JP2015057041A - エレクトロダイナミックアクチュエータ - Google Patents
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- 230000005520 electrodynamics Effects 0.000 title claims abstract description 59
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 28
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 14
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 11
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 10
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 claims description 4
- 238000004080 punching Methods 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002546 FeCo Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002555 FeNi Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K33/00—Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B19/00—Machines or pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B17/00
- F04B19/006—Micropumps
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B43/04—Pumps having electric drive
- F04B43/043—Micropumps
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
- F16K99/0003—Constructional types of microvalves; Details of the cutting-off member
- F16K99/0015—Diaphragm or membrane valves
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
- F16K99/0034—Operating means specially adapted for microvalves
- F16K99/0042—Electric operating means therefor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
- F16K99/0034—Operating means specially adapted for microvalves
- F16K99/0042—Electric operating means therefor
- F16K99/0046—Electric operating means therefor using magnets
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/035—DC motors; Unipolar motors
- H02K41/0352—Unipolar motors
- H02K41/0354—Lorentz force motors, e.g. voice coil motors
- H02K41/0356—Lorentz force motors, e.g. voice coil motors moving along a straight path
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/035—DC motors; Unipolar motors
- H02K41/0352—Unipolar motors
- H02K41/0354—Lorentz force motors, e.g. voice coil motors
- H02K41/0358—Lorentz force motors, e.g. voice coil motors moving along a curvilinear path
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K2099/0082—Microvalves adapted for a particular use
- F16K2099/0094—Micropumps
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Mechanical Engineering (AREA)
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- Electromagnetism (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnets (AREA)
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
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Abstract
Description
12a、12b 流体ハウジング半分
14 バルブシート
14a、14b バルブシート
16 ダイアフラム
18 アクチュエータハウジング
20 コイルキャリア
22 空芯コイル
22a、22b 空芯コイル半分
24 延長部
26 芯
28 巻線端部
30 板ばね
32 板ばね
34 電気コネクタ
36 電気コネクタ
38 永久磁石
40 永久磁石
42 永久磁石
44 永久磁石
46 長手方向のすき間
48 ヨーク板
50 ロッカ
52 第1のつる巻きばね
54 第2のつる巻きばね
56 ハウジング突起
58 第1のロッカアーム
60 第2のロッカアーム
62 ハウジング延長部
64 打ち抜き部分
66 打ち抜き部分
68 接点板
70 接点板
72 取り付け部
74 取り付け部
76 ピン
78 カバー
80 インサート
Claims (24)
- 特にマイクロバルブまたはマイクロポンプのためのエレクトロダイナミックアクチュエータであって、
磁界を生成するための磁石装置と、
前記磁石装置に対して可動である制御要素と
を備えており、
前記制御要素が、前記磁界内に配置されて非磁性材料から作られたコイルキャリア(20)に堅固に結合した通電可能な空芯コイル(22)を含んでいる、エレクトロダイナミックアクチュエータ。 - 前記空芯コイル(22)の第1の半分(22a)が、第1の主方向を有する第1の磁界内に配置され、前記空芯コイル(22)の第2の半分(22b)が、前記第1の主方向とは反対の第2の主方向を有する第2の磁界内に配置されることを特徴とする、請求項1に記載のエレクトロダイナミックアクチュエータ。
- 前記空芯コイル(22)が、長手軸を有する長円の形状をおおむね有し、好ましくは互いに間隔を空けて位置して直線的な中央部によってつながれた1対の相補的な半円の形状を有し、前記長手軸が、前記空芯コイル(22)を前記2つの半分(22a、22b)へと分割していることを特徴とする、請求項2に記載のエレクトロダイナミックアクチュエータ。
- 前記制御要素が、前記磁界の前記主方向に垂直な方向(A)に直線移動するように取り付けられていることを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載のエレクトロダイナミックアクチュエータ。
- 前記制御要素が、前記磁界の前記主方向に平行な回転軸(D)を中心にして回転運動するように取り付けられていることを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載のエレクトロダイナミックアクチュエータ。
- 前記磁石装置が、前記空芯コイル(22)の長手軸に平行に延びる長手軸を有している複数の永久磁石(38、40、42、44)を含んでいることを特徴とする、請求項4に記載のエレクトロダイナミックアクチュエータ。
- 前記磁石装置が、複数の永久磁石(38、40、42、44)を含んでおり、前記制御要素が第1の切り換え位置にあるときに前記空芯コイル(22)の長手軸が前記複数の永久磁石(38、40、42、44)の長手軸に平行に延びることを特徴とする、請求項5に記載のエレクトロダイナミックアクチュエータ。
- 前記永久磁石(38、40、42、44)が、互いに面する永久磁石が常に反対の極に面するように配置されていることを特徴とする、請求項6または7に記載のエレクトロダイナミックアクチュエータ。
- 前記制御要素に付勢をもたらし、かつ前記空芯コイル(22)の巻線端部(28)と当該アクチュエータの電気コネクタ(34、36)との間の導電接続の少なくとも一部を形成する復帰要素(30、32;52、54)を特徴とする、請求項1から8のいずれかに記載のエレクトロダイナミックアクチュエータ。
- 前記復帰要素が、少なくとも1つの板ばね(30、32)またはつる巻きばね(52、54)を含んでいることを特徴とする、請求項9に記載のエレクトロダイナミックアクチュエータ。
- 前記復帰要素(52、54)が、前記制御要素を前記第1の切り換え位置から第2の切り換え位置に向かうように付勢することを特徴とする、請求項7および請求項9または10に記載のエレクトロダイナミックアクチュエータ。
- 前記磁石装置および前記制御要素が、前記磁石装置の磁界を遮へいするアクチュエータハウジング(18)内に収容されることを特徴とする、請求項1から11のいずれかに記載のエレクトロダイナミックアクチュエータ。
- 前記磁石装置の磁界を強めるとともに、該磁界を外部に対して遮へいする軟磁性材料で作られた少なくとも1つのヨーク板(48)を特徴とする、請求項1から11のいずれかに記載のエレクトロダイナミックアクチュエータ。
- 前記ヨーク板(48)が、アクチュエータハウジング(18)の一部であることを特徴とする、請求項12に記載のエレクトロダイナミックアクチュエータ。
- 前記永久磁石(38、40、42、44)が、前記アクチュエータハウジング(18)の内壁に直接取り付けられ、好ましくは前記アクチュエータハウジング(18)とともにあらかじめ組み立てられたユニットを構成することを特徴とする、請求項14に記載のエレクトロダイナミックアクチュエータ。
- 前記空芯コイル(22)が、前記コイルキャリア(20)に巻き付けられ、該コイルキャリア(20)が、好ましくは側壁によって限定された巻き付けのための支持面を有していることを特徴とする、請求項1から15のいずれかに記載のエレクトロダイナミックアクチュエータ。
- 前記空芯コイル(22)の少なくとも1つの巻線端部(28)と当該アクチュエータの電気コネクタ(34、36)との間の導電接続のために、前記制御要素に付勢をもたらす導電性の復帰要素(52、54)が機械的に作用する導電性の打ち抜き部分(64、66)が、当該アクチュエータのハウジング(18)に固定されて設けられていることを特徴とする、請求項1から16のいずれかに記載のエレクトロダイナミックアクチュエータ。
- 前記打ち抜き部分(64、66)が、ハウジング延長部(62)と協働して雌のコネクタの一部となるピンを備えており、前記ハウジング延長部(62)は、好ましくは前記ハウジング(18)のプラスチック部分に形成されていることを特徴とする、請求項17に記載のエレクトロダイナミックアクチュエータ。
- 前記空芯コイル(22)の少なくとも1つの巻線端部(28)と当該アクチュエータの電気コネクタ(34、36)との間の導電接続のために、前記制御要素に付勢をもたらす導電性の復帰要素(52、54)を受け入れる接点板(68、70)が設けられていることを特徴とする、請求項1から18のいずれかに記載のエレクトロダイナミックアクチュエータ。
- 前記接点板(68、70)が、巻線端部(28)のための取り付け部(72、74)を備えていることを特徴とする、請求項19に記載のエレクトロダイナミックアクチュエータ。
- 前記コイルキャリア(20)、前記空芯コイル(22)、前記コイルキャリア(20)に接続され、あるいは前記コイルキャリア(20)と一体に形成されたロッカ(50)、前記少なくとも1つの接点板(68、70)、および前記復帰要素(52、54)が、あらかじめ組み立てられたユニットを構成することを特徴とする、請求項19または20に記載のエレクトロダイナミックアクチュエータ。
- ハウジング(18)を備えており、該ハウジング(18)が、該ハウジングと前記接点板(68、70)との間の電気的な絶縁を確立させるプラスチック製のインサート(80)を有していることを特徴とする、請求項19から21のいずれかに記載のエレクトロダイナミックアクチュエータ。
- 請求項1から22のいずれかに記載のエレクトロダイナミックアクチュエータを特徴とする流体部品、特にマイクロバルブ(10;10’;10’’)またはマイクロポンプ。
- 前記制御要素が、当該流体部品のダイアフラム(16)またはシール部材と協働する延長部(24)またはロッカ(50)を備えている、請求項23に記載の流体部品。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102013110029.5A DE102013110029C5 (de) | 2013-09-12 | 2013-09-12 | Elektrodynamischer Aktor |
DE102013110029.5 | 2013-09-12 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015057041A true JP2015057041A (ja) | 2015-03-23 |
JP6469395B2 JP6469395B2 (ja) | 2019-02-13 |
Family
ID=52478378
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014184714A Active JP6469395B2 (ja) | 2013-09-12 | 2014-09-11 | エレクトロダイナミックアクチュエータ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10396646B2 (ja) |
JP (1) | JP6469395B2 (ja) |
CN (1) | CN104467341B (ja) |
DE (1) | DE102013110029C5 (ja) |
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US20150069860A1 (en) | 2015-03-12 |
US10396646B2 (en) | 2019-08-27 |
JP6469395B2 (ja) | 2019-02-13 |
CN104467341A (zh) | 2015-03-25 |
DE102013110029B4 (de) | 2015-05-13 |
CN104467341B (zh) | 2018-07-06 |
DE102013110029A1 (de) | 2015-03-12 |
DE102013110029C5 (de) | 2017-03-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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