JP2015084349A - ブレイク装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1および図2は、本実施の形態に係るブレイク装置100の斜視図である。ブレイク装置100は、LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramics)やHTCC(High Temperature Co-fired Ceramics)などのセラミックスやガラスその他の脆性材料を用いて構成された脆性材料基板や、あるいはさらに、係る脆性材料基板の一方主面に樹脂または金属からなる層を形成してなる積層脆性材料基板などであるブレイク対象基板(以下、単に基板とも称する)Wを、あらかじめ当該基板Wに設定されてなる線状の分割予定位置(分割予定線)に沿ってブレイク(割断)するためのものである。なお、図1および図2には、水平面内において互いに直交する2方向をX方向およびY方向とし、垂直方向をZ方向とする右手系のXYZ座標系を付している。より詳細にいえば、ブレイクを行う際に分割予定位置を延在させる方向を、X方向としている。
次に、ブレイクバー14およびその周辺部分の詳細構成について説明する。図5は、ブレイクバー14を取り付けた状態のブレイクバー取り付け部15の模式断面図である。図6は、ブレイクバー14の概略構成図である。より詳細には、図6(a)に示すのはブレイクバー14の長手方向側面図であり、図6(b)に示すのはブレイクバー14の刃先14bの近傍の概略断面図である。
上述の実施の形態においては、基板Wを水平可動テーブル12上に設けたサポート部材(受刃61、62)にて下方支持した状態でブレイクを行うようにしているが、ブレイク装置100における基板の支持態様はこれに限られるものではない。例えば、水平可動テーブル12上に透明なゴム板が敷設されてなり、その上に基板Wを載置してブレイクを行う態様であってもよい。係る場合も、ブレイクバー14を用いた積層脆性材料基板のブレイクは好適に行うことが出来る。
2 リング部材
10 サポート部材
11 回転部材
12 水平可動テーブル
13 支持テーブル
13h 開口部
14 ブレイクバー
14a 本体部
14b 刃先
14h 貫通孔
15 ブレイクバー取り付け部
15a ホルダ
15b フランジ
15c ベース
15d、15e 固定ボルト
16 昇降テーブル
35 CCDカメラ
50 ヒータ保持部
51 ヒータ
61、62 受刃
100 ブレイク装置
114 ヒータなしブレイクバー
114b (ヒータなしブレイクバーの)刃先
c1〜c2 刃面
CR 亀裂
F 異種材料層
I1〜I3 断熱材
SL スクライブライン
TH1〜TH8 ねじ穴
W 基板(積層脆性材料基板)
Wa 脆性材料基板
Claims (3)
- 脆性材料基板の一方主面に樹脂または金属からなる異種材料層が付設され、他方主面にスクライブラインが形成されてなる積層脆性材料基板を前記異種材料層の側から前記スクライブラインに沿ってブレイクするブレイク装置であって、
ブレイクに際して前記積層脆性材料基板と当接するブレイクバーに前記ブレイクバーを加熱するヒータが付設されてなり、
前記ヒータによって前記ブレイクバーを所定温度に加熱しつつブレイクを行う、
ことを特徴とするブレイク装置。 - 請求項1に記載のブレイク装置であって、
前記ブレイクバーと前記ヒータとが、前記ブレイク装置に対して着脱自在とされてなる、
ことを特徴とするブレイク装置。 - 請求項1または請求項2に記載のブレイク装置であって、
ブレイクに際して前記積層脆性材料基板と当接するブレイクバーの刃先が、2つの刃面を有するとともに、前記2つの刃面のなす角が10°以上90°以下である、
ことを特徴とするブレイク装置。
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