JP2009218564A - 露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】
液漏れや液垂れによる汚染を効果的に防止する露光装置を提供する。
【解決手段】
レチクル20のパターンを基板41、42に投影する投影光学系30を有し、投影光学系30と基板41、42との間に供給された液浸液35を介して基板41、42を露光する露光装置1であって、基板41、42を支持し、互いに独立して移動可能な基板ステージ45、46と、基板ステージ45に設けられた液浸液35の受け渡し部47と、基板ステージ46に設けられた液浸液35の受け渡し部48と、受け渡し部47、48を互いに近接させた状態で受け渡し部47、48が液浸液35の下を通るように基板ステージ41、42を移動させるステージ制御装置60とを有し、受け渡し部47、48の各側面の少なくとも一部は多孔部材で構成されている。
【選択図】 図4
液漏れや液垂れによる汚染を効果的に防止する露光装置を提供する。
【解決手段】
レチクル20のパターンを基板41、42に投影する投影光学系30を有し、投影光学系30と基板41、42との間に供給された液浸液35を介して基板41、42を露光する露光装置1であって、基板41、42を支持し、互いに独立して移動可能な基板ステージ45、46と、基板ステージ45に設けられた液浸液35の受け渡し部47と、基板ステージ46に設けられた液浸液35の受け渡し部48と、受け渡し部47、48を互いに近接させた状態で受け渡し部47、48が液浸液35の下を通るように基板ステージ41、42を移動させるステージ制御装置60とを有し、受け渡し部47、48の各側面の少なくとも一部は多孔部材で構成されている。
【選択図】 図4
Description
本発明は露光装置に係り、特に、液体を介して基板を露光する液浸露光装置に関する。
LSI又は超LSIなど極微細パターンで構成される半導体デバイスの製造プロセスでは、マスクに形成されたパターンを感光剤が塗布された基板上に縮小投影して転写する縮小投影露光装置が用いられている。半導体デバイスにおける集積密度の向上に伴い、さらなるパターンの微細化が要求され、レジストプロセスの発展と同時に露光装置の微細化への対応がなされてきた。
露光装置の解像力を向上させる手段としては、露光波長を短くする方法と、投影光学系の開口数(NA)を大きくする方法とが一般的である。露光波長については、356nmのi線、248nm付近の発振波長を有するKrFエキシマレーザから、193nm付近の発振波長を有するArFエキシマレーザに移行しつつある。
一方、これらとは全く別の解像力向上技術として、液浸法を用いた投影露光方法が注目されつつある。従来、投影光学系の端面(最終面)と露光対象基板(例えばウエハ)面とに挟まれた空間は、気体で満たされていた。これに対して液浸法では、この空間を液体で満たして投影露光を実施する。
液浸法の利点は、従来法に比べて高い解像度を得ることができる点にある。例えば、投影光学系とウエハとに挟まれた空間に供給される液体を純水(屈折率1.33)とする。ウエハに結像する光線の最大入射角が液浸法と従来法とで等しい場合、同一波長の光源を用いると、液浸法の解像力は、従来法の1.33倍に向上する。これは、従来法の投影光学系の開口数(NA)を1.33倍にすることと等価である。このように、液浸法によれば、従来法では不可能なNA=1以上の解像力を得ることが可能である。
液浸法を用いる場合、投影光学系の最終レンズとウエハ面とに挟まれた空間に液体を満たす必要がある。ウエハの交換毎に、投影光学系の端面とウエハ面との間に満たされた液体を供給及び回収しようとすると、スループットの向上は難しい。このため、特許文献1及び特許文献2には、最終レンズとウエハ面とに挟まれた空間に液体を満たしたまま、ウエハの交換を行う技術が開示されている。
WO2005/074014号公報
WO2006/049134号公報
しかしながら、特許文献1及び特許文献2に開示されている技術は、次の点で不十分であると考えられる。
特許文献1には、液浸部を受け渡すステージ間のステージ端面に撥液処理を行う構成、また、ステージ間に弾性体を挟む構成が開示されている。この場合、ステージ間での液漏れを防ぐことはできても、ステージ端面の液垂れを防ぐことは困難である。垂れた液は、ステージ端面でしずくとなる。そして、落下したしずくは、露光装置内の環境を汚染するおそれがある。
特許文献2には、ステージ間の液漏れを防ぐ回収部を備えた構成が開示されている。この回収部は、ステージ端面の液垂れを防ぐ効果がある。しかし、回収部は一方のステージにしか備わっておらず、他方のステージ端面での液垂れを防ぐことはできない。
本発明は、上述した背景技術に鑑みて考案されたものであり、ステージ間での液浸部の受け渡しの際に、ステージ間での液漏れやステージ端部での液垂れを効果的に防ぐことのできる技術を提供する。
本発明の一側面としての露光装置は、原版のパターンを基板に投影する投影光学系を有し、該投影光学系と該基板との間に供給された液体を介して該基板を露光する露光装置であって、前記基板を支持し、互いに独立して移動可能な第1基板ステージ及び第2基板ステージと、前記第1基板ステージに設けられた、前記液体の第1受け渡し部と、前記第2基板ステージに設けられた、前記液体の第2受け渡し部と、前記第1受け渡し部と前記第2受け渡し部とを近接させた状態でその第1受け渡し部とその第2受け渡し部とが前記液体の下を通るように前記第1基板ステージ及び前記第2基板ステージを移動させるステージ制御部とを有し、前記第1受け渡し部及び前記第2受け渡し部の各側面の少なくとも一部は、多孔部材で構成されている。
また、本発明の他の側面としてのデバイス製造方法は、上記露光装置を用いて基板を露光するステップと、露光された基板を現像するステップとを有するものである。
本発明の更なる目的又はその他の特徴は、以下、添付の図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされる。
本発明によれば、液漏れや液垂れによる汚染を効果的に防止する露光装置を提供することができる。
以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
図1乃至図4を参照しながら本発明の実施例1を説明する。
図1は、本実施例における露光装置の概略構成図である。露光装置1は、原版(レチクル)のパターンを基板(ウエハ)に投影する投影光学系を有し、投影光学系の基板側に配置された最終レンズと基板との間に供給された液体を介して基板を露光する液浸露光装置である。
露光装置1は、レチクル20を支持するレチクルステージ21と、基板41、42をそれぞれ支持する基板ステージ45(第1基板ステージ)及び基板ステージ46(第2基板ステージ)を有する。基板ステージ45、46は、互いに独立して移動可能に構成されている。
露光装置1内は、露光動作を行う露光ステーション空間2と、基板の計測を行う計測ステーション空間3に大きく分けられる。基板ステージ45、46は、露光ステーション空間2と計測ステーション空間3との間で移動可能である。
まず、露光ステーション空間2について説明する。
露光装置1は、露光ステーション空間2側において、レチクル20を照明する照明光学系10と、レチクル20のパターンを基板41に投影する投影光学系30を備える。また、基板41と投影光学系30との間に液浸液35(液体)を供給する液体供給装置31、32、及び、液体供給装置31、32により供給された液浸液35(液体)を回収する液体回収装置33、34を備える。
上述のとおり、基板ステージ45、46は、露光ステーション空間2と計測ステーション空間3との間で移動可能である。このため、基板ステージ46が露光ステーション空間2に位置するとき、液体供給装置31、32は、投影光学系30と基板ステージ46に搭載された基板42との間に液浸液35を供給する。
不図示の光源であるArFエキシマレーザやF2レーザなどから射出された光は、照明光学系10に供給される。露光光は、照明光学系10を経て、レチクル20(原版)の一部を照明する。
レチクル20を照明する間、レチクル20を保持するレチクルステージ21(原版ステージ)と基板41(ウエハ)を保持する基板ステージ45(ウエハステージ)は、互いに同期しながらスキャン移動する。このような同期スキャンを通して、レチクル20上のパターン全体が、投影光学系30と液浸液35を介して基板41上に連続的に結像する。このようにして、基板41の表面に塗布されたフォトレジスト(感光剤)を感光させ、潜像パターンを形成することができる。
レチクルステージ21及び基板ステージ45、46の二次元的な位置は、干渉計ミラー51、52、53及びレーザ干渉計54、55、56によって、リアルタイムに計測される。ステージ制御装置60(ステージ制御装置)は、これらの計測値に基づいて、レチクルステージ21、基板ステージ45、46の位置決め、及び、同期制御を行う。
基板ステージ45、46には、基板41、42の鉛直方向の位置、回転方向、及び、傾きを調整、変更又は制御する駆動装置が内蔵されている。露光時には、この駆動装置により、基板41上の露光領域が投影光学系30の焦点面に常に高精度に合致するように、基板ステージ45は制御される。
露光装置1はチャンバの中に設置されているため、露光装置1を取り巻く環境は、所望の温度に保たれる。レチクルステージ21、基板ステージ45、46、レーザ干渉計54、55、56を取り巻く空間、及び、投影光学系30を取り巻く空間には、さらに個別に温度制御された空調空気が吹き込まれ、これらの空間における温度は、さらに高精度に維持される。
液体供給装置31、32は、基板41上に液浸液35(液体)を供給する。液体供給装置31、32には、液浸液35を収容するタンク及び加圧ポンプなどが設けられている。液体供給装置31、32から供給された液浸液35は、液体供給配管36、37を通じて、最終段レンズ30aと基板41に挟まれた空間に満たされる。
液体回収装置33、34は、基板41上の液浸液35を回収する。液体回収装置33、34には、吸引装置、気液分離器、及び、回収した液浸液を収容するタンクなどが設けられている。最終段レンズ30aと基板41に挟まれた空間に満たされた液浸液35は、液体回収配管38、39を通じて、液体回収装置33、34に回収される。 液体供給回収制御装置40は、液体供給装置31、32を駆動し、液体供給配管36、37を介して単位時間あたり所定量の液浸液を基板41上に供給する。また、液体供給回収制御装置40は、液体回収装置33、34を駆動し、液体回収配管38、39を介して単位時間あたり所定量の液浸液を基板41上から回収する。液体供給回収制御装置40は、液体供給装置31、32及び液体回収装置33、34を制御することにより、液浸液35が常に基板41上に保持される。
また、基板41のエッジ部分において、液浸液35を支持するために、基板ステージ45、46上の基板41、42周辺には、基板41、42と略同一高さに合わせられた液体支持板(平面板)43、44が配置される。
次に、計測ステーション空間3について説明する。
露光装置1は、計測ステーション空間3側において、基板42表面の位置情報(Z軸方向における位置情報及び傾斜情報)を検出するフォーカス検出系71と、基板42の位置を検出するアライメント検出系70を備える。フォーカス検出系71は、検出光を基板42表面に投射する投射系と、その基板42からの反射光を受光する受光系とを備えている。フォーカス検出系71の検出結果(計測値)は、ステージ制御装置60に出力される。
ステージ制御装置60は、フォーカス検出系71の検出結果に基づいて基板ステージ46を駆動し、基板ステージ46に保持されている基板42のZ軸方向における位置(フォーカス位置)および傾斜角を調整する。また、アライメント検出系70による基板42の位置検出の結果は、アライメント位置情報として、ステージ制御装置60に出力される。
このような2つの基板ステージ45、46を有する露光装置1の基本的動作の一例は、次のとおりである。
露光ステーション空間2において基板ステージ45上の基板41の露光処理中に、計測ステーション空間3における基板ステージ46上の基板42の交換及び計測処理が行われる。そして、それぞれの作業が終了すると、露光ステーション空間2の基板ステージ45が計測ステーション空間3に移動する。それと並行して、計測ステーション空間3の基板ステージ46が露光ステーション空間2に移動し、基板42に対して露光処理が行われる。
しかしながら、本実施例の露光装置1は、基板41と最終段レンズ30aとの間に液浸液35が供給されている。液浸液35を保持した状態で、基板ステージ45、46を露光ステーション空間2及び計測ステーション空間3のそれぞれの間で移動させるには、基板ステージ45、46の間で液浸液35の受け渡しを行う必要がある。
基板ステージ45、46の間で受け渡しを行わない場合、露光ステーション空間2及び計測ステーション空間3において、基板ステージ45、46を交換するに度に、液浸液35を基板41上から回収する必要がある。その場合、液浸液35の受け渡し部がある場合と比べて、スループットが低下する。また、基板41上の液浸液35を基板41上で回収したとすると、基板41上にウォータースポットが形成され、基板41上における欠陥の発生原因ともなりうる。
次に、本実施例における液浸液35の受け渡し方法について、図2乃至図4を参照して説明する。
図2は、本実施例の露光装置における基板ステージの位置を示す平面図である。図2は、露光装置内80の露光ステーション空間2において、基板ステージ45上の基板41に対して露光処理が行われている状態を示す。また、露光装置内80の計測ステーション空間3においては、基板ステージ46上の基板42に対して計測処理が行われている。
図2に示される状態から、露光ステーション空間2での露光処理、及び、計測ステーション空間3での計測処理が完了すると、基板ステージ45と基板ステージ46の入れ替え動作が実行される。基板ステージ45と基板ステージ46を入れ替える際には、液浸液35を受け渡す必要がある。このため、基板ステージ45には受け渡し部47(第1受け渡し部)が設けられ、基板ステージ46には受け渡し部48(第2受け渡し部)が設けられている。
液浸液35を受け渡す際の状態を図3に示す。図3に示されるように、基板ステージ45の受け渡し部47(第1受け渡し部)と、基板ステージ46の受け渡し部48(第2受け渡し部)を近接させる。このとき、受け渡し部47、48は、投影光学系30の下部に位置し、液浸液35の直下に位置する。
このような基板ステージ45、46の同期制御は、ステージ制御装置60(ステージ制御部)により行われる。ステージ制御装置60は、受け渡し部47と受け渡し部48とを近接させた状態で液浸液35の下を通るように基板ステージ45及び基板ステージ46を移動させる。このようにして、液体供給装置31、32により供給された液浸液35は、基板ステージ45と基板ステージ46との間で受け渡される。
次に、本実施例における受け渡し部47、48の構造を詳細に説明する。図4は、本実施例の露光装置における受け渡し部の周辺の断面構造を示したものである。
図4は、基板ステージ45、46の受け渡し部47、48を互いに近接させた状態であり、+y方向に液浸液35を受け渡す状態を示している。ここで、受け渡し部47、48を近接させた状態とは、受け渡し部47、48によって形成される隙間99から液浸液35が漏出しない程度に、受け渡し部47、48が互いに近づいた状態を言う。
本実施例では、受け渡し部47、48には、それぞれ、多孔部材91、92が設けられている。多孔部材91は、受け渡し部47の側面に設けられ、多孔部材92は、受け渡し部48の側面に設けられている。このように、受け渡し部47、48の側面の少なくとも一部は、多孔部材で構成されている。受け渡し部47、48は、多孔部材91、92が対向するように、互いに近接している。
本実施例の露光装置1では、最終段レンズ30aの直下に供給されている液浸液35が、受け渡し部47、48によって形成される隙間99から漏出する可能性がある。ただし、本実施例の受け渡し部47、48には、多孔部材91、92が備えられている。このため、仮に液浸液35が隙間99から漏出したとしても、漏出した液浸液35は、多孔部材91、92の毛管力によって多孔部材91、92に吸収される。
さらに、例えば、受け渡し部47の側面47bに垂れた液滴110は、重力によって多孔部材91、92へと導かれ、多孔部材91、92の毛管力によって多孔部材91、92に吸収される。このような受け渡し部を備えることで、液浸液35が隙間99から漏出することを防ぐことが可能であり、液浸液35の漏出による露光環境への汚染を防ぐことが出来る。
また、多孔部材91、92は、毛管力を働かせる観点から、親液性(親水性)の材料からなることが望ましい。ただし、多孔部材91、92が親液性の材料でない場合、又は、多孔部材91、92の親液性をより高める場合には、多孔部材91、92の表面及び内部の一部に親液化処理を施すこともできる。このように、多孔部材91、92を親液性の材料で構成したり、多孔部材91、92に親液化処理を施したりすることで、多孔部材の液浸液35に対する静的接触角を90°(より好ましくは70°)未満にしている。
多孔部材91、92としては、無数の穴があって表面積が多い部材であればどのような部材でも構わない。例えば、セラミックもしくはガラスの焼結体、又は、合成樹脂から成るスポンジ状のものを採用することができる。
次に、本発明の実施例2について説明する。本実施例における基本的な構成は実施例1と同様である。このため、本実施例では、実施例1と異なる箇所のみについて説明する。
本実施例では、図5に示される受け渡し部47、48の上面47c、48cの液浸液35に対する静的接触角を、受け渡し部47、48の側面47b、48bの液浸液35に対する静的接触角より小さくする。ここで、静的接触角とは、平面上の液体が平衡状態に達したときにおける平面と液体表面とのなす角である。静的接触角の上記関係を成立させるには、例えば、受け渡し部の上面47c、48cにSiC(炭化ケイ素)又はSiO2(二酸化ケイ素)などを用い、受け渡し部の側面47b、48bにフッ素系材料を用いる。
なお、本実施例では、受け渡し部の上面47c、48cの少なくとも一部と液浸液35との静的接触角を、受け渡し部の側面47b、48bの少なくとも一部と液浸液35との静的接触角より小さくすればよい。受け渡し部の側面47b、48bの少なくとも一部は、多孔部材91、92の上側に位置する。
このような構成により、受け渡し部の上面47c、48cの表面における液浸液35には、図5に示される+y方向及び−y方向に広がろうとする力が働く。さらに、隙間99においては、上向き(z方向)に毛管力が働く。液浸液35にこのような力が働くことで、液浸液35が隙間99から漏出しにくくなるという効果がある。また、仮に、液浸液35が受け渡し部の側面47b、48bに垂れたとしても、その下側には多孔部材91、92が設けられているため、液浸液35は効果的に吸収される。
次に、本発明の実施例3について、図4及び図5を参照して説明する。本実施例における基本的な構成は実施例1と同様である。このため、本実施例では、実施例1と異なる箇所のみについて説明する。
受け渡し部47、48に設置された多孔部材91、92は、隙間99から漏出した液浸液、もしくは受け渡し部の側面47b、48bに垂れた液浸液を毛管力により吸収する。しかし、いずれ多孔部材91、92は、これらの液体で満たされ、新たに液体を吸収することができなくなる。
そこで、本実施例では、多孔部材91、92に隣接して、多孔部材91、92が吸収した液体を回収する空間93,94、回収路95、96、吸引装置101、102、及び、バルブ103、104を備えている。
空間93、94は、それぞれ、受け渡し部47、48の多孔部材91、92に隣接して配置されている。回収路95(第1回収路)は、受け渡し部47に形成された空間93に連結され、回収路96(第2回収路)は、受け渡し部48に形成された空間94に連結されている。吸引装置101、102(吸引部)は、それぞれ、回収路95、96により回収された液体をバルブ103、104を介して吸引する。
図4に示されるように、多孔部材91、92に吸収された液浸液35は、多孔部材91、92に隣接して配置された空間93、94、回収路95、96、及び、吸引装置101、102によって、回収による流れ方向97、98に回収される。受け渡し部47、48のそれぞれに空間93、94を設置することにより、多孔部材91、92に吸収された液浸液35を、多孔部材91、92の面内で均一に回収することができる。
ところで、受け渡し部47、48を近接させ、液浸液35を基板ステージ45、46間で受け渡す過程で、吸引装置101、102を駆動させると、隙間99が周りの環境に比べて負圧となる。隙間99が負圧になると、基板ステージ45、46間で液浸液35を受け渡す場合、液浸液35が圧力差によって隙間99に引き込まれ、隙間に漏出する液量が増加してしまう。
これを回避するため、多孔部材91,92が吸収した液浸液35の回収は、液浸液35を基板ステージ45、46間で受け渡す際の前後、もしくはどちらか一方で行うように制御する。受け渡す際の前後とは、液浸液35を隙間99が通過する前と後を指し、且つ隙間99上に液浸液35がない状態である。
このように、本実施例の吸引装置101、102(吸引部)は、受け渡し部47と受け渡し部48との間で液浸液35を受け渡す前又は受け渡した後に、液浸液35を吸引する。このため、本実施例によれば、液浸液35を確実に基板ステージ45、46間で受け渡すことができるとともに、多孔部材91、92に吸収された液浸液35を効果的に回収することが可能になる。
本発明の実施例4について、図6を参照して説明する。本実施例における基本的な構成は実施例1と同様である。このため、本実施例では、実施例1と異なる箇所のみについて説明する。
図6は、実施例4の露光装置における受け渡し部の周辺の断面構造を示したものである。図6に示されるように、本実施例の露光装置は、液体供給装置31、32により供給された液浸液35の外側にガスを供給するガス供給口120、121(ガス供給部)を有する。また、この露光装置は、供給したガスの少なくとも一部を回収するガス回収口122、123を有する。
ガス供給口120、121、及び、ガス回収口122、123は、液浸液35が露光装置内へ飛散することを防止するために設けられている。投影光学系30の直下に供給された液浸液35がその周囲から漏れるのを防止するため、ガス供給口120、121、及び、ガス回収口122、123は、液体供給配管36、37、及び、液体回収配管38、39の外側に配置されている。
ところで、本実施例のように、液浸液35の周辺にガスを供給する露光装置の場合、受け渡し部47と受け渡し部48との間で液浸液35を受け渡す際に、ガス供給口120、121から供給されたガスの一部が隙間99へ流れ込むおそれがある。
この隙間99へ流れ込んだガスは、液浸液35を巻き込み、隙間99から液浸液35を漏れ出させる。そこで、本実施例のガス供給口120、121(ガス供給部)は、受け渡し部47と受け渡し部48との間で液浸液35を受け渡すとき、ガスの供給を停止させる。すなわち、ガス供給口120、121からのガス供給を停止した状態で、液浸液35の受け渡しを行う。
このように制御することにより、液浸液35の受け渡し時において、液浸液35が隙間99から漏れ出すことを防ぐことができる。
本発明の実施例5について、図7を参照して説明する。本実施例における基本的な構成は実施例1と同様である。このため、本実施例では、実施例1と異なる箇所のみについて説明する。
図7は、実施例5の露光装置における受け渡し部の周辺の断面構造図である。液体供給口36a、37aから供給された液浸液35は、下向き(−z方向)の速度成分をもって供給される。ただし、本実施例の露光装置では、液体供給口36a、37aは下向き(−z方向)に配置されているが、これに限定されるものではない。例えば、液体供給口36a、37aを横向きに配置するように構成してもよい。
液体供給口36a、37aが下向き(−z方向)に配置されている場合、又は、液浸液35内部で下向き(−z方向)の速度成分が形成される場合、液浸液35の受け渡し時に隙間99から液浸液35が漏れやすい。そこで、本実施例では、液浸液35を受け渡し部47、48で受け渡す際に、最終段レンズ30aと受け渡し部47、48とのギャップ高さ130を、露光時の最終段レンズ30aと基板41との高さ(z方向)より高く保った状態で、受け渡しを行う。
最終段レンズ30aと受け渡し部47、48とのギャップ高さ130は、ステージ制御装置60が基板ステージ45、46の高さ(z方向)を制御することにより、調整することが可能である。このように、ステージ制御装置60は、受け渡し部47と受け渡し部48との間で液浸液35を受け渡すとき、投影光学系30と受け渡し部47及び受け渡し部48との間の距離を、露光時における投影光学系30と基板41、42との間の距離より大きくする。
ステージ制御装置60のこのような制御により、液浸液35内部における下向き(−z方向)の速度成分が緩和され、隙間99から液浸液35が漏れ出すことを防ぐことができる。
次に、本発明の実施例6について説明する。本実施例における基本的な構成は実施例1と同様である。このため、本実施例では、実施例1と異なる箇所のみについて説明する。
実施例4では、液浸液35を受け渡し部47、48で受け渡す際に、ガス供給口120、121からのガス供給を止めた状態で、液浸液35の受け渡しを行う方法について説明した。実施例4は隙間99からの液漏れを防ぐには有効であるが、一方で基板ステージ45、46の移動速度を、液浸液35が飛散しない程度に減速する必要がある。その場合、スループットの低下は避けられない。
本実施例では上記理由によるスループットの低下を防ぐために、ガス供給口120、121からガスを供給し続けた場合の液浸液35の受け渡し方法について説明する。
液浸液35を受け渡し部47、48で受け渡す際に、ガス供給口120、121からガスを供給し続けた場合の隙間99からの液浸液35の漏出に関して、実施例4で説明した。従って、この隙間99から漏出した液浸液35を回収する必要がある。液浸液35の回収は、図6に示される受け渡し部47、48に設置された多孔部材91、92によって行われる。
しかしながら、本実施例の場合、隙間99から漏れ出す液浸液35の量によっては、多孔部材91、92の毛管力では回収しきれないことも考えられる。その場合は、吸引装置101、102を駆動させ、回収する空間93,94を負圧にすることで、多孔部材91、92の回収量を増加させる必要がある。
この場合、隙間99も負圧となり、液浸液35やガスが流れ込みやすくなる。従って、回収しなければならないガス及び液浸液の回収量が増加することは避けられないが、受け渡し時に於ける基板ステージ45、46の移動速度を減速する必要はなくなる。
次に、本発明の実施例7について説明する。本実施例に於ける基本的な構成は実施例1と同様である。このため、本実施例では、実施例1と異なる箇所のみについて説明する。
図2に示す受け渡し部47、48の形状は、図1に示される基板ステージ45,46の位置計測に使用する干渉計ミラー52,53及び、レーザ干渉計55、56の光軸を遮らないように構成されたものである。すなわち、位置計測システムの構成次第では、受け渡し部47、48の形状は、必ずしも実施例1〜6に示した限りではない。
本実施例では、受け渡し部47、48が図2に示されるような形状ではなく、図8に示される液体支持板43、44上の一部と基板ステージ45、46の一側面から構成されている場合について説明する。
図8は、露光ステーション空間2に於いて基板41の露光が行われ、並行して計測ステーション空間3に於いて基板42の計測が行われている様子を示している。露光及び計測が終了すると、基板交換を行うため、図9に示されるように基板ステージ45、46を近接させる。さらに図11に示されるように、受け渡し部47、48を構成する基板ステージ側面45a、46aには、多孔部材91、92が配置される。多孔部材91、92で形成される隙間99から漏れ出した液浸液35を、多孔部材91、92の毛管力により回収する回収機構を有する。
また、多孔部材91、92に溜まった液浸液35を回収するため、多孔部材91、92に隣接して配置された空間93、94と回収路95、96、吸引装置101、102が構成される。吸引装置101、102によって、多孔部材91、92に溜まった液浸液35は、流れ方向97、98に沿って回収される。
空間93、94を設置することで、多孔部材91、92に吸収された液浸液を、多孔部材91、92の面内で均一に回収することができる。また、液浸液35の受け渡し時に、多孔部材91、92の毛管力で漏出した液浸液を回収しきれない場合、実施例6で説明したように、吸引装置101、102を駆動させて回収を行っても構わない。
多孔部材91、92は、セラミックもしくはガラスの焼結体、又は、合成樹脂から成るスポンジ状の部材でも良い。さらに多孔部材91、92の表面は、親水性(静的接触角90°未満)であることが好ましい。
図9に示される状態から、基板ステージ45、46は図10中の矢印で示される方向に移動し、液浸液35が基板ステージ45上から基板ステージ46上に受け渡される。
本実施例では、受け渡し部47、48が基板ステージ45、46の一辺を成しているため、液浸液35の受け渡す位置については、実施例1〜6より比較的自由度がある。従って、図10に示されるような基板ステージ45、46の位置において、液浸液35の受け渡しを行うことも可能である。
このような基板ステージ45、46の位置関係で液浸液35の受け渡しを行うと、受け渡し位置と基板ステージ46上の基準マーク72との距離を短くすることができる。基準マーク72の計測処理は、レチクル20と基板ステージ46の位置関係を合わせるために必要であり、露光動作前に処理しなければならない。そのため、液浸液35の受け渡し位置と基準マーク72間の距離を短くすることができれば、基板ステージ46の移動時間を短縮することが可能となり、スループットを向上させることができる。
本実施例では、受け渡し部47、48が基板ステージ45、46の側面に沿って連続的に設けられた場合について説明したが、部分的に設けられても構わない。
また、本実施例では、基板ステージ側面45a、46aに配置する多孔部材91、92を基板ステージ側面45a、46aに沿って連続的に配置した場合について説明した。しかし、基板ステージ側面45a、46aに沿って部分的に多孔部材91、92を配置しても構わない。
デバイス(半導体集積回路素子、液晶表示素子等)は、前述のいずれかの実施例の露光装置を使用して感光剤を塗布した基板(ウエハ、ガラスプレート等)を露光する工程と、その基板を現像する工程と、他の周知の工程と、を経ることにより製造される。
かかるデバイス製造方法によれば、従来よりも高品位のデバイスを製造することができる。このように、露光装置1を使用するデバイス製造方法、並びに結果物としてのデバイスも本発明の一側面を構成する。
上記実施例によれば、ステージ間での液漏れやステージ端面での液垂れに起因する露光装置内の環境汚染を効果的に防ぎ、露光精度や計測精度の低下を極力抑制した露光装置を提供することができる。
以上、本発明の実施例について具体的に説明した。ただし、本発明は、上記実施例に記載された内容に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱しない範囲内で適宜変更が可能である。
1:露光装置
10:照明光学系
20:レチクル
30:投影光学系
35:液浸液(液体)
41、42:基板
45、46:基板ステージ
47、48:受け渡し部
91、92:多孔部材
10:照明光学系
20:レチクル
30:投影光学系
35:液浸液(液体)
41、42:基板
45、46:基板ステージ
47、48:受け渡し部
91、92:多孔部材
Claims (8)
- 原版のパターンを基板に投影する投影光学系を有し、該投影光学系と該基板との間に供給された液体を介して該基板を露光する露光装置であって、
前記基板を支持し、互いに独立して移動可能な第1基板ステージ及び第2基板ステージと、
前記第1基板ステージに設けられた、前記液体の第1受け渡し部と、
前記第2基板ステージに設けられた、前記液体の第2受け渡し部と、
前記第1受け渡し部と前記第2受け渡し部とを近接させた状態でその第1受け渡し部とその第2受け渡し部とが前記液体の下を通るように前記第1基板ステージ及び前記第2基板ステージを移動させるステージ制御部と、を有し、
前記第1受け渡し部及び前記第2受け渡し部の各側面の少なくとも一部は、多孔部材で構成されていることを特徴とする露光装置。 - 前記多孔部材の少なくとも一部は、親液性の材料からなることを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記第1受け渡し部及び前記第2受け渡し部の上面の少なくとも一部と前記液体との静的接触角は、該第1受け渡し部及び該第2受け渡し部の側面の少なくとも一部と該液体との静的接触角より小さく、
前記側面の少なくとも一部は、前記多孔部材の上側に位置することを特徴とする請求項1又は2記載の露光装置。 - 前記露光装置は、前記液体を吸引する吸引部を有し、
前記第1受け渡し部には、前記多孔部材により吸収された前記液体を回収するための第1回収路が設けられ、
前記第2受け渡し部には、前記多孔部材により吸収された前記液体を回収するための第2回収路が設けられ、
前記吸引部は、前記第1回収路及び前記第2回収路により回収された前記液体を吸引することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一に記載の露光装置。 - 前記吸引部は、前記第1受け渡し部と前記第2受け渡し部との間で前記液体を受け渡す前又は受け渡した後に、前記液体を吸引することを特徴とする請求項4記載の露光装置。
- 前記露光装置は、前記液体の外側にガスを供給するガス供給部を有し、
前記ガス供給部は、前記第1受け渡し部と前記第2受け渡し部との間で前記液体を受け渡すとき、前記ガスの供給を停止させることを特徴とする請求項1記載の露光装置。 - 前記ステージ制御部は、前記第1受け渡し部と前記第2受け渡し部との間で前記液体を受け渡すとき、前記投影光学系と前記第1受け渡し部及び前記第2受け渡し部との間の距離を、露光時における該投影光学系と前記基板との間の距離より大きくすることを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 請求項1乃至7のいずれか一に記載の露光装置を用いて基板を露光するステップと、
露光された前記基板を現像するステップと、を有することを特徴とするデバイス製造方法。
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