JP2015073126A - 測定装置及び測定方法 - Google Patents
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Claims (8)
- 複数の測定部と、
被測定物を保持する保持チャックと、
前記複数の測定部に移動自在に構成され、被固定部を有し、前記保持チャックに保持された前記被測定物と前記測定部との相対的な位置合わせを行うアライメント装置と、
前記測定部毎に設けられ、各測定部に移動した前記アライメント装置の前記被固定部を位置決めして固定する位置決め固定装置と、
を備える測定装置。 - 前記位置決め固定装置は、前記アライメント装置の前記被固定部の少なくとも3箇所を位置決めして着脱自在に把持固定するクランプ機構を備える請求項1に記載の測定装置。
- 前記位置決め固定装置は、前記アライメント装置の前記被固定部の少なくとも3箇所を位置決めする位置決め手段を備える請求項1に記載の測定装置。
- 前記位置決め固定装置は、前記位置決め手段とは別に構成され、前記アライメント装置の前記被固定部の少なくとも1箇所を着脱自在に保持する保持手段を備える請求項3に記載の測定装置。
- 前記位置決め固定装置は、前記アライメント装置の前記被固定部の水平方向を調節可能な高さ調整手段を備える請求項1〜4のいずれか1項に記載の測定装置。
- 前記複数の測定部は、第1の方向及び前記第1の方向に直交する第2の方向に沿って2次元的に配置される請求項1〜5のいずれか1項に記載の測定装置。
- 前記第1の方向及び前記第2の方向の一方は鉛直方向である請求項6に記載の測定装置。
- 複数の測定部と、被測定物を保持する保持チャックと、前記複数の測定部に移動自在に構成され、被固定部を有し、前記保持チャックに保持された前記被測定物と前記測定部との相対的な位置合わせを行うアライメント装置と、を備える測定装置におけるプローブ検査方法であって、
前記アライメント装置を各測定部間で相互に移動させる移動ステップと、
各測定部に移動した前記アライメント装置の前記被固定部を位置決めして固定する位置決め固定ステップと、
前記アライメント装置の前記被固定部が位置決めして固定された状態で、前記アライメント装置により前記保持チャックに保持された前記被測定物と前記測定部との相対的な位置合わせを行うアライメントステップと、
を備える測定方法。
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