JP2015068885A - 干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 - Google Patents

干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 Download PDF

Info

Publication number
JP2015068885A
JP2015068885A JP2013201045A JP2013201045A JP2015068885A JP 2015068885 A JP2015068885 A JP 2015068885A JP 2013201045 A JP2013201045 A JP 2013201045A JP 2013201045 A JP2013201045 A JP 2013201045A JP 2015068885 A JP2015068885 A JP 2015068885A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
region
interference filter
film
reflective film
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2013201045A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2015068885A5 (enExample
Inventor
佐野　朗
Akira Sano
朗 佐野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2013201045A priority Critical patent/JP2015068885A/ja
Priority to US14/487,367 priority patent/US20150092273A1/en
Priority to CN201410505597.5A priority patent/CN104516041A/zh
Publication of JP2015068885A publication Critical patent/JP2015068885A/ja
Publication of JP2015068885A5 publication Critical patent/JP2015068885A5/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/001—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/08—Mirrors
    • G02B5/0816—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Astronomy & Astrophysics (AREA)
JP2013201045A 2013-09-27 2013-09-27 干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 Withdrawn JP2015068885A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013201045A JP2015068885A (ja) 2013-09-27 2013-09-27 干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
US14/487,367 US20150092273A1 (en) 2013-09-27 2014-09-16 Interference filter, optical filter device, optical module, and electronic apparatus
CN201410505597.5A CN104516041A (zh) 2013-09-27 2014-09-26 干涉滤波器、光学滤波器装置、光模块以及电子设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013201045A JP2015068885A (ja) 2013-09-27 2013-09-27 干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015068885A true JP2015068885A (ja) 2015-04-13
JP2015068885A5 JP2015068885A5 (enExample) 2016-11-04

Family

ID=52739904

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013201045A Withdrawn JP2015068885A (ja) 2013-09-27 2013-09-27 干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20150092273A1 (enExample)
JP (1) JP2015068885A (enExample)
CN (1) CN104516041A (enExample)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2026127123A1 (ja) * 2024-12-12 2026-06-18 学校法人沖縄科学技術大学院大学学園 反射鏡、光共振器、及び量子デバイス

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6671860B2 (ja) * 2015-04-28 2020-03-25 浜松ホトニクス株式会社 光検出装置
WO2020071181A1 (ja) * 2018-10-03 2020-04-09 浜松ホトニクス株式会社 ファブリペロー干渉フィルタ

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6915048B2 (en) * 2001-06-18 2005-07-05 Cidra Corporation Fabry-perot filter/resonator
FR2839812B1 (fr) * 2002-05-17 2005-07-01 Atmel Grenoble Sa Procede de fabrication collective de composants de filtrage optique et plaquette de composants
CN100538432C (zh) * 2006-01-19 2009-09-09 精工爱普生株式会社 波长可变滤波器、波长可变滤波器模块及光谱分析器
US20100296099A1 (en) * 2008-02-06 2010-11-25 Van Brocklin Andrew L Optical device
JP5370246B2 (ja) * 2009-05-27 2013-12-18 セイコーエプソン株式会社 光フィルター、光フィルター装置、分析機器、および光フィルターの製造方法
JP2012108220A (ja) * 2010-11-16 2012-06-07 Seiko Epson Corp 光フィルターおよび光機器
US20120154915A1 (en) * 2010-12-21 2012-06-21 Seiko Epson Corporation Variable wavelength interference filter, optical filter device, optical module, and electronic apparatus

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2026127123A1 (ja) * 2024-12-12 2026-06-18 学校法人沖縄科学技術大学院大学学園 反射鏡、光共振器、及び量子デバイス

Also Published As

Publication number Publication date
US20150092273A1 (en) 2015-04-02
CN104516041A (zh) 2015-04-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6264810B2 (ja) 干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP5703813B2 (ja) 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置
JP6186692B2 (ja) 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP6390090B2 (ja) 光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP6260080B2 (ja) 波長可変干渉フィルター、波長可変干渉フィルターの製造方法、光学モジュール、及び電子機器
JP6003168B2 (ja) 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP5834718B2 (ja) 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
CN102540312B (zh) 波长可变干涉滤波器、光学组件以及电子设备
JP6264838B2 (ja) 光学素子
JP2013072930A (ja) 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP6089674B2 (ja) 波長可変干渉フィルター、波長可変干渉フィルターの製造方法、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP6135365B2 (ja) 干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、干渉フィルターの製造方法、及びｍｅｍｓ素子
JP2014164018A (ja) 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP5987618B2 (ja) 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP6024086B2 (ja) 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの製造方法
JP2014164068A (ja) 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、および電子機器
JP5888002B2 (ja) 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
US20150092273A1 (en) Interference filter, optical filter device, optical module, and electronic apparatus
JP2015143741A (ja) 干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及び干渉フィルターの製造方法
JP2016138915A (ja) 干渉フィルターの製造方法、干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP5790116B2 (ja) 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器
JP2013167844A (ja) 波長可変干渉フィルター、光学モジュール、電子機器および波長可変干渉フィルターの製造方法
JP2015031854A (ja) 干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及び干渉フィルターの製造方法
JP2015212752A (ja) 干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及び干渉フィルターの製造方法
JP2013072931A (ja) 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器

Legal Events

Date Code Title Description
RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20150113

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20160617

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20160624

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160914

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160914

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20161128