JP2015098065A - ワークの両面研磨装置及び両面研磨方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明のワークの両面研磨装置は、上定盤及び下定盤を有する回転定盤と、前記回転定盤の中心部に設けられたサンギアと、前記回転定盤の外周部に設けられたインターナルギアと、前記上定盤と前記下定盤との間に設けられ、ワークを保持する1つ以上の保持孔を有するキャリアプレートと、を備え、
研磨スラリーを自然滴下により前記上下定盤間に供給する滴下供給部と、
研磨スラリーを圧送により前記上下定盤間に供給する圧送供給部と、さらに備え、
前記滴下供給部及び前記圧送供給部から研磨スラリーを前記上下定盤間に同時に供給可能であることを特徴とする。
ここで、「自然滴下」とは、定盤間へ圧送供給ではなく重力落下により供給されるスラリー滴下方式のことをいう。
研磨スラリーを自然滴下により前記上下定盤間に供給するのと同時に、研磨スラリーを圧送により前記上下定盤間に供給することを特徴とする。
なお、「研磨スラリーの総流量」とは、自然滴下による研磨スラリーの流量と圧送による研磨スラリーの流量との和を意味する。
ここで、図1に示すように、上定盤2の下面の中央部には、凹部が設けられており、この部分は、密閉された構造となっている。また、サンギア5と下定盤3とは、それぞれ独立に回転するが、サンギア3と下定盤3との間の隙間はシールされ、研磨スラリーが漏れない構造となっている。また、図1に示すように、サンギア5の上面は、キャリアプレート7の上面より上側に位置している。
図示例では、この滴下供給部8は、研磨スラリーの供給源であるスラリー供給源9と、研磨スラリーの流量を調整する流量調整弁10と、研磨スラリーが通過する二股の滴下用供給ホース11と、滴下用供給ホース11の先端に接続され、研磨スラリーが一時的に供給されるスラリーリング12の上方に配置されるスラリー供給ノズル13と、スラリーリング12から滴下により研磨スラリーを上下定盤2、3間に供給する供給ホース14と、上定盤2を貫通し、該供給ホース14が接続されたスラリー供給穴15とを有する。
なお、本実施形態では、両面研磨装置1は、滴下供給部8を2つ有しているが、滴下供給部8は1つ以上あればよく、個数は特には限定されない。
また、図示例では、1つのスラリー供給源9及び1つの流量調整弁10から分岐して延びる二股の滴下用供給ホース11を用いているが、各滴下供給部8がそれぞれスラリー供給源9及び流量調整弁10を有していても良い。
さらに、図示例では、2つの滴下供給部8は、それぞれ供給ホース14を3つ有しており、この3つそれぞれの供給ホース14に対応する3つのスラリー供給穴15を有しているが、本発明では、供給ホース14やスラリー供給穴15の個数は特に限定されない。
図示例では、この圧送供給部16は、ポンプ作用により研磨スラリーを所定の圧力で圧送するスラリー供給ポンプ17と、研磨スラリーの流量を調整する流量調整弁18と、圧送された研磨スラリーが通過する圧送用供給ホース19と、該圧送用供給ホース19に接続され、上定盤2の中心部を貫通する圧送用供給ノズル20とを有する。そして、図示例では、圧送供給部16は、サンギア5の上方に設けられている。
なお、本実施形態では、両面研磨装置1は、圧送供給部16を1つのみ有しているが、本発明では、両面研磨装置1は、圧送供給部16を2つ以上有していても良い。
ここで、研磨スラリーの供給は、研磨スラリーを滴下供給部8によって滴下して上下定盤2、3間に供給するのと同時に、研磨スラリーを圧送供給部16によって圧送して上下定盤2、3間に供給することで行う。このとき、滴下による研磨スラリーの流量及び圧送による研磨スラリーの流量は、流量調整弁10、18の弁の開閉量により調整することができる。
以下、本実施形態の作用効果について説明する。
このように、本実施形態によれば、自然滴下による研磨スラリーの供給と、圧送による研磨スラリーの供給とを併用することにより、高い研磨レートを維持しつつも、所望のワークの形状を得ることができる。
また、比較例1として、圧送のみにより研磨スラリーを供給した場合、比較例2として、自然滴下のみにより研磨スラリーを供給した場合について、同様の評価を行った。
研磨パッドは、ロデールニッタ社製suba800を用い、研磨スラリーは、ロデールニッタ社製nalco2350を用いた。上下定盤の回転数は、20〜30rpmとし、加工面圧は300g/cm2とした。また、用いた上下定盤の直径は、2000mmであり、ウェーハの直径は450mmであった。さらに、キャリアプレートの厚さは、920μmであり、目標とするウェーハの厚さは、923μmとした。
ウェーハの厚さは、キーエンス社製レーザー変位計を用いて測定した。
また、GBIRは、研磨後のウェーハの裏面を完全に吸着したと仮定した場合における該ウェーハの裏面を基準として、該ウェーハ全体の最大変位と最小変位との差を算出することにより求めたものであり、キーエンス社製レーザー変位計を用いて測定した。
図2は、比較例1にかかる圧送のみによる研磨スラリーの供給を行う場合について、研磨スラリーの流量を1L/min毎に変化させたときの研磨レート及びGBIRの評価結果を示す図である。
図2に示すように、圧送方式のみによる研磨スラリーの供給の場合、研磨スラリー流量を増大させると、GBIRが小さくなり、ウェーハの平坦度は向上するものの、研磨レートは漸減していくことがわかる。
図3は、比較例2にかかる自然滴下のみによる研磨スラリーの供給を行う場合について、研磨スラリーの流量を1L/min毎に変化させたときの研磨レート及びGBIRの評価結果を示す図である。
図3に示すように、自然滴下方式のみによる研磨スラリーの供給の場合、研磨スラリーの流量を増大させても、GBIRは緩やかにしか改善されないことがわかる。一方で、研磨レートは、研磨スラリーの流量によっては、さほど変化しないことがわかる。
図4は、発明例にかかる自然滴下と圧送とを併用した方式で研磨スラリーの供給を行う場合について、研磨スラリーの流量を1L/min毎に変化させたときの研磨レート及びGBIRの評価結果を示す図である。なお、図4において、圧送による研磨スラリーの流量は、研磨スラリーの総流量の20%とした。
図4に示すように、本発明によれば、研磨レートは、研磨スラリーの流量によらずに、高いレベル(約0.55μm/min)で安定し、かつ、研磨スラリーの流量が変化した場合でも、良好なGBIR(約0.2μm)を維持することができ、従って、研磨後のウェーハの形状の変化が小さく、同一の仕上がり形状に制御しやすいことがわかる。また、GBIRの値も図2、図3に示す場合と比べて低く、研磨後のウェーハの平坦度が高いことがわかる。
このように、図4に示す結果から、本発明による、自然滴下方式と圧送方式との併用による相乗効果を確認することができた。
図5に示すように、研磨スラリーの総流量に対する、圧送による研磨スラリーの流量配分を増大させるにつれ、ウェーハの凸形状が凹形状へと変化していくことがわかる。
特に、研磨レートは、圧送による研磨スラリーの流量が、研磨スラリーの総流量の5%〜70%の範囲で良好であり、GBIRは、圧送による研磨スラリーの流量が、研磨スラリーの総流量の5%〜50%の範囲で良好である。すなわち、圧送による研磨スラリーの流量が、研磨スラリーの総流量の5%〜50%の範囲で、高い研磨レートを維持しつつも、高い平坦度の研磨後のワークを得ることができたことがわかる。
本発明は、特に直径450mm以上の大口径のワークの両面研磨装置及び両面研磨方法として適している。
2 上定盤
3 下定盤
4 回転定盤
5 サンギア
6 インターナルギア
7 キャリアプレート
8 滴下供給源
9 スラリー供給源
10 流量調整弁
11 滴下用供給ホース
12 スラリーリング
13 スラリー供給ノズル
14 供給ホース
15 スラリー供給穴
16 圧送供給部
17 スラリー供給ポンプ
18 流量調整弁
19 圧送用供給ホース
20 スラリー供給穴
Claims (7)
- 上定盤及び下定盤を有する回転定盤と、前記回転定盤の中心部に設けられたサンギアと、前記回転定盤の外周部に設けられたインターナルギアと、前記上定盤と前記下定盤との間に設けられ、ワークを保持する1つ以上の保持孔を有するキャリアプレートと、を備えたワークの両面研磨装置であって、
研磨スラリーを自然滴下により前記上下定盤間に供給する滴下供給部と、
研磨スラリーを圧送により前記上下定盤間に供給する圧送供給部と、さらに備え、
前記滴下供給部及び前記圧送供給部から研磨スラリーを前記上下定盤間に同時に供給可能であることを特徴とする、ワークの両面研磨装置。 - 前記滴下供給部及び前記圧送供給部は、それぞれ、研磨スラリーの流量を調整する流量調整弁を有する、請求項1に記載のワークの両面研磨装置。
- 前記滴下供給部及び前記圧送供給部は、それぞれ、スラリー供給穴を有する、請求項1又は2に記載のワークの両面研磨装置。
- 前記圧送供給部は、前記サンギアの上方に設けられてなる、請求項1〜3のいずれか一項に記載のワークの両面研磨装置。
- ワークを保持する1つ以上の保持孔が設けられたキャリアプレートにワークを保持し、該ワークを上定盤及び下定盤からなる回転定盤で挟み込み、前記回転定盤の中心部に設けられたサンギアの回転と、前記回転定盤の外周部に設けられたインターナルギアの回転とにより、前記回転定盤と前記キャリアプレートとを相対回転させて前記ワークの両面を同時に研磨するワークの両面研磨方法であって、
研磨スラリーを自然滴下により前記上下定盤間に供給するのと同時に、研磨スラリーを圧送により前記上下定盤間に供給することを特徴とする、ワークの両面研磨方法。 - 圧送による研磨スラリーの流量は、研磨スラリーの総流量の5%〜50%である、請求項5に記載のワークの両面研磨方法。
- 前記サンギアの上方から、研磨スラリーを圧送により前記上下定盤間に供給する、請求項5又は6に記載のワークの両面研磨方法。
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