JP2015078094A - SiC層の形成方法、3C−SiCエピタキシャル基板の製造方法、および3C−SiCエピタキシャル基板 - Google Patents
SiC層の形成方法、3C−SiCエピタキシャル基板の製造方法、および3C−SiCエピタキシャル基板 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】SiC層の形成方法は、炭素源ガスからSi基板への炭素の取り込み量が飽和する第1圧力以下であり、前記炭素源ガスによる前記Si基板の炭化反応の平衡蒸気圧より低く、かつ前記炭化反応によって形成される炭化層に多孔質欠陥が生じない圧力より高い第2圧力以上の圧力の前記炭素源ガスを用いて前記Si基板の表面を炭化する工程を有する。
【選択図】図3
Description
この方法によれば、結晶軸が揃った下地炭化層をSi基板上に形成することができる。
この方法によれば、欠陥の少ない下地炭化層を形成することができる。
この方法によれば、結晶性の良好な3C−SiCエピタキシャル基板を得ることができる。
この3C−SiCエピタキシャル基板によれば、より優れたデバイスを作製することができる。
図1は、一実施形態に係る3C−SiCエピタキシャル基板(エピタキシャルウエハ)の製造方法を示すフローチャートである。本実施形態においては、Si基板を用いて3C−SiCエピタキシャル層が形成される。Si基板上に3C−SiCエピタキシャル層を形成したものを、3C−SiCエピタキシャル基板という。
図4A
炭化処理時間:30分
炭素源ガス圧力:2.6×10-3Pa
図4B
炭化処理時間:5分
炭素源ガス圧力:7.8×10-3Pa
図4C
炭化処理時間:5分
炭素源ガス圧力:7.8×10-2Pa
ここでは、以下の条件で下地炭化層の形成を行った。
炭化処理温度:1000℃
炭化処理時間:60分
炭素源ガス:C2H4
炭素源ガス圧力:7.8×10-3Pa(実験例1)
7.8×10-2Pa(実験例2)
平衡蒸気圧Pe:1.2×10-2Pa
C*飽和圧力Ps:2.8×10-2Pa
Claims (4)
- 炭素源ガスからSi基板への炭素の取り込み量が飽和する第1圧力以下であり、前記炭素源ガスによる前記Si基板の炭化反応の平衡蒸気圧より低く、かつ前記炭化反応によって形成される炭化層に多孔質欠陥が生じない圧力より高い第2圧力以上の圧力の前記炭素源ガスを用いて前記Si基板の表面を炭化する工程
を有するSiC層の形成方法。 - 前記炭素源ガスの圧力Pが、
- 炭素源ガスからSi基板への炭素の取り込み量が飽和する第1圧力以下であり、前記炭素源ガスによる前記Si基板の炭化反応の平衡蒸気圧より低く、かつ前記炭化反応によって形成される炭化層に多孔質欠陥が生じない圧力より高い第2圧力以上の圧力の前記炭素源ガスを用いて前記Si基板の表面を炭化する工程と、
前記炭化層が形成された前記Si基板上に3C−SiC層をエピタキシャル成長させる工程と
を有する3C−SiCエピタキシャル基板の製造方法。 - 請求項3に記載の製造方法により製造された3C−SiCエピタキシャル基板。
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JP2012041203A (ja) * | 2010-08-13 | 2012-03-01 | Seiko Epson Corp | 立方晶炭化ケイ素膜付き基板及びその製造方法 |
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2013
- 2013-10-17 JP JP2013216307A patent/JP2015078094A/ja not_active Withdrawn
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