JP2015079789A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015079789A JP2015079789A JP2013214757A JP2013214757A JP2015079789A JP 2015079789 A JP2015079789 A JP 2015079789A JP 2013214757 A JP2013214757 A JP 2013214757A JP 2013214757 A JP2013214757 A JP 2013214757A JP 2015079789 A JP2015079789 A JP 2015079789A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ground plate
- island
- wide
- lead
- semiconductor chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 84
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 33
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 33
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 9
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 5
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 5
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32245—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48257—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a die pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
- H01L2224/491—Disposition
- H01L2224/49105—Connecting at different heights
- H01L2224/49109—Connecting at different heights outside the semiconductor or solid-state body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/13—Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
- H01L2924/1304—Transistor
- H01L2924/1305—Bipolar Junction Transistor [BJT]
- H01L2924/13055—Insulated gate bipolar transistor [IGBT]
Landscapes
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
Description
第2のボンディングワイヤは、グランドプレートの一部領域に接続されており、グランドプレートは、第2のボンディングワイヤの接続領域の部分が当該接続領域以外の部分よりも幅の広い幅広部(22a)とされたものとなっていることを特徴とする。
複数本のリードのうち幅広部に対向するものを第1のリード(23a)とし、非幅広部に対向するものを第2のリード(23b)としたとき、リードフレームの板面と直交する方向から見て、第1のリードと幅広部との隙間寸法(W1)が第2のリードと非幅広部との隙間寸法(W2)と同等以上となるように、複数本のリードの形状が調整されていることを特徴とする。
アイランドの外縁のうち幅広部に対向する部位を第1の対向部(211)とし、非幅広部に対向する部位を第2の対向部(212)としたとき、リードフレームの板面と直交する方向から見て、第1の対向部と幅広部との隙間寸法(W3)が第2の対向部と非幅広部との隙間寸法(W4)と同等以上となるように、アイランドの外縁にて第1の対向部が第2の対向部よりも凹んだものとされていることを特徴とする。
本発明の第1実施形態にかかる半導体装置S1について、図1〜図5を参照して述べる。なお、図4に示される平面図中では、モールド樹脂50の外形を一点鎖線で示し、モールド樹脂50を透過してモールド樹脂50の内部に位置する構成要素を示している。また、図4では、リード23におけるアウターリードは省略してある。また、図4では、矩形板状の半導体チップ10の左辺において第1および第2のボンディングワイヤ30、40による結線状態を示しているが、当該半導体チップ10の右辺、上辺、下辺の3辺においても図示しないが、当該左辺と同様に、各ボンディングワイヤ30、40による結線がなされている。また、図5では、各ボンディングワイヤ30、40は省略してある。
本発明の第2実施形態にかかる半導体装置S2について、図6を参照して述べる。なお、図6では、モールド樹脂50の外形を一点鎖線で示し、モールド樹脂50を透過してモールド樹脂50の内部に位置する構成要素を示すが、リード23におけるアウターリード、半導体チップ10、および、各ボンディングワイヤ30、40については、上記第1実施形態と同様のため、省略してある。
本発明の第3実施形態にかかる半導体装置S3について、図7を参照して述べる。なお、図7では、モールド樹脂50の外形を一点鎖線で示し、モールド樹脂50を透過してモールド樹脂50の内部に位置する構成要素を示すが、リード23におけるアウターリード、半導体チップ10、および、各ボンディングワイヤ30、40については、上記第1実施形態と同様のため、省略してある。
本発明の第4実施形態にかかる半導体装置S4について、図8を参照して述べる。なお、図8では、モールド樹脂50の外形を一点鎖線で示し、モールド樹脂50を透過してモールド樹脂50の内部に位置する構成要素を示すが、リード23におけるアウターリード、半導体チップ10、および、各ボンディングワイヤ30、40については、上記第1実施形態と同様のため、省略してある。
なお、上記各実施形態では、グランドプレート22の外縁もしくは内縁の一部を矩形状に突出させることで、幅広部22aとしての幅広形状を構成しているが、たとえば台形状、半円状に突出して幅広形状を構成するものであってもよい。
20 リードフレーム
21 アイランド
21a アイランドの一面
22 グランドプレート
22a グランドプレートの幅広部
23 リード
30 第1のボンディングワイヤ
40 第2のボンディングワイヤ
Claims (4)
- 金属板をパターニングすることにより形成されたものであって、アイランド(21)、前記アイランドの外縁に沿って前記アイランドの外側に設けられたグランドプレート(22)、および、前記グランドプレートの外周側に配置されたリード(23)を有するリードフレーム(20)と、
前記アイランドの一面(21a)側に搭載された半導体チップ(10)と、
前記アイランドの一面側にて前記半導体チップと前記リードとを結線して電気的に接続する第1のボンディングワイヤ(30)と、
前記アイランドの一面側にて前記半導体チップと前記グランドプレートとを結線して電気的に接続する第2のボンディングワイヤ(40)と、を備え、
前記第2のボンディングワイヤは、前記グランドプレートの一部領域に接続されており、
前記グランドプレートは、前記第2のボンディングワイヤの接続領域の部分が当該接続領域以外の部分よりも幅の広い幅広部(22a)とされたものとなっていることを特徴とする半導体装置。 - 前記幅広部は、前記グランドプレートの外縁が前記リード側に突出することで幅広形状とされており、
前記グランドプレートの外側では、前記グランドプレートにおける前記幅広部から前記幅広部以外の部位である非幅広部(22b)に渡って、複数本の前記リードが、前記グランドプレートの外縁に沿って配列されており、
前記複数本のリードのうち前記幅広部に対向するものを第1のリード(23a)とし、前記非幅広部に対向するものを第2のリード(23b)としたとき、
前記リードフレームの板面と直交する方向から見て、前記第1のリードと前記幅広部との隙間寸法(W1)が前記第2のリードと前記非幅広部との隙間寸法(W2)と同等以上となるように、前記複数本のリードの形状が調整されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記幅広部は、前記グランドプレートの内縁が前記アイランド側に突出することで幅広形状とされており、
前記グランドプレートにおける前記幅広部から前記幅広部以外の部位である非幅広部(22b)に渡って、前記アイランドの外縁が対向しており、
前記アイランドの外縁のうち前記幅広部に対向する部位を第1の対向部(211)とし、前記非幅広部に対向する部位を第2の対向部(212)としたとき、
前記リードフレームの板面と直交する方向から見て、前記第1の対向部と前記幅広部との隙間寸法(W3)が前記第2の対向部と前記非幅広部との隙間寸法(W4)と同等以上となるように、前記アイランドの外縁にて前記第1の対向部が前記第2の対向部よりも凹んだものとされていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 少なくとも前記アイランドの一面側において、前記アイランド、前記グランドプレート、前記リード、前記半導体チップ、前記第1のボンディングワイヤ、および、前記第2のボンディングワイヤが、モールド樹脂(50)で封止されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013214757A JP6111973B2 (ja) | 2013-10-15 | 2013-10-15 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013214757A JP6111973B2 (ja) | 2013-10-15 | 2013-10-15 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015079789A true JP2015079789A (ja) | 2015-04-23 |
JP6111973B2 JP6111973B2 (ja) | 2017-04-12 |
Family
ID=53011006
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013214757A Expired - Fee Related JP6111973B2 (ja) | 2013-10-15 | 2013-10-15 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6111973B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017157672A (ja) * | 2016-03-01 | 2017-09-07 | 株式会社デンソー | 回路装置 |
WO2024122492A1 (ja) * | 2022-12-05 | 2024-06-13 | ローム株式会社 | 半導体装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0883876A (ja) * | 1994-07-13 | 1996-03-26 | Seiko Epson Corp | 樹脂封止型半導体装置およびその製造方法 |
JP2007324402A (ja) * | 2006-06-01 | 2007-12-13 | Shinko Electric Ind Co Ltd | リードフレームとその製造方法及び半導体装置 |
-
2013
- 2013-10-15 JP JP2013214757A patent/JP6111973B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0883876A (ja) * | 1994-07-13 | 1996-03-26 | Seiko Epson Corp | 樹脂封止型半導体装置およびその製造方法 |
JP2007324402A (ja) * | 2006-06-01 | 2007-12-13 | Shinko Electric Ind Co Ltd | リードフレームとその製造方法及び半導体装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017157672A (ja) * | 2016-03-01 | 2017-09-07 | 株式会社デンソー | 回路装置 |
WO2024122492A1 (ja) * | 2022-12-05 | 2024-06-13 | ローム株式会社 | 半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6111973B2 (ja) | 2017-04-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4945508B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP5214911B2 (ja) | モールドパッケージの製造方法 | |
JP5149854B2 (ja) | 半導体装置 | |
US7531895B2 (en) | Integrated circuit package and method of manufacture thereof | |
JP6370071B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP5953703B2 (ja) | リードフレームおよび半導体装置 | |
US20080224277A1 (en) | Chip package and method of fabricating the same | |
JP2010186831A (ja) | 半導体装置 | |
JP2009064854A (ja) | リードフレーム、半導体装置、及び半導体装置の製造方法 | |
JP5767294B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6111973B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2009038196A (ja) | 電子装置およびワイヤボンディング方法 | |
CN109087903B (zh) | 电子装置、用于电子装置的引线框架以及制造电子装置和引线框架的方法 | |
JP2016201447A (ja) | モールドパッケージ | |
US8610253B2 (en) | Lead frame, semiconductor device, and method of manufacturing semiconductor device | |
US10840171B2 (en) | Integrated circuit package including inward bent leads | |
JP4946959B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2016197636A (ja) | モールドパッケージ | |
JP2007150044A (ja) | 半導体装置 | |
JP5385438B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2008300717A (ja) | モールドパッケージ | |
JP2016207974A (ja) | リードフレーム | |
KR101491258B1 (ko) | 리드 프레임의 제조방법 | |
JP4755214B2 (ja) | リードフレーム及びそれを用いる半導体装置 | |
KR101209471B1 (ko) | 더블 다운셋 리드프레임 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151221 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161128 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161206 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170123 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170214 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170227 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6111973 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |