JP2007331093A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007331093A JP2007331093A JP2007116590A JP2007116590A JP2007331093A JP 2007331093 A JP2007331093 A JP 2007331093A JP 2007116590 A JP2007116590 A JP 2007116590A JP 2007116590 A JP2007116590 A JP 2007116590A JP 2007331093 A JP2007331093 A JP 2007331093A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- polishing pad
- pad
- pads
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 416
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims abstract description 38
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 29
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 19
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 43
- 238000003825 pressing Methods 0.000 abstract description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 80
- 239000010408 film Substances 0.000 description 16
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 15
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 15
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 4
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 2
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 2
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 2
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N benzene-1,4-diol;bis(4-fluorophenyl)methanone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1.C1=CC(F)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(F)C=C1 JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005380 borophosphosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 229920001084 poly(chloroprene) Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/27—Work carriers
- B24B37/30—Work carriers for single side lapping of plane surfaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/11—Lapping tools
- B24B37/20—Lapping pads for working plane surfaces
- B24B37/24—Lapping pads for working plane surfaces characterised by the composition or properties of the pad materials
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/006—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the speed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
【課題】研磨装置の研磨パッドの直径を小さくすることで、研磨パッドに必要なコストを低減する。
【解決手段】研磨装置10は、半導体ウエハ12を押圧・保持する研磨ヘッド11と、研磨ヘッド11と同じ直径を有し、半導体ウエハ12の表面を研磨する一対の研磨パッド15、19と、半導体ウエハ12の周辺部研磨用の小径の研磨パッド22とを有する。半導体ウエハ12の研磨に際しては、双方の研磨パッド15、19で半導体ウエハ12を支持し、一方の研磨パッド15を回転させスラリ供給口からスラリを供給し、他方の研磨パッド19は停止させてスラリ供給口から純水を供給することで、一方の研磨パッド15を用いた研磨を行う。
【選択図】図1
【解決手段】研磨装置10は、半導体ウエハ12を押圧・保持する研磨ヘッド11と、研磨ヘッド11と同じ直径を有し、半導体ウエハ12の表面を研磨する一対の研磨パッド15、19と、半導体ウエハ12の周辺部研磨用の小径の研磨パッド22とを有する。半導体ウエハ12の研磨に際しては、双方の研磨パッド15、19で半導体ウエハ12を支持し、一方の研磨パッド15を回転させスラリ供給口からスラリを供給し、他方の研磨パッド19は停止させてスラリ供給口から純水を供給することで、一方の研磨パッド15を用いた研磨を行う。
【選択図】図1
Description
本発明は、研磨装置に関し、更に詳しくは、ウエハを研磨する研磨装置の改良に関する。
半導体装置の製造工程において、パターンを加工する際に要求される半導体装置表面の平坦度レベルは、半導体装置の微細化とともに厳しくなっている。従来は、SOG(spin on glass)等の塗布膜や、BPSG膜を高温にてアニールするリフローなど、埋め込み膜の改善によって、要求される平坦度レベルへの対応がなされてきた。半導体装置の加工ルールがより微細になった現在では、CMP(chemical mechanical polishing)技術を用いた直接研磨装置が一般的に使用されるようになっている。
CMPプロセスは、半導体ウエハ表面の段差を解消する上では有効であるものの、研磨後の被研磨膜の面内均一性がばらつくことが知られている。特に近年では、半導体装置は300mmウエハといった大口径ウエハ上で加工されるようになり、いかに被研磨膜の均一性向上を図るかが重要になってきている。CMPを用いる研磨装置は、例えば特許文献1及び2に記載がある。
図面を参照して、従来の研磨装置について説明する。図5及び図6はそれぞれ、一般的な従来の研磨装置の断面図及び平面図を示す。研磨装置100は、半導体ウエハ12を裏面から押圧しつつ保持する研磨ヘッド11と、半導体ウエハ12の表面側を研磨する研磨パッド15と、研磨パッド15の表面を研削処理するドレッサ18と、研磨パッド15と半導体ウエハ12との間に研磨剤となるスラリを供給するスラリ供給口(ノズル)17とから基本的に構成される。
研磨ヘッド11は、リテーナリング13で半導体ウエハ12をウエハ面内方向に保持しつつ、メンブレン14を利用して半導体ウエハ12を裏面から押圧し、自転により半導体ウエハ12を回転させる。研磨パッド15は、例えば半導体ウエハ12と同じ方向に自転しつつ、半導体ウエハ12の表面を研磨する。研磨に際しては、スラリ供給口17から、研磨パッド15と半導体ウエハ12の表面との間に研磨材を含むスラリが供給される。スラリは、研磨パッド15の回転によって研磨パッド15の表面上を均一に流れ、このスラリの供給によってウエハの研磨が可能になる。ウエハの研磨中に、研磨パッド15の凹部が目詰まりすると、ドレッサ18が起動し、ドレッサ18によって、研磨パッド15の表面が切削処理される。周辺加圧部16は、ウエハの周辺部を押圧し、ウエハ周辺部で発生しがちな面内不均一性を解消する。
研磨パッド15には、上記のように、ウエハ研磨に際して回転運動が与えられる。このとき、研磨パッド15の中心は静止しており、その部分では研磨レートが0となる。このため、研磨パッド15の中心を避けた半径上で、半導体ウエハ12の研磨が行われる。従って、研磨パッド15の直径は、半導体ウエハ12とほぼ同径である研磨ヘッド11の直径の2倍以上である。つまり、研磨パッド15上における半導体ウエハ12の処理エリアは、研磨パッド15の総面積の25%以下となる。
特表2003−521117号公報
特開2001−25962号公報
上記のように、CMPプロセスでは、研磨パッドの中心を避けた、研磨パッドの半径上で研磨処理を行う必要があり、ウエハサイズの増大に比例して研磨パッドのサイズが拡大する結果、研磨パッドのコストが上昇する。
またCMPプロセスでは、研磨レート及び加工対象膜の面内均一性の安定化を図るため、ドレッサで研磨パッドの表面を切削加工する必要がある。研磨パッドのサイズが拡大すると、切削加工の安定化が困難になると共に、ドレッサの使用頻度が増大し、ドレッサの寿命が低下するため、更に研磨コストが上昇する。
更に、CMPプロセスでは、加工対象の薄膜に応じて研磨パッド及びスラリーを選択する必要があり、その都度、加工対象の薄膜に適合した専用の研磨装置にウエハを搬送している。この搬送に必要な時間のために、製造プロセスにおけるスループットが低下する。更に、CMPによる研磨後の膜厚の面内均一性は、ウエハ周辺部では特に低いため、研磨ヘッド内の周辺加圧部による荷重調整のみでは、調整が不十分となり、必要な面内均一性が得られない事態も生じている。
上記従来のCMPプロセスの問題点に鑑み、研磨パッドのサイズの増大を抑え、これにより研磨パッドのコストを低減することで、ウエハ研磨のコスト低減が可能な研磨装置及び研磨方法を提供することを第1の目的とする。
更に、本発明は、上記第1の目的を達成した上で、ウエハ周辺部での膜厚の面内均一性の向上を可能とする研磨装置を提供することを第2の目的とする。
また、本発明は、上記第1の目的を達成した上で、異なる加工対象にも適用可能な研磨装置を提供することを第3の目的とする。
上記第1の目的を達成するために、本発明の研磨装置は、ウエハを回転可能に保持する研磨ヘッドと、前記研磨ヘッドに保持されたウエハの被研磨面にそれぞれ接触して併置される第1及び第2の研磨パッドとを備えることを特徴とする。
また、本発明の第1の態様に係る研磨方法は、上記本発明の研磨装置を用いてウエハを研磨する方法であって、前記第1の研磨パッドを回転させると共に、該第1の研磨パッドの表面にスラリを供給し、前記第2の研磨パッドの回転を停止させると共に、該第2の研磨パッドの表面に純水を供給する第1のステップを有することを特徴とする。
本発明の第2の態様に係る研磨方法は、上記本発明の研磨装置を用いてウエハを研磨する方法であって、前記第1及び第2の研磨パッドを回転させると共に、該第1及び第2の研磨パッドの表面にスラリを供給することを特徴とする。
本発明の研磨装置は、研磨ヘッドに保持されたウエハの被研磨面にそれぞれ接触して併置される第1及び第2の研磨パッドを備える構成により、これら第1及び第2の研磨パッドの寸法が従来の研磨パッドの寸法に比して格段に小さく抑えられるので、研磨レートを従来と同様に維持しつつ、研磨パッドのコストが低減でき、ひいては研磨コストが低減できる。
本発明の第1の態様に係る研磨方法では、第1の研磨パッドのみを用いて研磨を行い、第2の研磨パッドを停止させておくことにより、小さな寸法の研磨パッドを用いて研磨を行うことを可能にし、研磨パッドの取り替えに必要なコストを低減する。
本発明の第1の態様に係る研磨方法では、前記第1の研磨パッドの回転を停止させると共に、該第1の研磨パッドの表面に純水を供給し、前記第2の研磨パッドを回転させると共に、該第2の研磨パッドの表面にスラリを供給する第2のステップを更に有してもよい。この場合、前記第1のステップでの前記第1の研磨パッドの回転方向と、前記第2のステップでの前記第2の研磨パッドの回転方向とが互いに異なることが好ましい。ウエハの目合せマークの双方の縁部に肩削れを形成し、目合せマークの対称性を向上させて、リソグラフィ工程における位置合せ精度を向上できる。
上記の場合、前記第1及び第2のステップのそれぞれが、前記研磨ヘッドの回転方向が互いに異なる2つのステップを有することがより好ましい。1枚のウエハの研磨に対して、ウエハの表面に対する研磨パッドの研磨面の移動を双方向で打ち消すようにすることによって、目合せマークの双方の縁部を均等に研磨して、目合せマーク形状の対称性を更に向上させることが出来る。
本発明の第2の態様に係る研磨方法では、第1及び第2の研磨パッドの双方を用いて研磨を行うことにより、研磨におけるスループットの向上が可能になる。
本発明の第2の態様に係る研磨方法では、前記第1及び第2の研磨パッドの回転方向が互いに逆方向であることが好ましい。ウエハの目合せマークの双方の縁部に肩削れを形成し、目合せマークの対称性を向上できる。この場合、研磨の途中で前記研磨ヘッドの回転方向を反転させることがより好ましい。目合せマークの双方の縁部を均等に研磨して、目合せマーク形状の対称性を更に向上させることが出来る。
本発明の研磨装置では、前記研磨ヘッドの直径と、前記第1及び第2の研磨パッドの少なくとも一方の直径とがほぼ等しい構成が採用できる。この場合、前記少なくとも一方の研磨パッドのサイズを従来に比して小さく抑えることで、研磨パッドのコストを低減する。
また、前記第1の研磨パッドの直径と前記第2の研磨パッドの直径とが等しい構成の採用も可能である。この場合、何れの研磨パッドを用いても研磨が可能である。
前記第1の研磨パッドの直径が前記研磨ヘッドの直径にほぼ等しく、前記第2の研磨パッドの直径が前記研磨ヘッドの直径よりも小さい構成の採用も可能である。この場合、第2の研磨パッドのコストが更に低く抑えられ、研磨コストが更に低減できる。第2の研磨パッドを用いてウエハ周辺部の研磨を行うこととすれば、本発明の前記第2の目的が達成できる。
前記第1及び第2の研磨パッドに併置され、該第1及び第2の研磨パッドの直径よりも小さな直径を有する第3の研磨パッドを更に備え、該第3の研磨パッドは、前記研磨ヘッドに保持されたウエハの被研磨面の周辺部を研磨可能である構成の採用も可能である。この場合、第3の研磨パッドを用いてウエハ周辺部を研磨することにより、被研磨面の面内均一性の向上が可能になり、この場合にも、前記本発明の第2の目的が達成できる。
また、前記第1の研磨パッドの材質と前記第2の研磨パッドの材質とが異なる構成の採用も可能である。この場合、1台の研磨装置で異なる研磨対象膜の加工が可能になり、本発明の前記第3の目的が達成できる。また、異なる薄膜の研磨に際しても、ウエハの搬送が不要になり、搬送に必要な時間が節約できるので、半導体装置製造のスループットの向上が可能になる。
前記第1及び第2の研磨パッドの回転方向を検出し、前記第1及び第2の研磨パッドの回転方向が互いに逆方向である場合には、前記第1及び第2の研磨パッドによる研磨レートが互いに等しくなるように、前記第1及び/又は第2の研磨パッドの回転数を制御する制御部を有する構成の採用も可能である。目合せマークの双方の縁部を均等に研磨して、目合せマーク形状の対称性を向上させることが出来る。
上記の場合、前記第1及び第2の研磨パッドの表面をそれぞれ研削する第1及び第2のドレッサを有し、前記制御部は、前記第1及び/又は第2の研磨パッドの回転数に加えて、前記第1及び/又は第2のドレッサの回転方向、回転数、及び、圧力を制御することが好ましい。ドレッサによる研磨パッドの目立て方向を考慮してドレッサの回転方向を設定すると共に、ドレッサの回転数及び圧力を制御して、研磨パッドの目詰まりを解消することによって、研磨パッドによる研磨レートを効果的に向上できる。
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。なお、理解を容易にするために、全図を通して同様な要素には同様な符号を付して示している。図1は、本発明の一実施形態に係る研磨装置(CMP装置)における研磨ヘッド部を中心とした断面図であり、図2は図1で示したCMP装置における研磨ヘッド部を中心とした平面図である。
図1及び図2に示すように、本実施形態に係る研磨装置10は、半導体ウエハ12を保持する研磨ヘッド11と、研磨ヘッド11とほぼ同径で、ポリウレタン製の一対の研磨パッド15、19と、研磨ヘッド11より小さな直径を有する、ウエハ周辺部研磨用の研磨パッド22と、各研磨パッド15、19、22にそれぞれ付属するドレッサ18、21及びスラリ供給口17、20と、回転数/回転方向/圧力制御部23とから基本的に構成される。なお、ウエハ周辺部研磨用の小径の研磨パッド22については、この研磨パッド22に付属するドレッサ及びスラリ供給口の図示を省略している。小径の研磨パッド22に付属するドレッサ及びスラリ供給口は、一対の研磨パッド15、19に付属するドレッサ及びスラリ供給口と同様な構成を有し、且つ、同様な機能を有する。本実施形態の研磨装置10では、研磨ヘッド11は、例えば時計方向に回転可能であり、研磨パッド15、19、22は、反時計方向に回転可能である。
研磨ヘッド11は、回転機構を含む研磨ヘッド本体に加えて、ポリフェニレンスルフィド(Polphenylene Sulfide、以下PPSと略称)製、又は、ポリエーテルエーテルケトン(Polyetheretherketone、以下PEEKと略称)製のリテーナリング13と、ネオプレンゴム製のメンブレン14と、高分子材料製の周辺加圧部16とを有する。
一対の研磨パッド15、19は、それぞれ円板形状を有し、その上面に、スラリ供給口17、20からそれぞれ研磨剤となるスラリ、または、純水が吐出、供給される。ドレッサ18、21は、表面にダイヤモンド砥粒が固着されており、必要に応じて研磨パッド15、19表面の研削を行い、研磨パッド15、19表面の凹凸を取り除く。スラリ供給口17、20からは、例えば300ml/minの流量でスラリが吐出され、研磨パッド15、19が、例えば30min−1の回転速度で自転することで、吐出されたスラリは研磨パッド15、19上の全面に供給される。
半導体ウエハ12は、フェイスダウン状態で研磨ヘッド11にセットされており、研磨ヘッド11は、半導体ウエハ12と一体的に、29min−1の回転速度で自転する。また、研磨パッド15、19の半径の範囲で水平方向に移動可能である。半導体ウエハ12は、研磨ヘッド11によって、70N(ニュートン)の機械的な圧力(F1圧力)で研磨パッド15、19側に押し付けられると共に、研磨ヘッド11内のメンブレン14で隔離された気室に供給される高圧エアーの圧力(F2圧力)によって50Nで研磨パッド15、19側に加圧される。
図2に示すように、研磨パッド15及び研磨パッド19は、それぞれ研磨ヘッド11と同じサイズを有し、双方の間に隙間を空けることなく並列して配置されている。この構成により、研磨パッド15及び研磨パッド19は、半導体ウエハ12からその圧力の1/2ずつを受けて、半導体ウエハ12を保持する。半導体ウエハ12が、研磨パッド15又は19の中心に達しないように、研磨ヘッド11の移動距離を制限している。半導体ウエハ12の研磨は、研磨パッド15又は研磨パッド19の何れかで行う。本実施形態では、研磨パッド15と研磨パッド19の構成及び機能は同様である。
半導体ウエハ12は、研磨パッド15又は研磨パッド19によって、事前に決められた一定時間研磨加工された後に、純水で洗浄して回収され、次の半導体ウエハ12が同様に研磨される。なお、半導体ウエハを一方の研磨パッド15で研磨中に、回転を停止している他方の研磨パッド19上にもスラリを吐出すると、研磨パッド19でも研磨が行われることになる。研磨パッド19での研磨を停止するためには、スラリの供給を停止すればよく、この場合、研磨パッド19上にスラリ供給口20から純水を吐出する。これにより、停止中の研磨パッド19の乾燥と、半導体ウエハ12の被研磨面で発生するスクラッチとを防止する。
つまり、研磨パッド15が回転し、研磨パッド15へスラリが供給されているときには、研磨パッド19は静止し、且つ、研磨パッド19には純水が供給される。これによって、半導体ウエハ12は、研磨パッド15及び研磨パッド19に保持されつつ、研磨パッド15で研磨される。また、逆に研磨パッド19を利用して研磨を行う場合にも、同様な回転制御及びスラリ供給の制御が行われる。
双方の研磨パッド15、19に異なるスラリを使用する場合にも、同様に、停止中の研磨パッドの表面には純水を吐出する。研磨パッド15と研磨パッド19とを同時に研磨に使用することで、研磨レートの向上を図る場合には、双方にスラリを供給する。研磨レートは、半導体ウエハ12が研磨パッド15又は研磨パッド19に押し付けられるF2圧力に比例する。しかし、研磨レートの面内均一性は、ウエハの周辺部で悪化する傾向にあるため、図1に示す周辺加圧部16による高圧エアー圧力(F3圧力)を50±5N程度の範囲で調整して、所望の面内均一性が得られるようにする。
本実施形態の研磨装置10では、ウエハ周辺部の加工を行うための小径の研磨パッド22を、研磨パッド15と研磨パッド19との間に設置している。図3は、小径の研磨パッド22による研磨の様子を示す断面図である。小径の研磨パッド22は、例えばその直径X1がX1=80mm程度であり、少なくとも半導体ウエハ12との接触エリアとしてX2=20mmを確保している。研磨パッド22は、この寸法を確保した上で、回転数の条件を最適化してウエハ周辺部の研磨レートを調整する。
図3には示していないものの、小径の研磨パッド22でも、他の研磨パッド15、19と同様に、ドレッサによる切削加工や、研磨加工を行う場合には、スラリ吐出が行われ、また、研磨加工をしない場合には純水吐出が行われる。また、研磨パッド22は、研磨パッド15及び研磨パッド19と同期させて研磨を行わせる。この目的のため、図1に示す回転数/回転方向/圧力制御部23は、研磨パッド15及び研磨パッド19の回転数を検知し、その結果に基づいて、研磨パッド22の回転数をコントロールする。
上記実施形態に係る研磨装置10では、一対の研磨パッド15、19を備える構成により、半導体ウエハ12を双方の研磨パッド15、19に保持させた状態で研磨することが可能になる。このため、従来は、研磨ヘッドの約2倍の直径を有する研磨パッドが必要であったが、本実施形態では、研磨ヘッド11と同じ径の一対の研磨パッド15、19で足りる。従って、研磨パッドの単価が低くなり、研磨に必要なコストが低減できる。さらに、ウエハ周辺部を研磨する専用の研磨パッド22を配設することにより、従来は±10%で推移していた面内均一性を、±5%まで向上させることができる。
上記実施形態では、双方の研磨パッドのそれぞれが半導体ウエハを研磨可能な研磨装置である例を説明した。しかし、一方の研磨パッドとして、ウエハ保持専用の研磨パッドを採用することも出来る。この第1変形例を図4に示した。研磨パッド15は、研磨ヘッド11と同径の研磨パッドであり、研磨パッド24は、それよりも小径のウエハ保持専用の研磨パッドである。この場合、ウエハ保持専用の研磨パッド24の直径は、研磨ヘッド11の半径よりも少し大きなサイズを選定し、保持専用の研磨パッド24の表面には純水を供給するためのスラリ供給口20を配設している。ドレッサは不要である。なお、ウエハ保持専用の研磨パッド24を、ウエハ周辺研磨用の研磨パッドに利用することも出来る。
上記実施形態では、研磨パッド15、19の回転方向が同じものとしたが、研磨パッド15、19の回転方向が互いに異なってもよい。
例えば上記実施形態の第2変形例では、図2において、研磨パッド15が時計方向に、研磨パッド19が反時計方向に同時に回転する。このように、研磨パッド15、19の回転方向が互いに異なると、リソグラフィ工程で利用する目合せマークの形状を改善することが出来る。図7に研磨前の目合せマークの断面形状を、図8に研磨後の目合せマークの断面形状をそれぞれ示す。研磨前の段階において、図7に示すように、酸化膜31の表面部分に溝32が形成されており、溝32内を含み酸化膜31の表面にタングステン(W)膜33が形成されている。研磨後の段階において、図8に示すように、酸化膜31上のW膜33が除去される。
上記実施形態のように、研磨パッド15、19の回転方向が互いに同じであると、図8に示すように、目合せマーク34における一方の縁部のみに肩削れ35が生じる。これは、ウエハの研磨に際して、目合せマーク34付近で研磨パッド15、19のたわみが生じ、目合せマーク34の縁部が過剰に研磨されるが、ウエハの表面に対する研磨パッド15、19の研磨面の移動方向が互いに同じであるため、目合せマーク34の一方の縁部のみが過剰に研磨されるものである。目合せマーク34における一方の縁部に肩削れ35が形成されると、目合せマーク34形状の対称性が損なわれ、リソグラフィ工程における位置合わせ精度が低下する。
上記に対して、第2変形例では、ウエハの表面に対する研磨パッド15、19の研磨面の移動方向が互いに異なるため、目合せマーク34における双方の縁部が研磨され、図9に示すように、目合せマーク34における双方の縁部に肩削れ35が形成される。これによって、目合せマーク34形状の対称性を向上させて、リソグラフィ工程における位置合わせ精度を向上させることが出来る。
なお、第2変形例では、研磨パッド15、19の回転速度が同じであるとすると、ウエハの表面に対する研磨パッド19の移動速度が、ウエハの表面に対する研磨パッド15の移動速度よりも小さくなり、研磨パッド19による研磨レートが、研磨パッド15による研磨レートより小さくなる。このため、回転数/回転方向/圧力制御部23は、研磨パッド19による研磨レートが、研磨パッド15による研磨レートに等しくなるように、研磨パッド19の回転数を制御する。これによって、目合せマーク34の双方の縁部を均等に研磨し、目合せマーク34形状の対称性を更に向上させることが出来る。
また、回転数/回転方向/圧力制御部23は、研磨パッド19の回転数の制御に加えて、研磨ヘッド11の回転数及び圧力を検知した上で、研磨パッド19を研磨するドレッサ21の回転方向、回転数、及び、圧力を制御する。ドレッサ21による研磨パッド19の目立て方向を考慮してドレッサ21の回転方向を設定すると共に、ドレッサ21の回転数及び圧力を制御して、研磨パッド19の目詰まりを解消することによって、研磨パッド19による研磨レートを効果的に向上できる。
なお、回転数/回転方向/圧力制御部23は、研磨パッド19及びドレッサ21に代えて、研磨パッド15及びドレッサ18の制御を行ってもよく、或いは双方の制御を行ってもよい。
研磨パッド15、19の回転方向が互いに異なる別の変形例として、上記実施形態の第3変形例では、図2において、第1ステップでは、研磨パッド15を時計方向に回転させると共に、研磨パッド15の表面にスラリを供給し、研磨パッド19の回転を停止させると共に、研磨パッド19の表面に純水を供給する。第2ステップでは、研磨パッド15の回転を停止させると共に、研磨パッド15の表面に純水を供給し、研磨パッド19を反時計方向に回転させると共に、研磨パッド19の表面にスラリを供給する。
回転数/回転方向/圧力制御部23は、第2変形例と同様に、研磨パッド19の回転数を制御すると共に、ドレッサ21の回転方向、回転数、及び、圧力を制御する。第3変形例でも、第2変形例と同様に、ウエハの表面に対する研磨パッド15、19の移動方向が互いに異なり、また、回転数/回転方向/圧力制御部23によって、研磨パッド19の回転数、及び、ドレッサ21の回転方向、回転数、及び、圧力を制御するので、図9に示したように、目合せマーク34形状の対称性を向上させることが出来る。
上記実施形態及び第1〜第3変形例では、研磨に際して、研磨ヘッド11の回転方向が常に一定の方向であるものとしたが、研磨の途中で、研磨ヘッド11の回転方向を逆転させてもよい。
例えば上記実施形態の第4変形例では、第2変形例を第1ステップとして、この第1ステップに後続し、研磨ヘッド11を反時計方向に回転させる第2ステップを更に行う。或いは上記実施形態の第5変形例では、第3変形例に後続し、研磨ヘッド11を反時計方向に回転させて、第3変形例の第2ステップ及び第1ステップとそれぞれ同様に行う第3ステップ及び第4ステップを更に行う。
肩削れ35は、ウエハの表面に対する研磨パッド15、19の研磨面の移動によって形成されるため、その形状には、研磨パッド15、19の回転方向だけでなく、研磨ヘッド11の回転方向も影響する。従って、1枚のウエハの研磨に対して、ウエハの表面に対する研磨パッド15、19の研磨面の移動を双方向で打ち消すようにすることによって、目合せマーク34の双方の縁部を均等に研磨して、目合せマーク34形状の対称性を更に向上させることが出来る。
なお、第3変形例における第1、第2ステップ、第4変形例における第1、第2ステップ、及び、第5変形例における第1〜第4ステップは、順序を入れ替えてもよい。
以上、本発明をその好適な実施態様に基づいて説明したが、本発明の研磨装置は、上記実施態様の構成にのみ限定されるものではなく、上記実施態様の構成から種々の修正及び変更を施したものも、本発明の範囲に含まれる。
10:研磨装置
11:研磨ヘッド
12:半導体ウエハ
13:リテーナリング
14:メンブレン
15:研磨パッド
16:周辺加圧部
17:スラリ供給口(ノズル)
18:ドレッサ
19:研磨パッド
20:スラリ供給口(ノズル)
21:ドレッサ
22:研磨パッド
23:回転数/回転方向/圧力制御部
24:保持用研磨パッド
31:酸化膜
32:溝
33:W膜
34:目合せマーク
35:肩削れ
11:研磨ヘッド
12:半導体ウエハ
13:リテーナリング
14:メンブレン
15:研磨パッド
16:周辺加圧部
17:スラリ供給口(ノズル)
18:ドレッサ
19:研磨パッド
20:スラリ供給口(ノズル)
21:ドレッサ
22:研磨パッド
23:回転数/回転方向/圧力制御部
24:保持用研磨パッド
31:酸化膜
32:溝
33:W膜
34:目合せマーク
35:肩削れ
Claims (15)
- ウエハを回転可能に保持する研磨ヘッドと、
前記研磨ヘッドに保持されたウエハの被研磨面にそれぞれ接触して併置される第1及び第2の研磨パッドとを備えることを特徴とする研磨装置。 - 前記研磨ヘッドの直径と、前記第1及び第2の研磨パッドの少なくとも一方の直径とがほぼ等しい、請求項1に記載の研磨装置。
- 前記第1の研磨パッドの直径と前記第2の研磨パッドの直径とが等しい、請求項2に記載の研磨装置。
- 前記第1の研磨パッドの直径が前記研磨ヘッドの直径にほぼ等しく、前記第2の研磨パッドの直径が前記研磨ヘッドの直径よりも小さい、請求項2に記載の研磨装置。
- 前記ウエハの被研磨面に接触して、前記第1及び第2の研磨パッドに併置され、該第1及び第2の研磨パッドの直径よりも小さな直径を有する第3の研磨パッドを更に備え、該第3の研磨パッドは、前記研磨ヘッドに保持されたウエハの被研磨面の周辺部を研磨可能である、請求項1〜4の何れか一に記載の研磨装置。
- 前記第1の研磨パッドの材質と前記第2の研磨パッドの材質とが異なる、請求項1〜5の何れか一に記載の研磨装置。
- 前記第1及び第2の研磨パッドの回転方向を検出し、前記第1及び第2の研磨パッドの回転方向が互いに逆方向である場合には、前記第1及び第2の研磨パッドによる研磨レートが互いに等しくなるように、前記第1及び/又は第2の研磨パッドの回転数を制御する制御部を有する、請求項1〜6の何れか一に記載の研磨装置。
- 前記第1及び第2の研磨パッドの表面をそれぞれ研削する第1及び第2のドレッサを有し、前記制御部は、前記第1及び/又は第2の研磨パッドの回転数に加えて、前記第1及び/又は第2のドレッサの回転方向、回転数、及び、圧力を制御する、請求項7に記載の研磨装置。
- 請求項1〜8の何れか一に記載の研磨装置を用いてウエハを研磨する方法であって、
前記第1の研磨パッドを回転させると共に、該第1の研磨パッドの表面にスラリを供給し、前記第2の研磨パッドの回転を停止させると共に、該第2の研磨パッドの表面に純水を供給する第1のステップを有することを特徴とする研磨方法。 - 前記第1の研磨パッドの回転を停止させると共に、該第1の研磨パッドの表面に純水を供給し、前記第2の研磨パッドを回転させると共に、該第2の研磨パッドの表面にスラリを供給する第2のステップを更に有する、請求項9に記載の研磨方法。
- 前記第1のステップでの前記第1の研磨パッドの回転方向と、前記第2のステップでの前記第2の研磨パッドの回転方向とが互いに異なる、請求項10に記載の研磨方法。
- 前記第1及び第2のステップのそれぞれが、前記研磨ヘッドの回転方向が互いに異なる2つのステップを有する、請求項11に記載の研磨方法。
- 請求項1〜8の何れか一に記載の研磨装置を用いてウエハを研磨する方法であって、前記第1及び第2の研磨パッドを回転させると共に、該第1及び第2の研磨パッドの表面にスラリを供給することを特徴とする研磨方法。
- 前記第1及び第2の研磨パッドの回転方向が互いに逆方向である、請求項13に記載の研磨方法。
- 研磨の途中で前記研磨ヘッドの回転方向を反転させる、請求項14に記載の研磨方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007116590A JP2007331093A (ja) | 2006-05-17 | 2007-04-26 | 研磨装置 |
US11/750,038 US20070270087A1 (en) | 2006-05-17 | 2007-05-17 | Polishing device and method |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006137592 | 2006-05-17 | ||
JP2007116590A JP2007331093A (ja) | 2006-05-17 | 2007-04-26 | 研磨装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007331093A true JP2007331093A (ja) | 2007-12-27 |
Family
ID=38712542
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007116590A Pending JP2007331093A (ja) | 2006-05-17 | 2007-04-26 | 研磨装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20070270087A1 (ja) |
JP (1) | JP2007331093A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017530560A (ja) * | 2014-10-13 | 2017-10-12 | サンエディソン・セミコンダクター・リミテッドSunEdison Semiconductor Limited | 凹所およびキャップを有する、中心部が可撓性の片面研磨ヘッド |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11300607A (ja) * | 1998-04-16 | 1999-11-02 | Speedfam-Ipec Co Ltd | 研磨装置 |
US6152806A (en) * | 1998-12-14 | 2000-11-28 | Applied Materials, Inc. | Concentric platens |
US6135859A (en) * | 1999-04-30 | 2000-10-24 | Applied Materials, Inc. | Chemical mechanical polishing with a polishing sheet and a support sheet |
US6432823B1 (en) * | 1999-11-04 | 2002-08-13 | International Business Machines Corporation | Off-concentric polishing system design |
US6443815B1 (en) * | 2000-09-22 | 2002-09-03 | Lam Research Corporation | Apparatus and methods for controlling pad conditioning head tilt for chemical mechanical polishing |
-
2007
- 2007-04-26 JP JP2007116590A patent/JP2007331093A/ja active Pending
- 2007-05-17 US US11/750,038 patent/US20070270087A1/en not_active Abandoned
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017530560A (ja) * | 2014-10-13 | 2017-10-12 | サンエディソン・セミコンダクター・リミテッドSunEdison Semiconductor Limited | 凹所およびキャップを有する、中心部が可撓性の片面研磨ヘッド |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20070270087A1 (en) | 2007-11-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5390750B2 (ja) | 研磨装置、および研磨パッド再生処理方法 | |
JP5635957B2 (ja) | 被研磨物の研磨方法、及び研磨パッド | |
TWI458592B (zh) | Grinding head and grinding device | |
EP2762272B1 (en) | Wafer polishing apparatus and method | |
TW201304907A (zh) | 研磨墊之修整方法及修整裝置 | |
KR20030066796A (ko) | 표면적을 감소시킨 폴리싱 패드와 가변적/부분적패드-웨이퍼 중복 기술을 이용한 반도체 웨이퍼의 폴리싱및 평탄화 시스템 및 방법 | |
JP2007075973A (ja) | 研磨方法及び研磨装置、並びに研磨装置制御用プログラム | |
US9149906B2 (en) | Apparatus for CMP pad conditioning | |
JP2009260142A (ja) | ウェハ研磨装置及びウェハ研磨方法 | |
US20150147944A1 (en) | Double-disc grinding apparatus and workpiece double-disc grinding method | |
KR100832768B1 (ko) | 웨이퍼 연마 장치 및 웨이퍼 연마 방법 | |
US6935938B1 (en) | Multiple-conditioning member device for chemical mechanical planarization conditioning | |
WO2015182316A1 (ja) | 基板処理装置 | |
JP5331463B2 (ja) | リテーナリングおよびそれを備えた化学機械的研磨装置 | |
JP2007331093A (ja) | 研磨装置 | |
WO2015015706A1 (ja) | ドレッシング方法及びドレッシング装置 | |
JPWO2004059714A1 (ja) | 研磨装置及び半導体デバイスの製造方法 | |
JP2003053657A (ja) | 研磨面構成部材及び該研磨面構成部材を用いた研磨装置 | |
JP5396616B2 (ja) | シーズニングプレート、半導体研磨装置、研磨パッドのシーズニング方法 | |
JP2000158306A (ja) | 両面研削装置 | |
KR20010040249A (ko) | 연마장치 및 그 장치를 사용한 반도체제조방법 | |
US20220281062A1 (en) | Roller for location-specific wafer polishing | |
JP2004223684A (ja) | ウェーハノッチ研磨用パッド | |
KR100886603B1 (ko) | 웨이퍼 연마 장치 및 웨이퍼 연마 방법 | |
JP6761739B2 (ja) | ウエーハの研磨方法 |