JP2015072257A - 測定装置、基板処理システムおよび測定方法 - Google Patents

測定装置、基板処理システムおよび測定方法 Download PDF

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Abstract

【課題】軽量化を図ることができ、安価な測定装置、基板処理システムおよび測定方法を提供すること。【解決手段】実施形態の一態様に係る測定装置は、搬送部と、撮像部と、測定部とを備える。搬送部は、パターンが形成された基板を搬送する。撮像部は、搬送部の上方に配置され、搬送部に載置された基板のパターンを撮像する。また、測定部は、撮像部で撮像されたパターンの画像情報に基づいてパターンの形状を測定する。【選択図】図2

Description

開示の実施形態は、測定装置、基板処理システムおよび測定方法に関する。
近年、たとえば、FPD(Flat Panel Display)の製造においては、フォトリソグラフィ工程によって基板にパターンを形成することが行われている。上述したフォトリソグラフィ工程では、ガラス基板等の被処理基板に所定の膜を成膜した後、レジストを塗布し、基板に形成されたレジスト膜に対してマスクを用いて所定のパターン形状に露光する。その後、露光された基板を現像液に浸して現像処理を行うことで、基板にパターンが形成される。
ところで、上述のようにして形成された基板のパターンについて、パターンの線幅を測定する装置が提案されている。たとえば、特許文献1には、石定盤の上に基板を吸着する吸着板を載せ、吸着板の上に基板を載置して固定した状態で、基板のパターンの線幅を測定する技術が開示されている。
特開2008−140816号公報
しかしながら、上述した従来技術においては、石定盤が大理石等から製作されるため、線幅測定装置全体の重量の増加を招くとともに、装置が高価になるおそれがあった。
実施形態の一態様は、軽量化を図ることができ、安価な測定装置、基板処理システムおよび測定方法を提供することを目的とする。
実施形態の一態様に係る測定装置は、搬送部と、撮像部と、測定部とを備える。搬送部は、パターンが形成された基板を搬送する。撮像部は、前記搬送部の上方に配置され、前記搬送部に載置された前記基板のパターンを撮像する。測定部は、前記撮像部で撮像された前記パターンの画像情報に基づいて前記パターンの形状を測定する。
実施形態の一態様によれば、測定装置において、軽量化を図ることができ、安価にすることができる。
図1は、第1の実施形態に係る基板処理システムの構成を示す模式説明図である。 図2は、図1に示す線幅測定装置の構成を示す模式斜視図である。 図3は、図1に示す線幅測定装置のブロック図である。 図4は、基板の模式拡大図である。 図5は、線幅測定処理の処理手順を示すフローチャートである。 図6Aは、基板の模式平面図である。 図6Bは、図6Aに示す基板の一部を拡大して示す模式拡大平面図である。 図7は、基板の振動を示すグラフである。 図8は、基板と第2基板とで測定される測定点の変形例を示す模式説明図である。 図9は、第2の実施形態に係る線幅測定装置の構成を示す模式斜視図である。 図10は、第3の実施形態に係る線幅測定処理の処理手順を示すフローチャートである。 図11は、第4の実施形態に係る線幅測定処理の処理手順を示すフローチャートである。
以下、添付図面を参照して、本願の開示する測定装置、基板処理システムおよび測定方法の実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。
(第1の実施形態)
<1.基板処理システム>
まず、第1の実施形態に係る基板処理システムの構成について、図1を参照して説明する。図1は、第1の実施形態に係る基板処理システムの構成を示す模式説明図である。
図1に示す第1の実施形態に係る基板処理システム1は、被処理基板G(以下「基板G」という。図1で図示せず)に対し、フォトリソグラフィ工程によってパターンを形成する処理を行うユニットである。
基板処理システム1は、レジスト塗布装置11と、減圧乾燥装置12と、プリベーク装置13と、冷却装置14と、露光装置15と、局所露光装置16と、現像装置17と、線幅測定装置18とを備える。上述した各装置11〜18は、X軸正方向にこの順番で一体的に接続される。なお、上述した線幅測定装置18は、測定装置の一例に相当する。
なお、局所露光装置16の配置位置については、上述した露光装置15の後段に限定されるものではない。すなわち、たとえば局所露光装置16をプリベーク装置13の後段、または冷却装置14の後段に配置してもよい。
上述した各装置11〜18は、基板GをX軸正方向に搬送する、図1で図示しない搬送機構でつながっている。したがって、基板Gは、搬送機構によって搬送されながら、各装置11〜18内を通過してパターンが形成される。このように、基板処理システム1においては、各装置11〜18がインライン化されてフォトリソグラフィ工程が行われる。また、基板処理システム1においては、所定の時間ごとに、あるいは所定の間隔で順次、基板Gが搬送機構によって流されるものとする。
基板処理システム1のレジスト塗布装置11は、基板Gに感光性を有するレジストを塗布する。なお、上述したレジストとしては、ポジ型レジストおよびネガ型レジストのいずれのものであっても適用可能である。
減圧乾燥装置12は、減圧されたチャンバ内に基板Gを配置し、基板Gに形成されたレジスト膜を乾燥させる。プリベーク装置13は、基板Gを加熱処理してレジスト膜の溶剤を蒸発させ、基板Gにレジスト膜を定着させる。冷却装置14は、プリベーク装置13で加熱された基板Gを所定温度になるまで冷却する。
露光装置15は、基板Gに形成されたレジスト膜に対してマスクを用いて所定のパターン形状に露光する。局所露光装置16は、たとえば基板Gに形成されるパターンにバラツキが生じるのを抑制するために、レジスト膜に対して局所的に露光する。すなわち、たとえば仮に、基板Gに形成されるパターンの線幅が所望する線幅に対して異なっている場合、局所露光装置16では、その異なっている部位に局所的に露光することで、パターンの線幅を補正するようにしている。
現像装置17は、露光装置15および局所露光装置16によって露光された後の基板Gを現像液に浸して現像処理を行い、基板Gにパターンを形成する。線幅測定装置18は、現像装置17での現像処理によって基板Gに形成されたパターンの線幅を測定する。
なお、上記では、測定の対象をパターンの線幅としたが、これは例示であって限定されるものではない。すなわち、測定の対象としては、パターンの形状に関するものであれば、どのようなものであってもよい。具体的には、たとえば、パターンの長さや太さなどの寸法、曲率、レイアウト、さらにはパターンの欠損や変形など、パターンの形状に関するものを測定することとしてもよい。
ところで、基板のパターンの線幅を測定する装置としては、たとえば石定盤の上に吸着板を載せ、吸着板の上に基板を載置して固定した状態で、基板のパターンの線幅を測定する従来技術が知られている。しかしながら、そのような従来技術の場合、石定盤が大理石等から製作されるため、線幅測定装置全体の重量の増加を招くとともに、装置が高価になるおそれがあった。
そこで、第1の実施形態に係る線幅測定装置18においては、基板Gを搬送する搬送部の上方に撮像部を配置し、搬送部に載置された基板Gのパターンを撮像する。そして、撮像部で撮像されたパターンの画像情報に基づいてパターンの線幅を測定するようにした。これにより、石定盤等を備えるような装置に比べて、線幅測定装置18の軽量化を図ることができるとともに、線幅測定装置18を安価にすることができる。
また、従来技術では、基板を載置する部位に石定盤や減衰機構等を用いることで、基板の振動を抑制しながら、パターンの線幅を測定するようにしている。これに対し、第1の実施形態に係る線幅測定装置18においては、基板Gが搬送部に載置されるため、搬送部の振動が伝達されて基板Gも振動することとなる。
そこで、本実施形態にあっては、撮像部で撮像されたパターンの画像情報に基づいてパターンのエッジ強度を算出する。そして、算出したエッジ強度が所定のエッジ強度以上の場合、すなわち、撮像部で撮像された画像のピントが合っている場合に、撮像された画像情報に基づいてパターンの線幅を測定するようにした。これにより、搬送部の上に基板Gが載置されて振動している場合であっても、パターンの線幅を測定することができる。
<2.線幅測定装置の構成>
以下、線幅測定装置18の構成、および線幅測定装置18を用いて行われる基板Gのパターンの線幅測定処理について詳しく説明する。図2は、線幅測定装置18の構成を示す模式斜視図である。なお、以下では、図2に示すように、上述したX軸方向に対して直交するY軸方向およびZ軸方向を規定し、Z軸正方向を鉛直上向き方向とする。
図2に示す如く、線幅測定装置18は、搬送部20と、撮像部30と、移動部40と、測定制御装置50とを備える。搬送部20は、たとえばローラコンベアであり、多数のローラ21を回転させることによって、ローラ21上に載置された基板Gを水平方向、具体的にはX軸の正方向へ搬送する。なお、図2においては、ローラ21を透視して示している。
搬送部20は、上述した基板処理システム1の搬送機構の一部である。したがって、搬送部20は、基板処理システム1において線幅測定装置18の前段に配置された現像装置17から搬出された基板Gを搬送する。
また、搬送部20の動作、詳しくはローラ21の回転動作は、測定制御装置50によって制御される。なお、ここでは、搬送部20をローラコンベアとしたが、これに限定されるものではなく、たとえばベルトコンベアやチェーンコンベアなど他の搬送機構であってもよい。
また、搬送部20において、基板Gを搬送する搬送面付近には、破線で示す基板位置検出部22が複数個(たとえば4個)配設される。基板位置検出部22は、上方に基板Gが位置される場合に、検出信号を測定制御装置50へ出力する。基板位置検出部22としては、たとえば光学式の在荷センサを用いることができる。
なお、後述するように、測定制御装置50では、基板位置検出部22の検出信号に基づいて基板Gが所定の位置に載置されているか否かの判定を行うことから、基板位置検出部22は、所定の位置に載置された基板Gの下方に配置されるものとする。また、上記では、基板位置検出部22の個数を4個としたが、これは例示であって3個以下、あるいは5個以上であってもよい。
撮像部30は、搬送部20のZ軸方向における上方に配置され、搬送部20に載置された基板Gのパターンを上方から撮像する。撮像部30としては、たとえばCCD(Charge Coupled Device)カメラを用いることができる。撮像部30によって撮像された画像情報は、測定制御装置50へ入力される。
撮像部30の近傍には、カメラ高さ測定部31が設置される。カメラ高さ測定部31は、撮像部30のレンズから基板Gにおいてパターンが形成されるパターン面(上面)GaまでのZ軸方向高さを測定する測定部である。カメラ高さ測定部31による測定結果は、測定制御装置50へ入力され、撮像部30の高さを調整するために用いられる。なお、カメラ高さ測定部31としては、たとえばレーザー変位計を用いることができる。
移動部40は、撮像部30を基板Gのパターン面Gaに対して水平方向(X−Y軸方向)や垂直方向(Z方向)へ移動させる。具体的に移動部40は、ガイドレール部41と、スライド部42と、連結部43とを備える。
ガイドレール部41は、搬送部20のY軸方向における両端側にそれぞれ配置され、X軸方向に沿って延在するように設置される。スライド部42は、各ガイドレール部41に摺動可能(スライド可能)に接続され、よってガイドレール部41に沿ってX軸方向に直線運動可能とされる。
連結部43は、スライド部42同士を連結するとともに、基板Gの上方に架け渡されるようにして配置される。撮像部30およびカメラ高さ測定部31はともに、連結部43に取付板44を介してY軸およびZ軸方向に移動可能に接続される。
図示は省略するが、移動部40は、スライド部42をガイドレール部41に対してX軸方向に移動させる駆動源と、撮像部30等を連結部43に対してY軸方向およびZ軸方向に移動させる駆動源とを備える。上述した駆動源としては、たとえば電動モータを用いることができる。これにより、たとえば測定制御装置50が移動部40の駆動源を制御することで、撮像部30を基板Gに対してX,Y,Z軸方向の3方向に移動させることができる。
測定制御装置50は、線幅測定装置18の動作を制御する装置である。図3は、線幅測定装置18のブロック図である。
図3に示すように、測定制御装置50は、測定部51と、記憶部52と、フィードバック部53とを備えたコンピュータである。なお、測定制御装置50は、上述した局所露光装置16、搬送部20、基板位置検出部22、撮像部30、カメラ高さ測定部31、移動部40などとそれぞれ通信可能に接続される。
記憶部52には、線幅測定処理を制御するプログラムが格納される。測定部51は記憶部52に記憶されたプログラムを読み出して実行することによって線幅測定装置18の動作を制御する。
なお、かかるプログラムは、コンピュータによって読み取り可能な記録媒体に記録されていたものであって、その記録媒体から測定制御装置50の記憶部52にインストールされたものであってもよい。コンピュータによって読み取り可能な記録媒体としては、たとえばハードディスク(HD)、フレキシブルディスク(FD)、コンパクトディスク(CD)、マグネットオプティカルディスク(MO)、メモリカードなどがある。
記憶部52にはさらに、基板Gのパターン形状(以下「記憶パターン形状」という)と、基板Gにおいて測定したいパターンの位置情報とが予め記憶されている。図4は、その記憶パターン形状と位置情報とを説明するための、基板Gの模式拡大図である。なお、ここでは、基板Gに形成される複数のパターンのうち、図4に符号Aで示されるパターンPの線幅を測定したい場合を例にとって説明する。また、図4では、理解し易くするため、パターンに斜線を付して示している。
図4に示すように、測定したいパターンPの近傍には、破線で囲んで示す如く、パターンPに対して目印となり得るような形状のパターンBが存在する。記憶部52は、このパターンBの形状を「記憶パターン形状B」として予め記憶しておく。記憶パターン形状Bは、線幅測定処理において、撮像部30で撮像された画像情報が、測定したいパターンPを含んでいるか否かを推定するときに利用されるが、これについては後述する。
なお、記憶パターン形状Bは、後述する測定点ごとに設定されて記憶部52に記憶される。但し、たとえば、2以上の測定点において、記憶パターン形状Bが同じ形状である場合は、2以上の測定点で記憶パターン形状Bを共用するようにしてもよい。
また、上記した位置情報は、たとえば、撮像された画像において、記憶パターン形状Bと一致したパターンに対する測定点の相対位置を示す画素座標情報である。詳しくは、記憶パターン形状Bには、図4に示すような原点Oが設定されており、画素座標情報には、原点Oに対する測定点の始点位置XY1および終点位置XY2の情報が含まれている。
具体的に始点位置XY1としては、測定したいパターンPの一方(図4において上側のパターンP)の下端位置が設定され、終点位置XY2としては、測定したいパターンPの他方(図4において下側のパターンP)の上端位置が設定される。そして、上記した始点位置XY1と終点位置XY2との間の距離が、「線幅A」として測定される。この線幅Aの測定については、後に説明する。なお、上記した始点位置XY1および終点位置XY2の情報は、たとえば画像が4000×2000の画素で構成されている場合、その画素のX,Y座標によって表される。
図3の説明に戻ると、フィードバック部53は、線幅測定処理で測定したパターンの線幅を示すデータを局所露光装置16へフィードバックする(送出する)。局所露光装置16では、測定されたパターンの線幅と所望する線幅とを比較し、ズレている場合は、そのズレ量を算出し、算出したズレ量に基づいて露光の照度や基板Gにおいて局所露光する位置等を修正する。これにより、修正後に局所露光装置16に搬送された基板Gに対して、修正された照度や基板Gの位置に局所露光することができ、よって基板Gのパターンの線幅を所望する線幅に補正することができる。
<3.線幅測定装置の処理>
次いで、線幅測定装置18によって行われる線幅測定処理の具体的な内容について図5を参照して説明する。図5は、線幅測定処理の処理手順を示すフローチャートである。なお、線幅測定装置18では、測定制御装置50の測定部51の制御に基づき、図5に示す各処理手順を実行する。
測定部51は、搬送部20の動作を制御して、現像処理された基板Gを搬送する(ステップS1)。続いて、測定部51は、基板位置検出部22から出力される検出信号に基づいて、基板Gが所定の位置に載置されているか否かを判定する(ステップS2)。ここで、所定の位置とは、撮像部30よってパターンを撮像可能な基板Gの位置である。
測定部51は、基板Gが所定の位置に載置されていないと判定した場合(ステップS2,No)、そのまま処理を終了する。一方、測定部51は、基板Gが所定の位置に載置されていると判定した場合(ステップS2,Yes)、搬送部20の動作を止めて基板Gを停止させる(ステップS3)。
続いて測定部51は、基板Gにおけるパターンの測定点の位置、詳しくは、今回測定したいパターンの位置(以下「測定点」ともいう)を決定する(ステップS4)。ここで、基板Gの測定点について説明する。図6Aは、基板Gの模式平面図であり、図6Bは、図6Aに示す基板Gの一部を拡大して示す模式拡大平面図である。なお、図6A,6Bにおいては、理解し易くするため、測定点をx印で模式的に示した。
図6Aに示すように、基板Gのパターン面Gaにおいては、測定点Dが多数存在する。しかしながら、これら全ての測定点Dについてパターンの線幅を測定していると、測定に要する時間が長くなってしまうおそれがある。
そこで、本実施形態にあっては、基板Gのパターン面Gaを複数の領域に区画し、区画した領域のうちの一つの所定領域内で線幅の測定を行うようにした。具体的には、図6Aに破線で示すように、基板Gのパターン面Gaを複数(例えば9つ)の領域C1〜C9に分け、測定部51において領域C1〜C9を識別できるようにしておく。そして、測定部51は、領域C1〜C9のうちの一つの所定領域(たとえば領域C1)内で線幅の測定を行う。
図6Bは、領域C1〜C9のうちの一つである領域C1を拡大して示している。図6Bに示すように、領域C1には複数(たとえば9つ)の測定点Dが設定される。上述したステップS4は、この領域C1内に複数ある測定点Dのうち、今回測定したい測定点Dの位置、具体的には測定点DのX軸方向位置、Y軸方向位置を決定する処理である。
測定点Dの説明を続けると、測定部51は、この領域C1内の測定点Dを順次測定していき、9つの測定点Dの測定が終了した時点で、今回の基板Gの測定処理を終える。
線幅測定装置18では、測定を終えた基板Gが搬出され、次に測定される第2基板G2が搬入される。その場合、測定部51は、移動部40を介して撮像部30を、第2基板G2において所定領域(ここでは基板Gの領域C1)に対応する領域、すなわち第2基板G2の領域C1とは別の領域(たとえば第2基板G2の領域C2)へ移動させ、別の領域C2内においてパターンの線幅の測定を行う。
なお、図6Aにおいては、理解の便宜のため、基板Gと第2基板G2とが同じ基板のようにして示したが、第2基板G2は、基板Gが搬出された後に線幅測定装置18へ搬入される基板であるため、これら基板Gと第2基板G2とは別々の基板である。
測定部51は、上述のように、測定する領域をたとえばC1からC2、C2からC3へ、順番に変更していく。このことから、たとえば図6Aで示した、領域を9つに分ける例では、流れてくる基板を9枚測定すれば、基板全体、詳しくは領域C1〜C9の測定点Dでの線幅を測定することとなる。これにより、基板に多数ある測定点Dを、全体的に効率よく測定することができる。また、1枚の基板で測定するのは、一つの領域であることから、測定に要する時間が長くなってしまうこともない。
なお、上記では、基板Gを複数の領域C1〜C9に分けて一つずつ測定するように構成したが、これに限定されるものではなく、測定する時間が許容されるのであれば、測定点D全ての線幅を測定するようにしてもよい。また、上記した領域C1〜C9や測定点Dの数は例示であって、限定されるものではない。
図5の説明に戻ると、続いて、測定部51は、ステップS4で決定した測定点Dの上方に撮像部30が移動するように、移動部40の動作を制御する(ステップS5)。次いで、測定部51は、撮像部30のZ軸方向における高さを調整する(ステップS6)。詳しくは、ステップS6においては、カメラ高さ測定部31の測定結果に基づいて、撮像部30のレンズから基板Gのパターン面Gaまでの距離が、撮像部30のワークディスタンスになるように、移動部40の動作を制御する。
より詳しくは、測定部51は、カメラ高さ測定部31を用い、撮像部30から基板GまでのZ軸方向高さを複数回測定する。そして、測定部51は、得られた測定結果に基づき、振動している基板Gの振幅を算出し、算出した振幅の中央値に応じて撮像部30のレンズから基板Gのパターン面Gaまでの距離が撮像部30のワークディスタンスになるように、移動部40の動作を制御する。
これにより、基板Gが振動している場合であっても、後述する処理において、ピントが合った画像を撮像し易くすることができる。なお、上記では、振幅の中央値を用いたが、これに限られず、たとえば算術平均や最頻値などであってもよい。
続いて、測定部51は、撮像部30によるパターンの撮像回数が所定の回数以上か否かを判定する(ステップS7)。ここでの所定の回数は、たとえば2以上の整数に設定される。
測定部51は、撮像回数が所定の回数未満と判定した場合(ステップS7,No)、撮像部30を作動させて基板Gのパターンを撮像する(ステップS8)。次いで、測定部51は、パターンサーチ処理を行う(ステップS9)。
パターンサーチ処理では、たとえば、撮像部30で撮像された画像情報に含まれるパターン形状(以下「画像パターン形状」という)と、記憶部52に記憶された記憶パターン形状Bとの相関値が算出される。なお、ここでの相関値とは、画像パターン形状と記憶パターン形状Bとの類似性を示す値である。
次いで、測定部51は、算出した相関値が所定の相関値以上か否かを判定する(ステップS10)。ここで、ステップS10の処理について説明すると、相関値が所定の相関値未満で比較的低い場合は、撮像部30で撮像された画像情報が、記憶パターン形状Bと一致するパターンを含んでおらず、結果として測定したいパターンPも含んでいないと推定する。一方、相関値が所定の相関値以上で比較的高い場合は、撮像部30で撮像された画像情報が、記憶パターン形状Bと一致するパターンを含んでおり、よって当該一致したパターンと近接する、測定したいパターンPをも含んでいると推定するようにした。
すなわち、ステップS10は、撮像部30の位置が測定したいパターンP(測定点D)に対して位置ズレしていないかどうかを判定する処理ともいえる。したがって、測定部51は、相関値が所定の相関値未満の場合(ステップS10,No)、画像情報が測定したいパターンPを含んでおらず、撮像部30が測定点Dとは異なる位置にあると推定されることから、撮像部30の位置を調整する(ステップS11)。
ステップS11の処理では、たとえば、撮像部30を予め設定される所定方向(たとえばX軸方向)に所定距離だけ移動させて位置調整する。そして、測定部51は、撮像部30の位置を調整した後、ステップS8に戻って再び撮像を実行する。
なお、上記では、所定方向に所定距離だけ移動させて撮像部30を位置調整するようにしたが、これに限定されるものではない。すなわち、たとえば、撮像部30のレンズの倍率を下げ、カメラ視野を拡大し、拡大したカメラ視野からの画像情報に基づいて、撮像部30を測定点Dまで移動させて調整するようにしてもよい。
このように、相関値が所定の相関値未満の場合、撮像部30に基板Gのパターンの撮像を再度実行させるようにしたことから、測定したいパターンPの線幅A以外の線幅を誤って測定してしまうのを防止することができる。
他方、測定部51は、相関値が所定の相関値以上の場合(ステップS10,Yes)、撮像部30で撮像されたパターンの画像情報に基づいてパターンのエッジ強度を算出し、算出したエッジ強度が所定のエッジ強度以上か否かを判定する(ステップS12)。
ここでのエッジ強度とは、撮像されたパターンにおける境目(輪郭)の濃淡の変化度合いを意味し、エッジ強度が高くなるにつれて濃淡がはっきりしている、すなわち、画像のピントが合っていることを意味する。
測定部51は、エッジ強度が所定のエッジ強度未満で比較的低い場合(ステップS12,No)、撮像部30で撮像された画像のピントが合っていないことから、ステップS7に戻る。そして、撮像回数がまだ所定の回数未満であれば、言い換えると、撮像回数が所定の回数に到達していない場合、ステップS8にて基板Gのパターンの撮像を再度実行し、ステップS9以降の処理が再び行われる。
他方、測定部51は、エッジ強度が所定のエッジ強度以上で比較的高い場合(ステップS12,Yes)、撮像された画像のピントが合っていることから、続いて、その画像を用いて、測定点Dの始点位置XY1および終点位置XY2を算出する(ステップS13)。
具体的に測定部51は、ピントの合った画像において、記憶パターン形状Bに対して相関値が比較的高く、記憶パターン形状Bと一致したパターンの位置から、測定点Dの始点位置XY1および終点位置XY2を算出する。
詳しく説明すると、記憶パターン形状Bには、上述したように原点Oが設定されている(図4参照)。測定部51は、撮像された画像において、記憶パターン形状Bと一致したパターンにおいて原点Oに対応する位置を「基準点」とする。測定部51は、基準点と、記憶部52の位置情報たる画素座標情報とに基づき、始点位置XY1および終点位置XY2を算出する。
そして、測定部51は、ステップS13で算出された始点位置XY1と終点位置XY2との間の距離を、測定点DにおけるパターンPの線幅Aとして測定する(ステップS14)。
このように、本実施形態では、撮像された画像において、記憶パターン形状Bと一致したパターンと、当該パターンに対する測定点Dの相対位置を示す位置情報とに基づき、測定点Dの始点位置XY1および終点位置XY2を算出してパターンPの線幅Aを測定するようにした。これにより、たとえば、記憶パターン形状Bと一致したパターンが、撮像された画像内のどのような位置に写っている場合であっても、始点位置XY1および終点位置XY2を算出でき、パターンPの線幅Aを測定することができる。
また、上述したように、測定部51にあっては、撮像部30で撮像されたパターンの画像情報に基づいてパターンのエッジ強度を算出し、算出したエッジ強度が所定のエッジ強度以上の場合、パターンの画像情報に基づいてパターンPの線幅Aを測定するようにした。
これにより、基板Gが振動している場合であっても、エッジ強度が比較的高い画像、すなわち、ピントが合った画像を選択できることから、測定点DのパターンPの線幅Aを正確に測定することができる。
このエッジ強度に基づく線幅の測定(ステップS12〜S14およびS8)の処理について、図7を参照して再説する。図7は基板Gの振動を示すグラフである。なお、図7における符号T1〜T4は、測定部51によって撮像が行われたタイミング、すなわち撮像した時間を示している。
本実施形態における基板Gは、搬送部20に載置されるため、搬送部20の振動や空調などの外乱の影響を受け、図7に示すようにZ軸方向に振動する。他方、撮像部30においては、基板Gのパターン面Gaの位置が、撮像部30の被写界深度の範囲Eに入っていないと、ピントの合った画像を撮像することはできない。なお、基板Gのパターン面Gaが被写界深度の範囲Eに入っている場合にエッジ強度は高くなり、被写界深度の範囲Eから外れた場合にエッジ強度は低くなる。
図7に示す例では、1回目の撮像時刻T1から3回目の撮像時刻T3までは、基板Gのパターン面Gaの位置が、被写界深度の範囲Eに入っていない状態で撮像している。したがって、撮像時刻T1,T2,T3では、エッジ強度が所定のエッジ強度未満となり、ステップS8の処理が繰り返されて撮像のやり直しが行われることとなる。
そして、4回目の撮像時刻T4においては、基板Gのパターン面Gaの位置が、被写界深度の範囲Eに入ったときに撮像が行われていることから、エッジ強度が所定のエッジ強度以上となる。本実施形態では、撮像時刻T4においてエッジ強度が高くなった画像、すなわちピントが合った画像に基づいて線幅を測定するようにしていることから、搬送部20に基板Gが載置されて振動している場合であっても、パターンの線幅を確実に測定することができる。
また、このように、エッジ強度が所定のエッジ強度未満の場合、撮像部30に基板Gのパターンの撮像を再度実行させるようにしたことから、ピントが確実に合っている画像に基づいて線幅を測定することができる。
図5の説明に戻ると、測定部51は、上記した所定領域C1内における所定の測定点Dの測定が終了したか否かを判定、図6Bに示す例では、9つの測定点Dの測定が終了したか否かを判定する(ステップS15)。測定部51は、所定の測定点Dの測定が終了していないと判定した場合(ステップS15,No)、ステップS4に戻って、所定領域C1内における別の測定点Dの位置を決定し、上記したステップS5〜S14の線幅測定を行う。
また、測定部51は、撮像回数が所定の回数以上となった場合(ステップS7,Yes)、ステップS8〜S14の処理をスキップして、ステップS15の処理を行う。詳説すると、測定部51は、ステップS12においてエッジ強度が所定のエッジ強度未満の場合、すなわち、撮像された画像のピントが合っていない場合、ステップS7に戻って撮像回数が所定の回数に到達するまで、撮像を繰り返し行う。
しかしながら、撮像するタイミングや基板Gの振動状態などによっては、撮像を繰り返しても、ピントが合った画像を得ることができないこともある。そこで、本実施形態に係る測定部51にあっては、撮像回数が所定の回数以上となった場合(ステップS7,Yes)、現在測定しようとしている測定点Dについては、ピントの合った画像を撮像することはできないと判定して、S8〜S14の処理をスキップ(撮像を中止)するようにした。
そして、測定部51は、ステップS15において、9つの測定点Dの測定が終了したか否かを判定し、測定しようとしていた測定点D以外で、測定をまだ行っていない測定点Dがあれば、その測定点Dの測定に移行するようにした(ステップS4に戻るようにした)。
このように、撮像回数に上限値(所定の回数)を設けることで、たとえばひとつの測定点Dに対してピントの合った画像が撮像されるまで撮像処理を継続し、処理時間が長くなってしまうなどの不都合が生じるのを回避することができる。
なお、測定する9箇所の測定点D(図6B参照)のうち、たとえば1箇所だけ測定できない測定点Dがあった場合、測定することができた残りの8箇所の測定点Dの測定結果から、測定できなかった測定点Dの線幅Aを補間して求めるようにしてもよい。
次いで測定部51は、所定の測定点Dの測定が終了したと判定した場合(ステップS15,Yes)、図5の処理を終了し、その後たとえば搬送部20を動作させて基板Gを線幅測定装置18から搬出する。
なお、測定制御装置50は、上述したように、線幅測定処理で測定したパターンの線幅を示すデータを局所露光装置16へフィードバックし、局所露光装置16では、露光の照度等を修正して、パターンの線幅を補正する。
上述してきたように、第1の実施形態に係る線幅測定装置18は、搬送部20と、撮像部30と、測定部51とを備える。搬送部20は、パターンが形成された基板Gを水平方向に搬送する。撮像部30は、搬送部20の上方に配置され、搬送部20に載置された基板Gのパターンを撮像する。測定部51は、撮像部30で撮像されたパターンの画像情報に基づいてパターンの形状(たとえば線幅)を測定する。したがって、第1の実施形態に係る線幅測定装置18によれば、軽量化を図ることができ、安価にすることができる。
ところで、上記においては、今回測定する基板Gと次に測定する第2基板G2とで、測定する領域を領域C1から領域C2へ変更して測定点Dを全て変えるようにしたが、これに限定されるものではない。すなわち、たとえば図6Aに符号Daで示した測定点を、基板Gでも、第2基板G2でも測定するようにしてもよい。
すなわち、測定部51は、第2基板G2における複数の測定点Dが、基板Gにおいて測定した測定点Daと対応する位置の測定点Daを含むようにする。なお、第2基板G2の後に測定が行われる、次の基板についても同様に、測定点Daを測定するようにする。
このように、共通する(重複する)測定点Daのパターンの線幅を継続して測定することで、測定した線幅のデータに連続性を持たせることができ、たとえば測定された線幅の微細な変化を容易に検知することも可能となる。
また、上記では、線幅を測定する基板の全てに対して、測定点Daを共通に測定するようにしたが、これに限定されるものではなく、たとえば、連続して測定する基板に対してのみ測定点を共通化させてもよい。
図8は、基板Gと第2基板G2とで測定される測定点を示す模式説明図である。図8では、基板Gで測定される測定点を破線F1で囲む一方、第2基板G2で測定される測定点を二点鎖線F2で囲んで示した。
図8に示す如く、基板Gと第2基板G2とで測定される、複数の測定点Dのうち、一部の測定点Dbが同じ測定点、正確には、一部が対応する位置の測定点となるようにした。このように構成した場合であっても、上記と同様に、測定した線幅のデータに連続性を持たせることができ、たとえば測定された線幅の微細な変化を容易に検知することも可能となる。
(第2の実施形態)
図9は、第2の実施形態に係る線幅測定装置18の構成を示す、図2と同様な模式斜視図である。なお、以下においては、第1の実施形態と共通の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
第1の実施形態との相違点に焦点をおいて説明すると、第2の実施形態に係る線幅測定装置18においては、第2撮像部130と第2カメラ高さ測定部131とを備えるようにした。第2撮像部130および第2カメラ高さ測定部131は、撮像部30およびカメラ高さ測定部31と略同一の構成であり、よって基板Gに対してX,Y,Z軸方向の3方向に移動できるように構成される。なお、図9において、撮像部30のY軸方向における可動範囲を「Y1」、第2撮像部130のY軸方向における可動範囲を「Y2」で示す。
そして、測定部51は、第2撮像部130からの画像情報に基づいて線幅を測定する。これにより、一枚の基板Gにおける測定点Dの数を、第2撮像部130の画像情報に基づいて測定した測定点Dの分だけ増加させることができ、よって一枚の基板Gで線幅が測定されるパターンの数も増加させることができる。
また、複数ある測定点Dの撮像を、撮像部30と第2撮像部130とで分担して行うように構成してもよく、このように構成した場合、撮像処理および線幅測定処理に要する時間を短縮することができる。
また、図9に示すように、撮像部30の可動範囲Y1と、第2撮像部130の可動範囲Y2とは、所定量だけ重なるように設定される。これにより、基板Gにおいて、撮像部30でも第2撮像部130でも撮像できない領域、いわゆる死角領域をなくすことができ、よって基板Gのパターンの線幅を撮像部30および第2撮像部130を用いて確実に測定することができる。
また、第2撮像部130の取付板144において、撮像部30の取付板44と対向する面には、ガード部145が取り付けられる。ガード部145は、たとえば弾性を有する素材から製作された、板状の部材である。このガード部145により、たとえば仮に、撮像部30と第2撮像部130とが接触してしまった場合であっても、撮像部30および第2撮像部130に作用する衝撃力を緩和することができる。
なお、上記では、ガード部145を第2撮像部130側に取り付けるようにしたが、撮像部30に取り付けてもよく、さらには、撮像部30側および第2撮像部130側の両方に取り付けるように構成してもよい。なお、残余の構成および効果は、第1の実施形態と同一であるので、説明を省略する。
(第3の実施形態)
図10は、第3の実施形態に係る線幅測定装置18の線幅測定処理の処理手順を示すフローチャートである。なお、図10に示すステップS101〜S106の処理は、図5に示すステップS1〜S6の処理と同様であるため、説明を省略する。
第3の実施形態では、撮像した画像情報において、記憶パターン形状Bと一致するパターンの有無および測定点Dの有無をそれぞれ判定し、記憶パターン形状Bと一致するパターンや測定点Dが無い場合に撮像部30の位置調整を行うこととした。
具体的には、図10に示すように、測定部51は、ステップS106で撮像部30のZ軸方向における高さを調整した後、撮像部30を作動させて基板Gのパターンを撮像する(ステップS107)。次いで、測定部51は、パターンサーチ処理を行って相関値を算出する(ステップS108)。
続いて、測定部51は、算出した相関値が0ではないか否かを判定する(ステップS109)。相関値は、上述したように、画像パターン形状と記憶パターン形状Bとの類似性を示す値であることから、相関値が0の場合は、類似性が低く、よって撮像された画像情報に記憶パターン形状Bが存在しないことを意味する。
測定部51は、相関値が0の場合(ステップS109,No)、撮像部30の位置を調整する(ステップS110)。ステップS110の処理では、たとえば、撮像部30のカメラ視野を半分ずらすように撮像部30を移動させる。そして、測定部51は、撮像部30の位置を調整した後、ステップS107に戻って再び撮像を実行する。
このように撮像部30の位置調整を行うことで、記憶パターン形状Bと一致するパターンを含む画像情報を早期に得やすくすることができる。なお、上記では、位置調整の際、カメラ視野を半分ずらすように撮像部30を移動させたが、これは例示であって限定されるものではなく、要はカメラ視野がずれるように撮像部30を移動させればよい。
なお、位置調整後に撮像された画像情報にも記憶パターン形状Bが存在せず、ステップS110の処理が再び行われる場合、最初に撮像した撮像部30の座標を中心に、その外周を回るように撮像部30を移動させながら再度位置調整を行うことが好ましい。これにより、記憶パターン形状Bと一致するパターンを含む画像情報を、比較的少ない撮像回数で得やすくすることができる。
測定部51は、相関値が0ではないと判定した場合(ステップS109,Yes)、すなわち、撮像された画像情報に記憶パターン形状Bと一致するパターンが含まれている場合、画像情報内に測定点Dがあるか否かを判定する(ステップS111)。
ここで、記憶パターン形状Bに対する測定点Dの相対位置を示す情報(パターンの位置情報)は、記憶部52に予め記憶されている。したがって、ステップS111では、記憶パターン形状Bと一致したパターンの位置情報、および、相対位置を示す情報に基づき、撮像された画像情報内に測定点Dがあるか否かを判定する。
測定部51は、撮像された画像情報内に測定点Dがないと判定した場合(ステップS111,No)、撮像部30の位置を調整する(ステップS112)。ステップS112の処理では、たとえば、記憶パターン形状Bの位置と、記憶パターン形状Bと一致したパターンの位置とのずれ量を算出し、算出したずれ量が0になるように、撮像部30を移動させる。
そして、測定部51は、撮像部30の位置を調整した後、ステップS107に戻って再び撮像を実行する。これにより、測定点Dが含まれた画像情報を早期に得ることができる。
一方、測定部51は、撮像された画像情報に測定点Dがあると判定した場合(ステップS111,Yes)、撮像部30によるパターンの撮像回数が所定の回数以上か否かを判定する(ステップS113)。かかるステップS113の処理は、図5に示すステップS7と同様であるため、説明を省略する。
測定部51は、撮像回数が所定の回数未満と判定した場合(ステップS113,No)、相関値が所定の相関値以上か否かを判定する(ステップS114)。ステップS114の処理は、図5に示すステップS10と同様であるため、説明を省略する。
そして、測定部51は、相関値が所定の相関値未満の場合(ステップS114,No)、ステップS107に戻って再び撮像を実行する。一方、測定部51は、相関値が所定の相関値以上の場合(ステップS114,Yes)、エッジ強度が所定のエッジ強度以上か否かを判定する(ステップS115)。ステップS115〜S118は、図5に示すステップS12〜S15と同様であるため、説明を省略する。
上述したように、第3の実施形態にあっては、撮像した画像情報において、記憶パターン形状Bと一致するパターンの有無および測定点Dの有無をそれぞれステップS109,S111で判定することとした。
そして、記憶パターン形状Bと一致するパターンが無い場合は、撮像部30の位置を調整した後、撮像を再度行うこととした。これにより、記憶パターン形状Bと一致するパターンを含む画像情報を早期に得やすくすることができる。
また、撮像した画像情報内に測定点Dが無い場合は、記憶部52に記憶された測定点Dの相対位置を示す情報に基づいて撮像部30を位置調整した後、撮像を再度行うこととした。これにより、測定点Dが含まれた画像情報を早期に得ることができる。なお、残余の構成および効果は、第1の実施形態と同一であるので、説明を省略する。
(第4の実施形態)
図11は、第4の実施形態に係る線幅測定装置18の線幅測定処理の処理手順を示すフローチャートである。なお、図11に示すステップS201〜S212の処理は、図10に示すステップS101〜S112の処理と同様であるため、説明を省略する。
上述した実施形態では、撮像を1回行い、撮像された画像情報に対して測定点Dの有無を判定する処理などを行う例について説明したが、撮像を複数回行い、撮像された複数の画像情報に対して測定点Dの有無の判定や線幅測定を行うようにしてもよい。
このように構成することで、たとえば、撮像部30が次の測定点Dへ移動する間に、既に撮像された複数の画像情報に基づいて線幅を測定することが可能となり、よって基板G一枚あたりの線幅測定処理に要する時間をさらに短縮することができる。
詳しく説明すると、図11に示すように、測定部51は、ステップS207で撮像された画像情報に測定点Dがあると判定した場合(ステップS211,Yes)、基板GをN回撮像し、撮像した複数の画像情報を記憶部52に記憶させる(ステップS213)。
ここで、上記したNは2以上の整数に設定される。具体的には、撮像回数は、たとえば数回から数十回程度が好ましい。なお、N回撮像する際の撮像タイミング(撮像周期)は、一定であっても可変であってもよい。
ここで、撮像タイミングを可変にする場合、たとえば、基板Gの振動に応じて変更することが好ましい。すなわち、たとえば基板Gの振動の振幅や周波数を検出して解析し、解析結果に基づき、撮像タイミングが基板Gの振動とずれるようにする。これにより、撮像タイミングと基板Gの振動とが同期してしまうのを防止でき、結果としてピントが合った画像を撮像し易くすることができる。
次いで、測定部51は、相関値の算出や線幅測定を行っていない画像情報(以下「未測定画像」と記載する)が記憶部52にあるか否かを判定する(ステップS214)。測定部51は、未測定画像があると判定した場合(ステップS214,Yes)、かかる未測定画像を記憶部52から読み出し、パターンサーチ処理を行って相関値を算出する(ステップS215)。
次いで、測定部51は、相関値が所定の相関値以上か否かを判定し(ステップS216)、所定の相関値以上の場合(ステップS216,Yes)、エッジ強度が所定のエッジ強度以上か否かを判定する(ステップS217)。
測定部51は、エッジ強度が所定のエッジ強度以上の場合(ステップS217,Yes)、測定点Dの始点位置XY1および終点位置XY2を算出する(ステップS218)。なお、ステップS218〜S220は、図5に示すステップS13〜S15の処理と同様であるため、説明を省略する。
また、測定部51は、相関値が所定の相関値未満の場合(ステップS216,No)、または、エッジ強度が所定のエッジ強度未満の場合(ステップS217,No)、S214の処理に戻る。
他方、測定部51は、未測定画像がないと判定した場合(ステップS214,No)、すなわち、記憶部52に記憶された画像情報すべてに対して相関値の算出や線幅測定を行った場合、ステップS215〜S219をスキップする。
上述したように、第4の実施形態にあっては、撮像部30に基板Gのパターンを複数回(N回)撮像させて得られた複数のパターンの画像情報に基づいてパターンの形状(たとえば線幅)を測定することとした。
これにより、たとえば、撮像部30が次の測定点Dへ移動する間に、既に撮像された複数の画像情報に基づいて線幅を測定することが可能となり、よって基板G一枚あたりの線幅測定処理に要する時間をさらに短縮することができる。なお、残余の構成および効果は、上述の実施形態と同一であるので、説明を省略する。
なお、上述した実施形態において、たとえば、撮像部30のレンズに絞りを設けるようにしてもよい。この絞りを設けることによって、図7に示した被写界深度の範囲Eが拡大することから、撮像部30においてエッジ強度が高く、ピントが合った画像を撮像し易くすることも可能である。
また、図7に示す例では、撮像部30の撮像を同じ周期で行うようしたが、これに限定されるものではなく、異なる周期で撮像するようにしてもよい。また、たとえば基板Gの振動の周期や周波数を検出して解析し、解析結果に基づいて、基板Gのパターン面Gaの位置が被写界深度の範囲Eに入るようなタイミングで撮像を行うように構成してもよい。これにより、撮像部30においてエッジ強度が高く、ピントが合った画像を撮像し易くすることも可能となる。
また、撮像部30で基板Gを撮像する前に、基板Gのパターン面Gaに対する撮像部30のカメラ軸の傾きを検出し、検出した傾きに基づいて撮像部30の位置を補正するように構成してもよい。すなわち、たとえばパターン面Gaに傾き検出用のマークを設ける一方、記憶部52に該マークを記憶させておく。そして、撮像部30、あるいは別の撮像部を用いてパターン面Ga上のマークを撮像し、撮像したマークと記憶したマークとを比較して、基板Gのパターン面Gaに対する撮像部30のカメラ軸の傾きを検出する。次いで、検出した傾きに基づき、撮像部30のカメラ軸がパターン面Gaに対して直交するように、撮像部30の位置を補正するようにしてもよい。これにより、撮像部30は、基板Gのパターンを精度よく撮像できるとともに、測定部51は、撮像された画像から基板Gのパターンの形状を正確に認識することができる。
また、上記では、隣接するパターンPの間隔を、パターンPの線幅Aとして測定したが、それに限定されるものではなく、たとえば隣接しないパターンの間隔を線幅として測定してもよく、さらにはパターン幅などを測定してもよい。
さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。
1 基板処理システム
11 レジスト塗布装置
12 減圧乾燥装置
13 プリベーク装置
14 冷却装置
15 露光装置
16 局所露光装置
17 現像装置
18 線幅測定装置
20 搬送部
30 撮像部
40 移動部
50 測定制御装置
51 測定部
52 記憶部
53 フィードバック部
C1〜C9 領域
D,Da,Db 測定点
G 基板

Claims (12)

  1. パターンが形成された基板を搬送する搬送部と、
    前記搬送部の上方に配置され、前記搬送部に載置された前記基板のパターンを撮像する撮像部と、
    前記撮像部で撮像された前記パターンの画像情報に基づいて前記パターンの形状を測定する測定部と
    を備えることを特徴とする測定装置。
  2. 前記測定部は、
    前記撮像部で撮像された前記パターンの画像情報に基づいて前記パターンのエッジ強度を算出し、算出した前記エッジ強度が所定のエッジ強度以上の場合、前記パターンの画像情報に基づいて前記パターンの形状を測定すること
    を特徴とする請求項1に記載の測定装置。
  3. 前記測定部は、
    前記エッジ強度が前記所定のエッジ強度未満の場合、前記撮像部に前記基板のパターンの撮像を再度実行させること
    を特徴とする請求項2に記載の測定装置。
  4. 前記基板のパターン形状を予め記憶しておく記憶部
    を備え、
    前記測定部は、
    前記撮像部で撮像された前記パターンの画像情報と前記記憶部で記憶されたパターン形状との相関値を算出し、算出した前記相関値が所定の相関値以上の場合、前記パターンの画像情報に基づいて前記パターンの形状を測定すること
    を特徴とする請求項1、2または3に記載の測定装置。
  5. 前記測定部は、
    前記相関値が前記所定の相関値未満の場合、前記撮像部に前記基板のパターンの撮像を再度実行させること
    を特徴とする請求項4に記載の測定装置。
  6. 前記測定部は、
    前記相関値が0の場合、前記撮像部の位置を調整した後、前記撮像部に前記基板のパターンの撮像を再度実行させること
    を特徴とする請求項4に記載の測定装置。
  7. 前記撮像部を前記基板において前記パターンが形成されるパターン面に対して水平方向へ移動させる移動部
    を備え、
    前記測定部は、
    前記基板のパターン面を複数の領域に分けて識別し、複数の前記領域のうちの一つの所定領域内において前記パターンの形状を測定し、前記所定領域での測定が終了した後、次に測定を行う第2基板が前記搬送部によって搬送された場合、前記移動部を介して前記撮像部を、前記第2基板において前記所定領域に対応する領域とは別の領域へ移動させ、前記別の領域内において前記パターンの形状の測定を行うこと
    を特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載の測定装置。
  8. 前記測定部は、
    前記第2基板において複数の測定点で前記パターンの形状の測定を行うとともに、前記第2基板における複数の測定点は、前記基板において測定した測定点と対応する位置の測定点を含むこと
    を特徴とする請求項7に記載の測定装置。
  9. 前記撮像部は、
    複数あり、
    前記測定部は、
    複数の前記撮像部で撮像された画像情報に基づいて、それぞれ前記パターンの形状を測定すること
    を特徴とする請求項1〜8のいずれか一つに記載の測定装置。
  10. 前記測定部は、
    前記撮像部に前記基板のパターンを複数回撮像させて得られた複数の前記パターンの画像情報に基づいて前記パターンの形状を測定すること
    を特徴とする請求項1〜9のいずれか一つに記載の測定装置。
  11. 基板にレジストを塗布するレジスト塗布装置と、
    前記レジスト塗布装置によって形成されたレジスト膜に対して所定のパターン形状に露光する露光装置と、
    前記レジスト塗布装置によって形成されたレジスト膜に対して局所的に露光する局所露光装置と、
    前記露光装置および前記局所露光装置によって露光された後の基板を現像してパターンを形成する現像装置と、
    前記基板に形成されたパターンの形状を測定する測定装置と
    を備え、
    前記測定装置は、
    前記パターンが形成された前記基板を搬送する搬送部と、
    前記搬送部の上方に配置され、前記搬送部に載置された前記基板のパターンを撮像する撮像部と、
    前記撮像部で撮像された前記パターンの画像情報に基づいて前記パターンの形状を測定する測定部と
    を備えることを特徴とする基板処理システム。
  12. パターンが形成された基板を搬送する搬送部によって、前記基板を搬送する搬送工程と、
    前記搬送部の上方に配置され、前記搬送部に載置された前記基板のパターンを撮像する撮像部によって、前記基板のパターンを撮像する撮像工程と、
    前記撮像工程で撮像された前記パターンの画像情報に基づいて前記パターンの形状を測定する測定工程と
    を含むことを特徴とする測定方法。
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