JP2015102629A - 検出ユニットおよびレーザ共焦点顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、所定の光形式の光を入射させる検出用入射ポートと、該検出用入射ポートから入射された光の少なくとも一部を検出する検出部と、前記検出用入射ポートに入射した光の少なくとも他の一部を同一の光形式で出射可能な検出用出射ポートとを備える検出ユニットを提供する。
その結果、隣接させる検出ユニットの増設や交換によって、検出チャンネル数の増加や検出部の位置すなわち配置順序の変更を容易かつ低コストで行うことができる。
このように構成することで、走査ユニットと検出ユニットとの間および検出ユニット間での光の伝達ロスを極力低減し、光量損失を抑制することができる。
このように構成することで、リレー光学系により、平行光が持つ微少な拡がり角による光束径の増大をも抑制して、隣接配置した他の検出ユニットに入射させることができる。したがって、検出部による検出効率を維持しつつ検出部の数を増加することができる。
したがって、戻り光の光量損失を抑えつつ容易かつ低コストで、検出部の検出チャンネルの数の増加や検出部の交換を行うことができる。
本発明の第1実施形態に係る検出ユニットおよびレーザ共焦点顕微鏡について図面を参照して以下に説明する。
本実施形態に係るレーザ共焦点顕微鏡100は、図1および図2に示すように、光源(図示略)から発せられた照明光を標本Sに照射する顕微鏡本体1と、顕微鏡本体1により標本Sに照射される照明光を走査する走査ユニット3と、照明光が照射されることにより標本Sにおいて発生する蛍光等の信号光(戻り光)を検出する第1検出ユニット5Aおよび第2検出ユニット5Bとを備えている。
検出器57A,57Bは、例えば、光電子増倍管であり、検出した蛍光の強度に応じた電気信号を出力するようになっている。これら検出器57A,57Bは、例えば、検出する波長域や検出感度が互いに異なっている。
本実施形態に係るレーザ共焦点顕微鏡100により標本Sを観察するには、走査ユニット3の走査用筐体41に対して第1検出ユニット5Aの検出用筐体61Aを信号光が所定の光形式を変えずに出入可能に装着するとともに、検出ユニット5A,5Bの検出用筐体61A,61Bどうしが信号光を所定の光形式を変えずに順に出入可能に装着する。
第1変形例としては、図11に示すように、検出用入射ポート75A,75Bに入射した信号光を所定の光形式を変えずにリレーするリレー光学系81A,81Bを備えることしてもよい。リレー光学系81A,81Bは、例えば、信号光を集光する第1リレーレンズ83A,83Bと第1リレーレンズ83A,83Bにより集光された信号光を平行光に変換する第2リレーレンズ85A,85Bとにより構成し、分離部51A,51Bと検出用出射ポート65A,65Bとの間の光路上に配置することとすればよい。
次に、本発明の第2実施形態に係る検出ユニットおよびレーザ共焦点顕微鏡について説明する。
本実施形態に係るレーザ共焦点顕微鏡200は、図15に示すように、走査光学系21が、ダイクロイックミラー23を透過した信号光を走査用出射ポート45に向けて反射する反射ミラー89を備え、また、PH光学系31に代えて、各検出ユニット5A,5BがPH光学系131A,131Bを備える点で第1実施形態と異なる。
以下、第1実施形態に係る検出ユニット5A,5Bおよびレーザ共焦点顕微鏡100と構成を共通する箇所には、同一符号を付して説明を省略する。
なお、上記各実施形態およびその変形例においては、走査ユニット3、第1検出ユニット5A、第2検出ユニット5Bの順に配置する場合を例示したが、例えば、走査ユニット3以降は自由であり、第2検出ユニット5B、第1検出ユニット5Aの順に配置することとしてもよく、その場合も装着の仕方は同様である。
5A 第1検出ユニット(検出ユニット)
5B 第2検出ユニット(検出ユニット)
21 走査光学系
35 ピンホール
41 走査用筐体
45 走査用出射ポート
51A,51B 分離部
57A,57B 検出器(検出部)
61A,61B 検出用筐体
65A,65B 検出用出射ポート
75A,75B 検出用入射ポート
81A,81B リレー光学系
100,200 レーザ共焦点顕微鏡
S 標本
Claims (7)
- 所定の光形式の光を入射させる検出用入射ポートと、
該検出用入射ポートから入射された光の少なくとも一部を検出する検出部と、
前記検出用入射ポートに入射した光の少なくとも他の一部を同一の光形式で出射可能な検出用出射ポートとを備える検出ユニット。 - 前記検出用入射ポートから入射した光の光路を分離し、分離した一方の光路の光を前記検出部に入射させ、他方の光路の光を前記検出用出射ポートに入射させる分離部を備える請求項1に記載の検出ユニット。
- 前記検出用入射ポートに入射させる光が平行光からなる前記光形式を有する請求項1または請求項2に記載の検出ユニット。
- 前記検出用入射ポートに入射された光を前記所定の光形式を変えずにリレーするリレー光学系を備える請求項3に記載の検出ユニット。
- 光源から発せられた照明光を反射して標本上で走査させ、該標本からの戻り光を照明光の反射位置と同位置で反射して照明光の光路に沿って戻す走査光学系と、該走査光学系を収容し、この走査光学系により照明光の光路に沿って戻された戻り光を所定の光形式で外部に出射する走査用出射ポートを有する走査用筐体とを備える走査ユニットと、
前記検出部を収容し、前記検出用入射ポートおよび前記検出用出射ポートを有する検出用筐体を備える複数の請求項1から請求項4のいずれかに記載の検出ユニットとを備え、
前記走査用筐体および各前記検出用筐体が、互いに装着状態において前記走査用出射ポートから出射させる戻り光と前記検出用入射ポートから入射させる戻り光の光軸を一致させるように着脱可能に形成されているとともに、これらの検出用筐体どうしが、互いに装着状態において前記検出用出射ポートから出射させる戻り光と前記検出用入射ポートから入射させる戻り光の光軸を一致させるように着脱可能に形成されているレーザ共焦点顕微鏡。 - 前記走査ユニットが、前記標本に対して共役な位置に配置されたピンホールを備え、該ピンホールにより、前記走査用出射ポートから出射される戻り光の光束を制限する請求項5に記載のレーザ共焦点顕微鏡。
- 前記検出用筐体が、前記走査用筐体に装着された状態で、前記走査用出射ポートから出射される戻り光の光軸上に前記検出用入射ポートおよび前記検出用出射ポートが配置され、かつ、他の前記検出用筐体に装着された状態で、該他の検出用筐体の前記検出用出射ポートから出射される戻り光の光軸上に前記検出用入射ポートおよび前記検出用出射ポートが配置されるように形成されている請求項5または請求項6に記載のレーザ共焦点顕微鏡。
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US20230314126A1 (en) * | 2022-04-04 | 2023-10-05 | Applied Materials, Inc. | Methods for high-resolution, stable measurement of pitch and orientation in optical gratings |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06160725A (ja) * | 1992-11-20 | 1994-06-07 | Olympus Optical Co Ltd | 鏡筒およびアダプター |
JPH06347703A (ja) * | 1993-06-03 | 1994-12-22 | Olympus Optical Co Ltd | 中間接続鏡筒 |
US20010054676A1 (en) * | 2000-06-23 | 2001-12-27 | Shinichirou Kawamura | Optical image separation system and confocal scanning unit |
JP2002221663A (ja) * | 2001-01-29 | 2002-08-09 | Nikon Corp | 走査型共焦点顕微鏡 |
JP2006138928A (ja) * | 2004-11-10 | 2006-06-01 | Olympus Corp | 生体観察装置 |
US20090067042A1 (en) * | 2004-11-10 | 2009-03-12 | Yoshihisa Tanikawa | In-vivo examination apparatus |
JP2009116031A (ja) * | 2007-11-06 | 2009-05-28 | Nikon Corp | 光検出ユニット、顕微鏡 |
US20110279893A1 (en) * | 2008-11-17 | 2011-11-17 | Femtonics Kft. | Laser scanning microscope |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06160725A (ja) * | 1992-11-20 | 1994-06-07 | Olympus Optical Co Ltd | 鏡筒およびアダプター |
JPH06347703A (ja) * | 1993-06-03 | 1994-12-22 | Olympus Optical Co Ltd | 中間接続鏡筒 |
US20010054676A1 (en) * | 2000-06-23 | 2001-12-27 | Shinichirou Kawamura | Optical image separation system and confocal scanning unit |
JP2002062480A (ja) * | 2000-06-23 | 2002-02-28 | Yokogawa Electric Corp | 光学画像分離装置及び共焦点スキャナユニット |
JP2002221663A (ja) * | 2001-01-29 | 2002-08-09 | Nikon Corp | 走査型共焦点顕微鏡 |
JP2006138928A (ja) * | 2004-11-10 | 2006-06-01 | Olympus Corp | 生体観察装置 |
US20090067042A1 (en) * | 2004-11-10 | 2009-03-12 | Yoshihisa Tanikawa | In-vivo examination apparatus |
JP2009116031A (ja) * | 2007-11-06 | 2009-05-28 | Nikon Corp | 光検出ユニット、顕微鏡 |
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