JP2015095543A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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- 被処理体にプラズマ処理を行うためのプラズマ処理装置であって、
被処理体の搬入出用の搬送路が形成された側壁を有する処理容器と、
前記処理容器内に設けられた載置台と、
前記載置台を囲むように前記側壁の内面に沿って設けられたシールド部材であり、前記搬送路に面する開口が形成された該シールド部材と、
前記開口用の昇降可能なシャッターと、
を備え、
前記シャッターは、前記開口に対面可能な第1部分、及び前記シールド部材の下方において該シールド部材に対面する第2部分を有し、
前記シールド部材は、前記第2部分に対面する被接触面を含む下部を有し、
前記第2部分には、前記被接触面に当接可能な接触部が設けられており、
前記シャッターの前記第1部分は、前記シールド部材との間に間隙を介して前記開口を閉鎖し、
前記被接触面及び前記接触部は、ハステロイから構成されている、
プラズマ処理装置。 - 前記第2部分には、溝が形成されており、
前記接触部は、前記溝に嵌め込まれるハステロイ製の弾性部材である、
請求項1に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第1部分及び前記第2部分は、アルミニウム製であり、且つ、互いに分離可能である、請求項2に記載のプラズマ処理装置。
- 前記弾性部材は、スパイラル状の部材である、
請求項2又は3に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第1部分及び前記第2部分は、互いに分離可能であり、
前記第1部分はアルミニウムから構成されており、
前記第2部分はハステロイから構成されており、前記接触部を提供する、
請求項1に記載のプラズマ処理装置。 - 前記シールド部材は、前記開口が形成され且つ前記下部を含むアルミニウム製の本体を有し、
前記下部において前記第2部分に対面する領域には溝が形成されており、該下部の該溝には前記被接触面を提供するハステロイ製のバルク部材が設けられており、
前記バルク部材は、前記下部から取り外し可能である、
請求項1〜5の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。
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