JP2015048457A - 接続材料、接続構造体及び接続構造体の製造方法 - Google Patents

接続材料、接続構造体及び接続構造体の製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】低温で硬化させても硬化物中にボイドを生じ難くし、電極間を電気的に接続した場合に電極間の位置ずれを生じ難くし、かつ接続後に高温高湿下での接続信頼性を高めることができる接続材料を提供する。
【解決手段】本発明に係る接続材料は、硬化性化合物と酸発生剤とを含み、JIS K7210に準拠して、30℃及び荷重0.325kgfの条件で測定されるメルトフローインデックスが1g/10分以上、10g/10分以下であり、JIS K7210に準拠して、40℃及び荷重0.325kgfの条件で測定されるメルトフローインデックスが30g/10分以上、70g/10分以下であり、JIS K7210に準拠して、100℃及び荷重0kgfの条件で測定されるメルトフローインデックスが120g/10分以上、300g/10分以下である。
【選択図】図1

Description

本発明は、様々な接続対象部材の電極間を電気的に接続するために好適に用いることができる接続材料に関する。また、本発明は、上記接続材料を用いた接続構造体及び接続構造体の製造方法に関する。
エポキシ樹脂組成物は、硬化物の接着力が高く、硬化物の耐水性及び耐熱性にも優れている性質を有する。このため、エポキシ樹脂組成物は、電子、建築及び車両等の各種用途に広く用いられている。また、様々な接続対象部材を電気的に接続するために、上記エポキシ樹脂組成物に、導電性粒子が配合されることがある。導電性粒子を含むエポキシ樹脂組成物は、異方性導電材料と呼ばれている。
上記異方性導電材料は、各種の接続構造体を得るために、例えば、フレキシブルプリント基板とガラス基板との接続(FOG(Film on Glass))、半導体チップとフレキシブルプリント基板との接続(COF(Chip on Film))、半導体チップとガラス基板との接続(COG(Chip on Glass))、並びにフレキシブルプリント基板とガラスエポキシ基板との接続(FOB(Film on Board))等に使用されている。
下記の特許文献1には、脂環式エポキシ化合物と、カチオン発生剤と、上記脂環式エポキシ化合物よりもカチオン重合性が低い第2のカチオン重合性化合物と、導電性粒子とを含む異方性導電材料が開示されている。特許文献1では、上記第2のカチオン重合性化合物としては、エピクロルヒドリンとビスフェノールAやビスフェノールF等から誘導されるビスフェノール型エポキシ樹脂や、ポリグリシジルエーテル、ポリグリシジルエステル、芳香族エポキシ化合物、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ化合物、グリシジルアミン系エポキシ化合物、グリシジルエステル系エポキシ化合物、ビフェニルジグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレート、ポリグリシジルメタクリレート、並びにグリシジルメタクリレートとグリシジルメタクリレートと共重合可能なビニル単量体との共重合体等が挙げられている。また、特許文献1では、増粘化やフィルム化を目的として、種々のポリマーを適宜添加してもよいことが記載されている。上記ポリマーとしては、ポリイミド、ポリアミド、フェノキシ樹脂類、ポリメタクリレート類、ポリアクリレート類、ポリイミド類、ポリウレタン類、ポリエステル類、ポリエステルウレタン類、ポリビニルブチラール類、SBS及びそのエポキシ変性体、SEBS及びその変性体、NBR及びその水素化体等が挙げられている。
また、上記接続構造体の製造方法の一例として、下記の特許文献2では、熱硬化機構の異なる低温側硬化成分と高温側硬化成分とを含み、かつ導電性粒子を含む異方導電性接着剤を用いる接続構造体の製造方法が開示されている。ここでは、低温側硬化成分の80%の反応温度で異方導電性接着剤を加熱加圧し、所定の試験を行った後、高温側硬化成分の80%の反応温度以上で異方導電性接着剤を加熱加圧することが記載されている。
下記の特許文献3には、第1の回路部材と、導電性粒子及び光硬化性樹脂を含む異方性導電フィルムと、第2の回路部材とをこの順で配置する工程と、上記第1の回路部材と上記第2の回路部材とを異方性導電フィルムを介して圧接する際に、超音波を印加する工程と、超音波を印加した後に、上記第1の回路部材と上記第2の回路部材とを上記異方性導電フィルムを介して圧接させながら、上記異方性導電フィルムに光を照射する工程とを備える接続構造体の製造方法が開示されている。
特開2011−111557号公報 特開2007−262412号公報 特開2010−251789号公報
例えば、特許文献2の実施例では、高温側硬化成分を硬化させるために、130℃以上の温度に加熱している。異方性導電材料が低温で速やかに硬化しない場合には、高温でかつ長時間加熱する必要があり、結果として接続対象部材の熱劣化が問題となりやすい。このため、異方性導電材料を低温で硬化させることが望まれている。しかしながら、特許文献1,2に記載のような従来の異方性導電材料は、低温で硬化させると、硬化物中にボイドが発生しやすいことがある。また、従来の異方性導電材料を用いて電極間を接続する場合に、電極間の位置ずれが生じることがある。
さらに、従来の異方性導電材料を用いた場合に、上記接続構造体が高温高湿下に晒されたときに、接続信頼性が低くなったりする。例えば、特許文献3では、接続構造体を得る際に、光を照射している一方で加熱を行っていないために、高温高湿下での接続信頼性が低くなりやすい。
本発明の目的は、低温で硬化させても硬化物中にボイドを生じ難くし、電極間を電気的に接続した場合に電極間の位置ずれを生じ難くし、かつ接続後に高温高湿下での接続信頼性を高めることができる接続材料を提供することである。また、本発明の目的は、上記接続材料を用いた接続構造体及び接続構造体の製造方法を提供することである。
本発明の広い局面によれば、硬化性化合物と酸発生剤とを含み、JIS K7210に準拠して、30℃及び荷重0.325kgfの条件で測定されるメルトフローインデックスが1g/10分以上、10g/10分以下であり、JIS K7210に準拠して、40℃及び荷重0.325kgfの条件で測定されるメルトフローインデックスが30g/10分以上、70g/10分以下であり、JIS K7210に準拠して、100℃及び荷重0kgfの条件で測定されるメルトフローインデックスが120g/10分以上、300g/10分以下である、接続材料が提供される。
本発明に係る接続材料のある特定の局面では、前記硬化性化合物として、フェノールノボラック型エポキシ樹脂とエポキシモノマーとを含む。
本発明に係る接続材料のある特定の局面では、前記フェノールノボラック型エポキシ樹脂と前記エポキシモノマーとの合計100重量%中、前記フェノールノボラック型エポキシ樹脂の含有量が40重量%以上、70重量%以下であり、かつ前記エポキシモノマーの含有量が30重量%以上、60重量%以下である。
本発明に係る接続材料のある特定の局面では、前記接続材料は導電性粒子を含む。
本発明の広い局面によれば、第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材と、第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材と、前記第1の接続対象部材と前記第2の接続対象部材とを接続している接続部とを備え、前記接続部が、上述した接続材料により形成されており、前記第1の電極と前記第2の電極とが電気的に接続されている、接続構造体が提供される。
本発明に係る接続構造体のある特定の局面では、前記第1の接続対象部材が基板であり、前記第2の接続対象部材が半導体チップであり、前記接続構造体が液晶表示素子である。
本発明の広い局面によれば、第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材の表面上に、上述した接続材料を用いて、接続材料層を形成する工程と、前記接続材料層の前記第1の接続対象部材側とは反対の表面上に、第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材を配置して、仮圧着を行うことで、前記第1の接続対象部材と前記接続材料層と前記第2の接続対象部材とが仮圧着された積層体を得る工程と、前記積層体の本圧着を行い、前記接続材料層を加熱して硬化させて接続部を形成して、前記第1の接続対象部材と前記第2の接続対象部材とが前記接続部により接続されており、かつ、前記第1の電極と前記第2の電極とが電気的に接続されている接続構造体を得る工程とを備える、接続構造体の製造方法が提供される。
本発明に係る接続構造体の製造方法のある特定の局面では、本圧着時に、又は本圧着後の前記接続材料層の硬化が完了する前に、前記接続材料層に光を照射する。
本発明に係る接続構造体の製造方法のある特定の局面では、前記接続材料層を120℃を超える温度に加熱せずに、120℃以下の温度に加熱して硬化させる。
本発明に係る接続構造体の製造方法のある特定の局面では、前記第1の接続対象部材として基板を用い、前記第2の接続対象部材として半導体チップを用い、前記接続構造体として液晶表示素子を得る。
本発明に係る接続材料は、硬化性化合物と酸発生剤とを含み、JIS K7210に準拠して、30℃及び荷重0.325kgfの条件で測定されるメルトフローインデックスが1g/10分以上、10g/10分以下であり、JIS K7210に準拠して、40℃及び荷重0.325kgfの条件で測定されるメルトフローインデックスが30g/10分以上、70g/10分以下であり、JIS K7210に準拠して、100℃及び荷重0kgfの条件で測定されるメルトフローインデックスが120g/10分以上、300g/10分以下であるので、低温で硬化させても、硬化物中にボイドを生じ難くすることができる。さらに、本発明に係る接続材料を用いて電極間を電気的に接続した場合に、電極間の位置ずれを生じ難くすることができる。さらに、本発明に係る接続材料を用いて接続対象部材を接続した後に、高温高湿下での接続信頼性を高めることができる。
図1は、本発明の一実施形態に係る接続構造体を模式的に示す断面図である。 図2は、本発明の他の実施形態に係る接続構造体を模式的に示す断面図である。 図3(a)〜(c)は、本発明の一実施形態に係る接続構造体の製造方法の一例の各工程を説明するための模式的な斜視図である。 図4は、導電性粒子の一例を示す断面図である。
以下、本発明の詳細を説明する。
(接続材料)
本発明に係る接続材料は、硬化性化合物と、酸発生剤とを含む。本発明に係る接続材料では、JIS K7210に準拠して、30℃及び荷重0.325kgfの条件で測定されるメルトフローインデックス(MI)(以下、MI(30℃)と記載することがある)が1g/10分以上、10g/10分以下であり、JIS K7210に準拠して、40℃及び荷重0.325kgfの条件で測定されるメルトフローインデックス(MI)(以下、MI(40℃)と記載することがある)が30g/10分以上、70g/10分以下であり、JIS K7210に準拠して、100℃及び荷重0kgfの条件で測定されるメルトフローインデックス(MI)(以下、MI(100℃)と記載することがある)が120g/10分以上、300g/10分以下である。
本発明に係る接続材料は、上述した構成を備えているので、低温で硬化させても、硬化物中にボイドを生じ難くすることができる。硬化物中にボイドの発生量を抑えることで、接続対象部材の接着信頼性及び電極間の導通信頼性を高めることができる。本発明に係る接続材料は、例えば、120℃以下で硬化させても、100℃以下で硬化させても、硬化物中にボイドを生じ難くすることができる。さらに、本発明に係る接続材料を用いて接続対象部材を接続した後に、高温高湿下での接続信頼性を高めることができる。例えば、得られた接続構造体が高温高湿下に晒されても、接続抵抗が上昇するのを抑えることができる。
上記MI(40℃)は、例えば、接続対象部材の表面上に接続材料を配置する際に影響する指標である。特に、上記接続材料がペーストである場合に、上記MI(40℃)が上記下限以上及び上記上限以下であると、ペーストの過度の流動を抑えることができる。この結果、硬化物中にボイドが生じ難くなる。また、上記MI(40℃)が上記下限以上及び上記上限以下であると、ペーストである上記接続材料の塗布が容易であり、特にディスペンサーによる塗布が容易である。
上記MI(100℃)は、例えば、第1の接続対象部材と接続材料(接続材料層)と第2の接続対象部材とが仮圧着された積層体を得る際に影響する指標である。特に、上記MI(100℃)が上記下限以上及び上記上限以下であると、第1の接続対象部材と接続材料(接続材料層)と第2の接続対象部材とが仮圧着された積層体を得る際に、第1,第2の接続対象部材の表面上にペーストを十分に濡れ拡がらせることができ、更にペーストの過度の流動を抑えることができる。この結果、硬化物中にボイドが生じ難くなり、電極間の位置ずれが生じ難くなる。また、電極間又は電極と導電性粒子との間に、樹脂等が挟み込まれ難くなる。この結果、接続後の接続構造体において、高温高湿下での接続信頼性が高くなる。なお、仮圧着温度を考慮して、上記MI(100℃)の測定温度を100℃に設定している。
上記MI(30℃)は仮圧着後の上記積層体を本圧着させる際に影響する指標である。特に、上記MI(30℃)が上記下限以上及び上記上限以下であると、仮圧着後の上記積層体を本圧着させる際に、電極間の位置ずれが生じ難くなる。さらに、電極間又は電極と導電性粒子との間に、樹脂等が挟み込まれ難くなり、結果として接続後の接続構造体において、高温高湿下での接続信頼性が高くなる。なお、仮圧着温度から本圧着温度までの間に、第1,第2の接続対象部材は一度室温下に晒されることを考慮して、上記MI(30℃)の測定温度を30℃に設定している。
なお、上記MIの測定において、MI(100℃)の場合のみ、荷重を0kgfとしているのは、荷重を0.325kgfとすると測定値にばらつきが生じるためである。
また、液晶表示素子では、COG工法によって、ガラス基板上に半導体チップが実装されることがある。この液晶表示素子を得る際には、一般に、ガラス基板上に、接続材料を配置する。次に、ガラス基板の電極と半導体チップの電極とが対向するように、半導体チップを積層して、熱圧着させる。これにより、接続材料を硬化させて、電極間を電気的に接続して、液晶表示素子を得る。
近年、液晶表示素子では、液晶パネルの狭額縁化及びガラス基板の薄型化が進行している。このため、液晶表示素子を得る際の加熱によって、得られる液晶表示素子が反りやすくなってきている。また、液晶表示素子が反ると、表示むらが生じやすくなる。さらに、液晶表示素子では、熱劣化が大きな問題となることがある。本発明に係る接続材料は低温で硬化させても硬化物中にボイドが生じ難いために、更に高温高湿下での接続信頼性が高められるために、上記のような液晶表示素子に好適に用いることができる。本発明に係る接続材料の使用により、熱劣化を抑え、液晶表示素子の反りを抑え、液晶表示素子の表示むらを抑えることができる。
上記接続材料は、光の照射と加熱との双方により硬化可能であることが好ましい。上記接続材料は、光の照射と加熱とにより硬化されることが好ましい。
本発明に係る接続材料は、電極間の接続に好適に用いられる。本発明に係る接続材料は、バンプ電極などの電極を、直接接するように電気的に接続するために用いられてもよい。本発明に係る接続材料は導電性粒子を含んでいてもよい。本発明に係る接続材料は、導電性粒子を含まないか又は含み、導電性粒子を含むことが好ましい。本発明に係る接続材料は、電極間を導電性粒子により電気的に接続するために用いられてもよい。
上記接続材料は、ペースト及びフィルム等として使用され得る。上記接続材料は、ペーストであることが好ましい。導電性粒子を含む上記接続材料は、導電ペースト及び導電フィルム等として使用され得る。上記導電ペーストは異方性導電ペーストであることが好ましい。上記導電フィルムは異方性導電フィルムであることが好ましい。
以下、本発明に係る接続材料に含まれている各成分を説明する。
[硬化性化合物]
本発明に係る接続材料は、上記硬化性化合物として、フェノールノボラック型エポキシ樹脂を含むことが好ましい。上記フェノールノボラック型エポキシ樹脂を用いた場合には、フェノールノボラック型エポキシ樹脂以外のエポキシ樹脂を用いた場合と比べて、上記MI値を満足することが容易であり、接続構造体の高温高湿下での接続信頼性を高めることができる。上記フェノールノボラック型エポキシ樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
上記フェノールノボラック型エポキシ樹脂は重合体であることが好ましい。上記フェノールノボラック型エポキシ樹脂の重量平均分子量は好ましくは8000以上であることが好ましい。上記重量平均分子量が上記下限以上であると、上記MI値を満足することが容易であり、接続構造体の高温高湿下での接続信頼性をより一層高めることができる。上記重量平均分子量が上記上限以下であると、上記MI値を満足することが容易であり、接続材料中での上記フェノールノボラック型エポキシ樹脂の均一混合性がより一層良好になる。上記フェノールノボラック型エポキシ樹脂の重量平均分子量は20000以下であってもよい。
上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量である。上記重量平均分子量を測定する際のカラムとしては、例えば、Shodex LF−804(昭和電工社製)等が挙げられる。
本発明に係る接続材料は、上記硬化性化合物として、フェノールノボラック型エポキシ樹脂以外のポリマーを含んでいてもよい。上記フェノールノボラック型エポキシ樹脂以外のポリマーとしては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールE型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、脂肪族骨格含有エポキシ樹脂、ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレンフェノールノボラック型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、及びアルキルポリオール型エポキシ樹脂等が挙げられる。
上記フェノールノボラック型エポキシ樹脂以外のポリマーの重量平均分子量は好ましくは8000以上、好ましくは100000以下、より好ましくは50000以下である。
本発明に係る接続材料は、上記硬化性化合物として、エポキシモノマーを含むことが好ましい。本発明に係る接続材料は、上記フェノールノボラック型エポキシ樹脂とともに、上記エポキシモノマーを含むことが好ましい。エポキシモノマーを用いることで、上記MI値を満足することが容易である。また、上記フェノールノボラック型エポキシ樹脂と上記エポキシモノマーとの併用により、上記MI値を満足することがより一層容易であり、接続材料の硬化性がより一層良好になり、硬化物の耐熱性及び接続構造体の高温高湿下での接続信頼性がより一層高くなる。上記エポキシモノマーは、エポキシ基を有するモノマーである。上記エポキシモノマーは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
上記エポキシモノマーとしては、ビスフェノールA型エポキシモノマー、ビスフェノールE型エポキシモノマー、ビスフェノールF型エポキシモノマー、ビスフェノールS型エポキシモノマー、ビフェニル型エポキシモノマー、ジシクロペンタジエン型エポキシモノマー、ナフタレン型エポキシモノマー、脂肪族骨格含有エポキシモノマー、フェノールノボラック型エポキシモノマー、ビフェニルノボラック型エポキシモノマー、ナフタレンフェノールノボラック型エポキシモノマー、グリシジルアミン型エポキシモノマー、及びアルキルポリオール型エポキシモノマー等が挙げられる。
硬化物の耐熱性及び接続構造体の高温高湿下での接続信頼性をより一層高める観点からは、上記エポキシモノマーは、ビスフェノールA型エポキシモノマー、ビスフェノールE型エポキシモノマー又はビスフェノールF型エポキシモノマーであることが好ましく、ビスフェノールE型エポキシモノマー又はビスフェノールA型エポキシモノマーであることがより好ましく、ビスフェノールE型エポキシモノマーであることが更に好ましい。これらの好ましいエポキシモノマーは1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
本発明に係る接続材料は、上記硬化性化合物として、エポキシモノマー以外のモノマーを含んでいてもよい。エポキシモノマー以外のモノマーとしては、(メタ)アクリロイル基を有するモノマー及びビニルモノマー等が挙げられる。
上記接続材料が導電性粒子を含む場合に、上記接続材料の導電性粒子を除く全成分100重量%中、硬化性化合物の合計の含有量は、好ましくは55重量%以上、より好ましくは60重量%以上、好ましくは99重量%以下、より好ましくは95重量%以下、更に好ましくは90重量%以下である。
上記接続材料が導電性粒子を含まない場合に、上記接続材料100重量%中、硬化性化合物の合計の含有量は、好ましくは60重量%以上、より好ましくは65重量%以上、好ましくは99重量%以下、より好ましくは95重量%以下である。
上記接続材料が導電性粒子を含む場合に、上記接続材料の導電性粒子を除く全成分100重量%中、上記フェノールノボラック型エポキシ樹脂と上記エポキシモノマーとの合計の含有量は、好ましくは50重量%以上、より好ましくは55重量%以上、好ましくは99重量%以下、より好ましくは95重量%以下、更に好ましくは90重量%以下、特に好ましくは85重量%以下である。
上記接続材料が導電性粒子を含まない場合に、上記接続材料100重量%中、上記フェノールノボラック型エポキシ樹脂と上記エポキシモノマーとの合計の含有量は、好ましくは55重量%以上、より好ましくは60重量%以上、好ましくは99重量%以下、より好ましくは95重量%以下、更に好ましくは90重量%以下である。
上記フェノールノボラック型エポキシ樹脂と上記エポキシモノマーとの合計100重量%中、上記フェノールノボラック型エポキシ樹脂の含有量が20重量%以上、70重量%以下であり、かつ上記エポキシモノマーの含有量が30重量%以上、80重量%以下であることが好ましく、上記フェノールノボラック型エポキシ樹脂の含有量が40重量%以上、70重量%以下であり、かつ上記エポキシモノマーの含有量が30重量%以上、60重量%以下であることがより好ましい。上記フェノールノボラック型エポキシ樹脂の含有量が相対的に多くなると、硬化物の耐熱性及び接続構造体の高温高湿下での接続信頼性がより一層高くなる傾向がある。上記エポキシモノマーの含有量が相対的に多くなると、接続材料の速硬化性がより一層良好になる傾向がある。また、上記フェノールノボラック型エポキシ樹脂と上記エポキシモノマーが上述した好ましい含有量の範囲で用いられていると、上記MI値を満足することが容易である。
[酸発生剤]
上記接続材料に含まれている酸発生剤は、光の照射によりカチオンを発生することが好ましい。上記酸発生剤としては、ヨードニウムホスフェート錯体、ヨードニウムボレート錯体、ヨードニウムアンチモン錯体、スルホニウムホスフェート錯体、スルホニウムボレート錯体及びスルホニウムアンチモン錯体等が挙げられる。なかでも、上記酸発生剤は、スルホニウムボレート錯体又はスルホニウムアンチモン錯体であることが好ましい。上記酸発生剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。上記接続材料は、上記酸発生剤として、スルホニウムボレート錯体及びスルホニウムアンチモン錯体の内の一方のみを含んでいてもよく、スルホニウムボレート錯体とスルホニウムアンチモン錯体との双方を含んでいてもよい。
接続材料の速硬化性と金属の腐食の抑制効果とをより一層高いレベルで両立する観点からは、上記酸発生剤は、スルホニウムボレート錯体であることが好ましい。
上記酸発生剤のアニオンとしては、ボレートアニオン、アンチモンアニオン及びホスフェートアニオン等が挙げられる。本発明では、ボレートアニオン及びアンチモンアニオンが好ましい。酸発生剤におけるアニオンとしては、PF 、BF 、B(C 及びSbF が挙げられる。BF 、B(C 、又はSbF が好ましく、BF 、又はB(C がより好ましく、B(C が更に好ましい。
酸発生剤におけるカチオンとしては、スルホニウムカチオン及びヨードニウムカチオン等が挙げられる。本発明では、スルホニウムカチオンが好ましい。上記スルホニウムボレート錯体及びスルホニウムアンチモン錯体はそれぞれ、スルホニウムカチオンを有する。上記スルホニウムカチオンは、芳香族骨格を有することが好ましく、芳香族スルホニウムカチオンであることが好ましい。
上記スルホニウムカチオンは特に限定されないが、下記式(11)で表されるスルホニウムカチオンであることが好ましい。下記式(11)で表されるスルホニウムカチオンを含む酸発生剤を用いれば、接続材料の速硬化性と金属の腐食の抑制効果との双方とをより一層高いレベルで両立できる。なお、下記式(11)において、ベンゼン環に結合するR3の結合部位は特に限定されない。但し、硫黄原子に対して、R3はベンゼン環のパラ位に結合していることが好ましい。
Figure 2015048457
上記式(11)中、R1及びR2はそれぞれ炭素数1〜10のアルキル基、アリール基又はアラルキル基であり、R3は水酸基又は炭素数1〜10の有機基である。R3における有機基は、硫黄原子を含んでいてもよい。R3における有機基は、炭素原子と水素原子とのみを含むか、又は炭素原子と水素原子と硫黄原子とのみを含むことが好ましい。
上記硬化性化合物の合計100重量部に対して、上記酸発生剤の含有量は好ましくは0.1重量部以上、より好ましくは0.2重量部以上、好ましくは8重量部以下、より好ましくは6重量部以下である。上記フェノールノボラック型エポキシ樹脂と上記エポキシモノマーとの合計100重量部に対して、上記酸発生剤の含有量は好ましくは0.1重量部以上、より好ましくは0.2重量部以上、好ましくは8重量部以下、より好ましくは6重量部以下である。上記酸発生剤の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、接続材料を適度に硬化させることができる。また、接続材料に光を照射することで、接続材料を良好に光硬化させることができる。
[導電性粒子]
上記接続材料は、導電性粒子を含むことが好ましい。導電性粒子を含む接続材料は、導電接続材料であることが好ましい。上記導電性粒子は、導電性の表面に導電部を有していればよい。該導電部は導電層であることが好ましい。
図4に、導電性粒子の一例を断面図で示す。導電性粒子31は、基材粒子32と、基材粒子32の表面上に配置された導電層33とを備えていてもよい。導電性粒子は、全体が導電部である金属粒子であってもよい。なかでも、コストを低減したり、導電性粒子の柔軟性を高くして、電極間の導通信頼性を高めたりする観点からは、基材粒子と、基材粒子の表面上に配置された導電層とを有する導電性粒子が好ましい。
上記基材粒子としては、樹脂粒子、金属粒子を除く無機粒子、有機無機ハイブリッド粒子及び金属粒子等が挙げられる。上記基材粒子は、金属粒子を除く基材粒子であることが好ましく、樹脂粒子、金属粒子を除く無機粒子又は有機無機ハイブリッド粒子であることが好ましい。
上記基材粒子は、樹脂により形成された樹脂粒子であることが好ましい。導電性粒子を用いて電極間を接続する際には、導電性粒子を電極間に配置した後、圧着することにより導電性粒子を圧縮させる。基材粒子が樹脂粒子であると、上記圧着の際に導電性粒子が変形しやすく、導電性粒子と電極との接触面積が大きくなる。このため、電極間の導通信頼性がより一層高くなる。
上記樹脂粒子を形成するための樹脂としては、例えば、ポリオレフィン樹脂、アクリル樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、尿素樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、飽和ポリエステル樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリスルホン、ポリフェニレンオキサイド、ポリアセタール、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、ジビニルベンゼン重合体、並びにジビニルベンゼン系共重合体等が挙げられる。上記ジビニルベンゼン系共重合体等としては、ジビニルベンゼン−スチレン共重合体及びジビニルベンゼン−(メタ)アクリル酸エステル共重合体等が挙げられる。上記樹脂粒子の硬度を好適な範囲に容易に制御できるので、上記樹脂粒子を形成するための樹脂は、エチレン性不飽和基を有する重合性単量体を1種又は2種以上重合させた重合体であることが好ましい。
上記無機粒子を形成するための無機物としては、シリカ及びカーボンブラック等が挙げられる。上記有機無機ハイブリッド粒子としては、例えば、架橋したアルコキシシリルポリマーとアクリル樹脂とにより形成された有機無機ハイブリッド粒子等が挙げられる。
上記基材粒子が金属粒子である場合に、該金属粒子を形成するための金属としては、銀、銅、ニッケル、ケイ素、金及びチタン等が挙げられる。
上記導電部を形成するための金属は特に限定されない。さらに、導電性粒子が、全体が導電部である金属粒子である場合、該金属粒子を形成するための金属は特に限定されない。該金属としては、例えば、金、銀、パラジウム、銅、白金、亜鉛、鉄、錫、鉛、アルミニウム、コバルト、インジウム、ニッケル、クロム、チタン、アンチモン、ビスマス、タリウム、ゲルマニウム、カドミウム、ケイ素及びこれらの合金等が挙げられる。また、上記金属としては、錫ドープ酸化インジウム(ITO)及びはんだ等が挙げられる。なかでも、電極間の接続抵抗がより一層低くなるので、錫を含む合金、ニッケル、パラジウム、銅又は金が好ましく、ニッケル又はパラジウムが好ましい。
上記導電層は、1つの層により形成されていてもよい。導電層は、複数の層により形成されていてもよい。すなわち、導電層は、2層以上の積層構造を有していてもよい。導電層が複数の層により形成されている場合には、最外層は、金層、ニッケル層、パラジウム層、銅層又は錫と銀とを含む合金層であることが好ましく、金層であることがより好ましい。最外層がこれらの好ましい導電層である場合には、電極間の接続抵抗がより一層低くなる。また、最外層が金層である場合には、耐腐食性がより一層高くなる。
上記基材粒子の表面に導電層を形成する方法は特に限定されない。導電層を形成する方法としては、例えば、無電解めっきによる方法、電気めっきによる方法、物理的蒸着による方法、並びに金属粉末もしくは金属粉末とバインダーとを含むペーストを基材粒子の表面にコーティングする方法等が挙げられる。なかでも、導電層の形成が簡便であるので、無電解めっきによる方法が好ましい。上記物理的蒸着による方法としては、真空蒸着、イオンプレーティング及びイオンスパッタリング等の方法が挙げられる。
上記導電性粒子の平均粒子径は、好ましくは0.5μm以上、より好ましくは1μm以上、好ましくは500μm以下、より好ましくは100μm以下、更に好ましくは80μm以下、特に好ましくは70μm以下である。導電性粒子の平均粒子径が上記下限以上及び上記上限以下であると、導電性粒子を用いて電極間を接続した場合に、導電性粒子と電極との接触面積が充分に大きくなり、かつ導電層を形成する際に凝集した導電性粒子が形成されにくくなる。また、導電性粒子を介して接続された電極間の間隔が大きくなりすぎず、かつ導電層が基材粒子の表面から剥離し難くなる。
上記導電性粒子の「平均粒子径」は、数平均粒子径を示す。導電性粒子の平均粒子径は、任意の導電性粒子50個を電子顕微鏡又は光学顕微鏡にて観察し、平均値を算出することにより求められる。
上記導電層の厚みは、好ましくは0.005μm以上、より好ましくは0.01μm以上、好ましくは10μm以下、より好ましくは1μm以下、更に好ましくは0.3μm以下である。導電層の厚みが上記下限以上及び上記上限以下であると、充分な導電性が得られ、かつ導電性粒子が硬くなりすぎずに、電極間の接続の際に導電性粒子が充分に変形する。
上記導電層が複数の層により形成されている場合に、最外層の導電層の厚みは、特に最外層が金層である場合の金層の厚みは、好ましくは0.001μm以上、より好ましくは0.01μm以上、好ましくは0.5μm以下、より好ましくは0.1μm以下である。上記最外層の導電層の厚みが上記下限以上及び上記上限以下であると、最外層の導電層による被覆が均一になり、耐腐食性が充分に高くなり、かつ電極間の接続抵抗が充分に低くなる。また、上記最外層が金層である場合の金層の厚みが薄いほど、コストが低くなる。
上記導電層の厚みは、例えば透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて、導電性粒子又は導電性粒子の断面を観察することにより測定できる。
電極と導電性粒子との接触面積を大きくし、電極間の導通信頼性をより一層高める観点からは、上記導電性粒子は、基材粒子と、該基材粒子の表面上に配置された導電層(第1の導電層)とを有することが好ましい。
上記導電性粒子の含有量は特に限定されない。上記接続材料100重量%中、上記導電性粒子の含有量は、好ましくは0.1重量%以上、より好ましくは0.5重量%以上、更に好ましくは1重量%以上、好ましくは40重量%以下、より好ましくは30重量%以下、更に好ましくは19重量%以下である。上記導電性粒子の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、接続されるべき上下の電極間に導電性粒子を容易に配置できる。さらに、接続されてはならない隣接する電極間が複数の導電性粒子を介して電気的に接続され難くなる。すなわち、隣り合う電極間の短絡をより一層防止できる。
[他の成分]
本発明に係る接続材料は、上述した各成分の他に、充填剤、増量剤、軟化剤、可塑剤、着色剤、酸化防止剤、熱安定剤、光安定剤、紫外線吸収剤、滑剤、帯電防止剤及び難燃剤等の各種添加剤を含んでいてもよい。
本発明に係る接続材料は、シランカップリング剤を含んでいてもよい。上記シランカップリング剤は、接続材料の接着性を向上させる役割を有する。
上記シランカップリング剤としては、具体的には例えば、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、及びγ−イソシアネートプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。これらのシランカップリング剤は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
上記シランカップリング剤は、窒素原子を有さないことが好ましく、硫黄原子を有さないことが好ましく、窒素原子及び硫黄原子の双方を有さないことが好ましい。窒素原子及び硫黄原子を有さないシランカップリング剤の使用により、接続材料の速硬化性をより一層高めることができる。
上記硬化性化合物の合計100重量部に対して、上記シランカップリング剤の含有量は好ましくは0.5重量部以上、好ましくは5重量部以下である。上記フェノールノボラック型エポキシ樹脂と上記エポキシモノマーとの合計100重量部に対して、上記シランカップリング剤の含有量は好ましくは0.5重量部以上、好ましくは5重量部以下である。上記シランカップリング剤の含有量が上記下限以上であると、接続部の接着性がより一層高くなる。上記シランカップリング剤の含有量が上記上限以下であると、余剰のシランカップリング剤のブリードアウトを抑え、更に接続材料の速硬化性がより一層高められる。
本発明に係る接続材料は、硬化遅延剤を含んでいてもよい。上記硬化遅延剤の使用により、接続材料の貯蔵安定性を向上させることができる。
上記硬化遅延剤は特に限定されず、ポリエーテル化合物等が挙げられる。上記ポリエーテル化合物は特に限定されず、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、クラウンエーテル化合物等が挙げられる。なかでも、クラウンエーテル化合物が好適である。
上記クラウンエーテル化合物は特に限定されず、例えば、12−クラウン−4、15−クラウン−5、18−クラウン−6、24−クラウン−8、及び、下記式(31)で表される構造を有する化合物等が挙げられる。
Figure 2015048457
上記式(31)中、R1〜R12はそれぞれ、水素原子又は炭素数1〜20の置換又は無置換アルキル基を表す。但し、R1〜R12の内の少なくとも1つは炭素数1〜20のアルキル基を表す。上記置換又は無置換アルキル基は、炭素数1〜20のアルコキシル基、ハロゲン原子、水酸基、カルボキシル基、及び、炭素数1〜20のカルボン酸アルキルエステル基からなる群より選択される1以上の官能基で置換されていてもよく、更に、隣接するRn及びRn+1(但し、nは、1〜12の偶数を表す)は、共同して環状アルキル骨格を形成していてもよい。上記炭素数1〜20のアルコキシル基は、直鎖状であってもよく、分枝状であってもよい。
上記式(31)で表される化合物のなかでも、少なくとも1つのシクロヘキシル基を有する化合物が好適である。上記シクロヘキシル基の存在により、クラウンエーテルの骨格が安定し、遅延効果が高まる。
シクロヘキシル基を有し、かつ上記式(31)で表される化合物としては、具体的には下記式(31A)で表される化合物が挙げられる。
Figure 2015048457
上記式(31A)で表される化合物は、18−クラウン−6−エーテル分子の中央を通る線に対して線対称となる位置に2個のシクロヘキシル基を有する。このため、18−クラウン−6−エーテル分子の骨格に歪み等を生じさせることなく、遅延効果が高くなると考えられる。
上記硬化性化合物の合計100重量部に対して、上記硬化遅延剤の含有量は好ましくは0.01重量部以上、より好ましくは0.05重量部以上、好ましくは5重量部以下、より好ましくは3重量部以下である。上記フェノールノボラック型エポキシ樹脂と上記エポキシモノマーとの合計100重量部に対して、上記硬化遅延剤の含有量は好ましくは0.01重量部以上、より好ましくは0.05重量部以上、好ましくは5重量部以下、より好ましくは3重量部以下である。上記硬化遅延剤の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、接続材料の貯蔵安定性がより一層高くなり、かつ接続材料の硬化速度がより一層適度になる。
(接続構造体及び接続構造体の製造方法)
本発明に係る接続構造体は、第1の接続対象部材と、第2の接続対象部材と、接続部とを備える。上記第1の接続対象部材は、第1の電極を表面に有する。上記第2の接続対象部材は、第2の電極を表面に有する。上記接続部は、上記第1の接続対象部材と上記第2の接続対象部材とを接続している。上記接続部は、上述した接続材料により形成されている。上記接続構造体では、上記第1の電極と上記第2の電極とが電気的に接続されている。
本発明に係る接続構造体の製造方法は、上記第1の接続対象部材の表面上に、上述した接続材料を用いて、接続材料層を形成する工程と、上記接続材料層の上記第1の接続対象部材側とは反対の表面上に、上記第2の接続対象部材を配置して、仮圧着を行うことで、上記第1の接続対象部材と上記接続材料層と上記第2の接続対象部材とが仮圧着された積層体を得る工程と、上記積層体の本圧着を行い、上記接続材料層を加熱して硬化させて接続部を形成して、上記第1の接続対象部材と上記第2の接続対象部材とが上記接続部により接続されており、かつ、上記第1の電極と上記第2の電極とが電気的に接続されている接続構造体を得る工程とを備える。
本発明に係る接続構造体の製造方法では、本圧着時に、又は本圧着後の上記接合材料層の硬化が完了する前に、上記接合材料層に光を照射することがより好ましい。
図1に、本発明の一実施形態に係る接続構造体を模式的に断面図で示す。
図1に示す接続構造体1は、第1の接続対象部材2と、第2の接続対象部材4と、第1の接続対象部材2と第2の接続対象部材4とを接続している接続部3とを備える。接続部
3は、上述した接続材料により形成されている。接続構造体1は、液晶表示素子である。第1の接続対象部材2は基板である。第2の接続対象部材4は、半導体チップである。
第1の接続対象部材2は表面(上面)に、複数の第1の電極2aを有する。第2の接続対象部材4は表面(下面)に、複数の第2の電極4aを有する。第1の電極2aと第2の電極4aとが、1つ又は複数の導電性粒子5により電気的に接続されている。
図2に、本発明の他の実施形態に係る接続構造体を模式的に断面図で示す。
図2に示す接続構造体11は、第1の接続対象部材12と、第2の接続対象部材14と、第1の接続対象部材12と第2の接続対象部材14とを接続している接続部13とを備える。接続部13は、上述した接続材料により形成されている。接続構造体11は、液晶表示素子である。第1の接続対象部材12は基板である。第2の接続対象部材14は、半導体チップである。
第1の接続対象部材12は表面(上面)に、複数の第1の電極12aを有する。第2の接続対象部材14は表面(下面)に、複数の第2の電極14aを有する。第1の電極12aと第2の電極14aとが、直接接することで、電気的に接続されている。
電極幅(第1の電極幅及び第2の電極幅)は、好ましくは5μm以上、より好ましくは10μm以上、好ましくは3000μm以下、より好ましくは2000μm以下である。電極間幅(第1の電極間幅及び第2の電極間幅)は、好ましくは3μm以上、より好ましくは10μm以上、好ましくは3000μm以下、より好ましくは2000μm以下である。また、電極幅/電極間幅であるL/S(ライン/スペース)は、好ましくは5μm/5μm以上、より好ましくは10μm/10μm以上、好ましくは3000μm/3000μm以下、より好ましくは2000μm/2000μm以下である。
図1に示す接続構造体1は、例えば、図3(a)〜(c)に示す各工程を経て、以下のようにして得ることができる。
図3(a)に示すように、第1の電極2aを表面に有する第1の接続対象部材2を用意する。次に、第1の接続対象部材2の表面上に、複数の導電性粒子5(図示せず)を含む接続材料を用いて、接続材料層3Aを配置する(第1の工程)。このとき、第1の電極2a上に、1つ又は複数の導電性粒子5が配置されていることが好ましい。ここでは、ディスペンサー21を用いて、接続材料を塗布している。
上記第1の工程において、ディスペンサーを用いて、接続材料を塗布することが好ましい。ディスペンサーによる塗布では、接続材料を所定の領域に高精度に配置することができる。
次に、接続材料層3Aの第1の接続対象部材2側とは反対の表面上に、第2の電極4aを表面に有する第2の接続対象部材4を配置して、仮圧着を行う。このとき、第1の電極2aと第2の電極4aとを対向させる。図3(b)に示すように、第1の接続対象部材2と接続材料層3Aと第2の接続対象部材4とが仮圧着された積層体1Xを得る(第2の工程)。ここでは、仮圧着を行うために、仮圧着部材22を降下させている。
上記第2の工程において、仮圧着時の圧力は、好ましくは0.1MPa以上、より好ましくは0.3MPa以上、好ましくは5MPa以下、より好ましくは3MPa以下である。上記仮圧着時の圧力が上記下限以上及び上記上限以下であると、良好に仮圧着された積層体が得られる。
上記第2の工程において、仮圧着時の温度は、好ましくは30℃以上、より好ましくは40℃以上、好ましくは150℃以下、より好ましくは120℃以下である。上記仮圧着時の温度が上記下限以上及び上記上限以下であると、良好に仮圧着された積層体が得られる。
次に、積層体1Xを加熱し、本圧着を行うことで、かつ、本圧着時に又は本圧着後の接続材料層3Aの硬化が完了する前に、接続材料層3Aに光を照射することで、接続材料層3Aを硬化させて接続部3を形成する。図3(c)に示すように、第1の接続対象部材2と接続部3と第2の接続対象部材4とが本圧着された接続構造体1を得る(第3の工程)。ここでは、本圧着を行うために、本圧着部材23を降下させている。また、第1の接続対象部材2の下方から、上方にむけて、光照射装置24から接続材料層3Aに光を照射し、接続部3を形成している。第1の接続対象部材2は透明基板であることが好ましく、ガラス基板であることが好ましい。
上記第3の工程において、上記積層体を、接続材料層の温度が圧着前よりも高くなるように、上記積層体を加熱することが好ましい。すなわち、上記第3の工程においては、本圧着時に、上記積層体を必ず加熱することが好ましい。接続材料層の温度が本圧着前よりも5℃以上高くなるように、上記積層体を加熱することが好ましく、接続材料層の温度が本圧着前よりも10℃以上高くなるように、上記積層体を加熱することがより好ましい。上記加熱温度が高いほど、接続材料が十分に硬化し、各層間の接着力がより一層高くなる。
上記第3の工程において、上記積層体を加熱する際の加熱温度は、好ましくは120℃以下、より好ましくは100℃以下、より一層好ましくは90℃以下、更に好ましくは80℃以下、特に好ましくは70℃以下、最も好ましくは60℃以下である。加熱温度が低いほど、接続構造体の反り及び熱劣化がより一層抑えられる。上記接続材料層を120℃を超える温度に加熱せずに、120℃以下の温度に加熱して硬化させることが特に好ましい。上記接続材料層を100℃を超える温度に加熱せずに、100℃以下の温度に加熱して硬化させることが最も好ましい。
上記第3の工程において、加熱時間は好ましくは1秒以上、より好ましくは3秒以上、好ましくは20秒以下、より好ましくは10秒以下である。上記加熱時間が上記下限以上であると、接続材料層が十分に硬化する。上記加熱時間が上記上限以下であると、接続構造体の反り及び熱劣化がより一層抑えられる。
上記第3の工程において、本圧着時の圧力は半導体チップの電極面積あたり、好ましくは1MPa以上、より好ましくは5MPa以上、好ましくは100MPa以下、より好ましくは80MPa以下である。上記本圧着時の圧力が上記下限以上及び上記上限以下であると、良好に本圧着された液晶表示素子が得られる。また、接続材料が導電性粒子を含む場合には、本圧着時の加圧によって第1の電極と第2の電極とで導電性粒子を圧縮することにより、第1,第2の電極と導電性粒子との接触面積が大きくなる。このため、導通信頼性が高くなる。導電性粒子を圧縮することで、第1,第2の電極間の距離が拡がっても、この拡がりに追従するように導電性粒子の粒子径が大きくなる。
上記第3の工程において、光の照射は、本圧着時に行われてもよく、本圧着後の接続材料層3Aの硬化が完了する前に行われてもよい。例えば、基板の接続材料層とは反対の表面側から、接続材料層に光を照射することで、基板を透過した光を接続材料層に導くことができる。
上記接続材料層の光硬化を効果的に進行させるために、光を照射する際の積算光量は好ましくは50mJ/cm以上、より好ましくは100mJ/cm以上、好ましくは100000mJ/cm以下、より好ましくは50000J/cm以下である。積算光量が上記下限以上及び上記上限以下であると、接続材料層がより一層効率的に硬化する。
光を照射する際に用いる光源は特に限定されない。該光源としては、例えば、波長420nm以下に充分な発光分布を有する光源等が挙げられる。また、光源の具体例としては、例えば、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ケミカルランプ、ブラックライトランプ、マイクロウェーブ励起水銀灯、メタルハライドランプ及びLEDランプ等が挙げられる。
上記第1,第2の接続対象部材は、特に限定されない。上記第1,第2の接続対象部材としては、具体的には、半導体チップ、コンデンサ及びダイオード等の電子部品、並びにプリント基板、フレキシブルプリント基板、ガラスエポキシ基板及びガラス基板等の回路基板などの電子部品等が挙げられる。上記導電材料は、電子部品の接続に用いられる導電材料であることが好ましい。上記導電材料は、電極間の電気的な接続に用いられる導電材料であることが好ましい。上記導電材料は、液状であって、かつ液状の状態で接続対象部材の上面に塗工される導電材料であることが好ましい。
上記接続対象部材に設けられている電極としては、金電極、ニッケル電極、錫電極、アルミニウム電極、銅電極、モリブデン電極及びタングステン電極等の金属電極が挙げられる。上記接続対象部材がフレキシブルプリント基板である場合には、上記電極は金電極、ニッケル電極、錫電極又は銅電極であることが好ましい。上記接続対象部材がガラス基板である場合には、上記電極はアルミニウム電極、銅電極、モリブデン電極又はタングステン電極であることが好ましい。なお、上記電極がアルミニウム電極である場合には、アルミニウムのみで形成された電極であってもよく、アルミニウム層の表面に金属酸化物層が積層された電極であってもよい。上記金属酸化物層の材料としては、3価の金属元素がドープされた酸化インジウム及び3価の金属元素がドープされた酸化亜鉛等が挙げられる。上記3価の金属元素としては、Sn、Al及びGa等が挙げられる。
上記接続材料は低温で速やかに硬化させることができるので、上記第1の接続対象部材が基板であり、上記第2の接続対象部材が半導体チップであることが好ましく、上記接続構造体が液晶表示素子であることが好ましい。
以下、実施例及び比較例を挙げて、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例のみに限定されない。
(ポリマー)
フェノールノボラック型エポキシ樹脂A(DIC社製「EPICLON N−730A」、重量平均分子量1000)
フェノールノボラック型エポキシ樹脂B(DIC社製「EPICLON N−740」、重量平均分子量1530)
フェノールノボラック型エポキシ樹脂C(DIC社製「EPICLON N−770」、重量平均分子量14000)
フェノールノボラック型エポキシ樹脂D(DIC社製「EPICLON N−775」、重量平均分子量18000)
(モノマー)
エポキシモノマーA(ビスフェノールF型エポキシモノマー、DIC社製「EXA−830CRP」)
エポキシモノマーB(ビスフェノールA型エポキシモノマー、DIC社製「EXA−850CRP」)
エポキシモノマーC(ビスフェノールE型エポキシモノマー、プリンテック社製「エポX−R1710」)
(酸発生剤)
酸発生剤A(下記式(21X)で表される酸発生剤)
Figure 2015048457
酸発生剤B(下記式(21Y)で表される酸発生剤)
Figure 2015048457
(導電性粒子)
導電性粒子A(ジビニルベンゼン樹脂粒子の表面を厚みが0.08μmであるニッケル層により被覆した導電性粒子、平均粒子径3μm)
(他の成分)
シランカップリング剤A(3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、信越化学工業社製「KBM−403」)
(実施例1)
接続材料の調製:
フェノールノボラック型エポキシ樹脂C(DIC社製「EPICLON N−770」、重量平均分子量14000)50重量部と、エポキシモノマーA(ビスフェノールF型エポキシモノマー、DIC社製「EXA−830CRP」)50重量部と、酸発生剤A(上記式(21X)で表される酸発生剤)4重量部と、シランカップリング剤A(3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、信越化学工業社製「KBM−403」)1重量部とを添加し、遊星式攪拌機を用いて2000rpmで5分間攪拌することにより、接続材料を得た。
接続構造体の作製:
L/Sが20μm/20μm、電極数998個のMo/Al/Mo電極パターンが上面に形成されたガラス基板(厚み300μm)を用意した。また、L/Sが20μm/20μm、電極数998個、バンプ高さ15μmの金電極パターンを下面に有する半導体チップ(18mm×1.1mm)を用意した。
上記ガラス基板上に、作製直後の接続材料を幅2.3mm、厚さ30μmとなるようにディスペンサーを用いて塗工し、接続材料層を形成した。
次に、接続材料層上に上記半導体チップを、電極同士が互いに対向し、接続するように、100℃(仮圧着温度)で積層した。その後、接続材料層の温度が120℃(本圧着温度)となるように加熱ヘッドの温度を調整し、半導体チップの上面に加熱ヘッドを載せ、加熱ヘッドが半導体チップに載った直後、365nmの紫外線を光照射強度が200mW/cmとなるように10秒間照射し、接続材料を120℃で10秒間硬化させて接続部を形成して、接続構造体を得た。
(実施例2〜10及び比較例1〜4)
配合成分の種類及び配合量を下記の表1に示すように設定したこと以外は実施例1と同様にして、接続材料を得た。また、得られた接続材料を用いたこと以外は実施例1と同様にして、接続構造体を得た。
(評価)
(1)接続材料のメルトフローインデックス(MI)
得られた接続材料において、JIS K7210に準拠して、30℃及び荷重0.325kgfの条件でのメルトフローインデックス(MI(30℃))と、40℃及び荷重0.325kgfの条件でのメルトフローインデックス(MI(40℃))と、100℃及び荷重0kgfの条件でのメルトフローインデックス(MI(100℃))とを測定した。
(2)硬化物中のボイドの有無
得られた接続構造体を切断し、硬化物の20mmの領域の断面観察を行うことで、硬化物中のボイドの有無を評価した。硬化物中のボイドの有無を下記の基準で判定した。
[硬化物中のボイドの有無の判定基準]
○○:20mmの領域中にボイドがない
○:20mmの領域中にボイドがあるが、最大径が10μm以上のボイドがない
△:20mmの領域中にボイドがあり、最大径が10μm以上のボイドが5個以下
×:20mmの領域中にボイドがあり、最大径が10μmm以上のボイドが5個を超える
(3)接続構造体の反り
得られた接続構造体の半導体チップの反り量を、形状測定レーザマイクロスコープ(キーエンス社製「VK−X200シリーズ」)を用いて測定した。なお、半導体チップの末端から中央部の最大高さまでの変位を、反り量の値とした。
(4)導通信頼性(接続抵抗値)
得られた接続構造体の上下の電極間の接続抵抗をそれぞれ、4端子法により測定した。30箇所の接続抵抗の平均値を算出した。なお、電圧=電流×抵抗の関係から、一定の電流を流した時の電圧を測定することにより接続抵抗を求めることができる。得られた接続構造体における電極間の導通信頼性を下記の基準で判定した。
[導通信頼性の判定基準]
○○:接続抵抗が1.5Ω未満
○:接続抵抗が1.5Ω以上、3Ω未満
△:接続抵抗が3Ω以上、5Ω未満
×:接続抵抗が5Ω以上
(5)接続信頼性
得られた接続構造体を85℃及び相対湿度85%の条件で500時間放置した。放置後の接続抵抗を、上記(4)導通信頼性の評価と同様にして測定した。接続信頼性を下記の基準で判定した。なお、接続信頼性が低い接続構造体では、電極と導電性粒子との間に、樹脂等が挟み込まれていたり、硬化物中にボイドが発生したりしていることを確認した。
[接続信頼性の判定基準]
○○:接続抵抗が3Ω未満
○:接続抵抗が3Ω以上、5Ω未満
△:接続抵抗が5Ω以上、10Ω未満
×:接続抵抗が10Ω以上
接続材料の組成及び結果を下記の表1,2に示す。
Figure 2015048457
Figure 2015048457
1,11…接続構造体
1X…積層体
2,12…第1の接続対象部材
2a,12a…第1の電極
3,13…接続部
3A…接続材料層
4,14…第2の接続対象部材
4a,14a…第2の電極
5…導電性粒子
21…ディスペンサー
22…仮圧着部材
23…本圧着部材
24…光照射装置
31…導電性粒子
32…基材粒子
33…導電層

Claims (10)

  1. 硬化性化合物と酸発生剤とを含み、
    JIS K7210に準拠して、30℃及び荷重0.325kgfの条件で測定されるメルトフローインデックスが1g/10分以上、10g/10分以下であり、
    JIS K7210に準拠して、40℃及び荷重0.325kgfの条件で測定されるメルトフローインデックスが30g/10分以上、70g/10分以下であり、
    JIS K7210に準拠して、100℃及び荷重0kgfの条件で測定されるメルトフローインデックスが120g/10分以上、300g/10分以下である、接続材料。
  2. 前記硬化性化合物として、フェノールノボラック型エポキシ樹脂とエポキシモノマーとを含む、請求項1に記載の接続材料。
  3. 前記フェノールノボラック型エポキシ樹脂と前記エポキシモノマーとの合計100重量%中、前記フェノールノボラック型エポキシ樹脂の含有量が40重量%以上、70重量%以下であり、かつ前記エポキシモノマーの含有量が30重量%以上、60重量%以下である、請求項2に記載の接続材料。
  4. 導電性粒子を含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の接続材料。
  5. 第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材と、
    第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材と、
    前記第1の接続対象部材と前記第2の接続対象部材とを接続している接続部とを備え、
    前記接続部が、請求項1〜4のいずれか1項に記載の接続材料により形成されており、
    前記第1の電極と前記第2の電極とが電気的に接続されている、接続構造体。
  6. 前記第1の接続対象部材が基板であり、
    前記第2の接続対象部材が半導体チップであり、
    液晶表示素子である、請求項5に記載の接続構造体。
  7. 第1の電極を表面に有する第1の接続対象部材の表面上に、請求項1〜4のいずれか1項に記載の接続材料を用いて、接続材料層を形成する工程と、
    前記接続材料層の前記第1の接続対象部材側とは反対の表面上に、第2の電極を表面に有する第2の接続対象部材を配置して、仮圧着を行うことで、前記第1の接続対象部材と前記接続材料層と前記第2の接続対象部材とが仮圧着された積層体を得る工程と、
    前記積層体の本圧着を行い、前記接続材料層を加熱して硬化させて接続部を形成して、前記第1の接続対象部材と前記第2の接続対象部材とが前記接続部により接続されており、かつ、前記第1の電極と前記第2の電極とが電気的に接続されている接続構造体を得る工程とを備える、接続構造体の製造方法。
  8. 本圧着時に、又は本圧着後の前記接続材料層の硬化が完了する前に、前記接続材料層に光を照射する、請求項7に記載の接続構造体の製造方法。
  9. 前記接続材料層を120℃を超える温度に加熱せずに、120℃以下の温度に加熱して硬化させる、請求項7又は8に記載の接続構造体の製造方法。
  10. 前記第1の接続対象部材として基板を用い、
    前記第2の接続対象部材として半導体チップを用い、
    前記接続構造体として液晶表示素子を得る、請求項7〜9のいずれか1項に記載の接続構造体の製造方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2016158522A1 (ja) * 2015-03-27 2016-10-06 株式会社Adeka 組成物
CN107075082A (zh) * 2015-03-27 2017-08-18 株式会社艾迪科 组合物
JPWO2016158522A1 (ja) * 2015-03-27 2018-01-18 株式会社Adeka 組成物
CN107075082B (zh) * 2015-03-27 2020-10-30 株式会社艾迪科 组合物

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