JP2015056394A - 試料の表面観察に用いられる試料ホルダー及びその制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の一例に関する試料の表面観察に用いられる試料ホルダーは、胴体と、前記胴体の一端に形成され、試料を固定する試料装着部と、前記胴体の内部に位置する弾性手段と、前記胴体と着脱可能なスタンドとを含み、前記スタンドは、前記スタンドの下部をなすベース部と、前記ベース部の上面に突設され、前記試料装着部の少なくとも一部が挿入可能な貫通溝が形成されている締結部とを含み、前記試料装着部は、前記試料装着部の端部に位置して、前記試料の一側面を固定する第1のグリップ部と、前記弾性手段と連結されて移動可能であり、前記弾性手段の弾性を用いて、前記試料の他側面を固定する第2のグリップ部とを含む。
【選択図】 図4
Description
前記係止突起は、前記締結部に設けられた前記貫通溝の少なくとも一部を閉塞する。
11 試料
12 テープや接着剤
31 電子銃
32 ビームモニタ絞り
33 第1の収束レンズ
34 エアロックバルブ
35 対物可動絞り
36 第2の収束レンズ
37 偏向コイル
38 EXB
39 対物レンズ
40 対物レンズコイル
41 ビームブランキング
42 暗視野STEM検出器
43 明視野絞り
44 明視野STEM検出器
45 2次電子検出器
100 胴体
110 試料装着部
112 第1のグリップ部
114 第2のグリップ部
114a 第2のグリップ部ねじ
115 平板
115a 平板嵌合溝
116 プッシュロッド
116a 第1のプッシュロッド嵌合溝
116b 第2のプッシュロッド嵌合溝
117 段差
119 尖端部
120 弾性手段
122 連結手段
122a 連結手段嵌合突起
124 ハウジング
130 取っ手部
132 固定溝
140 結合部材
140a 結合部材嵌合部
142 ポジションピン
144 Oリング
200 スタンド
210 ベース部
210a〜h 溝
220 締結部
220a 第1の締結部嵌合溝
220b 第2の締結部嵌合溝
220c 第3の締結部嵌合溝
220d 第4の締結部嵌合溝
220e 第5の締結部嵌合溝
220f 第6の締結部嵌合溝
221a、b 締結部ねじ
222 貫通溝
224 係止部材
224a 第1の係止部材嵌合溝
224b 第2の係止部材嵌合溝
225 係止突起
230 支持台
230a 支持台ねじ
231 支持台受止部
231a 第1の支持台受止嵌合溝
231b 第2の支持台受止嵌合溝
231e 第3の支持台受止嵌合溝
231f 第4の支持台受止嵌合溝
232 支持台上部
232a 回転溝
233 固定突起
234 レバー
236 弾性部
240 据置台
Claims (15)
- 胴体(100)と、
前記胴体(100)の一端に設けられ、試料(11)を固定する試料装着部(110)と、
前記胴体(100)の内部に位置する弾性手段(120)と、
前記胴体(100)と着脱可能なスタンド(200)とを含み、
前記スタンド(200)は、
前記スタンド(200)の下部をなすベース部(210)と、
前記ベース部(210)の上面に突設され、前記試料装着部(110)の少なくとも一部が挿入可能な貫通溝(222)が設けられている締結部(220)とを含み、
前記試料装着部(110)は、
前記試料装着部(110)の端部に位置して、前記試料(11)の一側面を固定する第1のグリップ部(112)と、
前記弾性手段(120)と連結されて移動可能であり、前記弾性手段(120)の弾性を用いて、前記試料(11)の他側面を固定する第2のグリップ部(114)とを含み、
前記胴体(100)が前記スタンド(200)に締結され、前記貫通溝(222)に前記試料装着部(110)の少なくとも一部が挿入される場合、前記第2のグリップ部(114)が移動して前記弾性手段(120)を圧縮し、前記第1のグリップ部(112)と前記移動した第2のグリップ部(114)との間に、第1の空間が形成され、
前記第1の空間に前記試料(11)を装着した後、前記胴体(100)を前記スタンド(200)から分離する場合、前記分離による弾性手段(120)の弾性によって前記第2のグリップ部(114)が移動し、前記移動した第2のグリップ部(114)が、前記試料(11)の他側面を固定すること
を特徴とする試料の表面観察に用いられる試料ホルダー。 - 前記試料(11)の表面が外部に向かうように、前記試料(11)が前記第1の空間に固定され、走査電子顕微鏡を用いて、前記固定した試料(11)の表面を観察することを特徴とする請求項1に記載の試料の表面観察に用いられる試料ホルダー。
- 更に、前記締結部(220)と連結され、係止突起(225)が形成された係止部材(224)を含み、前記係止突起(225)は、前記締結部(220)に設けられた前記貫通溝(222)の少なくとも一部を閉塞することを特徴とする請求項1に記載の試料の表面観察に用いられる試料ホルダー。
- 前記第2のグリップ部(114)には、外部に突出した段差(117)が設けられていることを特徴とする請求項3に記載の試料の表面観察に用いられる試料ホルダー。
- 前記胴体(100)が前記スタンド(200)に締結され、前記貫通溝(222)に前記試料装着部(110)の少なくとも一部が挿入される場合、前記第2のグリップ部(114)に形成された段差(117)が、前記係止突起(225)に係止して、前記第2のグリップ部(114)が移動されることを特徴とする請求項4に記載の試料の表面観察に用いられる試料ホルダー。
- 更に、前記胴体(100)の他端に設けられる取っ手部(130)を含むことを特徴とする請求項1に記載の試料の表面観察に用いられる試料ホルダー。
- 前記スタンド(200)は、更に、
前記ベース部(210)の上面に突設される支持台(230)を含み、
前記支持台(230)の上面に、前記取っ手部(130)の少なくとも一部が据置されることを特徴とする請求項6に記載の試料の表面観察に用いられる試料ホルダー。 - 前記支持台(230)は、その上面に設けられ、外部に突出した形状からなる固定突起(233)を含むことを特徴とする請求項7に記載の試料の表面観察に用いられる試料ホルダー。
- 前記取っ手部(130)は、内部に引込まれた形状からなる固定溝(132)を含み、
前記取っ手部(130)の固定溝(132)を、前記支持台(230)の固定突起(230)に結合させる場合、前記胴体(100)が、前記スタンド(200)に固定されることを特徴とする請求項8に記載の試料の表面観察に用いられる試料ホルダー。 - 前記支持台(230)は、
前記支持台(230)の下部をなす支持台受止部(231)と、
外部に突出したレバー(234)が設けられ、前記支持台受止部(231)と支持台ねじ(230a)によって結合され、前記支持台ねじ(230a)を中心に、所定の角度内で回転可能な支持台上部(232)とを含み、
前記レバー(234)に押圧する力が与えられる場合、
前記レバー(234)に与えられる力によって、前記支持台上部(232)が、前記支持台ねじ(230a)を中心に回転しながら、下降し、
前記下降した支持台上部(232)を用いて、前記スタンド(200)に締結された前記胴体(100)を、前記スタンド(200)から分離することを特徴とする請求項7に記載の試料の表面観察に用いられる試料ホルダー。 - 前記支持台(230)は、更に、
前記支持台受止部(231)と前記支持台上部(232)とを連結する弾性部(236)を含み、
前記レバー(234)を押圧する力が解除される場合、前記弾性部(236)の弾性によって、前記支持台上部(232)が、前記支持台ねじ(230a)を中心に回転しながら、上昇することを特徴とする請求項10に記載の試料の表面観察に用いられる試料ホルダー。 - 前記スタンド(200)は、更に、
前記ベース部(210)の上面に突設され、前記胴体(100)の少なくとも一部が据置される据置台(240)を含むことを特徴とする請求項1に記載の試料の表面観察に用いられる試料ホルダー。 - 前記第2のグリップ部(114)は、
前記試料の他側面を固定する平板(115)と、
前記弾性手段と連結されるプッシュロッド(116)とを含むことを特徴とする請求項1に記載の試料の表面観察に用いられる試料ホルダー。 - 前記試料の一側面と当接する前記第1のグリップ部(112)の一面は、第1の角度で傾斜し、
前記試料の他側面と当接する前記平板(115)の一面は、第2の角度で傾斜したことを特徴とする請求項13に記載の試料の表面観察に用いられる試料ホルダー。 - 胴体(100)をスタンド(200)に締結する第1のステップと、
第1の空間に試料(11)を装着する第2のステップと、
前記胴体(100)を前記スタンド(200)から分離する第3のステップとを含み、
前記第1のステップは、
試料装着部(110)の少なくとも一部を貫通溝(222)に挿入するステップと、
第2のグリップ部(114)を移動するステップと、
第1のグリップ部(112)と前記移動した第2のグリップ部(114)との間に、前記第1の空間を形成するステップとを含み、
前記試料装着部(110)は、前記胴体(100)の一端に形成されて、前記試料(11)を固定し、
前記試料装着部(110)は、更に、前記第1のグリップ部(112)と、前記第2のグリップ部(114)とを含み、
前記第1のグリップ部(112)は、前記試料(11)の一側面を固定し、前記第2のグリップ部(114)は、前記試料(11)の他側面を固定し、
前記貫通溝(222)は、ベース部(210)の上面に位置した締結部(220)に設けられ、前記試料装着部(110)の少なくとも一部が挿入可能であり、
前記ベース部(210)は、前記スタンド(200)の下部をなすこと
を特徴とする試料の表面観察に用いられる試料ホルダーの制御方法。
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