JP2015107579A - インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】圧電セラミックスのチッピング発生を抑制でき、アクチュエータの歩留および品質を向上できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、ベースプレート21と圧電素子24を備える。ベースプレート21は、厚み方向に貫通穴が形成されている。圧電素子は、分極処理が施された第1の圧電セラミックスと、ベースプレート21よりも厚く形成され、第1の圧電セラミックスの底面に第1の接着層を介して上面が接着されるとともに、底面の位置がベースプレート21の底面の延長上に調整された状態で下側部分が貫通穴の中に埋め込まれ、側面が第2の接着層を介してベースプレート21に接着された第2の圧電セラミックスからなる。
【選択図】図9
【解決手段】インクジェットヘッドは、ベースプレート21と圧電素子24を備える。ベースプレート21は、厚み方向に貫通穴が形成されている。圧電素子は、分極処理が施された第1の圧電セラミックスと、ベースプレート21よりも厚く形成され、第1の圧電セラミックスの底面に第1の接着層を介して上面が接着されるとともに、底面の位置がベースプレート21の底面の延長上に調整された状態で下側部分が貫通穴の中に埋め込まれ、側面が第2の接着層を介してベースプレート21に接着された第2の圧電セラミックスからなる。
【選択図】図9
Description
本実施形態は、インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法に関する。
画像等のデータを出力する装置として、インクジェット方式を採用したインクジェット記録装置が知られている。インクジェット記録装置には、微小なインク滴を用紙等の記録媒体に吐出するインクジェットヘッドが用いられる。
シェアモードシェアウォール方式のインクジェットプリントヘッドの製造方法においては、分極方向が向き合うように接着した2枚の圧電セラミックスをベースプレートに接着する。圧電セラミックス部分を機械加工にて台形状に形成した後、ダイシングソー等でオリフィス(吐出孔)の数と同数の溝を形成し、続いてメッキ法などで電極を形成することで、ベースプレート上にアクチュエータが形成される。インクジェットヘッドは、電極と接続されている外部回路からの指令により、溝の体積が変化し、この体積の変化によりオリフィス(吐出孔)からインクを吐出する。
しかしながら、従来のインクジェットヘッドの積層構造では、圧電セラミックスの材料厚や製造時の接着層厚のバラツキにより、アクチュエータを構成する上下の圧電セラミックスの厚み比が異なってしまい、アクチュエータの特性にバラツキが生じていた。また、圧電セラミックスの台形加工時に切削加工を行うが、刃物の先端がR形状であるため圧電セラミックスの麓部分(両端部分)が非常に薄くなってしまう。PZTなどの圧電セラミックスは脆く、肉薄部分が欠けることでチッピングが発生してしまい、アクチュエータを駆動するための電極パターンを形成する際に、チッピングを原因とするショートやオープンが発生してしまう問題があった。
そこで、本発明は、圧電セラミックスのチッピング発生を抑制でき、アクチュエータの歩留および品質を向上できるインクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法を提供することを解決しようとする課題とする。
本実施形態のインクジェットヘッドは、ベースプレートと圧電素子を備える。ベースプレートは、厚み方向に貫通穴が形成されている。圧電素子は、分極処理が施された第1の圧電セラミックスと、ベースプレートよりも厚く形成され、第1の圧電セラミックスの底面に第1の接着層を介して上面が接着されるとともに、底面の位置がベースプレートの底面の延長上に調整された状態で下側部分が貫通穴の中に埋め込まれ、側面が第2の接着層を介してベースプレートに接着された第2の圧電セラミックスからなる。
以下、本実施形態に係るインクジェットヘッドについて図面を参照して詳細に説明する。本実施形態のインクジェットヘッドとして、シェアモードシェアウォール方式のサイドシュータ型を例に説明する。
このインクジェットヘッドのインク吐出の原理は、板厚方向に分極された板状の2枚の圧電セラミックス(圧電素子)をその分極方向が逆向きとなるようにお互いに接着剤で貼り合わせ、その2枚の圧電セラミックスに所定の間隔で複数の溝部を形成し、これら溝部を圧力室(インク室)としてその各圧力室内にそれぞれ電極を形成し、これら電極に駆動電圧を印加することにより、各圧力室の相互間を仕切る側壁(各圧電セラミックス)を変形させて各圧力室にインク吐出用の圧力を加え、各圧力室に通じるノズルからインク滴を吐出させる方式である。
図1は、本実施形態に係るインクジェットヘッド1の斜視図である。図2は、図1に示すA−A’線におけるインクジェットヘッド1の断面図である。図3は、インクジェットヘッド1のヘッド本体部2の分解斜視図である。
図1に示すように、本実施形態に係るインクジェットヘッド1は、ヘッド本体部2と、ユニット部3と、一対の回路基板4とを備えている。インクジェットヘッド1は、インクジェットプリンタ(図示省略する)に搭載され、例えばチューブのような部品を介してインクタンク(図示省略する)に接続されている。
ヘッド本体部2は、インクを吐出するための装置である。ヘッド本体部2は、ユニット部3に取り付けられている。ユニット部3は、ヘッド本体部2とインクタンクとの間の経路の一部を形成するマニホールドや、インクジェットプリンタ内部に取り付けるための部材を備える。一対の回路基板4は、ヘッド本体部2にそれぞれ取り付けられている。
ヘッド本体部2は、図2および図3に示すように、ベースプレート21と、オリフィスプレート22と、枠部材23と、一対の圧電素子24を備えている。ヘッド本体部2の内部には、インクが供給されるインク室25が形成されている。
ベースプレート21は、例えばアルミナのようなセラミックスによって矩形の板状に形成されている。ベースプレート21は、平坦な実装面21aを有している。実装面21aには、複数の供給孔26および排出孔27が開口している。
また、図3に示すように、供給孔26は、ベースプレート21の中央部において、ベースプレート21の長手方向に所定の間隔で並んで設けられている。 供給孔26は、図2に示すように、ユニット部3のインク供給部3aに連通している。供給孔26は、インク供給部3aを介してインクタンクに接続されている。インクタンクのインクは、供給孔26からインク室25に供給される。
排出孔27は、供給孔26を挟むように二列に所定の間隔で並んで設けられている。図2に示すように、排出孔27は、ユニット部3のインク排出部3bに連通している。排出孔27は、インク排出部3bを介してインクタンクに接続されている。インク室25のインクは、排出孔27からインクタンクに回収される。このように、インクはインクタンクとインク室25との間で循環する。
オリフィスプレート22は、耐熱性の部材であり、例えばポリエステル製、ポリイミド製の矩形状のフィルムによって形成されている。オリフィスプレート22は、図2および図3に示すように、ベースプレート21の実装面21aに対向し、圧電素子24および枠材23と接着している。オリフィスプレート22には、複数のオリフィス22aが設けられている。複数のオリフィス22aは、オリフィスプレート22の長手方向に沿って二列に並んでいる。
枠部材23は、例えばニッケル合金によって矩形の枠状に形成されている。枠部材23は、ベースプレート21の実装面21aとオリフィスプレート22との間に配置されている。オリフィスプレート22は、枠部材23を介してベースプレート21に取り付けられている。
圧電素子24は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)によって形成された板状の二つの圧電セラミックスによって形成されている。この二つの圧電セラミックスは、分極方向がその厚さ方向に互いに逆向きになるように貼り合わされている。
圧電素子24は、実装面21aより突出して接着されている。そして、圧電素子24は、二列に並ぶオリフィス22aに対応して、インク室25の中に平行に配置されている。図2に示すように、圧電素子24の頂部は、オリフィスプレート22に接着されている。
図3に示すように、圧電素子24には、インクの流路を形成する複数の溝部24aが設けられている。溝部24aは、圧電素子24の長手方向と交差する方向にそれぞれ延びており、圧電素子24の長手方向に並んでいる。複数の溝部24aは、オリフィスプレート22の複数のオリフィス22aに対向している。
溝部24aには、それぞれ電極28が設けられている。電極28は、溝部24aの内面を覆っている。ベースプレート21の実装面21aには、複数の配線パターン29が設けられている。配線パターン29は、圧電素子24の長手方向と交差する方向にベースプレート21の両側端から延びており、対応する電極28とそれぞれ電気的に接続している。電極28および配線パターン29は、例えば無電解メッキ法によりニッケル薄膜などの金属膜を形成した後に、レーザーパターニングを施すことによって形成されている。
回路基板4は、図1に示すように、基板本体41と、一対のフィルムキャリアパッケージ(FCP)42とをそれぞれ有している。基板本体41は、矩形状に形成された剛性を有するプリント配線板である。基板本体41に、種々の電子部品やコネクタが実装される。また、基板本体41に、一対のFCP42がそれぞれ取り付けられている。
FCP42は、複数の配線が形成されるとともに柔軟性を有する樹脂製のフィルム43と、複数の配線に接続されたIC44とをそれぞれ有している。フィルム43は、テープオートメーテッドボンディング(TAB )である。IC44は、電極28に電圧を印加するためのものである。IC44は、樹脂によってフィルム43に固定されている。
FCP42の端部は、図2に示すように、異方性導電性フィルム(ACF)45によって、配線パターン29に熱圧着接続されている。これにより、FCP42の複数の配線は、配線パターン29に電気的に接続される。IC44は、FCP42の配線を介して電極28に電気的に接続され、電極28に電圧を印加する。
IC44が電極28に電圧を印加すると、圧電素子24の側壁がシェアモード変形することにより、電極28が設けられた溝部24aの容積が増減させられる。これにより、溝22aの中のインクの圧力が変化し、インクがオリフィス22aから吐出される。
以下、上記のように構成されたインクジェットヘッド1の製造方法を図面に基づいて説明する。
図4は、図3に示す圧電素子24を接着していない状態のベースプレート21の上面図であり、図5は、図4の下面図である。また、図6は、図3に示す圧電素子24を接着した状態のベースプレート21の上面図である。
先ず、図4に示すように、ベースプレート21の実装面21a側から底面21d側へ貫通する貫通穴21bを圧電素子24の大きさに合わせて機械加工により形成するとともに、図5に示すように、貫通穴21bの外周に沿って、底面21dから貫通穴21bに向けて傾斜する傾斜面21cを機械加工により形成し、一次加工体を得る。
次に、図6に示すように、貫通穴21bの中に圧電素子24を埋め込み、ベースプレート21に接着することで二次加工体を得る。このとき、圧電素子24の底面とベースプレート21の底面21dはフラットとなるように位置決めされ、ベースプレート21と圧電素子24の周囲の隙間部分に接着剤を流し込むことで接着する。図7は、図6に示すB−B’線におけるインクジェットヘッド1の断面図である。同図に示されるように、圧電素子24は、分極処理が施された上部圧電セラミックス242と、ベースプレート21よりも厚く形成され、上部圧電セラミックス242の底面に接着層244を介して上面が接着された下部圧電セラミックス243からなる。また、下部圧電セラミックス243の側面とベースプレート21の貫通穴21bの側壁の間には接着層241が形成され、接着されている。ベースプレート21には、貫通穴21bの外周に傾斜面21cが形成され、圧電素子24が挿入される部分が底面21dの他の部分より凹んだ構造となっているため、圧電素子24の接着時に表面から流し込まれた接着剤の逃げ溝が形成されている。このため、接着剤の流入時における圧電素子24の浮き上がりが防止され、圧電素子24の底面とベースプレート21の底面21dとの垂直方向における位置関係も維持される。
次に、ベースプレート21に接着された圧電素子24の上面および角部に対して切削加工を施し、三次加工体を得る。図8は、図7に示すインクジェットヘッド1の切削加工後の状態を示す断面図であり、図9は、図8に示すインクジェットヘッド1の破線部分の拡大断面図である。これらの図に示されるように、ベースプレート21に接着された圧電素子24の上面部分および角部部分に対して切削加工を施すと、ベースプレート21から短手方向から見て、実装面21aより突出した部分は台形形状、断面形状は5角形状に形成される。ベースプレート21の中に圧電素子24の下側部分を埋め込んだ構造になるため、従来構造では切削加工後に薄くなっていた圧電素子24の台形麓部(図9の破線部分)の厚さが薄くならず、強度を保つことができる。このため、圧電素子24の台形麓部におけるチッピングの発生が抑制され、チッピングを原因とする配線パターンのショートやオープンといった問題が発生しにくくなっている。
次に、図8および図9のように成形された圧電素子24に対して例えばダイシングソー等を用いた切削加工によって、長手方向において所定の間隔を有するように複数の溝部24aを形成し、四次加工体を得る。図10は、インクジェットヘッド1の溝形成処理後の斜視図である。同図に示されるように、複数の溝部24aは、側壁により仕切られており、溝幅は例えば80μm、長手方向に169μmのピッチで溝を形成した場合には、側壁の厚さは例えば89μmと非常に薄く形成される。
そして、図10のように加工された四次加工体に対して電極生成処理を行う。図11は、図10に示すインクジェットヘッド1の電極形成処理後の状態を示す斜視図である。電極形成処理は、例えば無電解メッキ法を用いて少なくとも圧電素子24の四次加工体の表面に金属膜を形成し、五次加工体を得る。溝部24aおよびベースプレート21の表面に金属膜による電極28および配線パターン29がそれぞれ形成され、アクチュエータ列を得る。金属膜を形成する手法としてスパッタ法、CVD法、メッキ法等があるが、本実施形態では溝部24aの内部まで金属膜を確実に形成し得るために、無電解メッキ法を選択しているが、成膜方法はこれに限られない。
また、必要に応じて、図10のように形成した金属膜に対してレーザ光の照射により、金属膜の不要部分を除去する電極分離除去(レーザパターニング処理)を行う。レーザパターニング処理の前の工程として、ベースプレート21の表面における各電極28の形成予定部位を予めレーザ光の照射により滑らかにし、金属膜がベースプレート21の深さ方向に析出するのを未然に防ぐようにすると好適である。
このように、本実施形態によれば、ベースプレート21に圧電素子24を埋め込んだ構造になるため、圧電素子24の実装面21aから突出する台形麓部の厚さが従来の積層構造のように薄くなることは無く、切削加工後も強度が保たれる。すなわち、チッピングの発生が抑制されるため、チッピングを原因とする配線パターンのショートやオープンといった問題が回避される。また、チッピングの発生が抑制される結果、圧電素子24の補修作業が生じ無くなるため、インクジェットヘッドの歩留を向上させることもできる。
更に、従来の積層構造では、アクチュエータ特性のバラツキ要因は、ベースプレート21と下部圧電セラミックス243の材料厚およびベースプレート21と下部圧電セラミックス243との間の接着層厚の誤差に起因していたが、本実施形態の積層構造では、下部圧電セラミックス243の材料厚のみに限定されるため、アクチュエータ特性のバラツキを格段に軽減することができ、アクチュエータの品質を向上させることもできる。
以上、本発明の実施形態を説明したが、本実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。この新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。本実施形態およびその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
21…ベースプレート、
21a…実装面、
21b…貫通穴、
21c…傾斜面、
24…圧電素子、
24a…溝部、
241…接着層、
242…上部圧電セラミックス、
243…下部圧電セラミックス、
244…接着層。
21a…実装面、
21b…貫通穴、
21c…傾斜面、
24…圧電素子、
24a…溝部、
241…接着層、
242…上部圧電セラミックス、
243…下部圧電セラミックス、
244…接着層。
Claims (4)
- 厚み方向に貫通穴が形成されたベースプレートと、
分極処理が施された第1の圧電セラミックスと、前記ベースプレートよりも厚く形成され、前記第1の圧電セラミックスの底面に第1の接着層を介して上面が接着されるとともに、底面の位置が前記ベースプレートの底面の延長上に調整された状態で下側部分が前記貫通穴の中に埋め込まれ、側面が第2の接着層を介して前記ベースプレートに接着された第2の圧電セラミックスからなる圧電素子と、
を備えることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記貫通穴の下端部の周りに、前記ベースプレートの底面から前記貫通穴に向けて傾斜した傾斜面が形成されていることを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッド。
- ベースプレート内に厚み方向で貫通穴を形成するステップと、
分極処理が施された第1の圧電セラミックスの底面に、前記ベースプレートよりも厚く形成された第2の圧電セラミックスが第1の接着層を介して接着されている圧電素子の下側部分を、前記第2の圧電セラミックスの底面の位置が前記ベースプレートの底面の延長上に調整された状態で前記貫通穴の中に埋め込むステップと、
前記第2の圧電セラミックスの側面と前記ベースプレートの隙間に第2の接着層を形成して接着するステップと、
を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記貫通穴の下端部の周りに、前記ベースプレートの底面から前記貫通穴に向けて傾斜した傾斜面を形成するステップを更に有することを特徴とする請求項3記載のインクジェットヘッドの製造方法。
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JP2013250982A JP2015107579A (ja) | 2013-12-04 | 2013-12-04 | インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法 |
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