JP2015093488A - 湿度を低減するためのｍｅｍｓアクチュエータ圧力補償構造 - Google Patents

Abstract

【課題】安定した動作ができる静電駆動インクジェット印刷ヘッドを提供する。
【解決手段】通気システム及びアクチュエータアレイを含む印刷ヘッド１０において、各アクチュエータ１５は、アクチュエータ空気チャンバ２０を含む。通気システムは、大気に対してアクチュエータ空気チャンバ２０を通気する空気経路を含む。印刷ヘッド１０は、さらに、空気経路内の空気から水分を除去するように構成された乾燥機５０、５２を含む。乾燥機５０、５２は、乾燥剤５０、抵抗ヒータ５２又はその双方を含む。
【選択図】図１

Description

本教示は、インクジェット印刷装置の分野に関し、より具体的には、静電作動インクジェット印刷ヘッド及び静電作動インクジェット印刷ヘッドを含むプリンタについての方法及び構造に関する。

ドロップ・オン・デマンド式のインクジェット技術は、印刷業界において広く使用されている。ドロップ・オン・デマンド式のインクジェット技術を使用したプリンタは、開口プレートにおける複数のノズルからインクを吐出するために、複数の静電式アクチュエータ、圧電式アクチュエータ又はサーマル式アクチュエータを使用することができる。静電吐出において、基板アセンブリ上に形成される各静電式アクチュエータは、通常、可撓性ダイアフラム又は膜と、開口プレートと膜との間のインクチャンバと、膜と基板アセンブリとの間の空気チャンバとを含む。さらに、静電式アクチュエータは、空気チャンバ内の基板アセンブリ上に形成されたアクチュエータ電極を含む。電圧がアクチュエータ電極を活性化するために印加された場合、膜は、電界によって電極に引き寄せられ、弛緩状態から屈曲状態へと作動させ、インクチャンバの容積を増大させ、インク供給又は容器からインクチャンバにインクを引き寄せる。電圧がアクチュエータ電極を非活性化するために除去された場合、膜は弛緩し、インクチャンバ内の容積は低減し、インクが開口プレートにおけるノズルから吐出される。

印刷ヘッドにわたる各静電式アクチュエータ用の空気チャンバは、密閉又は大気に開放されることができる。通気空気チャンバは、通常、空気チャンバ内の圧力及び大気圧が静電式アクチュエータの動作における大気圧及び温度を変化させる効果を低減させるために等しくされるのが望ましい。例えば、一般に譲渡され、参照することによってその全体が本願明細書に組み込まれる米国特許第８，５６７，９１１号明細書は、各静電式アクチュエータの空気チャンバを大気中に通気する流路を有する静電式アクチュエータ装置を開示している。

大気への空気流路を通気することは、上昇又は空気圧の変化に対する印刷ヘッドをより堅牢とするものの、印刷ヘッドへの高湿度の空気流入が静電式アクチュエータの動作に影響を与える可能性がある空気絶縁破壊特性を変化させることから、湿度の変化に対しては印刷ヘッドをより堅牢としない。静電式アクチュエータは、湿度が増加するのにともない、ますます不安定な挙動をすることがある。環境条件の変化においてより安定した動作を有する静電駆動インクジェット印刷ヘッドが望ましい。

以下は、本教示の１つ以上の実施形態のいくつかの態様の基本的理解を提供するために簡略化した概要を提示するものである。この概要は、広範な概観ではなく、また、本教示の主要又は重要な要素を識別すること又は本開示の範囲を詳しく説明することを意図するものではない。むしろ、その主な目的は、後で提示される詳細な説明の前置きとして簡略化した形態で１つ以上の概念を提示するにすぎない。

本教示の実施形態において、印刷ヘッドは、複数のアクチュエータを含むことができ、各アクチュエータが、アクチュエータ空気チャンバと、アクチュエータ電極と、電極の活性化中に電極に向かって屈曲するように構成された膜と、アクチュエータインクチャンバとを含み、膜がアクチュエータ空気チャンバとアクチュエータインクチャンバとの間に介在される。印刷ヘッドは、さらに、大気によって各アクチュエータ空気チャンバを通気する空気経路を備える通気システムと、空気経路内に配置された乾燥機とを含むことができ、乾燥機が、印刷ヘッドからのインクの吐出中に空気経路内の空気の湿度を低減させるように構成されている。

他の実施形態において、プリンタは、印刷ヘッドを含むことができる。印刷ヘッドは、複数のアクチュエータを含むことができ、各アクチュエータが、アクチュエータ空気チャンバと、アクチュエータ電極と、電極の活性化中に電極に向かって屈曲するように構成された膜と、アクチュエータインクチャンバとを含み、膜がアクチュエータ空気チャンバとアクチュエータインクチャンバとの間に介在される。プリンタは、さらに、大気によって各アクチュエータ空気チャンバを通気する空気経路を備える通気システムと、空気経路内に配置された乾燥機と、印刷ヘッドを包むプリンタハウジングとを含むことができ、乾燥機が印刷ヘッドからのインクの吐出中に空気経路内の空気の湿度を低減させるように構成されている。

他の実施形態において、印刷ヘッドを形成する方法は、複数のアクチュエータを形成することを含み、各アクチュエータが、アクチュエータ空気チャンバと、アクチュエータ電極と、電極の活性化中に電極に向かって屈曲するように構成された膜と、アクチュエータインクチャンバとを備え、膜がアクチュエータ空気チャンバとアクチュエータインクチャンバとの間に介在されている。本方法は、さらに、大気によって各アクチュエータ空気チャンバを通気する空気経路を備える通気システムを形成することと、空気経路内に乾燥機を配置することとを含むことができ、乾燥機が印刷ヘッドからのインクの吐出中に空気経路内の空気の湿度を低減させるように構成されている。

本願明細書に組み込まれて一部を構成する添付図面は、本教示の実施形態を説明し、詳細な説明とともに本開示の原理を説明するのに役立つ。

図１は、複数の静電式アクチュエータを含む本教示の実施形態にかかる静電式印刷ヘッドの一部を描写する断面図である。 図２は、本教示の実施形態にかかる静電式印刷ヘッドの一部の斜視図である。 図３は、本教示の実施形態にかかる１つ以上の印刷ヘッドを含むインクジェットプリンタの斜視図である。

なお、図面のいくつかの詳細は、厳密な構造的精度、詳細及び縮尺を維持するためではなく、本教示の理解を容易にするために簡略化されて描かれていることに留意されたい。

参照は、本教示の例示的な実施形態、添付図面に図示されている例に対して詳細に行われる。可能な限り、同一又は同様の部品を指すために同じ参照符号が図面全体にわたって使用される。

特に断らない限り、本願明細書において使用される場合、用語「プリンタ」は、ディジタル複写機、製本機、ファクシミリ装置、複合機、インクジェットプリンタ、静電写真装置等の任意の目的で印刷出力機能を実行する任意の装置を包含する。

印刷ヘッドのサイズが減少し続けるのにともない、静電式アクチュエータの規模も小さくなる。静電アクチュエータの動作を向上させ、静電式アクチュエータを屈曲するのに十分な電界を生成するために必要な電力量を低減させるために、アクチュエータ膜とアクチュエータ電極との間の間隙は小さくなる。例えば、約０．１８μｍと小さいアクチュエータ膜の表面とアクチュエータ電極との間の間隙を有する印刷ヘッドが開発されている。空気間隙が小さいことから、相対湿度等の大気条件は、静電式アクチュエータの効率的な動作に大きな影響を与える。例えば、低湿度の条件下で十分に動作する静電式アクチュエータは、高湿度の条件下では不十分に機能することがある。

後述するように、本教示の実施形態は、各印刷ヘッド静電式アクチュエータを大気へと通気する流路を通って流れる空気の湿度を低減させるための乾燥機を含むことができる。ある実施形態において、乾燥機は、膜と基板アセンブリとの間における複数の空気チャンバにつながる１つ以上の通気開口の周りの空気を加熱するヒータとすることができる。他の実施形態において、乾燥機は、通気開口の周囲の空気から水分を吸収する化学的乾燥剤であってもよい。ある実施形態において、乾燥機は、ヒータ及び化学的乾燥剤の双方を含むことができる。

図１は、本教示の実施形態を描いている断面図であり、図２は、図１の実施形態の一部の斜視図であり、同様の構造は同様の番号を付している。図１は、複数のノズル（すなわち、開口、ノズル開口）１４を含む開口プレート１２と、複数の静電式アクチュエータ１５とを含む印刷ヘッド１０の一部を描いている。各静電式アクチュエータ１５は、可撓性膜又はダイアフラム１６の一部と、アクチュエータ電極１８と、通気アクチュエータ空気チャンバ２０と、膜１６と開口プレート１２との間に介在されるインクチャンバ２２と、インクチャンバ２２からノズル１４までつながるインク出口２４とを含むことができる。この実施形態において、膜１６は、アクチュエータ空気チャンバ２０とインクチャンバ２２との間に介在されている。アクチュエータ電極１８は、描かれているようにアクチュエータ空気チャンバ２０内にあるか及び／又はアクチュエータ空気チャンバ２０内の空気に露出されることができる。

ある実施形態において、アクチュエータ電極１８は、アクチュエータ電極１８を形成するようにエッチングされる導電層を設けることにより、半導体基板アセンブリ２６上に形成されることができる。アクチュエータ電極１８及び誘電体層２８Ｂもまた形成する導電層の一部２８Ａから形成された接合特徴２８は、膜１６に半導体基板アセンブリ２６を接合するのに使用されることができる。

インクは、図示されるように半導体基板アセンブリ２６及び接合特徴２８の双方を通って延在している垂直インク入口３２を介して、膜１６内の開口を介して、複数の積層機能層（簡略化のために個別に描かれていない）を含むことができるジェットスタックサブアセンブリ３０内に、インク供給源（簡略化のために個別に描かれていない）から送られることができる。インクは、インク供給源（簡略化のために個別に描かれていない）から、垂直インク入口３２及びインク経路又はインク「バス」を介して各アクチュエータ１５用の各ノズル１４へと送られてもよい。所定のアクチュエータ用のインク経路は、垂直インク入口３２から、水平インク流路３４へと、インク入口３５へと、インクチャンバ２２へと、インク出口２４へとつながることができ、そして、アクチュエータ１５の活性化によってノズル１４を介して出ることができる。これらのインク経路のうちの１つを使用することにより、インクは、垂直入口３２から各ノズル１４へとインクジェットスタックサブアセンブリ３０を介して横方向に送られることができる。アクチュエータ１５のアレイの各行及び／又は列は、描かれているように複数のアクチュエータ１５にインクを供給する水平インク流路３４を含むことができる。さらなる詳細については図２の斜視図を参照されたい。図１及び図２は、概略図であり、印刷ヘッドは、描かれた構造が除去又は変更されてもよいが、簡略化のために描かれていない追加の特徴を含むことができることが理解されるであろう。

ある実施形態において、各アクチュエータ空気チャンバ２０は、接合特徴２８を通って延在している側方開口３６と、接合特徴２８及び半導体基板アセンブリ２６を通って延在している垂直開口３８とを介して大気に露出されることができる。側方開口３６は、描かれているように各行及び／又は列において各アクチュエータ１５の空気チャンバ２０を相互接続することができる。垂直開口３８は、例えば半導体基板アセンブリ２６に物理的に取り付けられたベース４２内の凹部によって設けられた容器空気チャンバ４０内に開放することができる。ベース４２は、さらに、アクチュエータアレイ用の駆動及び制御電子回路４８を含む電子機器筐体４６内に開放する通気口４４を含むことができる。それゆえに、各アクチュエータ空気チャンバ２０は、接合構造２８における側方開口３６と、接合構造２８を介した垂直開口３８と、半導体基板アセンブリ２６と、容器空気チャンバ４０と、通気口４４とを含む空気経路を介して大気に通気されることができる。図１は、アクチュエータアレイにおける５つのアクチュエータ１５を描いているが、アクチュエータアレイは、数百又は数千のアクチュエータのグリッドを含んでもよいことが理解されるであろう。さらに、図面は、１つの可能な印刷ヘッドの構成を示しているが、本教示の実施形態にかかる印刷ヘッドは、描かれた例示的で非限定的な実施形態以外の構成を含んでもよいことが理解されるであろう。

大気に開放されているアクチュエータは、環境大気の条件によって影響を受ける可能性がある。例えば、通気されるアクチュエータは、特にアクチュエータ電極とアクチュエータ膜との間の間隙はより小さなスケールのデバイスによって低減することから、低い相対湿度の期間中には十分に、高い相対湿度の期間中には不十分に機能することがある。さらに、電極への入力電圧が低電力デバイスを製造するために低減することから、相対湿度は、より大きくアクチュエータの動作に影響を与える。

したがって、図１及び図２のデバイスは、例えば大気とアクチュエータ空気チャンバ２０との間の空気経路において１つ以上の乾燥機を含む。乾燥機は、空気が通気口４４に入るのにともない空気を調整するように通気口４４の近くに配置されることができる。様々な乾燥機タイプにともない他の乾燥機の位置が考えられる。図１及び図２は、例えば乾燥剤である第１の乾燥機タイプ５０と、例えば抵抗ヒータである第２の乾燥機タイプ５２とを描いている。乾燥機５０、５２の双方のタイプが描かれているが、印刷ヘッドは、１つの乾燥機タイプのみを含んでもよく、又は、印刷ヘッドは、双方の乾燥機タイプ若しくは他の乾燥機タイプを含んでもよいことが理解されるであろう。

図１及び図２において、乾燥剤は、ベース４２の表面に物理的に接続されているが、乾燥剤５０は、大気とアクチュエータ空気チャンバ２０との間の空気経路と流体連通して他の位置に配置されてもよい。乾燥剤５０は、容器空気チャンバ４０に入る空気から環境湿度を除去することができ、それにより、空気の湿度を乾燥して低下させる。乾燥剤５０は、通気口４４のいずれか又は両側に配置されてもよく、例えば半導体基板アセンブリ２６に物理的に接続された容器空気チャンバ４０内の他の位置に配置されてもよい。ある実施形態において、乾燥剤は、例えばシリカゲル、活性炭、硫酸カルシウム又は塩化カルシウムのうちの１つ以上である化学的乾燥剤を含むことができる。ある実施形態において、乾燥剤５０は、消耗した乾燥剤５０の交換がメンテナンス手順の間に行われることができるように、容器空気チャンバ４０内の印刷ヘッドに取り外し可能に取り付けられてもよい。例えば、容器空気チャンバ４０内の乾燥剤５０へのアクセスは、ベース４２を半導体基板アセンブリ２６に取り外し可能に取り付ける１つ以上のピン、ポスト、クリップ等５３を含む取り付けシステムを使用して半導体基板アセンブリ２６からベース４２を除去することによって行われてもよい。

図１及び図２において、ヒータ５２は、ベース４２の表面に物理的に接続されるが、ヒータ５２は、大気とアクチュエータ空気チャンバ２０との間の空気経路と流体連通する他の位置に配置されてもよい。ヒータ５２は、電子機器筐体４６内の電気的に回路４８にも接続されることができる電力接点５４及びグラウンド接点５６と電気的に接続されることができる。例えば蛇行して又は印刷ヘッドを横切って延在された１つ以上の導電トレースを使用して形成された抵抗ヒータであるヒータ５２は、したがって、容器空気チャンバ４０に入る空気から環境湿度を除去するために回路４８から電力を受けることができ、それにより、空気の湿度を乾燥させて低下させる。ヒータ５２は、通気口４４のいずれか又は両側に配置されることができ、例えば半導体基板アセンブリ２６に物理的に接続された容器空気チャンバ４０内の他の位置に配置されることができる。

ある実施形態において、印刷ヘッドは、描かれているように乾燥剤５０及びヒータ５２の双方を含むことができる。ヒータ５２は、追加の電力を必要とすることから、乾燥剤５０は、低電力動作を提供するために通常の印刷ヘッド動作中において空気の受動的な乾燥を提供することができる。メンテナンスサイクル中に、ヒータ５２は、加熱して乾燥する容器空気チャンバ４０内の空気を加熱するために電力供給されることができ、それにより、乾燥剤５０を再充電する。容器空気チャンバ４０に入る空気の改善された湿度の低減を提供するために、ヒータ５２及び乾燥剤の双方が通常の印刷ヘッドの動作中に連続的に使用されてもよいことも考えられる。

ある実施形態において、例えば容器空気チャンバ４０内のセンサ５８が、印刷ヘッド１０内の空気の湿度を監視又は推定するために使用されることができる。例えば温度又は湿度センサであるセンサ５８は、センサ５８及びヒータ５２に電力供給して制御する回路４８と接続６０を介して電気的に接続されることができる。低湿度の期間中における通常動作において、ヒータ５２には、低電力の印刷ヘッドの動作を提供するために電力供給されない。印刷ヘッド内の検出された空気の湿度が増加して設定点に到達すると、回路４８は、ヒータ５２に電力供給し、容器空気チャンバ４０内の空気を加熱して乾燥する。印刷ヘッド内の検出された空気の湿度が減少して設定点に到達すると、回路４８は、ヒータ５２への電力供給をオフにし、エネルギを節約する。

他の実施形態において、むしろセンサ５８を使用するよりも、印刷ヘッド内の空気の能動的な加熱及び湿度制御を提供するために、印刷ヘッドの通常の動作中及び印刷ヘッドによるインクの吐出中に所定時間間隔で交互にヒータ５２に電力供給し（すなわち、活性化）且つ電力供給をオフにしてもよい（すなわち、不活性化）。追加の電力は、湿度を判定して必要な場合にのみヒータ５２に電力供給するためにセンサ５８を使用する実施形態と比較して使用されてもよく、ヒータ５２の時限動作は、センサ５８を必要とせず、したがって、センサの実施形態と比較してコストを削減することができる。

本教示は、本教示の１つの構造的実装を描いている図面に示される実施形態に限定されるものではないことが理解されるであろう。クレームに記載された本教示の実施形態を提供しながら他の構造的配置は十分に機能するであろう。ある実施形態において、各アクチュエータ空気チャンバ２０と大気との間の圧力を等しくする垂直開口３８は、他の印刷ヘッドの位置に配置されることができる。垂直開口のルーティングは、印刷ヘッドを通る水平、垂直及び／又は斜めの経路を含むことができ、誘電体、導電体及び／又は半導体層を通って延在することができる。さらに、乾燥機５０、５２は、空気通路内の空気、特に各アクチュエータ空気チャンバ２０内の空気の十分な湿度低下を提供しながら、通気システムの空気経路内の他の位置に配置されることができる。

それゆえに、本教示の実施形態は、大気とアクチュエータ空気チャンバ２０内の圧力の等化を提供する通気システムを有するインクジェット印刷ヘッドを提供することができる。通気システムは、接合構造２８における側方開口３６を介して、ベース４２における容器空気チャンバ４０内に開放する接合構造２８及び半導体基板アセンブリ２６における垂直開口３８を介して、ベース４２内の通気口４４を介して、アクチュエータ空気チャンバ２０から延在している空気経路によって提供されることができる。乾燥機５０、５２は、空気経路内の空気を乾燥するように設けられることができる。乾燥機は、乾燥剤５０等の受動的乾燥機、抵抗ヒータ５２等の能動的乾燥機、又は、受動的乾燥機５０及び能動的乾燥機５２の双方を含むことができる。センサ５８は、印刷ヘッド１０内の空気の湿度の推定が行われることができるように空気の温度を監視又は測定するのに使用されることができ、又は、センサ５８は、印刷ヘッド内の湿度を直接測定することができる。センサ５８は、高湿度の期間中におけるヒータ５２の選択的な活性化と低湿度の期間中におけるヒータ５２の選択的な不活性化とを可能とすることができ、それにより、印刷ヘッド１０による電力使用量を削減する。他の実施形態において、ヒータは、時限電力サイクルに応じて電力給電をオン及びオフされてもよい。乾燥剤５０及びヒータ５２の双方が使用される場合、ヒータ５２は、ヒータ５２の使用及び消費電力がヒータ５２に一定の電力を供給する実施形態と比較して低減されるように、乾燥剤５０を乾燥して再充電するのに使用されてもよい。例えば１つ以上のトレースを使用して形成されるヒータは、例えば他の印刷ヘッド構造の形成中にマイクロエレクトロニクスの方法を使用して形成されることができ、それゆえに、低価格、低消費電力のヒータを提供することができる。

図３は、本教示の実施形態を含む少なくとも１つの印刷ヘッド７４が設置されたプリンタハウジング７２を含むプリンタ７０を描いている。ハウジング７２は、印刷ヘッド７４を包むことができる。動作中において、インク７６は、１つ以上の印刷ヘッド７４から吐出される。印刷ヘッド７４は、用紙、プラスチック等の印刷媒体７８上に所望の画像を形成するためのディジタル命令にしたがって動作する。印刷ヘッド７４は、印刷された画像を帯毎に生成するように走査動作中に印刷媒体７８に対して前後移動することができる。あるいは、印刷ヘッド７４は、固定保持されることができ、印刷媒体７８は、それに対して移動して単一経路で印刷ヘッド７４と同じ幅の画像を形成する。印刷ヘッド７４は、印刷媒体７８よりも狭いか又は同じ幅とすることができる。他の実施形態において、印刷ヘッド７４は、その後に印刷媒体に転写するための（簡略化のために描かれていない）回転ドラム、ベルト又はドレルト等の中間表面に印刷することができる。

本教示の広い範囲を記載する数値範囲及びパラメータは近似値であるが、具体例に記載された数値は、可能な限り正確に報告される。しかしながら、任意の数値は、各試験測定においてみられる標準偏差から必然的に生じる所定の誤差を本質的に含む。さらに、本願明細書に開示される全ての範囲は、その中に包含される任意の及び全ての下位範囲を包含するように理解されるべきである。例えば、「１０未満」の範囲は、ゼロの最小値と１０の最大値の間の（及び含む）任意の及び全ての下位範囲、すなわち、例えば１から５等のゼロ以上の最小値及び１０以下の最大値を有する任意の及び全ての下位範囲を含むことができる。特定の場合において、パラメータについて述べられたように数値は、負値をとることができる。この場合、「１０未満」と述べられた範囲の例値は、例えば、−１、−２、−３、−１０、−２０、−３０等の負値をとることができる。

本教示は、１つ以上の実施例に関して例示してきたが、添付の特許請求の範囲の精神及び範囲から逸脱することなく、代替例及び／又は変更例が例示に対して行われることができる。例えば、プロセスは、一連の動作又は事象として記載されているが、本教示は、そのような動作又は事象の順序によって限定されないことが理解されるであろう。いくつかの動作は、本願明細書に記載されたものとは離れた他の動作又は事象とともに異なる順序で及び／又は同時に生じてもよい。また、全てのプロセス段階が、本教示の１つ以上の態様又は実施形態にかかる方法を実施するために必要とされなくてもよい。構造的要素及び／又は処理段階が追加されることができ又は既存の構造的要素及び／又は処理段階が削除若しくは変更されることができることが理解されるであろう。さらに、本願明細書に描かれた動作のうちの１つ以上は、１つ以上の独立した動作及び／又は段階で実行されることができる。さらにまた、用語「含む（ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ）」、「含む（ｉｎｃｌｕｄｅｓ）」、「有する（ｈａｖｉｎｇ）」、「有する（ｈａｓ）」、「有する（ｗｉｔｈ）」又はそれらの変形が、詳細な説明及び特許請求の範囲のいずれかにおいて使用される範囲で、そのような用語は、用語「備える（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」と同様に包括的であるように意図されている。用語「のうちの少なくとも１つ（ａｔ ｌｅａｓｔ ｏｎｅ ｏｆ）」は、列挙された項目のうちの１つ以上が選択されることができることを意味するように使用される。さらに、本願明細書における説明及び特許請求の範囲において、２つの材料に関して一方が他方の「上（ｏｎ）」として使用される用語「上（ｏｎ）」は、材料間で少なくとも若干接触していることを意味する一方で、「上（ｏｖｅｒ）」は、材料が近接しているが、接触がおそらく必要とされないようにおそらく１つ以上の追加の介在材料を有することを意味する。「上（ｏｎ）」も「上（ｏｖｅｒ）」も、本願明細書において使用されるように任意の方向性を暗示しない。用語「共形（ｃｏｎｆｏｒｍａｌ）」は、下方にある材料の角度が共形材料によって保存されたコーティング材料を記載している。用語「約（ａｂｏｕｔ）」は、変更が図示された実施形態に対するプロセス又は構造の不適合をもたらさない限り、列挙された値が多少変更されることができることを示す。最後に、「例示的（ｅｘｅｍｐｌａｒｙ）」は、説明が理想的であることを暗示するよりもむしろ例として使用されることを示す。本教示の他の実施形態は、本願明細書の開示の明細書及び実行を考慮すれば当業者にとって明らかであろう。明細書及び実施例は、以下の特許請求の範囲によって示される本教示の真の範囲及び精神を有する例示としてのみ考慮されることが意図されている。

本特許出願において使用される相対位置の用語は、加工物の向きにかかわらず、従来の平面又は加工物の加工面に平行な平面に基づいて定義される。本特許出願において使用される用語「水平」又は「横方向」は、ワークの向きにかかわらず、従来の平面又は加工物の加工面に平行な平面として定義される。用語「垂直（ｖｅｒｔｉｃａｌ）」は、水平に対して垂直な方向を指す。「上（ｏｎ）」、「側（ｓｉｄｅ）（「側壁」のような）」、「高い（ｈｉｇｈｅｒ）」「低い（ｌｏｗｅｒ）」、「上（ｏｖｅｒ）」、「上（ｔｏｐ）」及び「下（ｕｎｄｅｒ）」等の用語は、加工物の向きにかかわらず、従来の平面又は加工物の上面である加工面に関して定義される。

Claims (10)

1. 複数のアクチュエータを備え、各アクチュエータが、
   アクチュエータ空気チャンバと、
   アクチュエータ電極と、
   電極の活性化中に電極に向かって屈曲するように構成された膜と、
   アクチュエータインクチャンバとを備え、膜がアクチュエータ空気チャンバとアクチュエータインクチャンバとの間に介在されており、
   各アクチュエータ空気チャンバを通気する空気経路を備える通気システムと、
   空気経路内に配置された乾燥機とを備え、乾燥機が、空気経路内の空気の湿度を低減させるように構成されている、印刷ヘッド。
2. 乾燥機が、電力供給されて能動的乾燥機を提供するように構成された抵抗ヒータを備える、請求項１に記載の印刷ヘッド。
3. 抵抗ヒータが、交互の時間間隔で活性化及び不活性化するように構成されている、請求項２に記載の印刷ヘッド。
4. さらに、空気経路内の空気の湿度を監視するように構成されたセンサを備え、抵抗ヒータが、センサによって監視された空気の湿度に応答して活性化及び不活性化するように構成されている、請求項２に記載の印刷ヘッド。
5. 抵抗ヒータが、印刷ヘッドの動作中に連続的に電力給電されるように構成されている、請求項２に記載の印刷ヘッド。
6. 乾燥機が、さらに、空気経路内に配置された化学的乾燥剤を備える、請求項２に記載の印刷ヘッド。
7. 抵抗ヒータが、化学的乾燥剤を乾燥して回復するメンテナンスサイクル中にのみ電力供給されるように構成されている、請求項６に記載の印刷ヘッド。
8. 乾燥機が、受動的乾燥機を提供するように構成された化学的乾燥剤を備える、請求項１に記載の印刷ヘッド。
9. さらに、
   複数のアクチュエータが半導体基板アセンブリ上に形成される半導体基板アセンブリと、
   膜に半導体基板アセンブリを物理的に取り付ける複数の接合構造とを備え、
   通気システムの空気経路が、大気に対して各アクチュエータ空気チャンバを通気するように、複数の接合構造を介して横方向に延在し且つ半導体基板アセンブリを介して垂直に延在している、請求項１に記載の印刷ヘッド。
10. さらに、
    半導体基板アセンブリに取り付けられるベースを備え、ベースが、容器空気チャンバを提供する凹部をその内部に備え、通気システムの空気経路が容器空気チャンバを備え、
    乾燥機が、容器空気チャンバ内にある、請求項９に記載の印刷ヘッド。
    

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