JP2015063025A - パターン形成方法及び離型装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係る離型装置を示す正面図である。図2は、離型装置の一部を示す拡大図である。図3は、離型装置による離型工程を示すフローチャートである。図4は、離型装置の離型動作の様子を示す工程図である。
まず、転写段階について簡単に説明する。この転写段階においては、フィルム状の被転写材20とインプリント型30とを準備し、被転写材20の転写パターン形成領域とインプリント型30のパターン31との位置を位置合わせした上で、転写装置の上下ステージにこれらを配置する。
図5は、第1の実施形態に係る離型装置1の変形例を示す正面図である。図5に示すように、変形例の離型装置1は、剥離ガイド板10の両端部11を移動させるシリンダ駆動装置42、滑車部43及びワイヤ41の代わりに、各端部11の上方の対応する位置の筐体フレーム48に、引上げピストン61を下方に向けてそれぞれ各端部11を治具12を介して引上げ可能に設けられたシリンダ引上げ装置60,60を備える点が異なっている。各シリンダ引上げ装置60の引上げピストン61の移動量は、図示しない制御部によって同期されている。このような構成によって剥離ガイド板10の両端部11を離型する方向に移動させても、被転写材20をインプリント型30から平面を保ったまま垂直剥離することができるので、上記と同様の作用効果を奏することが可能となる。
図6は、本発明の第2の実施形態に係る離型装置を示す正面図である。図6に示すように、第2の実施形態に係る離型装置1Aは、剥離ガイド板10の両端部11を離型する方向に移動させる駆動手段40の構成が、第1の実施形態に係る離型装置1のものと相違している。
10 剥離ガイド板
11 一対の端部(両端部)
12 治具
20 被転写材
21 転写パターン
22 面
23 裏面
30 インプリント型
31 パターン
40 駆動手段
41 ワイヤ
42 シリンダ駆動装置
43 滑車部
45 貼着用媒体
46 固定用媒体
47 支持部
48 筐体フレーム
49 固定台
50 押付ガイド金型
51 平面部
52 曲面部
53 押付力発生機構
54 シリンダ駆動機構
60 シリンダ引上げ装置
61 引上げピストン
70 シリンダ押上げ装置
71 押上げピン
Claims (6)
- インプリント型が押し付けられた被転写材の転写パターン形成面とは反対側の面に、前記被転写材よりも幅広な剥離ガイド板を貼着する工程と、
前記インプリント型から前記被転写材が離型される方向に、前記剥離ガイド板の両端を移動させて前記インプリント型から前記被転写材を離型する工程とを備えた
ことを特徴とするパターン形成方法。 - 前記貼着する工程の後に、前記剥離ガイド板と接する平面部及びこの平面部の両端に形成された曲面部を有する押付ガイド金型を、前記平面部が前記被転写材の転写パターン形成領域上に位置するように前記剥離ガイド板上に載置する工程を備え、
前記離型する工程では、前記押付ガイド金型を前記剥離ガイド板に押し付けながら前記剥離ガイド板の両端を移動させる
ことを特徴とする請求項1記載のパターン形成方法。 - 前記離型する工程では、前記剥離ガイド板の両端を均等に移動させる
ことを特徴とする請求項1又は2記載のパターン形成方法。 - インプリント型が押し付けられた被転写材から前記インプリント型を離型する離型装置であって、
前記被転写材よりも幅広で前記被転写材の転写パターン形成面とは反対側の面に貼着される剥離ガイド板と、
前記インプリント型から前記被転写材が離型される方向に、前記剥離ガイド板の両端を移動させる駆動手段とを備えた
ことを特徴とする離型装置。 - 前記剥離ガイド板と接する平面部及びこの平面部の両端に形成された曲面部を有し、前記平面部が前記被転写材の転写パターン形成領域上に位置するように前記剥離ガイド板上に載置される押付ガイド金型を更に備え、
前記駆動手段は、前記押付ガイド金型を前記剥離ガイド板に押し付けながら前記剥離ガイド板の両端を移動させる
ことを特徴とする請求項4記載の離型装置。 - 前記駆動手段は、前記剥離ガイド板の両端に取り付けられたワイヤを均等に引き上げ可能な滑車部を有し、前記滑車部を引き上げることにより前記剥離ガイド板の両端を均等に移動させる
ことを特徴とする請求項4又は5記載の離型装置。
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JP2009119695A (ja) * | 2007-11-14 | 2009-06-04 | Hitachi High-Technologies Corp | ナノプリント用樹脂スタンパ |
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