JP2015072257A - 測定装置、基板処理システムおよび測定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
<1.基板処理システム>
まず、第1の実施形態に係る基板処理システムの構成について、図1を参照して説明する。図1は、第1の実施形態に係る基板処理システムの構成を示す模式説明図である。
以下、線幅測定装置18の構成、および線幅測定装置18を用いて行われる基板Gのパターンの線幅測定処理について詳しく説明する。図2は、線幅測定装置18の構成を示す模式斜視図である。なお、以下では、図2に示すように、上述したX軸方向に対して直交するY軸方向およびZ軸方向を規定し、Z軸正方向を鉛直上向き方向とする。
次いで、線幅測定装置18によって行われる線幅測定処理の具体的な内容について図5を参照して説明する。図5は、線幅測定処理の処理手順を示すフローチャートである。なお、線幅測定装置18では、測定制御装置50の測定部51の制御に基づき、図5に示す各処理手順を実行する。
図9は、第2の実施形態に係る線幅測定装置18の構成を示す、図2と同様な模式斜視図である。なお、以下においては、第1の実施形態と共通の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
図10は、第3の実施形態に係る線幅測定装置18の線幅測定処理の処理手順を示すフローチャートである。なお、図10に示すステップS101〜S106の処理は、図5に示すステップS1〜S6の処理と同様であるため、説明を省略する。
図11は、第4の実施形態に係る線幅測定装置18の線幅測定処理の処理手順を示すフローチャートである。なお、図11に示すステップS201〜S212の処理は、図10に示すステップS101〜S112の処理と同様であるため、説明を省略する。
11 レジスト塗布装置
12 減圧乾燥装置
13 プリベーク装置
14 冷却装置
15 露光装置
16 局所露光装置
17 現像装置
18 線幅測定装置
20 搬送部
30 撮像部
40 移動部
50 測定制御装置
51 測定部
52 記憶部
53 フィードバック部
C1〜C9 領域
D,Da,Db 測定点
G 基板
Claims (12)
- パターンが形成された基板を搬送する搬送部と、
前記搬送部の上方に配置され、前記搬送部に載置された前記基板のパターンを撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像された前記パターンの画像情報に基づいて前記パターンの形状を測定する測定部と
を備えることを特徴とする測定装置。 - 前記測定部は、
前記撮像部で撮像された前記パターンの画像情報に基づいて前記パターンのエッジ強度を算出し、算出した前記エッジ強度が所定のエッジ強度以上の場合、前記パターンの画像情報に基づいて前記パターンの形状を測定すること
を特徴とする請求項1に記載の測定装置。 - 前記測定部は、
前記エッジ強度が前記所定のエッジ強度未満の場合、前記撮像部に前記基板のパターンの撮像を再度実行させること
を特徴とする請求項2に記載の測定装置。 - 前記基板のパターン形状を予め記憶しておく記憶部
を備え、
前記測定部は、
前記撮像部で撮像された前記パターンの画像情報と前記記憶部で記憶されたパターン形状との相関値を算出し、算出した前記相関値が所定の相関値以上の場合、前記パターンの画像情報に基づいて前記パターンの形状を測定すること
を特徴とする請求項1、2または3に記載の測定装置。 - 前記測定部は、
前記相関値が前記所定の相関値未満の場合、前記撮像部に前記基板のパターンの撮像を再度実行させること
を特徴とする請求項4に記載の測定装置。 - 前記測定部は、
前記相関値が0の場合、前記撮像部の位置を調整した後、前記撮像部に前記基板のパターンの撮像を再度実行させること
を特徴とする請求項4に記載の測定装置。 - 前記撮像部を前記基板において前記パターンが形成されるパターン面に対して水平方向へ移動させる移動部
を備え、
前記測定部は、
前記基板のパターン面を複数の領域に分けて識別し、複数の前記領域のうちの一つの所定領域内において前記パターンの形状を測定し、前記所定領域での測定が終了した後、次に測定を行う第2基板が前記搬送部によって搬送された場合、前記移動部を介して前記撮像部を、前記第2基板において前記所定領域に対応する領域とは別の領域へ移動させ、前記別の領域内において前記パターンの形状の測定を行うこと
を特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載の測定装置。 - 前記測定部は、
前記第2基板において複数の測定点で前記パターンの形状の測定を行うとともに、前記第2基板における複数の測定点は、前記基板において測定した測定点と対応する位置の測定点を含むこと
を特徴とする請求項7に記載の測定装置。 - 前記撮像部は、
複数あり、
前記測定部は、
複数の前記撮像部で撮像された画像情報に基づいて、それぞれ前記パターンの形状を測定すること
を特徴とする請求項1〜8のいずれか一つに記載の測定装置。 - 前記測定部は、
前記撮像部に前記基板のパターンを複数回撮像させて得られた複数の前記パターンの画像情報に基づいて前記パターンの形状を測定すること
を特徴とする請求項1〜9のいずれか一つに記載の測定装置。 - 基板にレジストを塗布するレジスト塗布装置と、
前記レジスト塗布装置によって形成されたレジスト膜に対して所定のパターン形状に露光する露光装置と、
前記レジスト塗布装置によって形成されたレジスト膜に対して局所的に露光する局所露光装置と、
前記露光装置および前記局所露光装置によって露光された後の基板を現像してパターンを形成する現像装置と、
前記基板に形成されたパターンの形状を測定する測定装置と
を備え、
前記測定装置は、
前記パターンが形成された前記基板を搬送する搬送部と、
前記搬送部の上方に配置され、前記搬送部に載置された前記基板のパターンを撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像された前記パターンの画像情報に基づいて前記パターンの形状を測定する測定部と
を備えることを特徴とする基板処理システム。 - パターンが形成された基板を搬送する搬送部によって、前記基板を搬送する搬送工程と、
前記搬送部の上方に配置され、前記搬送部に載置された前記基板のパターンを撮像する撮像部によって、前記基板のパターンを撮像する撮像工程と、
前記撮像工程で撮像された前記パターンの画像情報に基づいて前記パターンの形状を測定する測定工程と
を含むことを特徴とする測定方法。
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