JP2015107446A - 塗工装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】製造したリチウムイオン二次電池用電極が不良品となるのを防ぐことができる塗工装置を提供する。【解決手段】塗工チャンバー3の液溜部3bには非導電性のアルミナからなる粒状体を多数含む難燃剤10が溜められる。液溜部3bの難燃剤10には塗工ロール2の一部が浸される。塗工ロール2のロール径方向両側にドクターブレード6とシールプレート7とが圧接される。一対のサイドシール8が塗工ロール2のロール軸心方向両側に圧接され、ドクターブレード6とシールプレート7とで液溜部3bが密閉される。塗工チャンバー3における液溜部3bに面する領域は、アルミナセラミックス層Laで形成されている。【選択図】図1

Description

本発明は、連続搬送される電池用基材に難燃剤を塗工する塗工装置に関する。
従来より、例えば、特許文献1の塗工装置は、塗工ロールと、液溜部を有する塗工チャンバーとを備え、上記液溜部は、上記塗工ロールの一部を収容している。上記塗工ロールの上方にはドクターブレードが、上記塗工ロールの下方にはシールプレートが配置され、上記ドクターブレード及び上記シールプレートは上記塗工ロールの上下に対向して上記塗工ロールの外周面を圧接している。さらに、上記塗工ロールのロール軸心方向両側の外周面には、それぞれサイドシールが圧接していて、上記ドクターブレード、上記シールプレート及び上記両サイドシールで上記液溜部が密閉されている。そして、上記塗工装置は、塗工ロールの回転動作により、上記ドクターブレードで余分な塗工液を掻き取って計量された塗工液を連続搬送される帯状の基材に塗工するようになっている。
ところで、近年、リチウムイオン二次電池を製造する過程において、短絡発生時の発火防止を目的として、上述の如き塗工装置を用いて二次電池を構成する長尺の正極シート、負極シート、及びセパレータシートに難燃性の塗工液を塗工することがある。
特開2002−177836号公報
しかし、上述の如き二次電池の製造に用いられる難燃性の塗工液には、アルミナ等の非導電性の比較的硬い多数の粒状体が含まれており、塗工液の流れによって上記各粒状体が液溜部、流入孔及び流出孔の各形成面に加える摩擦力や、塗工液が液溜部内で回転する塗工ロールに連れ回されて渦を巻くことで上記各粒状体が液溜部、流入孔及び流出孔の各形成面に加える衝突力によって、当該液溜部、流入孔及び流出孔の各形成面が摩耗して不要物が塗工液中に混入してしまうおそれがある。特に、塗工チャンバーが導電性を有する材質からなると、塗工液中に導電性の物質が含まれてしまい、製造した二次電池用電極が短絡し易い不良品となるおそれがある。
本発明は、斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、製造したリチウムイオン二次電池用電極が不良品となるのを防ぐことができる塗工装置を提供することにある。
上記の目的を達成するために、本発明は、塗工チャンバーにおける液溜部の形成面の硬度を高めたことを特徴とする。
具体的には、非導電性の粒状体を多数含む塗工液が溜まる塗工チャンバーの液溜部に一部が浸された塗工ロールのロール径方向両側にドクターブレードとシールプレートとをロール径方向両側から対向させて上記塗工ロールに圧接させるとともに、一対のサイドシールを上記塗工ロールのロール軸心方向両側に圧接させて上記液溜部が密閉された塗工装置を対象とし、次のような解決手段を講じた。
すなわち、第1の発明では、上記塗工チャンバーの少なくとも上記液溜部に面する領域は、耐摩耗性セラミックス又はダイヤモンドライクカーボンで形成されていることを特徴とする。
第2の発明では、第1の発明において、上記塗工チャンバーは、複数の分割体を備え、該各分割体の分割箇所には、各々が組み合わさった状態で当接する当接部が設けられ、上記複数の分割体における各々の当接部を当接させて分割体同士を組み合わせた状態で、上記当接部以外の分割箇所に上記液溜部に対して塗工液を流出入する流入孔及び流出孔が形成され、上記塗工チャンバーの上記流入孔及び上記流出孔に面する領域も耐摩耗性セラミックス又はダイヤモンドライクカーボンで形成されていることを特徴とする。
第3の発明では、第1又は第2の発明において、上記塗工チャンバーは、アルミニウム合金材又はステンレス鋼材からなるチャンバー本体と、該チャンバー本体における上記液溜部の形成面に被覆された耐摩耗性セラミックス層とを備えていることを特徴とする。
第4の発明では、第3の発明において、上記塗工液に含まれる粒状体は、上記耐摩耗性セラミックス層と同種の耐摩耗性セラミックスを含んでいることを特徴とする。
第5の発明では、第3又は第4の発明において、上記耐摩耗性セラミックス層は、プラズマ電解反応を用いた表面処理方法によって形成されたアルミナセラミックス層であることを特徴とする。
第6の発明では、第5の発明において、上記アルミナセラミックス層は、上記塗工チャンバーに密着する緻密層と、該緻密層の表面に密着する多孔質層とからなることを特徴とする。
第7の発明では、第1又は第2の発明において、上記塗工チャンバーは、アルミニウム合金材又はステンレス鋼材からなるチャンバー本体と、該チャンバー本体における上記液溜部の形成面に被覆されたダイヤモンドライクカーボン層とを備えていることを特徴とする。
第8の発明では、第3から第6のいずれか1つの発明において、上記耐摩耗性セラミックス層は、硬度が800Hv以上であることを特徴とする。
第9の発明では、第7の発明において、上記ダイヤモンドライクカーボン層は、硬度が800Hv以上であることを特徴とする。
第10の発明では、第1の発明において、上記塗工チャンバーは、アルミナで一体形成されていることを特徴とする。
第11の発明では、第1から第10のいずれか1つの発明において、上記塗工ロールの少なくとも外周面を含む領域は、セラミックスで形成され、上記ドクターブレードは、樹脂材で形成されていることを特徴とする。
第1の発明では、難燃性の塗工液中に含まれる各粒状体が塗工チャンバーにおける液溜部の形成面に衝突したり擦れたりしても、液溜部の形成面の硬度が高いので、当該液溜部の形成面が摩耗し難い。したがって、摩耗により発生した不要物が難燃性の塗工液中に混ざって二次電池用電極が不良品になってしまうことを防ぐことができる。また、もし仮に各粒状体による摩耗で耐摩耗性セラミックス層又はダイヤモンドライクカーボン層が剥がれても、当該セラミックス層及びダイヤモンドライクカーボン層は非導電性なので、塗工液中に混ざった場合においても製造された二次電池用電極が不良品になり難くなる。
第2の発明では、塗工チャンバーにおける液溜部の形成面だけでなく、流入孔及び流出孔の形成面も硬度が高くなって摩耗し難くなるので、摩耗による塗工チャンバーからの不要物の剥がれをさらに防ぐことができる。
第3又は第7の発明では、塗工チャンバーの必要な箇所だけ硬度が高くなるように加工を施すので、無駄な加工を減らして塗工チャンバーの製造コストを抑えることができる。
第4の発明では、塗工液が液溜部の形成面に被覆された耐摩耗性セラミックス層と同種の粒状体を含むので、耐摩耗性セラミックス層が剥がれて塗工液中に混ざっても塗工液の性質は変わらず、製造した二次電池用電極が不良品となるのを防ぐことができる。
第5の発明では、塗工チャンバーの液溜部に面する領域の耐衝撃性が高くなり、塗工時に耐摩耗性セラミックス層がさらに剥げ難くなる。
第6の発明では、耐食性と耐剥離性とが共に高い装置にすることができる。
第8の発明では、耐摩耗性セラミックス層が、粒状体に対して高い耐衝撃性を有するようになるので、塗工時に上記耐摩耗性セラミックス層が剥げることを防ぐことができる。
第9の発明では、ダイヤモンドライクカーボン層が、粒状体に対して高い耐摩耗性を有するようになるので、塗工時に上記ダイヤモンドライクカーボン層が剥げることを防ぐことができる。
第10の発明では、塗工チャンバーを一体で形成するので、第3の発明の如きチャンバー本体を加工した後に該チャンバー本体に耐摩耗性セラミックス層を被覆するのに比べて塗工チャンバーの製作時間が短くなり、製作にかかる手間を少なくすることができる。
第11の発明では、ドクターブレードで塗工ロール外周面に付着する余分な塗工液を掻き取る際、もし仮に、塗工ロール外周面及びドクターブレード先端の一部が摩耗により剥がれて塗工液に混ざっても、塗工ロール及びドクターブレードの材質が非導電性なので、製造された二次電池用電極が不良品になり難くなる。
本発明の実施形態1に係る塗工装置を側面から見た概略図である。 図1のA部拡大図である。 本発明の実施形態2の図1相当図である。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。尚、以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎない。
《発明の実施形態1》
図1は、本発明の実施形態1に係る塗工装置1を示す。該塗工装置1は、複数のガイドロール11(図1には2つのみ示す)にガイドされて上方向(図1の搬送方向X1)に搬送される電池用基材Wに難燃剤10(塗工液)を塗工して保護層を形成するものである。
上記電池用基材Wは、図示しないが厚み10〜20μm程度の銅箔からなる集電体と、該集電体両面の基材搬送方向に連続して貼り付けられた厚み50〜100μm程度の活物質層とからなっている。
また、上記難燃剤10には、略2μm以下で、且つ、硬度が約2000Hv程度である非導電性のアルミナからなる粒状体10aが多数含まれている。尚、図2の粒状体10aは、便宜上、誇張して記載している。
上記塗工装置1は、図示しない装置固定側に回転可能に軸支されたセラミックス製の塗工ロール2を備え、該塗工ロール2の外周面には、図示しない多数のセルが凹陥形成されている。
上記塗工ロール2におけるロール径方向の一側方には、当該塗工ロール2のロール回転軸心方向に延びる塗工チャンバー3が設けられている。
該塗工チャンバー3は、上記塗工ロール2側に開口する断面略U字状のアルミニウム合金製チャンバー本体3aを備え、該チャンバー本体3aの内方は、上記難燃剤10を溜める液溜部3bとなっており、該液溜部3bに上記塗工ロール2の一部が浸されている。
上記チャンバー本体3aは、上記塗工チャンバー3の反塗工ロール2側を構成する第1分割体4と、該第1分割体4上部の塗工ロール2側に位置する第2分割体5aと、上記第1分割体4下部の塗工ロール2側に位置する第3分割体5bとに分割されている。
上記第1分割体4における塗工ロール2側には、該塗工ロール2側に膨出する断面略山形状をなす膨出部4aが形成され、該膨出部4aの上記塗工ロール2側の面は、反塗工ロール2側に浅く窪む形状をなして上記液溜部3bを形成する形成面40aを構成している。
また、上記第1分割体4の上部及び下部には、上記塗工ロール2の回転軸心方向と交差する水平方向に貫通する上側貫通孔4b及び下側貫通孔4cがそれぞれ貫通形成されている。
上記第1分割体4上部の上記第2分割体5aとの分割箇所、すなわち、上記第1分割体4における塗工ロール2側の上記形成面40aより上方の面は、上側当接部40bを構成している。
一方、上記第1分割体4下部の上記第3分割体5bとの分割箇所、すなわち、上記第1分割体4における塗工ロール2側の上記形成面40aより下方の面は、下側当接部40cを構成している。
そして、上記液溜部3bの形成面40a、上側当接部40b、下側当接部40c、上側貫通孔4bの形成面40d、及び下側貫通孔4cの形成面40eには、耐摩耗性セラミックス層で、且つ、上記難燃剤10に含まれるアルミナの粒状体10aと同種であるアルミナセラミックス層Laが被覆され、上記液溜部3bの形成面40aに被覆されたアルミナセラミックス層Laの厚みH1は、上記上側貫通孔4bの形成面40d及び上記下側貫通孔4cの形成面40eに被覆されたアルミナセラミックス層Laの厚みH2と略同じとなっている。
上記第2分割体5aは、断面が略矩形状で上記塗工ロール2の回転軸心方向に延びる角棒状をなしており、その分割箇所には、上記第1分割体4と組み合わさった状態で上記上側当接部40bに当接する当接部50bと、上記上側貫通孔4bに対応する位置から塗工ロール2側の斜め下方に延びる凹条溝50cとが設けられ、該凹条溝50cの上半部分は、塗工ロール2側に大きく窪む形状をなしている。
上記第2分割体5aの反第1分割体4側の上下に真っ直ぐに延びる面、上記当接部50b及び上記凹条溝50cには、上記アルミナセラミックス層Laが被覆され、該アルミナセラミックス層Laの厚みH3は、層Laの厚みH2と略同じとなっている。
また、上記第3分割体5bは、上記第2分割体5aに対して上下に対称に配置されている点を除いて上記第2分割体5aと略同一の構造をしているので、上記第2分割体5aと同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
そして、上記第2分割体5aの当接部50bを上記第1分割体4の上側当接部40bに当接させて第1分割体4と第2分割体5aとを組み合わせた状態で、上記上側貫通孔4bと上記凹条溝50cとで上記難燃剤10を上記液溜部3bから流出させる断面略S字状の流出孔3dが形成される一方、上記第3分割体5bの当接部50bを上記第1分割体4の下側当接部40cに当接させて第1分割体4と第3分割体5bとを組み合わせた状態で、上記下側貫通孔4cと上記凹条溝50cとで上記難燃剤10を上記液溜部3bに流入させる断面略S字状の流入孔3cが形成されるようになっている。
上記アルミナセラミックス層Laは、プラズマ電解反応を用いた所謂PEO(Plasma electrolytic oxidation)と呼ばれる表面処理方法によって形成され、その表面処理方法の具体的な例として、倉敷ボーリング機工株式会社が開発した「KURACERA」と呼ばれる表面処理方法がある。
上記アルミナセラミックス層Laは、硬度が800Hv以上で、且つ、体積抵抗率が1.0×10−3(Ω・m)以上であり、硬質Crメッキ層と同等以上の硬度で、且つ、アルミニウムの陽極酸化皮膜(約400Hv)以上の硬度を有するとともに硬質Crメッキ層よりも電気を通し難い特性を有している。
また、上記アルミナセラミックス層Laは、図2に示すように、上記チャンバー本体3aに密着する緻密層La1と、該緻密層La1の表面に密着する多孔質層La2とからなっている。尚、図1及び図2アルミナセラミックス層Laは、便宜上、誇張して記載している。
上記第2分割体5aの反第1分割体4側には、板状をなす樹脂製ドクターブレード6が下方に真っ直ぐ延びる姿勢で固定ブロック6aにより固定されている。
上記ドクターブレード6の下端は、上記塗工ロール2の外周面に圧接して上記液溜部3bのロール回転方向下流側をシールするとともに、上記外周面に付着する余分な難燃剤10を上記塗工ロール2の回転動作により掻き取って計量するようになっている。
一方、上記第3分割体5bの反第1分割体4側には、板状をなす樹脂製シールプレート7が上方に真っ直ぐ延びる姿勢で固定ブロック7aにより固定されている。
上記シールプレート7は、上記ドクターブレード6に対向するとともに上端が上記塗工ロール2の外周面に圧接していて、上記液溜部3bのロール回転方向上流側をシールしている。
さらに、上記塗工チャンバー3のロール回転軸心方向端部には、樹脂製サイドシール8が一対取り付けられ、上記ドクターブレード6、上記シールプレート7及び上記両サイドシール8で上記液溜部3bを密閉するようになっている。
そして、上記塗工装置1は、難燃剤循環装置(図示せず)により上記流入孔3c及び流出孔3dを介して上記液溜部3bに溜まる難燃剤10を循環させながら上記塗工ロール2による上記電池用基材Wの搬送方向X1と逆方向X2(図1参照)の回転動作により上記電池用基材Wに難燃剤10を塗工するようになっている。
本発明の実施形態1では、塗工装置1による塗工時において、塗工ロール2の回転速度を約50〜150m/minに設定しており、上記液溜部3bにおいて上記塗工ロール2の回転動作によって連れ回る難燃剤10の速度は、上記塗工ロール2の回転速度と同等になっている。この難燃剤10の連れ周り速度は、流入孔3cにおける難燃剤10の流入速度に対して2〜5倍の速度であり、難燃剤10中のアルミナからなる多数の粒状体10aが塗工チャンバー3における液溜部3bの形成面40aに大きな衝撃を加えることになるが、本発明の実施形態1によると、上記塗工チャンバー3には、上述の如きアルミナセラミックス層Laが被覆されており、難燃剤10中に含まれる各粒状体10aが塗工チャンバー3における液溜部3bの形成面40aに衝突したり擦れたりしても、液溜部3bの形成面40aの硬度が高いので、当該液溜部3bの形成面40aが摩耗し難い。したがって、摩耗により発生した不要物が難燃剤10に混ざって二次電池用電極が不良品になってしまうことを防ぐことができる。また、もし仮に各粒状体10aによる摩耗でアルミナセラミックス層Laが剥がれても、当該アルミナセラミックス層Laは非導電性なので、塗工液中に混ざった場合においても製造された二次電池用電極が不良品になり難くなる。
また、塗工チャンバー3における液溜部3bの形成面40aだけでなく、流入孔3c及び流出孔3dの形成面40d,40eも硬度が高くなって摩耗し難くなるので、摩耗による塗工チャンバー3からの不要物の剥がれをさらに防ぐことができる。
さらに、塗工チャンバー3の必要な箇所だけ硬度が高くなるように加工を施すので、無駄な加工を減らして塗工チャンバー3の製造コストを抑えることができる。
それに加えて、難燃剤10が該液溜部3bの形成面40aに被覆されたアルミナセラミックス層Laと同種の粒状体10aを含むので、アルミナセラミックス層Laが剥がれて難燃剤10中に混ざっても難燃剤10の性質は変わらず、製造した二次電池用電極が不良品となるのを防ぐことができる。
また、アルミナセラミックス層Laは、プラズマ電解反応を用いた表面処理方法によって形成しているので、塗工チャンバー3の液溜部3bに面する領域の耐衝撃性が高くなり、塗工時にアルミナセラミックス層Laがさらに剥げ難くなる。
また、アルミナセラミックス層Laは、緻密層La1と多孔質層La2とが積層されて形成されているので、耐食性と耐剥離性とが共に高い塗工装置1にすることができる。
また、アルミナセラミックス層Laは、800Hv以上の硬度を有し、液溜部3bにおいて塗工ロール2の回転動作によって連れ回る難燃剤10のアルミナからなる粒状体10aによって大きな衝撃が液溜部3bの形成面40aに加わっても、アルミナセラミックス層Laが粒状体10aに対して高い耐衝撃性を有するようになるので、塗工時に上記アルミナセラミックス層Laが剥げることを防ぐことができる。
また、ドクターブレード6で塗工ロール2外周面に付着する余分な難燃剤10を掻き取る際、もし仮に、塗工ロール2外周面及びドクターブレード6先端の一部が摩耗により剥がれて難燃剤10に混ざっても、塗工ロール2及びドクターブレード6の材質が非導電性なので、製造された二次電池用電極が不良品になり難くなる。
尚、本発明の実施形態1では、第1分割体4、第2分割体5a及び第3分割体5bにアルミナセラミックス層Laを被覆させているが、これに限らず、例えば、ダイヤモンドライクカーボン(以下、DLC)層Lbを被覆させてもよい。該DLC層Lbは、まず、上記第1分割体4、第2分割体5a及び第3分割体5bに無電解ニッケルメッキを施した後、当該無電解ニッケルの上面に真空蒸着法によりDLCを蒸着させて形成する。上記DLC層Lbは、800Hv以上の硬度を有していて、粒状体10aに対して高い耐摩耗性を有するので、塗工時に各粒状体10aによって大きな力が上記形成面40aに加わっても、上記DLC層Lbは剥げ難い。したがって、上述したアルミナセラミックス層Laと同様に、難燃剤10中に含まれる各粒状体10aが塗工チャンバー3における液溜部3bの形成面40aに衝突しても、DLC層Lbによって液溜部3bの形成面40aが摩耗し難くなり、摩耗により発生した不要物が難燃剤10中に混ざって二次電池用電極が不良品になることを防ぐことができる。
また、本発明の実施形態1では、チャンバー本体3aをアルミニウム合金材で形成しているが、これに限らず、ステンレス鋼材で形成してもよい。
さらに、本発明の実施形態1では、液溜部3bの形成面40aにアルミナセラミックス層Laを被覆しているが、液溜部3bの形成面40aにアルミナセラミックス層Laを被覆した後、該アルミナセラミックス層Laの表面にさらにアルミナを溶射することでアルミナ層を形成して液溜部3bの形成面40aにおける耐摩耗性、及び耐久性をさらに高めるようにしてもよい。
《発明の実施形態2》
図2は、本発明の実施形態2に係る塗工装置1を示す。この実施形態2では、塗工チャンバー3の構造が実施形態1と異なるだけでその他は実施形態1と同じであるため、以下、実施形態1と異なる部分のみを説明する。
実施形態2の塗工チャンバー3は、アルミナで一体形成されている。すなわち、上記塗工チャンバー3の上記液溜部3bに面する領域と、流入孔3cに面する領域(形成面40d)と、流出孔3dに面する領域(形成面40e)とが耐摩耗性セラミックスで形成されている。
したがって、本発明の実施形態2によると、塗工チャンバー3を一体で形成するので、実施形態1の如きチャンバー本体3aを加工した後に該チャンバー本体3aにアルミナセラミックス層Laを被覆するのに比べて塗工チャンバー3の製作時間が短くなり、製作に係る手間を少なくすることができる。
尚、本発明の実施形態1,2では、塗工ロール2をセラミック製としているが、ステンレス材や樹脂材で形成してもよい。また、金属製の塗工ロール2にセラミックコートや硬質炭素膜を表面処理したものや樹脂製の塗工ロール2にメッキ処理を施したものを用いてもよい。
さらに、本発明の実施形態1,2では、上記シールプレート7は樹脂製のものを使用したが、その他の材質のものでもよく、例えば、ステンレス製やゴム製のものを用いてもよい。また、金属にセラミックコートを施したものを用いてもよい。また、金属製のシールプレート7にセラミックコート、硬質炭素膜を表面処理したものや樹脂製のシールプレート7にメッキ処理を施したものを用いてもよい。
それに加えて、本発明の実施形態1,2では、上記ドクターブレード6は、樹脂製のものを使用したが、その他の材質のものでもよく、例えば、金属製及びゴム製のものを用いてもよい。また、金属製のドクターブレード6にセラミックコート、硬質炭素膜を表面処理したものや樹脂製のドクターブレード6にメッキ処理を施したものを用いてもよい。
そして、本発明の実施形態1,2の塗工装置1は、銅箔からなる集電体と活物質層とからなる電池用基材Wに対して塗工を行っているが、これに限らず、リチウムイオン2次電池用の樹脂製セパレータフィルムとなる電池用基材Wに対して塗工を行うこともできる。
本発明は、連続搬送される電池用基材に難燃剤を塗工する塗工装置に適している。
1 塗工装置
2 塗工ロール
3 塗工チャンバー
3a チャンバー本体
3b 液溜部
3c 流入孔
3d 流出孔
4 第1分割体
5a 第2分割体
5b 第3分割体
6 ドクターブレード
7 シールプレート
8 サイドシール
10 難燃剤
10a 粒状体
40a 液溜部の形成面
40b 上側当接部
40c 下側当接部
40d 流入孔の形成面
40e 流出孔の形成面
50b 当接部
50c 凹条溝
La アルミナセラミックス層
La1 緻密層
La2 多孔質層
Lb ダイヤモンドライクカーボン層
W 電池用基材

Claims (11)

  1. 非導電性の粒状体を多数含む塗工液が溜まる塗工チャンバーの液溜部に一部が浸された塗工ロールのロール径方向両側にドクターブレードとシールプレートとをロール径方向両側から対向させて上記塗工ロールに圧接させるとともに、一対のサイドシールを上記塗工ロールのロール軸心方向両側に圧接させて上記液溜部が密閉された塗工装置であって、
    上記塗工チャンバーの少なくとも上記液溜部に面する領域は、耐摩耗性セラミックス又はダイヤモンドライクカーボンで形成されていることを特徴とする塗工装置。
  2. 請求項1に記載の塗工装置において、
    上記塗工チャンバーは、複数の分割体を備え、該各分割体の分割箇所には、各々が組み合わさった状態で当接する当接部が設けられ、
    上記複数の分割体における各々の当接部を当接させて分割体同士を組み合わせた状態で、上記当接部以外の分割箇所に上記液溜部に対して塗工液を流出入する流入孔及び流出孔が形成され、
    上記塗工チャンバーの上記流入孔及び上記流出孔に面する領域も耐摩耗性セラミックス又はダイヤモンドライクカーボンで形成されていることを特徴とする塗工装置。
  3. 請求項1又は2に記載の塗工装置において、
    上記塗工チャンバーは、アルミニウム合金材又はステンレス鋼材からなるチャンバー本体と、該チャンバー本体における上記液溜部の形成面に被覆された耐摩耗性セラミックス層とを備えていることを特徴とする塗工装置。
  4. 請求項3に記載の塗工装置において、
    上記塗工液に含まれる粒状体は、上記耐摩耗性セラミックス層と同種の耐摩耗性セラミックスを含んでいることを特徴とする塗工装置。
  5. 請求項3又は4に記載の塗工装置において、
    上記耐摩耗性セラミックス層は、プラズマ電解反応を用いた表面処理方法によって形成されたアルミナセラミックス層であることを特徴とする塗工装置。
  6. 請求項5に記載の塗工装置において、
    上記アルミナセラミックス層は、上記塗工チャンバーに密着する緻密層と、該緻密層の表面に密着する多孔質層とからなることを特徴とする塗工装置。
  7. 請求項1又は2に記載の塗工装置において、
    上記塗工チャンバーは、アルミニウム合金材又はステンレス鋼材からなるチャンバー本体と、該チャンバー本体における上記液溜部の形成面に被覆されたダイヤモンドライクカーボン層とを備えていることを特徴とする塗工装置。
  8. 請求項3から6のいずれか1つに記載の塗工装置において、
    上記耐摩耗性セラミックス層は、硬度が800Hv以上であることを特徴とする塗工装置。
  9. 請求項7に記載の塗工装置において、
    上記ダイヤモンドライクカーボン層は、硬度が800Hv以上であることを特徴とする塗工装置。
  10. 請求項1に記載の塗工装置において、
    上記塗工チャンバーは、アルミナで一体形成されていることを特徴とする塗工装置。
  11. 請求項1から10のいずれか1つに記載の塗工装置において、
    上記塗工ロールの少なくとも外周面を含む領域は、セラミックスで形成され、
    上記ドクターブレードは、樹脂材で形成されていることを特徴とする塗工装置。
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