JP2015053409A - 露光装置、それを用いたデバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、本発明の第1実施形態に係る露光装置について説明する。図1は、本実施形態に係る露光装置100の構成を示す概略図である。露光装置100は、一例として、半導体デバイスの製造工程に使用され、ステップ・アンド・リピート方式にてレチクル15に形成されているパターンをウエハ14上(基板上)に露光(転写)する投影型露光装置とする。また、露光装置100は、ウエハ14上に投影するパターン像の解像力を向上させる技術としての液浸法を用いた液浸露光装置とする。なお、図1では、投影光学系3の光軸(本実施形態では鉛直方向)に平行にZ軸を取り、Z軸に垂直な平面内で露光時のウエハ14の走査方向にX軸を取り、X軸に直交する非走査方向にY軸を取っている。露光装置100は、照明系1と、レチクルステージ2と、投影光学系3と、ウエハステージ5と、液浸液供給機構4と、アライメント検出系6と、フォーカス検出系7と、制御部20とを備える。そして、これらの構成要素のうち、照明系1、レチクルステージ3、投影光学系3、および液浸液供給機構4は、露光装置100内の露光領域に設置されている。一方、アライメント検出系6、およびフォーカス検出系7は、露光装置100内の計測領域に設置されている。このように、露光装置100では、露光領域と計測領域とが独立し、後述するが、ウエハステージ5を構成する複数のステージは、露光領域と計測領域とを交互に移動し得る。
次に、本発明の第2実施形態に係る露光装置について説明する。上記説明した第1実施形態では、液浸液13の受け渡し時には、各ステージ5a、5bは、一方向(上記の例ではX軸方向)に並行移動するのみである。これに対して、本実施形態に係る露光装置の特徴は、液浸液13の受け渡し時には、各ステージ5a、5bは、液浸液13を受け渡す方向のみならず、他の方向(Y軸方向)にも移動をする点にある。図8は、本実施形態における受け渡し動作の基本的なシーケンスを示すフローチャートである。そして、図9および図10は、本実施形態における受け渡し動作を時系列で示す概略平面図である。ここでも、第1実施形態における図4と同様に、第1ステージ5aで第1ウエハ14aに対する露光が終了したときから、第2ステージ5b上の第2ウエハ14bに設定されている最初のパターン形成領域が露光位置に位置するときまでの状態を示している。
次に、本発明の一実施形態のデバイス(半導体デバイス、液晶表示デバイスなど)の製造方法について説明する。半導体デバイスは、ウエハに集積回路を作る前工程と、前工程で作られたウエハ上の集積回路チップを製品として完成させる後工程を経ることにより製造される。前工程は、前述の露光装置を使用して感光剤が塗布されたウエハを露光する工程と、ウエハを現像する工程を含む。後工程は、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)と、パッケージング工程(封入)を含む。液晶表示デバイスは、透明電極を形成する工程を経ることにより製造される。透明電極を形成する工程は、透明導電膜が蒸着されたガラス基板に感光剤を塗布する工程と、前述の露光装置を使用して感光剤が塗布されたガラス基板を露光する工程と、ガラス基板を現像する工程を含む。本実施形態のデバイス製造方法によれば、従来よりも高品位のデバイスを製造することができる。
5a 第1ステージ
5b 第2ステージ
13 液浸液
14a 第1ウエハ
14b 第2ウエハ
20 制御部
100 露光装置
Claims (7)
- 基板を計測する計測領域と、該計測領域とは異なり、投影光学系を介して前記基板を露光する露光領域とを有し、前記投影光学系の最終レンズと、前記露光領域にある前記基板との間に液浸液が供給されている状態で露光する露光装置であって、
前記露光領域と前記計測領域との間で、前記基板を保持して移動可能な複数のステージと、
前記複数のステージの駆動を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、一方の前記ステージが前記露光領域にあり、該一方のステージ上に供給されている前記液浸液を、前記露光領域において保持しながら他方の前記ステージに受け渡すときに、前記他方のステージにおいて前記液浸液を受け渡たされる位置を、少なくとも前記他方のステージにおける最初の処理位置に合わせて決定する、
ことを特徴とする露光装置。 - 前記処理位置は、前記露光領域における計測位置、または露光開始位置であることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記制御部は、前記一方のステージにおいて前記液浸液を受け渡す位置を、前記一方のステージにおける露光終了位置に合わせて決定することを特徴とする請求項1または2に記載の露光装置。
- 前記制御部は、前記一方のステージを移動させながら、前記他方のステージの側に前記液浸液を受け渡すことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記複数のステージは、それぞれ、その表面に対向する位置に設置されている基準板に対して光を照射することでステージ位置を計測する位置計測器を有することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記複数のステージの位置を計測する干渉計と、
複数のステージの側面に設置され、前記干渉計から照射される光を反射するミラーと、を備え、
前記ミラーは、前記複数のステージの側面のうち、前記液浸液を受け渡す側の側面には設置されない、
ことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の露光装置。 - 請求項1ないし6いずれか1項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
その露光した基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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