JP2014004827A - パターン形成方法及び離型装置 - Google Patents

Abstract

【課題】インプリント型と被転写材とを良好に離型する。
【解決手段】離型装置１０は、インプリント型３０のパターン３１が転写された被転写材２０からインプリント型３０を離型して転写パターンを形成するものであり、被転写材２０に押し付けたインプリント型３０を被転写材２０と共にステージ１２に固定し、被転写材２０のインプリント型３０側と反対側の面に、弾性体からなる離型用押型１３の押圧面１３ａを弾性変形するように押し当て、被転写材２０の端部側を、被転写材２０のパターン非転写領域が押圧面１３ａに沿う状態で撓むように治具１１により離型用押型１３に押し付けて固定し、被転写材２０を撓ませた状態のまま、押圧面１３ａの弾性変形を解除させながら、インプリント型３０のパターン形成面に対して垂直方向にインプリント型３０と被転写材２０とを引き離し、被転写材２０からインプリント型３０を離型する。
【選択図】図４

Description

この発明は、インプリント型が押し付けられた被転写材からインプリント型を離型して転写パターンを形成するパターン形成方法及び離型装置に関する。

従来より、凹凸のパターンを有するインプリント型を被転写材に押し付けて、所望の転写パターンを被転写材に形成するインプリント法が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１には、インプリント型がレジスト層に押し付けられた転写基板を、離型開始から終了までレジスト層側が所定曲率の凸状態を維持するように裏面側を加圧して湾曲させる凹凸パターンの形成装置が開示されている。

特開２０１０−２３４６６９号公報

しかしながら、上記特許文献１に開示された従来技術の凹凸パターンの形成装置におけるパターン形成方法では、離型時に転写基板のレジスト層側が所定曲率の凸状態となったドーム形状に維持されるので、レジスト層は伸縮性に優れた材質で構成しなければならず、非伸縮性の材質のレジスト層を用いた場合は、レジスト層に皺が形成されて転写パターンが崩れやすくなるという問題がある。

この発明は、上述した従来技術による問題点を解消し、インプリント型と被転写材とを良好に離型することができるパターン形成方法及び離型装置を提供することを目的とする。

本発明に係るパターン形成方法は、被転写材に押し付けたインプリント型を前記被転写材と共にステージに固定し、前記被転写材の前記インプリント型側と反対側の面に、弾性体からなる離型用押型の押圧面を弾性変形するように押し当てる工程と、前記被転写材の端部側を、前記被転写材のパターン非転写領域が前記押圧面に沿う状態で撓むように治具により前記離型用押型に押し付けて固定する工程と、前記被転写材を撓ませた状態のまま、前記押圧面の弾性変形を解除させながら、前記インプリント型のパターン形成面に対して垂直方向に前記インプリント型と前記被転写材とを引き離し、前記被転写材から前記インプリント型を離型する工程とを備えたことを特徴とする。

本発明に係るパターン形成方法によれば、被転写材に押し付けたインプリント型を被転写材と共にステージに固定して、被転写材のインプリント型側と反対側の面に弾性体からなる離型用押型の押圧面を弾性変形するように押し当て、被転写材の端部側を、被転写材のパターン非転写領域が押圧面に沿う状態で撓むように治具により離型用押型に押し付けて固定した上で、被転写材を撓ませた状態のままインプリント型と被転写材とを引き離すので、良好に離型を行い転写パターンを形成することができる。

すなわち、インプリント型と被転写材とを引き離す離型の際に、弾性変形した離型用押型の押圧面が元に戻ろうとする復元力が、インプリント型と被転写材とを引き離す力として作用する。これに伴い、インプリント型と被転写材とが接している面（剥離の界面）が両者の界面端部における剥離の開始点から徐々に互いの中心側に向かって小さくなり、完全離型する直前で互いに点接触した後に離間するようになるので、良好に離型を行うことができるようになる。

また、被転写材の端部側を、被転写材のパターン非転写領域が押圧面に沿う状態で撓むように治具により離型用押型に固定して、剥離の開始点が形成される程度に撓ませるため、非伸縮性の材質の被転写材を用いても、インプリント型と被転写材との間に剥離開始点を形成した後に剥離開始点から内側に向かって剥離が進行するように良好に離型を行うことができる。これにより、被転写材に皺が形成されることなくパターンに負荷も掛からないので、転写パターンが崩れることを抑制し、インプリント型の破損を防止することができる。

本発明の一実施形態においては、前記離型用押型は中空構造を備え、前記離型する工程では、前記離型用押型内にガスを注入して前記押圧面の弾性変形を解除させる。

本発明に係る離型装置は、インプリント型が押し付けられた被転写材から前記インプリント型を離型する離型装置であって、前記被転写材に押し付けた前記インプリント型を前記被転写材と共に保持する保持機構を有するステージと、前記被転写材の前記インプリント型側と反対側の面に、弾性変形するように押し当てられる押圧面を有する弾性体からなる離型用押型と、前記被転写材の端部側を、前記被転写材のパターン非転写領域が前記押圧面に沿う状態で撓むように前記離型用押型に押し付けて固定する治具と、離型時に、前記被転写材を撓ませた状態のまま、前記押圧面の弾性変形を解除させながら前記ステージ及び前記離型用押型を前記インプリント型のパターン形成面に対して垂直方向に相対的に移動させ、前記インプリント型と前記被転写材とを引き離す駆動手段とを備えたことを特徴とする。

本発明に係る離型装置によれば、上記パターン形成方法における作用効果と同様に、インプリント型と被転写材とを良好に離型することができる。

本発明によれば、インプリント型と被転写材とを良好に離型することができる。

本発明の第１の実施形態に係る離型装置の一部を示す断面図である。 同離型装置の前段の転写装置の一部を示す断面図である。 同離型装置による離型工程を示すフローチャートである。 同離型装置の離型時の様子を示す断面図である。 同離型装置の離型時の様子を示す断面図である。 同離型装置の離型時の様子を示す断面図である。 同離型装置の離型時の様子を示す断面図である。 同離型装置の離型用押型を示す斜視図である。 同離型装置の他の離型用押型を示す斜視図である。 同離型装置の更に他の離型用押型を示す斜視図である。 同離型装置の更に他の離型用押型を示す斜視図である。 本発明の第２の実施形態に係る離型装置による離型時の様子を示す断面図である。 本発明の第３の実施形態に係る離型装置を示す斜視図である。 同離型装置の離型時の様子を示す断面図である。 同離型装置の離型時の様子を示す断面図である。 本発明の第４の実施形態に係る離型装置を示す斜視図である。 同離型装置の離型時の様子を示す断面図である。 同離型装置の離型時の様子を示す断面図である。

以下、添付の図面を参照して、この発明の実施の形態に係るパターン形成方法及び離型装置を詳細に説明する。

［第１の実施形態］
図１は、本発明の第１の実施形態に係る離型装置の一部を示す断面図である。図２は、離型装置の前段の転写装置の一部を示す断面図である。図３は、離型装置による離型工程を示すフローチャートである。図４〜図７は、離型装置の離型時の様子を示す断面図である。また、図８は、離型装置の離型用押型を示す斜視図である。

離型装置１０は、被転写材２０に押し付けたインプリント型３０を被転写材２０と共に保持する保持機構を有するステージ１２と、弾性体からなる離型用押型１３とを備え、被転写材２０のインプリント型３０側と反対側の面に、弾性変形するように押圧面１３ａが押し当てられる。

また、離型装置１０は、被転写材２０の端部側を、被転写材２０のパターン非転写領域が押圧面１３ａに沿う状態で撓むように離型用押型１３に押し付けて固定する治具１１を備える。離型装置１０は、例えば離型時に、被転写材２０を撓ませた状態のまま、押圧面１３ａの弾性変形を解除させながらステージ１２及び離型用押型１３をインプリント型３０のパターン形成面に対して垂直方向に相対的に移動させ、インプリント型３０と被転写材２０とを引き離す駆動手段（図示せず）を備える。

離型用押型１３は、一例として、例えば被転写材２０のパターン転写領域に対応する部分の曲率が、パターン非転写領域に対応する部分の曲率よりも小さくなるように弾性変形可能な樋状に湾曲した略円筒状の押圧面１３ａを有している。離型用押型１３は、例えば支持軸１４を介して駆動手段に接続されている。

治具１１は、例えば被転写材２０の端部を、被転写材２０の厚さ方向に押圧面１３ａの外周縁面との間で挟持可能となるように、離型用押型１３に押し付けるものである。本例では、離型用押型１３が略円筒状の押圧面１３ａを備える形状であるため、治具１１は、例えばこの離型用押型１３の両端縁部に沿った直線状に被転写材２０の端部を挟持可能に形成されている。その他、治具１１は、被転写材２０の所定方向の両端部や、予め設定された端部を挟持可能に構成されていても良い。

被転写材２０は、本実施形態においては、例えば厚さ２５μｍ程度の熱可塑性のポリイミド、ポリオレフィン、液晶ポリマーなどからなる樹脂フィルムや、熱硬化性のエポキシ樹脂からなる樹脂フィルムなどが用いられる。これらの樹脂フィルムは、通常は伸縮性を備えるが、本例の被転写材２０には非伸縮性の材質の樹脂フィルムを適用することもできる。

インプリント型３０は、モールドやダイなどの金型であり、被転写材２０に転写する凹凸のパターンに対して反転したパターン３１が形成されている。インプリント型３０は、例えばシリコンからなり、そのパターン３１は、最小ライン／スペース（Ｌ／Ｓ）が５μｍ／５μｍで、高さ５μｍのパターンに形成されている。

なお、インプリント型３０は、材質が限定されるものではなく、例えばニッケル、銅、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）等により形成され、所望の微細ピッチのパターン３１が形成されたものを用いても良い。また、インプリント型３０のパターン３１側の表面には、例えばフッ素樹脂などがコーティングされた易離型処理が施されていても良い。治具１１及びステージ１２についても、インプリント型３０と同様の上記のような材質により構成することができる。

また、離型装置１０の治具１１、ステージ１２及び離型用押型１３には、それぞれを相対的に上下方向に動かすことが可能な駆動手段が対応して取り付けられている。一方、ステージ１２には、インプリント型３０が配置される位置に対応する箇所に吸引穴１２ａが形成されている。

そして、インプリント型３０は、この吸引穴１２ａを介して図示しない吸着装置により吸い付けられることで、ステージ１２上に吸着固定される。

次に、パターン形成方法について説明する。
転写段階においては、図２（ａ）に示すように、フィルム状の被転写材２０とインプリント型３０とを準備し、被転写材２０のパターン転写領域（箇所）とインプリント型３０のパターン３１の位置とを位置合わせした上で、転写装置４０のステージ８，９にこれらを配置する。

このとき、例えば被転写材２０は、ステージ９に設けられた押さえ板９ａ、ボルト９ｂ及びナット９ｃによりステージ９に取付固定される。また、インプリント型３０は、例えば粘着シート等によりステージ８からパターン３１の転写後に容易に離脱可能に貼着固定される。

そして、インプリント型３０又は転写部材２０の少なくとも一方を加熱しながら、例えばステージ８をステージ９側に移動させて、図２（ｂ）に示すように、被転写材２０にインプリント型３０を押し付けてパターン３１を転写する。このとき、被転写材２０が柔らかくなる温度まで被転写材２０を加熱してから押し付けることが好ましいが、被転写材２０が熱可塑性樹脂からなる場合は、ガラス転移点以上の温度まで加熱することが望ましい。

こうしてパターン３１が転写された後、被転写材２０が柔らかくなる温度以下にインプリント型３０と被転写材２０とを冷却し、これらが一体化した状態で上述した離型装置１０に搬送して、離型装置１０による離型工程を開始する。ここで、図３を参照しながら離型工程について説明する。

まず、図１に示すように、インプリント型３０を被転写材２０と共にステージ１２上に吸着させて固定する（ステップＳ１００）と共に、治具１１を被転写材２０の端部のステージ１２側に添設配置する。なお、インプリント型３０は、吸引穴１２ａを介した吸引による吸着方式の他、図示しない押さえ板による固定方式や、静電吸着式或いは粘着シート等を用いた粘着式などによりステージ１２に固定させることができる。

次に、駆動手段により、図４に示すように、離型用押型１３を被転写材２０のインプリント型３０側と反対側の面に、図４中矢印直線で示すように移動させて押圧面１３ａが例えば平面状に弾性変形するように押し当てる（ステップＳ１０２）。これと共に、治具１１を図４中矢印曲線で示すように移動させ、被転写材２０の端部側を離型用押型１３に押し付けて（ステップＳ１０４）、被転写材２０のパターン非転写領域を押圧面１３ａに沿う状態で撓ませる。

その後、図５に示すように、駆動手段により、治具１１及び離型用押型１３が被転写材２０を樋状に撓ませた状態のまま、これらを、例えば図５中矢印直線（上向き）で示すように、押圧面１３ａの弾性変形を解除させながら、インプリント型３０のパターン３１の形成面に対して垂直方向（上下方向）に相対的に移動させ、インプリント型３０に対して被転写材２０を離間させる（ステップＳ１０６）。このとき、被転写材２０のパターン転写領域と非転写領域との境目における被転写材２０とインプリント型３０との界面端部に剥離力が作用して、界面端部がそれぞれ剥離し剥離の開始点が形成される。

治具１１及び離型用押型１３の移動に伴い、押圧面１３ａの形状が両端縁面から徐々に復元しつつ、上記剥離の開始点側から剥離が被転写材２０とインプリント型３０との中心側に向かって進行する。そして、図６に示すように、最終的に押圧面１３ａの形状が平面状から略円筒状に完全に復元して被転写材２０がインプリント型３０から完全に剥離し、被転写材２０からインプリント型３０が離型される（ステップＳ１０８）。

上述したように、離間させるときに剥離の開始点が形成されてから剥離が進行するので、パターン３１により形成される被転写材２０の転写パターン２１が崩れることなくスムーズに剥離が行われる。なお、押圧面１３ａの形状が完全に復元する前に、インプリント型３０が被転写材２０から完全に離型するように駆動手段により治具１１、離型用押型１３及びステージ１２を相対的に移動させても良い。

最後に、図７に示すように、治具１１により離型用押型１３に保持していた被転写材２０の撓みを、例えば治具１１を離型用押型１３から離れるように移動させることによりその押し付けを解除して元に戻し、被転写材２０を取り出して（ステップＳ１１０）、ステージ１２からインプリント型３０を外し、本フローチャートによる一連の処理を終了する。こうしてインプリント型３０を被転写材２０から離型することで、被転写材２０に転写パターン２１が形成される。

このように、第１の実施形態に係る離型装置１０によるパターン形成方法によれば、離型用押型１３が押し当てられ治具１１により端部側が固定された被転写材２０を、撓ませた状態のまま押圧面１３ａの弾性変形を解除しながらインプリント型３０から離間させて剥離の開始点を形成する。そして、押圧面１３ａの形状を復元しつつインプリント型３０と被転写材２０とを引き離して離型を行う。

すなわち、樹脂フィルムである被転写材２０を撓ませるので、インプリント型３０は柔軟性を備えていなくても良く、被転写材２０の端部側をパターン非転写領域が押圧面１３ａに沿う状態で撓ませたまま、パターン３１の形成面に対して垂直方向に被転写材２０及びインプリント型３０を引き離すので、転写パターン２１が崩れることはない。

また、被転写材２０をインプリント型３０との間に剥離の開始点を形成可能な程度に撓ませれば良いため、非伸縮性の樹脂フィルムを使用してもパターン３１の転写領域に皺などが形成されることを抑えることができる。従って、被転写材２０の材質に左右されずに被転写材２０とインプリント型３０とを良好に離型することが可能となる。

なお、図８に示すように、上述した離型用押型１３は、例えば樋状に湾曲した一定の曲率の弾性変形可能な円筒状の押圧面１３ａを備えるものを用いたが、例えば次のようなものであっても良い。すなわち、図９に示すように、平常時のパターン転写領域の押圧面１３ｂの曲率がパターン非転写領域の押圧面１３ｃの曲率よりも小さくなるように形成された弾性変形可能な略円筒状の押圧面１３ｂ，１３ｃを有する離型用押型１３Ａや、図１０に示すように、一定の曲率のドーム状、即ち球面状の押圧面１３ｄを有する離型用押型１３Ｂを用いても良い。

更に、図１１に示すように、平常時の球面状のパターン転写領域の押圧面１３ｅの曲率がパターン非転写領域の押圧面１３ｆの曲率よりも小さくなるように形成された押圧面１３ｅ，１３ｆを有する離型用押型１３Ｃを用いても良い。このように、離型用押型１３は、上述したような剥離の開始点を形成することができる押圧面を有する形状で形成されていれば良い。

なお、図９及び図１１に示すように、離型用押型１３Ａ，１３Ｃで曲率が異なる押圧面１３ｂ，１３ｃ，１３ｅ，１３ｆを有する場合、剥離の開始点から剥離が進行するにつれて、インプリント型３０のパターン形成面に対して押圧面とのなす角度が次第に小さくなる状態で剥離が行われる。これにより、被転写材２０とパターン３１との接触部分に影響する力を制御しつつ離型を行うことが可能となる。

［第２の実施形態］
図１２は、本発明の第２の実施形態に係る離型装置による離型時の様子を示す断面図である。なお、以降において既に説明した部分と重複する箇所には同一の符号を附して説明を割愛する。第２の実施形態に係る離型装置１０Ａは、離型用押型１３Ｄが、内部に空間部１３ｇを有する中空構造となっている点が、第１の実施形態に係る離型装置１０と相違している。

すなわち、図１２（ａ）に示すように、離型装置１０Ａは、第１の実施形態に係る離型装置１０と同様に、治具１１、ステージ１２、離型用押型１３Ｄ、駆動手段等の各部を備えている。そして、離型工程においては、図１２（ａ）に示すように、被転写材２０と共にインプリント型３０をステージ１２に固定し、治具１１を配置した後、図１２（ｂ）に示すように、離型用押型１３Ｄを押圧面１３ａが平面状に弾性変形するように押し当てると共に、治具１１により被転写材２０の端部側を離型用押型１３Ｄに押し付けて被転写材２０を撓ませる。

その後、図１２（ｃ）に示すように、被転写材２０を撓ませた状態のまま、離型用押型１３Ｄの空間部１３ｇ内にガスを注入して押圧面１３ａの弾性変形を解除させながら、インプリント型３０と被転写材２０とを相対的に移動させ、界面端部に剥離の開始点を形成する。

最後に、相対的な移動を継続しつつ、図１２（ｄ）に示すように、押圧面１３ａの形状を完全に復元して被転写材２０をインプリント型３０から完全に剥離し、被転写材２０からインプリント型３０を離型して、図１２（ｅ）に示すように、被転写材２０の撓みを戻してから、被転写材２０を取り出す。

このように構成された第２の実施形態に係る離型装置１０Ａによるパターン形成方法においても、第１の実施形態に係る離型装置１０の場合と同様に、被転写材２０及びインプリント型３０を良好に離型することが可能となる。なお、離型用押型１３Ｄの押圧面１３ａは、例えばダイヤフラムにより構成されていても良い。

［第３の実施形態］
図１３は、本発明の第３の実施形態に係る離型装置を示す斜視図である。図１４及び図１５は、離型装置の離型時の様子を示す断面図である。なお、図１４は第１の実施形態において図８を用いて説明した離型用押型１３を採用した場合を示し、図１５は第１の実施形態において図９を用いて説明した離型用押型１３Ａを採用した場合を示している。

図１３〜図１５に示すように、第３の実施形態に係る離型装置１０Ｂは、治具１１Ｂの構造が異なっている点が、第１の実施形態に係る離型装置１０と相違している。すなわち、離型装置１０Ｂの治具１１Ｂは、被転写材２０の端部（両端部）側を離型用押型１３，１３Ａに押し付けて固定する軸中心で回転可能な棒状部材からなる。

従って、図１４（ａ）及び図１５（ａ）に示すように、離型装置１０Ｂは、離型工程においては、被転写材２０と共にインプリント型３０をステージ１２に固定した後、図１４（ｂ）及び図１５（ｂ）に示すように、離型用押型１３，１３Ａを押圧面１３ａ，１３ｂ，１３ｃが平面状に弾性変形するように押し当てる。

そして、図１４（ｃ）及び図１５（ｃ）に示すように、治具１１Ｂを上方向に移動させて、被転写材２０の端部側を離型用押型１３，１３Ａに押し付けて被転写材２０を撓ませる。その後、図１４（ｄ）及び図１５（ｄ）に示すように、被転写材２０を撓ませた状態のまま、押圧面１３ａ，１３ｂ，１３ｃの弾性変形を解除させながら、インプリント型３０と被転写材２０とを相対的に移動させ、界面端部に剥離の開始点を形成する。

最後に、相対的な移動を継続しつつ、図１４（ｅ）及び図１５（ｅ）に示すように、押圧面１３ａ，１３ｂ，１３ｃの形状を完全に復元して被転写材２０をインプリント型３０から完全に剥離し、被転写材２０からインプリント型３０を離型した後、被転写材２０の撓みを戻し、被転写材２０を取り出す。

このように構成された第３の実施形態に係る離型装置１０Ｂによるパターン形成方法においても、第１及び第２の実施形態に係る離型装置１０，１０Ａの場合と同様に、被転写材２０及びインプリント型３０を良好に離型することが可能となる。なお、治具１１Ｂが回転可能なため、被転写材２０は離型用押型１３，１３Ａの押圧面１３ａ，１３ｂ，１３ｃの形状の復元に同調して円滑に変形することとなる。

［第４の実施形態］
図１６は、本発明の第４の実施形態に係る離型装置を示す斜視図である。図１７及び図１８は、離型装置の離型時の様子を示す断面図である。なお、図１７は第１の実施形態において図１０を用いて説明した離型用押型１３Ｂを採用した場合を示し、図１８は第１の実施形態において図１１を用いて説明した離型用押型１３Ｃを採用した場合を示している。

図１６〜図１８に示すように、第４の実施形態に係る離型装置１０Ｃは、治具１１Ｃの構造が異なっている点が、第１の実施形態に係る離型装置１０と相違している。すなわち、離型装置１０Ｃの治具１１Ｃは、被転写材２０の端部側を離型用押型１３Ｂ，１３Ｃに押し付けて固定する部分に環状に配置されたベアリング１５を備えた構造からなる。

従って、図１７（ａ）及び図１８（ａ）に示すように、離型装置１０Ｃは、離型工程においては、被転写材２０と共にインプリント型３０をステージ１２に固定した後、図１７（ｂ）及び図１８（ｂ）に示すように、離型用押型１３Ｂ，１３Ｃを押圧面１３ｄ，１３ｅ，１３ｆが平面状に弾性変形するように押し当てる。

そして、図１７（ｃ）及び図１８（ｃ）に示すように、治具１１Ｃを上方向に移動させて、治具１１Ｃにより被転写材２０の両端部側を離型用押型１３Ｂ，１３Ｃに押し付けて被転写材２０を撓ませる。その後、図１７（ｄ）及び図１８（ｄ）に示すように、被転写材２０を撓ませた状態のまま、押圧面１３ｄ，１３ｅ，１３ｆの弾性変形を解除させながら、インプリント型３０と被転写材２０とを相対的に移動させ、界面端部に剥離の開始点を形成する。

最後に、相対的な移動を継続しつつ、図１７（ｅ）及び図１８（ｅ）に示すように、押圧面１３ｄ，１３ｅ，１３ｆの形状を完全に復元して被転写材２０をインプリント型３０から完全に剥離し、被転写材２０からインプリント型３０を離型した後、被転写材２０の撓みを戻し、被転写材２０を取り出す。

このように構成された第４の実施形態に係る離型装置１０Ｃによるパターン形成方法においても、第１及び第２の実施形態に係る離型装置１０，１０Ａの場合と同様に、被転写材２０及びインプリント型３０を良好に離型することが可能となる。なお、治具１１Ｃがベアリング１５を備えるため、被転写材２０は離型用押型１３Ｂ，１３Ｃの押圧面１３ｄ，１３ｅ，１３ｆの形状の復元に同調して円滑に変形することとなる。

１０ 離型装置
１１ 治具
１２ ステージ
１２ａ 吸引穴
１３ 離型用押型
１３ａ 押圧面
１４ 支持軸
２０ 被転写材
３０ インプリント型
３１ パターン

Claims (3)

1. 被転写材に押し付けたインプリント型を前記被転写材と共にステージに固定し、前記被転写材の前記インプリント型側と反対側の面に、弾性体からなる離型用押型の押圧面を弾性変形するように押し当てる工程と、
   前記被転写材の端部側を、前記被転写材のパターン非転写領域が前記押圧面に沿う状態で撓むように治具により前記離型用押型に押し付けて固定する工程と、
   前記被転写材を撓ませた状態のまま、前記押圧面の弾性変形を解除させながら、前記インプリント型のパターン形成面に対して垂直方向に前記インプリント型と前記被転写材とを引き離し、前記被転写材から前記インプリント型を離型する工程とを備えた
   ことを特徴とするパターン形成方法。
2. 前記離型用押型は中空構造を備え、
   前記離型する工程では、前記離型用押型内にガスを注入して前記押圧面の弾性変形を解除させる
   ことを特徴とする請求項１記載のパターン形成方法。
3. インプリント型が押し付けられた被転写材から前記インプリント型を離型する離型装置であって、
   前記被転写材に押し付けた前記インプリント型を前記被転写材と共に保持する保持機構を有するステージと、
   前記被転写材の前記インプリント型側と反対側の面に、弾性変形するように押し当てられる押圧面を有する弾性体からなる離型用押型と、
   前記被転写材の端部側を、前記被転写材のパターン非転写領域が前記押圧面に沿う状態で撓むように前記離型用押型に押し付けて固定する治具と、
   離型時に、前記被転写材を撓ませた状態のまま、前記押圧面の弾性変形を解除させながら前記ステージ及び前記離型用押型を前記インプリント型のパターン形成面に対して垂直方向に相対的に移動させ、前記インプリント型と前記被転写材とを引き離す駆動手段とを備えた
   ことを特徴とする離型装置。

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