JP2015095542A - 位置出しテーブル - Google Patents

Abstract

【課題】位置出しする板状ワークの直径が変わっても、板状ワークの位置出し位置の再現性を高め、板状ワークの直径の変化に伴う作業負担を軽減できるようにすること。【解決手段】位置出しテーブル（１）は第１のテーブル（２）及び第２のテーブル（３）を含む。第１のテーブルは、第１の板状ワーク（Ｗ１）の径方向に進退する第１の進退ピン（２４ａ）を備えた第１の進退機構（２４）と、第１の進退ピンの進退により第１の板状ワークの外周に接触する第１の固定ピン（２３）とを有する。第２のテーブルは、第１の板状ワークより小径の第２の板状ワーク（Ｗ２）の径方向に進退する第２の進退ピン（３５ｃ）を備えた第２の進退機構（３５）と、第２の進退ピンの進退により第２の板状ワークの外周に接触する第２の固定ピン（３３）とを有する。第１のテーブルに対し、第２のテーブルが着脱自在に装着されている。【選択図】図４

Description

本発明は、板状ワークの位置出しを可能とする位置出しテーブルに関し、特に、直径の異なる板状ワークをそれぞれ位置出しすることができる位置出しテーブルに関する。

半導体ウェーハ等の板状ワークを研削加工する研削装置では、板状ワークを位置出しテーブルで位置出しし、位置出しされた板状ワークをチャックテーブルに搬送することで、チャックテーブルの中心と板状ワークの中心とを一致させている（例えば、特許文献１及び２参照）。特許文献１の位置決め機構では、板状ワークの径方向に進退ピンを進退させ、進退ピンと、少なくとも２つの固定ピンとを板状ワークの外周に当接させることで位置出しを行っている。

ところで、研削装置においては、研削加工条件によって、板状ワークに略同一形状のガラス基板を貼り付けたり、粘着テープを介してリングフレームの内側に板状ワークを支持させたりして研削を行っている。従って、位置出しテーブルにおいて、位置出しの対象となる板状ワークは、半導体ウェーハとなるだけでなくリングフレームとなる場合があり、板状ワークの直径が変化することとなる。このような変化に対応するため、特許文献１の位置決め機構では、固定ピンを差し込み可能な穴を複数設け、固定ピンを差し込む穴を変えることで、板状ワークの直径の変化に対応している。

特開２０１３−７１２３０号公報 特開２０１３−８２０４５号公報

特許文献１の構造にあっては、板状ワークの直径が変化したときに、複数の固定ピンを穴から抜き出して移動し、その後、各固定ピンを他の穴に差し込む作業が必要となる。そして、板状ワークの直径を変化する前に戻した場合、固定ピンを差し込む穴の位置も元の位置に戻すことになるが、このとき、複数の固定ピンを別々に移動するので、各固定ピンの相対位置に誤差が生じ易くなる。この結果、位置出しされる板状ワークの位置が、先に位置出しされた位置と異なってしまい、板状ワークが位置出しされる位置の再現性が損なわれる、という問題がある。また、板状ワークの直径が変化する度に、複数のピンを抜き差ししたり移動したりする作業が不可欠となり、作業が長時間化する等、作業負担が大きくなる、という問題もある。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、位置出しする板状ワークの直径が変わっても、板状ワークの位置出し位置の再現性を高めることができ、板状ワークの直径の変化に伴う作業負担を軽減することができる位置出しテーブルを提供することを目的とする。

本発明の位置出しテーブルは、直径の異なる２つの板状ワークの位置出しを可能とする位置出しテーブルであって、第１の板状ワークを載置させる第１の載置部と、第１の載置部に載置された第１の板状ワークの径方向に進退する少なくとも１つの第１の進退ピンを備えた第１の進退機構と、第１の進退ピンの進退により第１の進退ピンと共に第１の板状ワークの外周に接触する２つの第１の固定ピンと、を備えた第１のテーブルに対し、第１のテーブルの少なくとも１つの第１の進退ピンと２つの第１の固定ピンとに接する仮想円の内側において、第１の板状ワークより小径の第２の板状ワークを載置させる第２の載置部と、第１の進退機構に従動して第２の載置部に載置された第２の板状ワークの径方向に進退する第２の進退ピンを備えた第２の進退機構と、第２の進退ピンの進退により第２の進退ピンと共に第２の板状ワークの外周に接触する２つの第２の固定ピンと、を備えた第２のテーブルを着脱自在に装着可能に構成される、ことを特徴とする。

この構成によれば、第１のテーブルによって第１の板状ワークを位置出しすることができ、この第１のテーブルに着脱自在となる第２のテーブルを装着することで、第２の板状ワークを位置出しすることができる。つまり、第１のテーブルにおける２つの第１の固定ピンは、板状ワークが変わっても、移動することが不要となり、相対位置に誤差が生じることを回避することができる。また、第２のテーブルは第２の固定ピンを含むユニットとして取り扱うことができるので、２つの第２の固定ピンにおいても相対位置が変化することを回避することができる。これにより、直径の異なる第１及び第２の板状ワークを交互に位置出しする場合であっても、各板状ワークの位置出しされる位置と、先に位置出しされた位置との間で誤差を生じ難くして再現性を持たせることができる。また、第１のテーブルに第２のテーブルを着脱するだけで、板状ワークの直径の変化に迅速に対応でき、従来のように複数のピンを抜き差しする場合に比べ、作業に要する時間を短縮して作業負担の軽減を図ることができる。

また、本発明の位置出しテーブルでは、第１のテーブルは第２のテーブルを位置決めする少なくとも２つの位置決めピンを備え、第２のテーブルは少なくとも２つの位置決めピンに嵌合する少なくとも２つの嵌合孔を備え、少なくとも２つの位置決めピンと少なくとも２つの嵌合孔とによって、第１のテーブルに第２のテーブルを所定の位置で装着するようにしてもよい。この構成によれば、位置決めピンと嵌合孔との簡単な構成によって、装着される第２のテーブルを容易に位置決めすることができる。

また、本発明の位置出しテーブルでは、第２のテーブルは、２つの第１の固定ピンで位置決めする位置決め部を備え、位置決め部による位置決めと共に第１の進退機構と第２の進退機構との連結により第２のテーブルを第１のテーブルに装着するとよい。この構成によれば、第１の板状ワークの位置出しと、第２のテーブルの位置決めとの両方に第１の固定ピンを利用でき、第１の固定ピンに複数の機能を持たせて構造の簡略化を図ることができる。

また、本発明の位置出しテーブルでは、第１の載置部は、２つの第１の固定ピンと少なくとも１つの第１の進退ピンとを頂点として形成される仮想三角形の中央に配設される円板状であって、第２のテーブルは、第１の載置部に嵌合する凹形状の嵌合部を備え、第１の載置部に嵌合部を嵌合させると共に第１の進退機構と第２の進退機構との連結により第２のテーブルを第１のテーブルに装着してもよい。この構成によれば、第１の載置部に嵌合する嵌合部を第２のテーブルが有するので、第１の載置部を利用して第２のテーブルを位置決めすることができる。

また、本発明の位置出しテーブルでは、第１の載置部は吸引源に連通する吸引孔を備え、吸引孔による吸引によって、第１の載置部に嵌合部を嵌合させた第２のテーブルを吸引保持してもよい。この構成によれば、第１の載置部と嵌合部との嵌合状態をより良好に維持することができる。

本発明によれば、位置出しする板状ワークの直径が変わっても、板状ワークの位置出し位置の再現性を高めることができ、板状ワークの直径の変化に伴う作業負担を軽減することができる。

第１の実施の形態に係る位置出しテーブルを構成する第１のテーブルの概略平面図である。 第１の実施の形態に係る第１のテーブルの断面模式図である。 第１の実施の形態に係る位置出しテーブル全体の概略平面図である。 第１の実施の形態に係る位置出しテーブル全体の断面模式図である。 第２の実施の形態に係る位置出しテーブル全体の概略平面図である。 第３の実施の形態に係る位置出しテーブルを構成する第１のテーブルの概略平面図である。 第３の実施の形態に係る第１のテーブルの断面模式図である。 第３の実施の形態に係る位置出しテーブル全体の断面模式図である。 変形例に係る位置出しテーブル全体の断面模式図である。

以下、本発明の実施の形態に係る位置出しテーブルについて添付図面を参照して詳細に説明する。なお、位置出しテーブルは、板状ワークを研削する研削装置に適用でき、また、直径の異なる２つの板状ワークの位置出しを行う他の加工装置にも適用することが可能である。

（第１の実施の形態）
先ず、図１及び図２を参照して、第１の実施の形態に係る位置出しテーブルを構成する第１のテーブルについて説明する。図１は、第１の実施の形態に係る第１のテーブルの概略平面図である。図２は、第１の実施の形態に係る第１のテーブルの断面模式図である。

図１及び図２に示すように、位置出しテーブル１を構成する第１のテーブル２は、平面視円形の第１の板状ワークＷ１の位置出しを行う。第１の板状ワークＷ１としては、表面にデバイスが形成された半導体ウェーハ等の各種加工材料の他、研削用に半導体ウェーハをワックスによってサブストレートに貼付したワークや、粘着テープを介して半導体ウェーハをリングフレームの内側に支持したワークを例示することができる。従って、第１の板状ワークＷ１における円形は、真円だけでなく、円の一部を切り欠いたり外側に突出させたりする形状を含むものである。

第１のテーブル２は、平面視で方形状に形成された板状の第１の基台２１と、この第１の基台２１の上面に設けられた３つの第１の載置部２２及び２つの第１の固定ピン２３とを備えている。ここで、図１に示す平面視において、第１の基台２１の図１中右上方向に延びる対角線を仮想線Ｌ１、左上方向に延びる対角線を仮想線Ｌ２とする。３つの第１の載置部２２は、平面視で、それらを仮想線で結ぶ仮想三角形Ｔ１が二等辺三角形となる。二等辺三角形の頂点に位置する第１の載置部２２ａは、仮想線Ｌ１上に設けられている。そして、３つの第１の載置部２２は、上記の仮想三角形Ｔ１が仮想線Ｌ１を対称軸として線対称となるように配設されている。頂点に位置する第１の載置部２２ａは、仮想線Ｌ２より左側に設けられ、他の第１の載置部２２ｂは、仮想線Ｌ２より右側にそれぞれ設けられる。

２つの第１の固定ピン２３は、仮想線Ｌ２より図１中左側にそれぞれ設けられ、仮想線Ｌ１を対称軸として対称配置されている。また、２つの第１の固定ピン２３は、仮想三角形Ｔ１の外側に配設され、第１の基台２１の中心位置に第１の板状ワークＷ１が載置されたときに、第１の板状ワークＷ１の外周に接触する位置に設けられている。

第１のテーブル２は、第１の基台２１の図１中右上コーナー部に設けられた第１の進退機構２４を備えている。第１の進退機構２４は、第１の基台２１の上面より突出する第１の進退ピン２４ａを有している。第１の進退ピン２４ａの図２中下端には、ナット部材２４ｂが取り付けられ、このナット部材２４ｂを介して連結軸２４ｃが連結されている。連結軸２４ｃは、平面視で、仮想線Ｌ１に沿って延在する長穴２１ａ内に挿入され、下端部が第１の基台２１の下面からはみ出る長さに設けられている。連結軸２４ｃの下端部には、シリンダ２４ｄの出力軸２４ｅが接続されている。シリンダ２４ｄは、平面視で、仮想線Ｌ１の延在方向に進退するよう出力軸２４ｅを駆動可能に構成されている。従って、第１の進退ピン２４ａは、シリンダ２４ｄによって仮想線Ｌ１の延在方向に移動し、第１の載置部２２に載置された第１の板状ワークＷ１の径方向に進退可能となる。

第１の進退ピン２４ａ及び各第１の固定ピン２３は、円柱状に形成され、第１の基台２１の上面からの突出高さが略同一に設定されている。また、各第１の載置部２２は、円柱状に形成され、第１の進退ピン２４ａ及び第１の固定ピン２３に比べ、第１の基台２１の上面からの突出高さが低く形成されている。これにより、第１の載置部２２に載置された第１の板状ワークＷ１の外周に第１の固定ピン２３及び第１の進退ピン２４ａの外周面が接触可能となる。

次に、図１及び図２を参照して、第１のテーブル２における第１の板状ワークＷ１の位置出し方法について説明する。第１の板状ワークＷ１を第１のテーブル２に搬入する前に、シリンダ２４ｄを駆動し、第１の進退ピン２４ａを第１の固定ピン２３から離れる方向（図２中右方向）に移動して位置付けておく。この状態から、不図示の搬送手段を介して第１の板状ワークＷ１が３つの第１の載置部２２上に載置される。このとき、２つの第１の固定ピン２３及び第１の進退ピン２４ａが第１の板状ワークＷ１の外周から離れた状態とされる。

この状態から、第１の板状ワークＷ１の径方向（図１及び図２に示す矢印方向）に第１の進退ピン２４ａを進行させて第１の板状ワークＷ１の外周に当接させる。そして、引き続き第１の進退ピン２４ａを進行させ、第１の板状ワークＷ１を第１の載置部２２の上でスライドさせ、第１の板状ワークＷ１の外周に第１の進退ピン２４ａと共に２つの第１の固定ピン２３を当接させる。これにより、第１の板状ワークＷ１が図１の二点鎖線で示す位置において、第１の進退ピン２４ａと２つの第１の固定ピン２３との３点によって、紙面と平行な方向の移動が規制されて位置出しされる。

続いて、図３及び図４を参照して、本実施の形態に係る位置出しテーブルを構成する第２のテーブルについて説明する。図３は、本実施の形態に係る位置出しテーブル全体の概略平面図である。図４は、本実施の形態に係る位置出しテーブル全体の断面模式図である。

図３及び図４に示すように、位置出しテーブル１を構成する第２のテーブル３は、第２の板状ワークＷ２の位置出しを行う。第２の板状ワークＷ２は、平面視で第１の板状ワークＷ１より小径となる円形に形成され、第１の板状ワークＷ１の上記説明において例示した構成を採用することができる。

第２のテーブル３は、平面視で円形をなす板状の第２の基台３１と、この第２の基台３１の上面に設けられた１つの第２の載置部３２及び２つの第２の固定ピン３３とを備えている。第２の基台３１は、２つの第１の固定ピン２３及び第１の進退ピン２４ａの内側に配設可能な大きさに形成されている。第２の基台３１の下面３箇所位置には、下向き凹状をなす嵌合孔３４が形成されている。各嵌合孔３４は、平面視で、３つの第１の載置部２２に重なる位置に形成され、且つ、第１の載置部２２を受容して嵌合可能に形成されている。この嵌合において、３つの第１の載置部２２は、第２のテーブル３を位置決めするための位置決めピンとして機能する。また、第２の基台３１と、第１の基台２１とは、第１の載置部２２と嵌合孔３４との嵌合状態において、平面視で、仮想線Ｌ１，Ｌ２が第２の基台３１の中心を通過する相対位置関係となる。

第２の載置部３２は、平面視で、第２の基台３１の面内中央部に配置され、第１の載置部２２より大きい円形に形成されている。

２つの第２の固定ピン３３は、平面視で、仮想線Ｌ１を対称軸として対称配置され、仮想線Ｌ２より左側にそれぞれ設けられている。２つの第２の固定ピン３３は、第２の載置部３２の中心付近に第２の板状ワークＷ２が載置されたときに、第２の板状ワークＷ２の外周に接触する位置に設けられている。

第２のテーブル３は、第２の基台３１の図３中右上側において第１の連結機構２４と重なる位置に設けられた第２の進退機構３５を備えている。第２の進退機構３５は、平面視で対角線Ｌ１に沿って延在するガイドレール３５ａを第２の基台３１の上面に備えている。ガイドレール３５ａには、ブラケット３５ｂがスライド可能に設置されている。ブラケット３５ｂは、ガイドレール３５ａ上に配設された先端部３５ｂａと、ナット部材２４ｂに嵌合する穴を有する基部３５ｂｂと、先端部３５ｂａ及び基部３５ｂｂを連結する中間部３５ｂｃとを備えてクランク状に形成されている。

先端部３５ｂａの上面には、第２の進退ピン３５ｃが突出して設けられている。従って、第２の進退ピン３５ｃは、ブラケット３５ｂ、ナット部材２４ｂ及び連結軸２４ｃを介してシリンダ２４ｄに接続される。この接続によって、第２の進退機構３５は、第１の進退機構２４におけるシリンダ２４ｄの駆動に従動して第２の進退ピン３５ｃを対角線Ｌ１の延在方向に移動し、第２の載置部３２に載置された第２の板状ワークＷ２の径方向に第２の進退ピン３５ｃが進退可能となる。

第２の進退ピン３５ｃ及び各第２の固定ピン３３は、円柱状に形成され、それらの上端の高さが略同一に設定されている。また、第２の載置部３２は、円柱状に形成されるものの、第２の進退ピン３５ｃ及び第２の固定ピン３３に比べて低い高さに形成されている。これにより、第２の載置部３２に載置された第２の板状ワークＷ２の外周に第２の固定ピン３３及び第２の進退ピン３５ｃの外周面が接触可能となる。

次いで、第１のテーブル２に対する第２のテーブル３の着脱方法について説明する。第１のテーブル２への第２のテーブル３の装着は、３箇所の嵌合孔３４それぞれの内部に第１の載置部２２が受容され、基部３５ｂｂの穴内にナット部材２４ｂが挿入されるよう位置合わせする。この位置合わせを行いつつ、第１の基台２１の上面に第２の基台３１を載置することで、基部３５ｂｂの穴内にナット部材２４ｂが嵌って連結され、且つ、嵌合孔３４及び第１の載置部２２が嵌合される。この嵌合によって第１のテーブル２が第２のテーブル３に装着され、各テーブル２，３における図１中紙面に平行な方向への相対移動が規制された状態となる。このとき、基部３５ｂｂとナット部材２４ｂとの連結によって、シリンダ２４ｄの駆動に対し、第２の進退機構３５の第２の進退ピン３５ｃが従動可能となる。

一方、第１のテーブル２から第２のテーブル３を離脱する場合は、第１のテーブル２に対して第２のテーブル３を上昇させればよい。これにより、嵌合孔３４から第１の載置部２２が抜け出し、基部３５ｂｂの穴からナット部材２４ｂも抜け出して各テーブル２，３の装着状態が解除される。

次に、図３及び図４を参照して、第２のテーブル３における第２の板状ワークＷ２の位置出し方法について説明する。この方法は、第１の板状ワークＷ１の位置出し方法と略同じ要領となるが、念のために以下に説明する。

第２の板状ワークＷ２を第２のテーブル３に搬入する前に、シリンダ２４ｄを駆動し、第２の進退ピン３５ｃを第２の固定ピン３３から離れる方向（図４中右方向）に移動して位置付けておく。この状態から、不図示の搬送手段を介して第２の板状ワークＷ２が第２の載置部３２上に載置される。このとき、２つの第２の固定ピン３３及び第２の進退ピン３５ｃが第２の板状ワークＷ２の外周から離れた状態とされる。

この状態から、第２の板状ワークＷ２の径方向（図３及び図４に示す実線矢印方向）に第２の進退ピン３５ｃを進行させて第２の板状ワークＷ２の外周に当接させる。そして、引き続き第２の進退ピン３５ｃを進行させ、第２の板状ワークＷ２を第２の載置部３２の上でスライドさせ、第２の板状ワークＷ２の外周に第２の進退ピン３５ｃと共に２つの第２の固定ピン３３を当接させる。これにより、第２の板状ワークＷ２が図３の二点鎖線で示す位置において、第２の進退ピン３５ｃと２つの第２の固定ピン３３との３点によって、紙面と平行な方向の移動が規制されて位置出しされる。

以上のように、本実施の形態に係る位置出しテーブル１によれば、第２のテーブル３を第１のテーブル２から取り外すだけで、第２の板状ワークＷ２の位置出しを行った後、第１の板状ワークＷ１の位置出しを行うことができる。このとき、第１のテーブル２における２つの第１の固定ピン２３を移動させなくてよいので、第１の板状ワークＷ１を位置出しするための準備を短時間で行うことができる。しかも、２つの第１の固定ピン２３の相対位置が変化することを回避でき、第２のテーブル３を用いた位置出しの前に行った第１の板状ワークＷ１の位置出しに対し、第１の板状ワークＷ１の位置出し位置の再現性を良好に維持することができる。

また、第２のテーブル３は第２の固定ピン３２や第２の連結機構３５等を一体として着脱自在とされるので、２つの第２の固定ピン３２においても相対位置が変化することを回避することができる。これにより、第２の板状ワークＷ２が位置出しされる位置においても再現性を良好に維持することができる。また、第１のテーブル２に第２のテーブル３を装着するだけで、第１の板状ワークＷ１の位置出しを行った後、第２の板状ワークＷ２の位置出しを行うことができ、第２の板状ワークＷ２を位置出しするための準備も短時間で行うことができる。従って、本実施の形態は、直径の異なる第１及び第２の板状ワークＷ１，Ｗ２をそれぞれ位置出しする場合であっても、各板状ワークＷ１，Ｗ２の位置出し位置の再現性を高めつつ、板状ワークＷ１，Ｗ２の直径の変化に伴う作業負担を軽減することができる。

また、第２の進退機構３５が第１の進退機構２４に従動する構成としたので、第２の進退機構３５においてシリンダ等の駆動機構を省略でき、構成の簡略化を図ることができる。更に、第２の進退機構３５によって、第２の進退ピン３５ｃを第１の進退ピン２４ａより第２の基台３１の中央寄りに配設でき、第２の板状ワークＷ２が位置出しされる位置を平面視で第１の基台２１の中央に近付けたり一致させたりすることができる。

更には、第１の載置部２２に嵌合孔３４を嵌合させたので、簡単な構成によって第２のテーブル３を容易に位置決めでき、且つ、第１の板状ワークＷ１を支持する第１の載置部２２を利用して第２のテーブル３を位置決めすることができる。

本実施の形態の構成は、他の実施の形態において示す構成と適宜組み合わせて実施できる。

次いで、第１の実施の形態とは異なる第２及び第３の実施の形態について説明する。なお、第２及び第３の実施の形態において、第１の実施の形態と共通する構成要素については、同一の符号を付し、その説明を省略する。

（第２の実施の形態）
図５は、第２の実施の形態に係る位置出しテーブル全体の概略平面図である。図５に示すように、第２の実施の形態に係る位置出しテーブル１０１は、第２のテーブル１０３の基台１３１を多角形形状にしたものである。

基台１３１は、第２のテーブル１０３を第１のテーブル２に装着したときに、平面視で仮想線Ｌ１を対称軸として線対称となる外形をなし、第１の載置部２２に重ならない位置に設けられている。第２の基台１３１は、外周に一対の傾斜縁からなる位置決め部１３１ａを備え、位置決め部１３１ａは、図５中左下方向に向かうに従って相互に接近するように傾斜している。ここで、平面視での仮想線Ｌ２の延在方向において、２つの第１の固定ピン２３の離間距離をＤ、一対の位置決め部１３１ａの最大幅をｄｍａｘ、最小幅をｄｍｉｎとした場合、ｄｍｉｎ＜Ｄ＜ｄｍａｘとなる関係になる。従って、２つの第１の固定ピン２３の図５中右上側から左下方向に基台１３１をスライドさせることで、位置決め部１３１ａの延在方向中間部が第１の固定ピン２３に接触する。この接触によって、２つの第１の固定ピン２３の間に第２の基台１３１が嵌り合って第２のテーブル３が平面視で図５中右上以外の方向に移動しないように位置決めされる。この位置決めと共に、ナット部材２４ｂが基部３５ｂｂの穴内に嵌ることで、第１の進退機構２４と第２の進退機構３５とが連結され、第１のテーブル２及び第２のテーブル１０３の図５中紙面に平行な方向への相対移動が規制された状態となる。

従って、第２の実施の形態によれば、第１の固定ピン２３が第１の板状ワークＷ１の位置出しだけでなく、第２のテーブル１０３の位置決めにも利用され、第１の固定ピン２３に複数の機能を持たせて構造の簡略化を図ることができる。

本実施の形態の構成は、他の実施の形態において示す構成と適宜組み合わせて実施できる。

（第３の実施の形態）
図６は、第３の実施の形態に係る位置出しテーブルを構成する第１のテーブルの平面図である。図７は、図６の断面模式図である。図６に示すように、第３の実施の形態に係る位置出しテーブル２０１では、第１のテーブル２０２における第１の載置部２２２が、平面視で第１の基台２１の面内中央部一箇所に配置される。第１の載置部２２２は、第１の実施の形態における第１の載置部２２より大きい円板状に形成されている。第１の載置部２２２は、２つの第１の固定ピン２３と第１の進退ピン２４ａとを頂点として形成される仮想三角形Ｔ２の中央に配設されている。第１の載置部２２２は、吸引源２２５に連通する吸引孔２２６を備えている。

図８は、第３の実施の形態に係る位置出しテーブル全体の断面模式図である。図８に示すように、第２のテーブル２０３の基台２３１には、第１の載置部２２２に嵌合する凹形状の嵌合部２３６が形成されている。第１の載置部２２２に嵌合部２３６を嵌合させたときに、嵌合部２３６の底面は、第１の載置部２２２の上面と面接触する。そして、吸引源２２５の作動による吸引孔２２６での吸引によって、嵌合部２３６の底面が第１の載置部２２２の上面に吸引保持され、第２のテーブル２０３が位置決めされる。この位置決めと共に、ナット部材２４ｂが基部３５ｂｂの穴内に嵌ることで、第１の進退機構２４と第２の進退機構３５とが連結され、第１のテーブル２０２及び第２のテーブル２０３の図６中紙面に平行な方向への相対移動を規制した装着状態となる。

従って、第３の実施の形態によれば、第１の載置部２２２を利用して第２のテーブル２０３を位置決めしつつ、第１の載置部２２２において嵌合部２３６を吸引保持することができ、第１の載置部２２２と嵌合部２３６との嵌合状態を良好に維持することができる。

本実施の形態の構成は、他の実施の形態において示す構成と適宜組み合わせて実施できる。

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。

例えば、第３の実施の形態に係る第２のテーブル２０３は、図９に示す構成に変更してもよい。図９は、変形例に係る位置出しテーブル全体の断面模式図である。図９において、第２の基台２３１と第２の載置部３２とには、吸引孔２２６に連通する吸引流路２３７が形成されている。従って、吸引源２２５を作動すると、吸引孔２２６を介して吸引流路２３７で吸引し、第２の載置部３２に載置された第２の板状ワークＷ２が吸引保持される。

また、第１の実施の形態では、３つの第１の載置部２２に対し、３つの嵌合孔３４を形成したが、３つの嵌合孔３４に代えて、凹形状をなす１つの嵌合部を第２の基台３１に形成してもよい。このとき、嵌合部が平面視円形とされて３つの第１の載置部２２全てに接触しつつ受容可能に形成されることで、第２のテーブル３を位置決めすることができる。

更に、第１及び第２の進退ピン２４ａ，３５ｃの形成数は、１つに限られずに２つ以上としてもよく、第１及び第２の固定ピン２３，３３の形成数は、２つに限られずに３つ以上としてもよい。

また、第１の実施の形態では、第１の載置部２２を位置決めピンとして嵌合孔３４と嵌合する構成としたが、嵌合孔３４の嵌合対象となる位置決めピンは第１の載置部２２に限られず、第１の載置部２２とは別に設けてもよい。更に、位置決めピン及び嵌合孔３４は２つずつに限られず、４つずつ以上としてもよい。

また、第１及び第２の進退機構２４，３５の構成は、図示構成例に限られるものでない。第１の進退機構２４は、シリンダ２４ｄに代えて送りねじ構造等を採用してもよく、第２の進退機構３５は、上記のように第１の進退機構２４に従動する限りにおいて、第１の進退ピン２４ａに嵌合して連結する構造等を採用してもよい。

以上説明したように、本発明は、直径の異なる２つの板状ワークを位置出しする装置に適用され、位置出しする板状ワークの直径が変わっても、板状ワークの位置出し位置の再現性を高め、且つ、板状ワークの直径の変化に伴う作業負担を軽減することができるという効果を有する。

１，１０１，２０１ 位置出しテーブル
２，２０２ 第１のテーブル
３，１０３，２０３ 第２のテーブル
２２，２２２ 第１の載置部
２３ 第１の固定ピン
２４ 第１の進退機構
２４ａ 第１の進退ピン
３２ 第２の載置部
３３ 第２の固定ピン
３４ 嵌合孔
３５ 第２の進退機構
３５ｃ 第２の進退ピン
１３１ａ 位置決め部
２２５ 吸引源
２２６ 吸引孔
２３６ 嵌合部
Ｗ１ 第１の板状ワーク
Ｗ２ 第２の板状ワーク

Claims (5)

1. 直径の異なる２つの板状ワークの位置出しを可能とする位置出しテーブルであって、
   第１の板状ワークを載置させる第１の載置部と、該第１の載置部に載置された該第１の板状ワークの径方向に進退する少なくとも１つの第１の進退ピンを備えた第１の進退機構と、該第１の進退ピンの進退により該第１の進退ピンと共に該第１の板状ワークの外周に接触する２つの第１の固定ピンと、を備えた第１のテーブルに対し、
   該第１のテーブルの該少なくとも１つの第１の進退ピンと該２つの第１の固定ピンとに接する仮想円の内側において、該第１の板状ワークより小径の第２の板状ワークを載置させる第２の載置部と、該第１の進退機構に従動して該第２の載置部に載置された該第２の板状ワークの径方向に進退する第２の進退ピンを備えた第２の進退機構と、該第２の進退ピンの進退により該第２の進退ピンと共に該第２の板状ワークの外周に接触する２つの第２の固定ピンと、を備えた第２のテーブルを着脱自在に装着可能に構成される位置出しテーブル。
2. 該第１のテーブルは第２のテーブルを位置決めする少なくとも２つの位置決めピンを備え、
   該第２のテーブルは該少なくとも２つの位置決めピンに嵌合する少なくとも２つの嵌合孔を備え、該少なくとも２つの位置決めピンと該少なくとも２つの嵌合孔とによって、該第１のテーブルに該第２のテーブルを所定の位置で装着する請求項１記載の位置出しテーブル。
3. 該第２のテーブルは、該２つの第１の固定ピンで位置決めする位置決め部を備え、該位置決め部による位置決めと共に該第１の進退機構と第２の進退機構との連結により第２のテーブルを該第１のテーブルに装着する請求項１記載の位置出しテーブル。
4. 該第１の載置部は、該２つの第１の固定ピンと該少なくとも１つの第１の進退ピンとを頂点として形成される仮想三角形の中央に配設される円板状であって、
   該第２のテーブルは、該第１の載置部に嵌合する凹形状の嵌合部を備え、該第１の載置部に該嵌合部を嵌合させると共に該第１の進退機構と第２の進退機構との連結により第２のテーブルを該第１のテーブルに装着する請求項１記載の位置出しテーブル。
5. 該第１の載置部は吸引源に連通する吸引孔を備え、該吸引孔による吸引によって、該第１の載置部に該嵌合部を嵌合させた該第２のテーブルを吸引保持する請求項４記載の位置出しテーブル。

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