド押圧部は、5mm以上、7.5mm以下の幅を有し、
前記パッド押圧部は、前記研磨パッドに接触するパッド接触面を有し、
前記パッド接触面は、下方に突出する断面形状を有し、
前記パッド接触面の最下点は、前記パッド押圧部の内周面から3mm〜5mmの範囲内に位置していることを特徴とする請求項1に記載の基板保持装置。 - 前記パッド押圧部は、5mm以上、7.5mm以下の幅を有し、
前記パッド押圧部は、前記研磨パッドに接触するパッド接触面を有し、
前記パッド接触面は、下方に突出する断面形状を有し、
前記パッド押圧部の幅に対する、前記パッド押圧部の内周面から前記パッド接触面の最下点までの距離の比は、3/5〜2/3の範囲内にあることを特徴とする請求項1に記載の基板保持装置。 - 前記パッド押圧部の下面には、前記リテーナリングの半径方向に延びる複数のラジアル溝が形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の基板保持装置。
- 研磨パッドを支持するための研磨テーブルと、
基板を保持して、該基板を前記研磨パッドに押し付ける基板保持装置と、
前記研磨パッド上に研磨液を供給する研磨液供給ノズルとを備えた研磨装置であって、
前記基板保持装置は、前記基板を保持するトップリング本体と、前記トップリング本体に保持された前記基板を囲むように配置されたリテーナリングとを備え、
前記リテーナリングは、前記研磨パッドに接触する環状のパッド押圧部を備え、
前記パッド押圧部は、3mm以上、7.5mm以下の幅を有することを特徴とする研磨装置。 - 前記パッド押圧部は、3mm以上、5mm以下の幅を有することを特徴とする請求項6に記載の研磨装置。
- 前記パッド押圧部は、5mm以上、7.5mm以下の幅を有し、
前記パッド押圧部は、前記研磨パッドに接触するパッド接触面を有し、
前記パッド接触面は、下方に突出する断面形状を有し、
前記パッド接触面の最下点は、前記パッド押圧部の内周面から3mm〜5mmの範囲内に位置していることを特徴とする請求項6に記載の研磨装置。 - 前記パッド押圧部は、5mm以上、7.5mm以下の幅を有し、
前記パッド押圧部は、前記研磨パッドに接触するパッド接触面を有し、
前記パッド接触面は、下方に突出する断面形状を有し、
前記パッド押圧部の幅に対する、前記パッド押圧部の内周面から前記パッド接触面の最下点までの距離の比は、3/5〜2/3の範囲内にあることを特徴とする請求項6に記載の研磨装置。 - 前記パッド押圧部の下面には、前記リテーナリングの半径方向に延びる複数のラジアル溝が形成されていることを特徴とする請求項6乃至9のいずれか一項に記載の研磨装置。
- 研磨パッドとともに研磨テーブルを回転させ、
前記研磨パッド上に研磨液を供給し、
基板を前記研磨パッドに押し付けながら、3mm以上、7.5mm以下の幅を有する環状のパッド押圧部で前記基板を囲みつつ前記研磨パッドを押し付けることを特徴とする研磨方法。 - 前記パッド押圧部は、3mm以上、5mm以下の幅を有することを特徴とする請求項11に記載の研磨方法。
- 基板を研磨パッドに押し付けるための基板保持装置に使用されるリテーナリングであって、
前記研磨パッドに接触する環状のパッド押圧部を備え、
前記パッド押圧部は、3mm以上、7.5mm以下の幅を有することを特徴とするリテーナリング。 - 前記パッド押圧部は、3mm以上、5mm以下の幅を有することを特徴とする請求項13に記載のリテーナリング。
- 前記パッド押圧部は、5mm以上、7.5mm以下の幅を有し、
前記パッド押圧部は、前記研磨パッドに接触するパッド接触面を有し、
前記パッド接触面は、下方に突出する断面形状を有し、
前記パッド接触面の最下点は、前記パッド押圧部の内周面から3mm〜5mmの範囲内に位置していることを特徴とする請求項13に記載のリテーナリング。 - 前記パッド押圧部は、5mm以上、7.5mm以下の幅を有し、
前記パッド押圧部は、前記研磨パッドに接触するパッド接触面を有し、
前記パッド接触面は、下方に突出する断面形状を有し、
前記パッド押圧部の幅に対する、前記パッド押圧部の内周面から前記パッド接触面の最下点までの距離の比は、3/5〜2/3の範囲内にあることを特徴とする請求項13に記載のリテーナリング。 - 前記パッド押圧部の下面には、前記リテーナリングの半径方向に延びる複数のラジアル溝が形成されていることを特徴とする請求項13に記載のリテーナリング。
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