JP2015076500A - 接合構造および電子部材接合構造体 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本実施形態に係る接合構造の断面図である。図1に示すように、本実施形態の接合構造は、金属基板1と、金属基板1の一方の主面上に形成された金属多孔質体2とを備える。金属多孔質体2上には、半導体チップ10が配置されている。
(1)原材料
(イ)半導体チップ
半導体チップのサイズは7mm×7mm、厚さは230μmであり、その接合面はNi−Ti―Au合金でメタライズされている。材質は、SiCである。
(ロ)金属微粒子分散液
銅微粒子分散液:ジエチレングリコール中に、Cu濃度80質量%で銅微粒子が分散している銅微粒子分散液を用いた。なお、該銅微粒子分散液には、高分子分散剤としてポリビニルピロリドンが0.3質量%配合されている。
銀微粒子分散液:オクタンジオール中に、Ag濃度89質量%の濃度で銀微粒子が分散している銀微粒子分散液(DOWAメタルテック(株)製、銀ナノペースト)を用いた。
(ハ)基材
(i)DBC基板
日鉄住金エレクトロデバイス社製のDBC基板(Cu/アルミナ/Cu)を使用した。Cu板の厚さ:0.3mm/セラミック板:厚さ0.32mm/Cu板の厚さ:0.3mmである。
(ii)めっき処理したDBC基板
厚さ0.64mmのAl2O3(アルミナ)の白板セラミックス基板にNi・Cr/Cu(0.2μm/6μm)を蒸着し、その後以下のめっき条件にて、Cuの厚さが両面0.3mmとなるまで厚付した。
めっき液:CuSO4・5H2O 250g/L(水)、H2SO4 50g/L(水)、NaCl 0.1g/L(水)
電流密度:5A/dm2、温度40℃
図3(a)〜(c)に示す焼結装置を使用した。
(イ)金属基板の表面粗さ
レーザー顕微鏡(KEYENCE VK9710)にて測定を行った。
(ロ)内部層の平均結晶粒径di
TEMを使用し、金属多孔質体の内部層の結晶粒径を確認した。TEM画像において、金属多孔質体の厚み方向の中心に直線(a)を引き、その直線(a)上に存在する結晶20個について(長径+短径)/2の平均値を算出した。直線(a)は次のように引いた。
まず、金属基板と金属多孔質体との界面において、直線距離が金属多孔質体の厚さとなる任意の2点を選択し、この2点を結ぶ直線(b)を引いた。次に、直線(b)から金属多孔質体の厚さ方向へ、金属多孔質体の半分の厚さ分離れた位置に、直線(b)と平行な直線である直線(a)を引いた(図4)。
(ハ)外部層の平均結晶粒径ds
TEMを使用し、金属多孔質体の外部層の結晶粒径を確認した。TEM画像において、金属多孔質体と金属基板との界面から金属多孔質体側へ0.1μm離れた位置に、当該界面に沿った線(c)を引いた。線(c)上に存在する結晶20個について(長径+短径)/2の平均値を算出した(図4)。
(ニ)金属基板の平均結晶粒径dm
TEMを使用し、金属基板の結晶粒径を確認した。TEM画像において、金属基板の厚み方向の中心に直線(d)を引いた。直線(d)上に存在する結晶20個について(長径+短径)/2の平均値を算出した。直線(d)は次のように引いた。
まず、金属基板と金属多孔質体との界面において、直線距離が金属基板の厚さとなる任意の2点を選択し、この2点を結ぶ直線(e)を引いた。次に、直線(e)から金属基板の厚さ方向へ、金属基板の半分の厚さ分離れた位置に、直線(e)と平行な直線である直線(d)を引いた(図4)。
(ホ)パワーサイクル試験(PCT)
基板上に金属多孔質体と半導体チップとを形成したサンプルを作製した。半導体チップのジャンクション温度が125℃になるように電流を2秒間ONにし、その後25℃まで冷却されるように電流を18秒間OFFにし、加熱と冷却を繰り返すパワーサイクル試験を実施した。試験中は、熱抵抗値を測定し、熱抵抗値が初期から20%増加するまで試験を繰り返した。熱抵抗値が初期から20%増加するまでのサイクル数について、サンプル20個の平均値を算出した。さらに、サンプル20個のうち、50000サイクル以上のサンプルの割合を算出した。
DBC基板の銅板表面を洗浄後、粒径14μmであるアルミナビーズのメディアを使用したウエットブラスト(WB)法により、ゲージ圧力0.20MPaで処理速度20mm/secで処理した。次に、銅微粒子分散液を100μmの厚さになるように塗布し、110℃で15分間乾燥させた。半導体チップを搭載した後、焼結装置にセットした。焼結は、減圧雰囲気下(酸素濃度1000ppm以下)、300℃、ゲージ圧力10MPaで30分間行った。
[実施例1−2]
DBC基板の銅板表面を洗浄後、粒径14μmであるアルミナビーズのメディアを使用したウエットブラスト(WB)法により、ゲージ圧力0.20MPaで処理速度20mm/secで処理した。次に、銅微粒子分散液を100μmの厚さになるように塗布し、110℃で15分間乾燥させた後、焼結装置にセットした。焼結は、減圧雰囲気下(酸素濃度1000ppm以下)、300℃、ゲージ圧力10MPaで1時間行った。さらに、銅微粒子分散液を100μmの厚さになるように塗布し、110℃で15分間乾燥させた。半導体チップを搭載した後、焼結装置にセットした。焼結は、減圧雰囲気下(酸素濃度1000ppm以下)、300℃、ゲージ圧力10MPaで20分間行った。
[実施例1−3]
実施例1−1において、焼結後にさらに加熱処理を行った以外は同様の方法で実施した。加熱処理は、300℃で1時間行った。
[実施例1−4]
実施例1−2において、焼結前に表面処理を行わず、焼結温度を300℃から200℃に変更した以外は同様の方法で実施した。
[実施例1−5]
実施例1−3において、焼結温度を300℃から200℃に変更した以外は同様の方法で実施した。
[実施例1−6]
実施例1−3において、表面処理の条件を変更し、焼結後の加熱処理を1時間から1.5時間に変更した以外は同様の方法で実施した。表面処理は、具体的には、粒径40μmであるアルミナビーズのメディアを使用したウエットブラスト(WB)法により、ゲージ圧力0.1MPaで処理速度10mm/secで行った。
[実施例1−7]
実施例1−6において、表面処理の条件を変更した以外は同様の方法で実施した。表面処理は、具体的には、粒径7μmであるアルミナビーズのメディアを使用したウエットブラスト(WB)法により、ゲージ圧力0.1MPaで処理速度10mm/secで行った。
[実施例1−8]
実施例1−3において、焼結前に表面処理を行わず、焼結後の加熱処理を1時間から2時間に変更した以外は同様の方法で実施した。
[実施例1−9]
実施例1−1において、表面処理の条件を変更し、焼結温度を300℃から200℃に変更した以外は同様の方法で実施した。表面処理は、具体的には、粒径7μmであるアルミナビーズのメディアを使用したウエットブラスト(WB)法により、ゲージ圧力0.2MPaで処理速度20mm/secで行った。
[実施例1−10]
実施例1−1において、表面処理の条件を変更した以外は同様の方法で実施した。表面処理は、具体的には、粒径7μmであるアルミナビーズのメディアを使用したウエットブラスト(WB)法により、ゲージ圧力0.1MPaで処理速度30mm/secで行った。
[実施例1−11]
実施例1−1において、表面処理の条件を変更した以外は同様の方法で実施した。表面処理は、具体的には、粒径7μmであるアルミナビーズのメディアを使用したウエットブラスト(WB)法により、ゲージ圧力0.2MPaで処理速度30mm/secで行った。
[実施例1−12]
実施例1−1において、表面処理の条件を変更した以外は同様の方法で実施した。表面処理は、具体的には、粒径7μmであるアルミナビーズのメディアを使用したウエットブラスト(WB)法により、ゲージ圧力0.1MPaで処理速度15mm/secで行った。
[実施例1−13]
実施例1−4において、焼結温度を200℃から300℃に変更した以外は同様の方法で実施した。
[実施例1−14]
実施例1−2において、2回の焼結後にさらに加熱処理を行った以外は同様の方法で実施した。加熱処理は、300℃で1時間行った。
[実施例1−15]
実施例1−14において、表面処理の条件を変更した以外は同様の方法で実施した。表面処理は、具体的には、粒径40μmであるアルミナビーズのメディアを使用したウエットブラスト(WB)法により、ゲージ圧力0.2MPaで処理速度20mm/secで行った。
[実施例1−16]
実施例1−14において、2回の焼結後の加熱処理を1時間から2時間に変更した以外は同様の方法で実施した。
[実施例1−17]
実施例1−5において、焼結前に表面処理を行わなかった以外は同様の方法で実施した。
[実施例1−18]
実施例1−1において、基材をDBC基板からめっき処理したDBC基板に変更した以外は同様の方法で実施した。
[実施例1−19]
実施例1−1において、基材をDBC基板からめっき処理したDBC基板に変更し、焼結前に表面処理を行わなかった以外は同様の方法で実施した。
[実施例1−20]
実施例1−3において、基材をDBC基板からめっき処理したDBC基板に変更した以外は同様の方法で実施した。
[比較例1−1]
実施例1−1において、焼結前に表面処理を行わなかった以外は同様の方法で実施した。
[比較例1−2]
実施例1−1において、表面処理の条件を変更した以外は同様の方法で実施した。表面処理は、具体的には、DBC基板の銅板表面の電解脱脂、酸洗を行い、その後、以下の条件でAgめっきを実施し、DBC基板の銅板表面に厚さ2μmのAg層を形成した。
ストライクめっき液:大和化成社製「GPE−ST」(メタンスルフェン酸(CH3SOH)7質量%、メタンスルフェン酸銀(CH3SOAg)2質量%、錯化剤20質量%、残部水)
ストライクめっき電流密度:2.5A/dm2、温度:室温
めっき液:大和化成社製「GPE−PL」(メタンスルフェン酸10質量%、メタンスルフェン酸銀20質量%、添加剤0.2質量%、残部水)
電流密度:4A/dm2、温度:40℃
[比較例1−3]
実施例1−1において、表面処理の条件を変更した以外は同様の方法で実施した。表面処理は、具体的には、メック(株)のメックエッチボンド(登録商標)CZ-8100を用いて、DBC基板の銅板表面において表面粗さRaが0.43μmとなるように粗化処理を実施した。
[比較例1−4]
比較例1−1において、焼結後にさらに加熱処理を行った以外は同様の方法で実施した。加熱処理は、300℃で3時間行った。
[比較例1−5]
実施例1−1において、表面処理の条件を変更した以外は同様の方法で実施した。表面処理は、プラズマ処理を実施した。具体的には、DBC基板をスパッタリング装置のチャンバー内にセットし、真空引きを行った。そして、Arガスをチャンバー内に導入し、チャンバー内圧力を1Paとした。RF電源によって電力を供給することで、DBC基板の銅板表面付近にArプラズマを発生させ、銅板表面に照射した。このRF電源の入カパワーの条件は、0.25W/cm2とし、照射時間は5分間とした。
実施例1−1〜実施例1−20において、銅微粒子分散液を銀微粒子分散液に変更し、焼結を大気雰囲気下で行った以外は同様の方法で実施した。
[比較例2−1〜比較例2−5]
比較例1−1〜比較例1−5において、銅微粒子分散液を銀微粒子分散液に変更し、焼結を大気雰囲気下で行った以外は同様の方法で実施した。
2 金属多孔質体
2a 主面
2b 外部層
2c 内部層
10 半導体チップ
20 焼結装置
21 下熱盤
22 プレス板
23 積層体
24 チャンバー
25 加圧シリンダー
26 上熱盤
Claims (7)
- 金属基板と、前記金属基板上に形成された金属多孔質体とを備える接合構造であって、
前記金属多孔質体は、少なくとも一方の主面を含み前記金属基板側に形成された外部層と、前記外部層よりも厚み方向において前記金属基板から離れた位置に形成された内部層とを有し、
前記外部層の平均結晶粒径dsが、前記内部層の平均結晶粒径diよりも大きいことを特徴とする、接合構造。 - 前記金属基板の平均結晶粒径dmが、前記平均結晶粒径dsよりも大きい又は同じであることを特徴とする、請求項1に記載の接合構造。
- 前記平均結晶粒径diが0.1μm以上0.5μm未満であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の接合構造。
- 前記平均結晶粒径dsが0.5μm超10μm以下であることを特徴とする、請求項1から3のいずれか1項に記載の接合構造。
- 前記平均結晶粒径dmが5μm以上100μm以下であることを特徴とする、請求項1から4のいずれか1項に記載の接合構造。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の接合構造と、前記金属多孔質体上に配置された電子部材とを備える電子部材接合構造体。
- 前記電子部材と前記金属多孔質体との間に、Au、Ag、Cu、Pd,Ptのいずれか1種又は2種以上からなる電極層を有することを特徴とする、請求項6に記載の電子部材接合構造体。
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