JP2015046211A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】高速、且つ、高精度な読み出し動作を行うデータ線制御回路を、簡易な構成で実現する。
【解決手段】半導体装置1は、抵抗変化型メモリ素子2と、該抵抗変化型メモリ素子と電気的に接続されるデータ線3と、制御線4と、電源供給線5と、第1の定電流素子I1、第1のトランジスタP1、及び第2のトランジスタN1を含む制御回路6と、を備える。この制御回路において、第1のトランジスタのゲートがデータ線に、第1のトランジスタのソース及びドレインの一方が第1の定電流素子に、第1のトランジスタのソース及びドレインの他方が電源供給線に、夫々接続され、第2のトランジスタのゲートが第1のトランジスタのソース及びドレインの一方に、第2のトランジスタのソース及びドレインの一方がデータ線に、第2のトランジスタのソース及びドレインの他方が制御線に、夫々接続される。
【選択図】図1
【解決手段】半導体装置1は、抵抗変化型メモリ素子2と、該抵抗変化型メモリ素子と電気的に接続されるデータ線3と、制御線4と、電源供給線5と、第1の定電流素子I1、第1のトランジスタP1、及び第2のトランジスタN1を含む制御回路6と、を備える。この制御回路において、第1のトランジスタのゲートがデータ線に、第1のトランジスタのソース及びドレインの一方が第1の定電流素子に、第1のトランジスタのソース及びドレインの他方が電源供給線に、夫々接続され、第2のトランジスタのゲートが第1のトランジスタのソース及びドレインの一方に、第2のトランジスタのソース及びドレインの一方がデータ線に、第2のトランジスタのソース及びドレインの他方が制御線に、夫々接続される。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置に関する。特に、本発明は、抵抗を変化させてデータを記憶する抵抗変化型素子を用いた半導体装置における、読出し回路に関する。
抵抗変化型素子を用いた半導体装置の代表的なものとして、ReRAM(Resistive Random Access Memory;抵抗変化メモリ)、PRAM(Phase Change Memory;相変化メモリ)、STT−RAM(Spin Torque Transfer Random Access Memory;スピン注入磁化反転メモリ)、などが研究、開発されている。ReRAMのメモリ素子特性は特許文献2の図13に、PRAMのメモリ素子特性は特許文献1の図17、図18に、STT−RAMのメモリ素子特性は特許文献3の図4に、それぞれ記載されている。
抵抗変化型素子を有するメモリセルの書込み動作は、書込み電圧を抵抗変化型素子の両端子間に印加して電流を流すか、又は電界をかけることで行われ、書込み電圧の大小、又は書込み電圧の極性により抵抗変化型素子の抵抗値を変化させる。一方、該メモリセルの読出し動作は、抵抗変化型素子の両端子間に書込み動作時よりも小さな読出し電圧を印加し、そのとき流れる電流値の大小で抵抗変化型素子が低抵抗か高抵抗かを判定することで行われる。このときの読出し電圧は、データが書き替わらず、且つ抵抗変化型素子の抵抗値が変化しない程度の小さな電圧に制限する必要がある。
以下の分析は、本発明の観点から与えられる。
図3〜図4は本発明の実施形態を示す図であるが、図3〜図4を借りて、関連技術の半導体装置の問題点について説明する。ここで関連技術の半導体装置は、図3のデータ線制御回路6を図22に示す方式のデータ線制御回路に置き換えたものである。図3において、各データ線3は複数のマルチプレクサ7と接続している。メモリセルMCの読み出し時及び書き込み時は各データ線3に対して選択的に1台のマルチプレクサ7が活性化され、その結果、各データ線3には1本のビット線BLが電気的に接続される。データ線3の配線は、図3に示すように長く走るため、大きな寄生容量が付いている。
図4は、図3のメモリアレイ8の一部を示す回路図であり、ビット線BLとワード線WLの各交点には、それぞれメモリセルMCが配置されている。読み出し時には、ソースプレートSPにVSSを供給し、データ線3に読出しリファレンス信号VREADREFの電圧を供給することで、選択されたワード線WLと選択されたビット線BLの交点のメモリセルMCの抵抗変化型メモリ素子2の両端に読出しリファレンス信号VREADREFの電圧が印加される。
メモリセルMCの読み出し動作を高速に行うためには、以下に示す2つの要素が必要である。第1の要素は、データ線3を読出しリファレンス信号VREADREFの電圧に高速に充電することである。データ線3には大きな寄生容量が付いているので大きな電流ドライブ能力を有する電流ドライブ回路が必要になる。
第2の要素は、読出しリファレンス信号VREADREFの電圧を高く設定することにより大きな読出し電流を稼ぐことである。しかしながら、読出しリファレンス信号VREADREFの電圧は、読出し時に抵抗変化型メモリ素子2の抵抗値が変化しない程度に制限しなければならない。そのため、設定電圧VREADREFに対する誤差が小さくなるように充電を高精度に制御することで、設定電圧VREADREFを制限電圧の近くまで高くすることが望まれる。従って、上記の充電動作では、オーバーシュートがなく、且つ、抵抗変化型メモリ素子2の抵抗値に依存せずにデータ線3を設定電圧VREADREFまで充電することが求められる。
上述した第1及び第2の要素を実現するものとして、差動アンプを使ったフィードバック回路を有する読出し回路が広く使われている(特許文献3の図6、特許文献1の図11を参照)。また、差動アンプの具体的な回路としては、特許文献4の図44Bに記載された回路が一般的である。
図22(A)、(B)は、前述した特許文献に記載の公知技術により構成されたデータ線制御回路の回路図である。該データ線制御回路は、読出時データ線駆動回路243及び電流ドライブ回路35を含んで構成される。図22(B)は、図22(A)の差動アンプAMP3Vと電流ドライブ回路35の内部回路を詳細に示したものである。図22(A)において、読出時データ線駆動回路243は、差動アンプAMP3Vからなるフィードバック回路244と、NMOSトランジスタN1とにより構成される。データ線3は差動アンプAMP3Vの反転入力に接続され、読出しリファレンス信号VREADREFが接続された電源供給線が差動アンプの非反転入力に接続される。また、差動アンプAMP3Vの出力は、NMOSトランジスタN1のゲートに接続されている。
読み出し動作におけるデータ線3の充電時は、電流ドライブ節点4には電流ドライブ回路35によって高い電圧(例えば、VDD)が供給され、読出時データ線駆動回路243のフィードバック制御によりデータ線3が読出しリファレンス信号VREADREFの電圧に高速、且つ正確に充電される。
一方、高速なデータ出力を実現するには、一度の読み出し動作で同時に読み出すメモリセルMCの数を多くする必要がある。一旦、複数のメモリセルMCに対応するデータ線制御回路に読み出しデータがラッチされた後は、リードライトバスRWBS及びI/O回路107を介して高速なクロック周期で順次入出力端子DQに出力することができるが、メモリセルMCからの読み出し動作は比較的長い時間がかかるためである。
一度の読み出し動作で同時に読み出すメモリセルMCの数を多くするには、各マルチプレクサ7に接続するビット線BLの数を減らし、小さなピッチでより多い本数のデータ線3、及びより多い数のデータ線制御回路を配置する必要がある。即ち、データ線制御回路を、より小さなピッチで配列レイアウトする必要がある。しかしながら、図22に示す関連技術のデータ線制御回路の場合には、フィードバック回路244の差動アンプAMP3Vの回路構成が複雑で素子数が多いため(図22(B)参照)、小さなピッチでデータ線制御回路を配列レイアウトすることが困難であるという問題がある。
かくて、高速な読み出し動作を実現するため、小さなピッチで配列レイアウトすることが可能なデータ線制御回路の実現が期待される。
本発明の第1の視点による半導体装置は、抵抗変化型メモリ素子と、前記抵抗変化型メモリ素子と電気的に接続されるデータ線と、制御線と、電源供給線と、第1の定電流素子、第1のトランジスタ、及び第2のトランジスタを含む制御回路と、を備える。ここで、前記制御回路において、前記第1のトランジスタのゲートが前記データ線に、前記第1のトランジスタのソース及びドレインの一方が前記第1の定電流素子に、前記第1のトランジスタのソース及びドレインの他方が前記電源供給線に、夫々接続され、前記第2のトランジスタのゲートが前記第1のトランジスタのソース及びドレインの一方に、前記第2のトランジスタのソース及びドレインの一方が前記データ線に、前記第2のトランジスタのソース及びドレインの他方が前記制御線に、夫々接続される。
本発明の第2の視点による半導体装置は、抵抗変化型メモリ素子と、前記抵抗変化型メモリ素子と電気的に接続されるデータ線と、制御線と、前記データ線を入力し第2の節点の電位を制御するフィードバック回路と、第2のトランジスタと、第1の電源と前記制御線の間に設けられた第1のスイッチ素子とを含む制御回路と、を備える。ここで、前記第2のトランジスタのゲートが前記フィードバック回路の出力節点に、前記第2のトランジスタのソース及びドレインの一方が前記データ線に、前記第2のトランジスタのソース及びドレインの他方が前記制御線に、夫々接続される。また、前記フィードバック回路は、前記第2の節点と前記フィードバック回路の出力節点の間に第3のスイッチ素子を備える。
本発明の半導体装置によれば、高速、且つ、高精度な読み出し動作を行うデータ線制御回路を、簡易な構成で実現することに貢献しうる半導体装置を提供することができる。
まず、本発明の一実施形態の概要について説明する。なお、実施形態の概要の説明において付記した図面参照符号は専ら理解を助けるための例示であり、図示の態様に限定することを意図するものではない。
一実施形態における半導体装置1は、図1に示すように、抵抗変化型メモリ素子2と、抵抗変化型メモリ素子2と電気的に接続されるデータ線3と、制御線4と、電源供給線5と、第1の定電流素子I1、第1のトランジスタP1、及び第2のトランジスタN1を含む制御回路6を備える。ここで、制御回路6において、第1のトランジスタP1のゲートがデータ線3に、第1のトランジスタP1のソース及びドレインの一方が第1の定電流素子I1に、第1のトランジスタP1のソース及びドレインの他方が電源供給線5に、夫々接続される。また、第2のトランジスタN1のゲートが第1のトランジスタP1のソース及びドレインの一方に、第2のトランジスタN1のソース及びドレインの一方がデータ線3に、第2のトランジスタN1のソース及びドレインの他方が制御線4に、夫々接続される。
上記の構成によれば、制御回路6を、第1のトランジスタP1と、第1の定電流素子I1と、第2のトランジスタN1とによる簡易な構成とすることができる(即ち、図22のフィードバック回路244は、第1のトランジスタP1と、第1の定電流素子I1のみによる簡易な構成とすることができる)。これにより、制御回路6を、小さなピッチで配列レイアウトすることが可能になり、高速、且つ高精度な読み出し動作を行う制御回路を簡易な構成で実現することに貢献しうる半導体装置を提供することができる。
図2、図6のいずれかに示す半導体装置において、図5に示す、電源供給線5に電圧を供給する電源発生回路110をさらに備え、電源発生回路110は、データ線3の第1の設定電圧(VREADREF)と第1のトランジスタP1の閾値電圧の絶対値(|VTP|)とを足し合わせた第1の電圧(V1)を電源供給線5に供給することが好ましい。
図6に示す半導体装置において、制御回路26の第1の定電流素子I1は第3のトランジスタN2により構成され、図7に示すように、第1の定電流源I3Vと、第3のトランジスタN2とカレントミラー回路を構成する第4のトランジスタN2Vとを、制御回路26の外部に備えるようにし、第3のトランジスタN2の電流が、第1の定電流源I3Vの電流に基づいて上記カレントミラー回路により制御されるようにしてもよい。
図6に示す半導体装置において、制御回路26は、第1の電源VDDと制御線4の間に第1のスイッチ素子P4を備えることが好ましく、上記半導体装置は、第1のスイッチ素子P4を導通に制御すると共に、電源発生回路110から電源供給線5に第1の電圧(V1)を供給してデータ線3を第1の設定電圧(VREADREF)に充電する、第1の制御(例えば、図9のタイミングT1〜T2)を行うようにしてもよい。
図6に示す半導体装置において、制御線4に定電流を供給する第2の定電流素子P3をさらに備えることが好ましく、上記半導体装置は、上記第1の制御の後、第1のスイッチ素子P4を非導通に制御し、第1のスイッチ素子P4を非導通にしたタイミング(図9のタイミングT2)から所定時間後(図9のタイミングT3)に、制御線4の電位を判定する、第2の制御(図9のタイミングT2〜T4)を行うようにしてもよい。
図14に示す半導体装置において、図15に示すように、電源発生回路114は、第1の電圧(V1)と、第1の設定電圧(VREADREF)よりも低く設定された第2の設定電圧(VJUDGEREF)に第1のトランジスタP1の閾値電圧の絶対値(|VTP|)を足し合わせた第2の電圧(V4)と、のいずれか一方を電源供給線5に供給するように構成されるようにしてもよい。ここで、上記第1の制御(例えば、図16のタイミングT1〜T2)の後、第1のスイッチ素子P4を非導通に制御すると共に、電源発生回路114が電源供給線5に供給する電圧を第2の電圧(V4)に切り替え、第1のスイッチ素子P4を非導通にしたタイミング(図16のタイミングT2)から所定時間後(図16のタイミングT3〜T4)に、制御線4の電位を判定する、第3の制御(図16のタイミングT2〜T4)を行うようにしてもよい。
図14に示す半導体装置において、基準抵抗素子Rref2と、基準抵抗素子Rref2と接続するリファレンスデータ線43と、リファレンス制御線44と、制御回路46と実質的に同一の構成を含み、データ線3及び制御線4に代わってリファレンスデータ線43及びリファレンス制御線44を夫々制御するリファレンス制御回路86と、をさらに備えることが好ましい。ここで、上記第1の制御(図16のタイミングT1〜T2)において、データ線3と同様にリファレンスデータ線43を第1の設定電圧(VREADREF)に充電し、上記第3の制御(図16のタイミングT2〜T4)において、リファレンス制御線44の電位の遷移に基づいて、上記所定時間を設定するようにしてもよい(図16のタイミングT3を所定時間が経過したタイミングとする)。
図17に示す半導体装置において、制御回路56は、図18に示すように、ライトデータを保持するラッチ回路FF2と、ラッチ回路FF2に保持されたライトデータに応じてデータ線3に書込電圧VDDを印加するデータ線駆動回路120と、を有する書込回路58をさらに備えるようにしてもよい。ここで、書込回路58は、第1のトランジスタP1のソース及びドレインの一方と第2のトランジスタN1のゲートとが接続された第1の節点(図17の1a)を入力し、第1の節点(図17の1a)の電位変化に基づいてラッチ回路FF2に保持されたライトデータを反転させてデータ線駆動回路120を非活性化するように構成してもよい。
図17に示す半導体装置において、ラッチ回路(図18のFF2)に保持されたライトデータが所定の書き込み動作に対応している場合(例えば、図20のようにSET書き込み動作を行う場合には、ライトデータが「1」でラッチ回路(図18のFF2)の出力が「0」の場合が、書き込み動作に対応している場合である)に、データ線駆動回路(図18の120)がデータ線3に書込電圧VDDを印加して書込みを行う、第4の制御(図20のタイミングTW41〜TW51等)と、上記第4の制御後に、書込電圧VDDの印加を停止し、書込電圧VDDを停止したタイミングから所定時間後(図20のタイミングTW61)に制御線4の電位を判定する、第5の制御(図20のタイミングTW51〜TW71等)を行うようにしてもよい。
上記第5の制御(図20のタイミングTW51〜TW71等)において、第1の節点(図17の1a)の電位変化が検出されず、ラッチ回路(図18のFF2)に保持されたライトデータが反転しなかった場合に、上記第4及び第5の制御を繰り返す(図20のタイミングTW42〜TW72、及びタイミングTW43〜TW8等)ようにしてもよい。
図17に示す半導体装置において、基準抵抗素子Rref2と、基準抵抗素子Rref2と接続するリファレンスデータ線43と、リファレンス制御線44と、制御回路56と実質的に同一の構成を含み、データ線3及び制御線4に代わってリファレンスデータ線43及びリファレンス制御線44を制御するリファレンス制御回路96と、をさらに備えることが好ましい。ここで、上記第5の制御(図20のタイミングTW51〜TW71等)において、制御回路56の第1の節点(図17の1a)に対応するリファレンス制御回路96の第1のリファレンス節点(図17の11a)の電位変化に基づいて、上記所定時間を設定するようにしてもよい(図20のタイミングTW61を上記所定時間後のタイミングとする)。
図21に示す半導体装置において、第2のスイッチ素子N6と、第2のスイッチ素子N6を介して一端がリファレンスデータ線43と接続された第1の容量素子C1と、をさらに備えるようにしてもよい。ここで、第2のスイッチ素子N6を非導通にした状態で行う第1の読み出し動作(例えば、通常測定モード)と、第2のスイッチ素子N6を導通にした状態で行う第2の読み出し動作(例えば、超高抵抗測定モード)とを切り替え可能に構成するようにしてもよい。
図11に示す、他の一実施形態における半導体装置は、抵抗変化型メモリ素子2と、抵抗変化型メモリ素子2と電気的に接続されるデータ線3と、制御線4と、データ線3を入力し第2の節点2aの電位を制御するフィードバック回路34と、第2のトランジスタN1と、第1の電源VDDと制御線4の間に設けられた第1のスイッチ素子P4とを含む制御回路36と、を備える。ここで、第2のトランジスタN1のゲートがフィードバック回路36の出力節点1aに、第2のトランジスタN1のソース及びドレインの一方がデータ線3に、第2のトランジスタN1のソース及びドレインの他方が制御線4に、夫々接続される。また、フィードバック回路34は、第2の節点2aとフィードバック回路の出力節点1aの間に第3のスイッチ素子N3を備える。
図11に示す半導体装置において、一方の端子をフィードバック回路34の出力節点1aに接続した第2の容量素子C2を備え、第2の容量素子C2の他方の端子に振幅電圧が制御可能な電圧幅制御信号VWAVC1を供給するようにしてもよい。
図11に示す半導体装置において、第1及び第3のスイッチ素子(P4、N3)を導通に制御して、データ線3を第1の設定電圧(VREADREF)に充電する第1の制御(図12のタイミングT1〜T2)と、第1の制御の後に、第1及び第3のスイッチ素子(P4、N3)を非導通に制御すると共に、電圧幅制御信号VWAVC1を所定の振幅電圧(図12のΔVC1)だけ低く設定して、制御線4の電位の低下速度を判定する、第6の制御(図12のタイミングT2〜T4)を行うようにしてもよい。
図11に示す半導体装置において、上記第6の制御における制御線4の電位の低下速度の判定は、第1及び第3のスイッチ素子(P4、N3)を非導通にしたタイミングから所定時間後(図12のタイミングT3〜T4)に制御線4の電位を判定することにより行うようにしてもよい。
図11に示す半導体装置において、基準抵抗素子Rref2と、基準抵抗素子Rref2と接続するリファレンスデータ線43と、リファレンス制御線44と、制御回路36と実質的に同一の構成を含み、データ3及び制御線4に代わってリファレンスデータ線43及びリファレンス制御線44を制御するリファレンス制御回路76と、をさらに備えることが好ましい。ここで、第1の制御(図12のタイミングT1〜T2)において、データ線3と同様にリファレンスデータ線43を第1の設定電圧(VREADREF)に充電し、上記第6の制御(図12のタイミングT2〜T4)において、リファレンス制御線44の電位の低下に基づいて、上記所定時間を設定するようにしてもよい(図12のタイミングT3を所定時間が経過したタイミングとする)。
図11に示す半導体装置において、フィードバック回路34は、第1の定電流素子N2と、ゲートがデータ線3に、ソース及びドレインの一方が第1の定電流素子N2に、ソース及びドレインの他方が電源供給線5に、夫々接続される第1のトランジスタP1と、をさらに備えることが好ましい。
図11に示す半導体装置において、電源供給線5に電圧を供給する電源発生回路110をさらに備え、電源発生回路110は、図5に示すように、データ線3の第1の設定電圧(VREADREF)と第1のトランジスタP1の閾値電圧の絶対値(|VTP|)とを足し合わせた第1の電圧(V1)を電源供給線5に供給することが好ましい。
図11に示す半導体装置において、制御回路36の第1の定電流素子は第3のトランジスタN2により構成され、図7に示すように、第1の定電流源I3Vと、第3のトランジスタN2とカレントミラー回路を構成する第4のトランジスタN2Vと、制御回路36の外部に、を備え、第3のトランジスタN2の電流は、第1の定電流源I3Vの電流に基づいて該カレントミラー回路により制御されることが好ましい。
以下、本発明の各実施形態について、図面を参照して詳しく説明する。
[第1の実施形態]
第1の実施形態の構成について、図2〜図5を参照しながら説明する。図3は半導体装置101の全体構成を示すブロック図である。図3において、メモリアレイ8は、複数のビット線BLと、複数のワード線WLと、複数のマルチプレクサ(MUX)7とを含んで構成される。マルチプレクサ7には複数のビット線BLが接続されており、マルチプレクサ7はマルチプレクサアドレスBAに基づいて選択的に1本のビット線BLをデータ線3に電気的に接続する機能を有する。メモリアレイ8の第1辺(図3の左側)にはロウデコーダ106及びBAデコーダ105が配置されている。ロウデコーダ106は入力されるロウアドレスADD_rowに基づいて選択的に1本のワード線WLを活性化する。BAデコーダ105は入力されるカラムアドレスADD_colに基づいて選択的にマルチプレクサアドレスBAを活性化する。メモリアレイ8の第1辺と直交する第2辺(図3の上側)にはデータ線3毎にデータ線制御回路6が繰り返し配置されている。
第1の実施形態の構成について、図2〜図5を参照しながら説明する。図3は半導体装置101の全体構成を示すブロック図である。図3において、メモリアレイ8は、複数のビット線BLと、複数のワード線WLと、複数のマルチプレクサ(MUX)7とを含んで構成される。マルチプレクサ7には複数のビット線BLが接続されており、マルチプレクサ7はマルチプレクサアドレスBAに基づいて選択的に1本のビット線BLをデータ線3に電気的に接続する機能を有する。メモリアレイ8の第1辺(図3の左側)にはロウデコーダ106及びBAデコーダ105が配置されている。ロウデコーダ106は入力されるロウアドレスADD_rowに基づいて選択的に1本のワード線WLを活性化する。BAデコーダ105は入力されるカラムアドレスADD_colに基づいて選択的にマルチプレクサアドレスBAを活性化する。メモリアレイ8の第1辺と直交する第2辺(図3の上側)にはデータ線3毎にデータ線制御回路6が繰り返し配置されている。
1本のデータ線3は複数のマルチプレクサ7と接続しているが、読み出し時及び書き込み時は選択的に1台のマルチプレクサ7が活性化され、その結果、データ線3には1本のビット線BLが電気的に接続される。データ線3の配線は、図3に示すように長く走るため、大きな寄生容量が付いている。
図4は、図3のメモリアレイ8の一部を示す回路図である。ビット線BLとワード線WLの各交点には、それぞれメモリセルMCが配置されている。ここで、メモリセルMCは、抵抗変化型メモリ素子2と、一端がソースプレートSPに接続されたセルトランジスタ9と、の直列接続により構成される。読み出し時には、ソースプレートSPにVSSを供給し、データ線3にビット線読出し設定電圧である読出しリファレンス信号VREADREFの電圧を供給する。これにより、選択されたワード線WLと選択されたビット線BLの交点のメモリセルMCの抵抗変化型メモリ素子2の両端に読出しリファレンス信号VREADREFの電圧が印加される。
次に、図2は、第1の実施形態に係る半導体装置101のデータ線制御回路6の構成を示すブロック図である。図2に示すように、データ線制御回路6は、リードライトバスRWBSを介してI/O回路(図3の107)とデータを入出力するデータ入出力回路11と、書込み時にデータ線3を書込み電圧に駆動する書込回路18と、読出回路10とにより構成される。読出回路10は、読出時データ線駆動回路13と、電流ドライブ回路15と、読出判定回路12とを含んで構成される。ここで、電流ドライブ回路15は、電流ドライブ節点4と接続され、電流ドライブ節点4に流す電流を駆動する機能を有している。また、読出判定回路12は、電流ドライブ節点4の電圧変化に基づいてメモリアレイ8のメモリセルMCの抵抗状態を判定し、判定により得られたリードデータをデータ入出回路11に出力する機能を有している。
読出時データ線駆動回路13は、実施形態の概要説明で参照した図1の制御回路6と同じ構成を有している。即ち、読出時データ線駆動回路13は、フィードバック回路14と、NMOSトランジスタN1とにより構成される。フィードバック回路14は、PMOSトランジスタP1と、定電流素子I1と、により構成される。定電流素子I1は電流値i1を流す素子であり、例えば、抵抗、またはMOSトランジスタ等で構成することができる(後述する第2の実施形態では、NMOSトランジスタN2で構成)。
フィードバック回路14は、図22に示した関連技術によるフィードバック回路244を、より簡易な構成で実現したものであり、その動作原理は後述する。
図2において、PMOSトランジスタP1、定電流素子I1、及びNMOSトランジスタN1は、以下のように接続されている。PMOSトランジスタP1のソースはフィードバック回路電源配線5と接続され、PMOSトランジスタP1のドレインは、定電流素子I1と接続され、PMOSトランジスタP1のゲートはデータ線3と接続される。また、NMOSトランジスタN1のドレインは電流ドライブ節点4と接続され、NMOSトランジスタN1のソースはデータ線3と接続され、NMOSトランジスタN1のゲート(ノード1a)はPMOSトランジスタのドレインと定電流素子I1の接続節点と接続される。
次に、図5は、フィードバック回路電源発生回路110の構成を示す回路図である。図5のフィードバック回路電源発生回路110は、図2のデータコントロール回路17に含まれる一部の回路である。フィードバック回路電源発生回路110は、読出しリファレンス信号VREADREFと、制御信号ENBとを入力し、フィードバック回路電源VFBを出力する機能を有する。
図5において、PMOSトランジスタP1Vと定電流源I2Vとにより、ノード3aの電位を生成している。定電流源I2Vは、定電流素子I1と同じ電流i1を流す定電流源である。また、PMOSトランジスタP1Vは、PMOSトランジスタP1と、チャネル長及びチャネル幅が同じサイズのトランジスタである。ここで、2つのPMOSトランジスタ(P1、P1V)は同じプロセス工程で形成されることが望ましい。同じプロセス工程とすることで2つのPMOSトランジスタ(P1、P1V)のチャネル長及びチャネル幅の一致精度が向上し、電流駆動能力を同じにすることができる。
電流値i1は、PMOSトランジスタP1、P1Vのゲートソース間電圧VGSが閾値電圧VTPのときに流れる電流に設定する。これにより、PMOSトランジスタP1Vのゲートソース間電圧VGSは閾値電圧VTPとなり、ノード3aの電位が、VREADREF+|VTP|(=V1)となる。ここで、|VTP|は閾値電圧VTPの絶対値である。即ち、ノード3aの電位は、読出しリファレンス信号VREADREFにPMOSトランジスタP1の閾値電圧の絶対値|VTP|を加えた電位となる。
図5のレギュレータ回路41は、差動アンプAMP1V、PMOSトランジスタ(P8V、P9V)、NMOSトランジスタ(N4V、N5V)、及びインバータ回路INV1Vにより構成される。制御信号ENBがLowレベルのときは、PMOSトランジスタP9V、NMOSトランジスタN5Vがオフし、NMOSトランジスタN4Vがオンする。この時レギュレータ回路41は活性化し、差動アンプAMP1V及びPMOSトランジスタP8Vにより、フィードバック回路電源VFBに大きな駆動能力でノード3aの電圧(VREADREF+|VTP|)を出力する。一方、制御信号ENBがHighレベルのときは、レギュレータ回路41は非活性化され、フィードバック回路電源VFBにVSSを出力する。
次に図2に戻って、読み出し時に行われるデータ線3の充電動作について説明する。尚、この充電動作の原理は、第1〜第6の各実施形態に対して共通である。
図2において、電流ドライブ節点4には電流ドライブ回路15から高い電圧(例えば、VDD)が供給される。また、制御信号ENBがLowレベルにした場合、PMOSトランジスタP1のソースには、VREADREF+|VTP|の電圧が供給される。PMOSトランジスタP1のゲートにはデータ線3が接続されているので、データ線3の電圧がVREADREFよりも低ければ、PMOSトランジスタP1の|VGS|(ゲートソース間電圧の絶対値)は|VTP|よりも大きくなるので、PMOSトランジスタP1が強くオンする。それによりノード1aは高い電圧に持ち上げられ、NMOSトランジスタN1が強くオンしてデータ線3を高速に充電する。そして、充電が進みデータ線3の電圧がVREADREFに達すると、PMOSトランジスタP1の|VGS|は、|VTP|となる。この時、PMOSトランジスタP1の電流能力は、定電流素子I1と同じ電流値i1となるため、ノード1aの電位が変化しない定常状態となる。このときのノード1aの電位は、データ線3の電圧VREADREFにNMOSトランジスタN1の閾値電圧VTNを加えた電圧V2になる(V2=VRAEDREF+VTN)。このように、データ線3の電圧がVREADREFに達したところで、定常状態になり充電動作が完了する。
以上のように、図2の読出時データ線駆動回路13では、データ線3の電圧をフィードバック回路14に入力して、データ線3の電圧がVREADREFに達するまで充電するようにノード1aの電位を制御するフィードバック動作を行っている。この充電動作では、データ線3の電圧がVREADREFに達したところで定常状態になるので、データ線3にはオーバーシュートが発生しない。
以上説明したように、第1の実施形態によれば、以下に示す効果が得られる。第1の実施形態の読出時データ線駆動回路13では、図22に示した関連技術の読出時データ線駆動回路243と同様にフィードバック制御を行い、データ線3をリファレンス信号VREADREFの電圧まで高速、且つ正確に充電することができる。さらに、フィードバック回路14を簡易な構成の回路とすることができるため、小さなピッチでデータ線制御回路6を配列レイアウトすることができる。その結果、一度のセル読み出し動作で同時に読み出すメモリセルMCの数を多くすることが可能になり、高速なデータ出力を実現することができる。
[第2の実施形態]
(第2の実施形態の構成)
次に、第2の実施形態の構成について、図6〜図8を参照しながら説明する。第2の実施形態は、第1の実施形態の定電流素子I1をNMOSトランジスタN2で構成した点と、データコントロール回路27に図7の定電流カレントミラー源回路51及びVINREF発生回路52を新たに追加した点と、フィードバック回路電源発生回路112を定電流カレントミラー源回路51と接続するようにした点とが第1の実施形態と相違している。また、第2の実施形態では、図6にデータ入出力回路11、読出判定回路12、電流ドライブ回路15の具体的な回路例を示している。尚、第2の実施形態において、第1の実施形態と実質的に同様の機能を有する構成要素には同じ参照符号を付し、重複する説明を省略する。
(第2の実施形態の構成)
次に、第2の実施形態の構成について、図6〜図8を参照しながら説明する。第2の実施形態は、第1の実施形態の定電流素子I1をNMOSトランジスタN2で構成した点と、データコントロール回路27に図7の定電流カレントミラー源回路51及びVINREF発生回路52を新たに追加した点と、フィードバック回路電源発生回路112を定電流カレントミラー源回路51と接続するようにした点とが第1の実施形態と相違している。また、第2の実施形態では、図6にデータ入出力回路11、読出判定回路12、電流ドライブ回路15の具体的な回路例を示している。尚、第2の実施形態において、第1の実施形態と実質的に同様の機能を有する構成要素には同じ参照符号を付し、重複する説明を省略する。
図6では、第1の実施形態の定電流素子I1をNMOSトランジスタN2で構成している。NMOSトランジスタN2のゲートには、データコントロール回路27が出力するリファレンス電圧VINREFが供給される。次に、図7を参照し、データコントロール回路27の詳細について説明する。データコントロール回路27は、定電流カレントミラー源回路51、VINREF発生回路52、及びフィードバック回路電源発生回路112を含んで構成される。図6のEiはデータコントロール回路27が出力する制御信号を表し、例えば、図7のリファレンス電圧VINREF等が含まれる。定電流カレントミラー源回路51は、電流値i1の定電流源I3VとPMOSトランジスタP10Vとが電源VDDと接地VSSの間に直列に接続された構成を有している。PMOSトランジスタP10Vのゲートとドレインは接続され、PMOSトランジスタP10Vには電流i1が流れる。
次に、図7のVINREF発生回路52は、PMOSトランジスタP12VとNMOSトランジスタN2Vが電源VDDと接地VSSとの間に直列に接続された構成を有している。そして、PMOSトランジスタP12VのゲートはPMOSトランジスタP10Vのゲートと接続され、2つのPMOSトランジスタ(P10V、P12V)はカレントミラー回路を構成する。2つのPMOSトランジスタ(P10V、P12V)はチャネル長及びチャネル幅が同じサイズのトランジスタとする。上記のカレントミラー回路の構成により、PMOSトランジスタP12及びNMOSトランジスタN2Vにも電流i1が流れる。
また、NMOSトランジスタN2Vのゲートとドレインは接続され、VINREF発生回路52はその接続節点からリファレンス電圧VINREFを出力する。リファレンス電圧VINREFの配線は、各データ線制御回路26のNMOSトランジスタN2のゲートと接続される。これにより、VINREF発生回路52のNMOSトランジスタN2Vと各データ線制御回路26のNMOSトランジスタN2とが、それぞれカレントミラー回路を構成する。NMOSトランジスタN2VとNMOSトランジスタN2はチャネル長及びチャネル幅が同じサイズのトランジスタとする。これらのNMOSトランジスタ(N2V、N2)は同じプロセス工程で形成されることが望ましい。同じプロセス工程とすることで2つのPMOSトランジスタ(P1、P1V)のチャネル長及びチャネル幅の一致精度が向上し、電流駆動能力を同じにすることができる。上記のカレントミラー回路の構成により、各データ線制御回路26のNMOSトランジスタN2にも電流i1が流れる。
次に、図7のフィードバック回路電源発生回路112は、図5のフィードバック回路電源発生回路110(第1の実施形態)の定電流源I2Vを、PMOSトランジスタP11Vに置き換えた構成となっている。PMOSトランジスタP11Vのゲートは、定電流カレントミラー源回路51のPMOSトランジスタP10Vのゲートと接続され、上記2つのPMOSトランジスタ(P10V、P11V)がカレントミラー回路を構成する。ここで、2つのPMOSトランジスタ(P10V、P11V)はチャネル長及びチャネル幅が同じサイズのトランジスタとする。上記のカレントミラー回路の構成により、PMOSトランジスタP11Vにも電流i1が流れる。これにより、ノード3aの電位をVREADREF+|VTP|に設定している。
次に、図6の電流ドライブ回路15について説明する。電流ドライブ回路15は、リファレンス電圧VIPREF(図8参照。詳細は後述)をゲートに接続したPMOSトランジスタP3、及び制御信号PRBをゲートに接続したPMOSトランジスタP4で構成される。ここで、リファレンス電圧VIPREF及び制御信号PRBは、データコントロール回路27が出力するデータコントロール信号Eiの一種である。PMOSトランジスタP4は、制御信号PRBがLowレベルの期間、電流ドライブ節点4に大きな駆動能力で電圧VDDを供給する。
一方、リファレンス電圧VIPREFは、図8のデータコントロール回路27に設けられたVIPREF発生回路63により生成される。VIPREF発生回路63は、図8に示すように、差動アンプAMP2V、PMOSトランジスタP3V、NMOSトランジスタN6V、及び基準抵抗Rref1により構成される。PMOSトランジスタP3V、NMOSトランジスタN6V、及び基準抵抗Rref1は電圧源VDDと接地VSSの間に直列に接続される。NMOSトランジスタN6Vと基準抵抗Rref1の接続節点であるノード5aは、差動アンプAMP2Vの反転入力端子と接続される。また、差動アンプAMP2Vの非反転入力端子には、読出しリファレンス信号VREADREFの電圧が供給される。また、差動アンプAMP2Vの出力端子は、NMOSトランジスタN6Vのゲートと接続される。上記の構成により、ノード5aの電位が読出しリファレンス信号VREADREFの電位に等しくなるように制御される。これにより基準抵抗Rref1には、式(1)の電流iRが流れる。
iR=VREADREF/Rref1 式(1)
iR=VREADREF/Rref1 式(1)
式(1)の電流iRは、PMOSトランジスタP3Vにも流れる。PMOSトランジスタP3Vのゲートとドレインは接続され、VIPREF発生回路63はその接続節点からリファレンス電圧VIPREFを出力する。リファレンス電圧VIPREFの配線は、各データ線制御回路26のPMOSトランジスタP3とゲートと接続され、VIPREF発生回路63のPMOSトランジスタP3Vと各データ線制御回路26のPMOSトランジスタP3とが、それぞれカレントミラー回路を構成する。PMOSトランジスタP3VとPMOSトランジスタP3はチャネル長及びチャネル幅が同じサイズのトランジスタとする。ここで、PMOSトランジスタ(P3V、P3)は同じプロセス工程で形成されることが望ましい。同じプロセス工程とすることでこれらのPMOSトランジスタ(P3V、P3)のチャネル長及びチャネル幅の一致精度が向上し、電流駆動能力を同じにすることができる。これにより、PMOSトランジスタP3VとPMOSトランジスタP3は共に、電流iRを流す能力を有している。上記のカレントミラー回路の構成により、PMOSトランジスタP3にも電流iRが流れる。従って、電流ドライブ節点4に流れる電流は、PMOSトランジスタP4を介して流れる電流と、PMOSトランジスタP3を介して流れる電流iRとの和になる。
次に、図6の読出判定回路12について説明する。図6に示すように、読出判定回路12は、電流ドライブ節点4にゲートが接続されたPMOSトランジスタP5と、制御信号RJBにゲートが接続されたPMOSトランジスタP6の直列接続により構成される。制御信号RJBはデータコントロール信号Eiの1つである。PMOSトランジスタP5とPMOSトランジスタP6が導通すると電源VDDがノード10a(読出節点)に印加される。
上記の構成により、読出判定回路12は以下のように動作する。制御信号RJBがLowレベルの時に、電流ドライブ節点4がVDD−|VTP|よりも低ければPMOSトランジスタP5がオンし、ノード10aにVDDを出力する。一方、制御信号RJBがLowレベルの時に、電流ドライブ節点4がVDD−|VTP|よりも高ければPMOSトランジスタP5がオフし、ノード10aに電圧を出力しない。
次に、図6のデータ入出力回路11について説明する。データ入出力回路11は、図6に示すように、リードデータ、ライトデータをラッチするラッチ回路FF1と、制御信号PRBにゲートが接続されたPMOSトランジスタP7とにより構成される。ラッチ回路FF1の一方の端子はPMOSトランジスタP7のドレインと接続され、ラッチ回路FF1の他方の端子はノード10a(読出節点)と接続される。また、PMOSトランジスタP7のソースは電源VDDと接続される。尚、データ入出力回路11は、リードライトバスRWBSとの間でリードデータ、またはライトデータを入出力する機能(図6には不図示)を有している。
(第2の実施形態の動作)
次に、図9を参照しながら、第2の実施形態の動作について説明する。図9は、第2の実施形態に係る半導体装置の読み出し動作の一例を示す波形図である。図9の上段には、制御信号ENB、PRB、RJBの電圧を示している。図9の中段には、データ線3、電流ドライブ節点4、ノード1a、フィードバック回路電源VFBの電圧を夫々示している。また、データ線3、電流ドライブ節点4、ノード1aの電圧については、対応する抵抗変化型メモリ素子2が高抵抗状態の場合を実線で、低抵抗状態の場合を破線で示している。また、図9の下段には、ノード10a(読出節点)の電圧を示している。ノード10aの電圧についても、対応する抵抗変化型メモリ素子2が高抵抗状態の場合を実線で、低抵抗状態の場合を破線で示している。
次に、図9を参照しながら、第2の実施形態の動作について説明する。図9は、第2の実施形態に係る半導体装置の読み出し動作の一例を示す波形図である。図9の上段には、制御信号ENB、PRB、RJBの電圧を示している。図9の中段には、データ線3、電流ドライブ節点4、ノード1a、フィードバック回路電源VFBの電圧を夫々示している。また、データ線3、電流ドライブ節点4、ノード1aの電圧については、対応する抵抗変化型メモリ素子2が高抵抗状態の場合を実線で、低抵抗状態の場合を破線で示している。また、図9の下段には、ノード10a(読出節点)の電圧を示している。ノード10aの電圧についても、対応する抵抗変化型メモリ素子2が高抵抗状態の場合を実線で、低抵抗状態の場合を破線で示している。
図9において、タイミングT1〜T5が読み出し動作期間である。この期間では、データ読み出し対象となるメモリセルMCに対応したワード線及びマルチプレクサアドレスBAが活性化しているものとする。
図9のタイミングT1〜T2はデータ線3の充電期間である。尚、データ線3の充電期間において読み出し対象となるメモリセルMCに接続された選択ビット線BLも併せて充電される。データ線3の充電動作は、第1の実施形態で説明済みであるため、重複する説明は省略する。
タイミングT1〜T2では、制御信号ENBをLowレベルにしてフィードバック回路電源発生回路112を活性化し、電圧VFBを電圧V1(=VREADREF+|VTP|)に出力している。また、制御信号PRBをLowレベルにしてPMOSトランジスタP4をオンにし、電流ドライブ節点4を電圧VDDで駆動する。図9のタイミングT1〜T2において、データ線3の電圧がVREADREFよりも低い間は、PMOSトランジスタP1が強くオンするため、ノード1aの電圧はPMOSトランジスタP1のソース電圧(即ち、フィードバック回路電源の電圧V1)に近くなるが、充電が進みデータ線3の電圧が上昇するにつれて、ノード1aの電圧は除々に低下する。そして、データ線3がVREADREFの電圧まで充電されると、ノード1aは、電圧V2の定常状態になり、データ線3は抵抗変化型メモリ素子2の抵抗値にほとんど影響されず、VREADREFの電圧を保持する。
また、タイミングT1では、制御信号PRBがLowレベルに遷移し、PMOSトランジスタP7がオンし、ラッチ回路FF1がリセットされる。これによりノード10a(読出節点)はLowレベルに初期化される。
次に、タイミングT2〜T3はウエイト期間である。この期間も制御信号ENBはLowレベルのままでフィードバック回路電源発生回路112は活性化されており、フィードバック回路24はフィードバック動作を続けている。このため、メモリセルMCに流れた電荷の分だけデータ線3はVREADREFから電圧が低下しようとするが、フィードバック動作により、メモリセルMCに流れた電荷分を電流ドライブ節点4から供給し、データ線3をVREADREFの電圧に保持しようとする。
また、この期間では制御信号PRBはHighレベルであり、電流ドライブ回路15のPMOSトランジスタP4はオフし、電流ドライブ節点4へ供給される電流は、PMOSトランジスタP3を介して流れる電流iRのみとなっている。このため、メモリセルMCに流れる電流iMCが電流値iRよりも大きい(iMC>iR)場合には、電流ドライブ節点4の電荷が失われていく。電流ドライブ節点4の寄生容量はデータ線3の寄生容量に比べると小さいため、電流ドライブ節点4の電荷が失われると、電流ドライブ節点4の電圧は高速に低下する。ここで、上記した条件iMC>iRとなるのは、抵抗変化型メモリ素子2の抵抗値が基準抵抗Rref1の抵抗値より小さい場合(即ち、抵抗変化型メモリ素子2が低抵抗状態の場合)である。図9のタイミングT2〜T3を参照すると、電流ドライブ節点4の電圧(破線)は、タイミングT2から高速に低下し電圧VREADREFの近くまで達している。また、タイミングT2〜T3のノード1aの電圧(破線)は、定常状態の電圧V2よりも高くなり、NMOSトランジスタN1を強くオンして、電流ドライブ節点4からデータ線3に電荷供給を行っている。
一方、メモリセルMCに流れる電流iMCが電流値iRよりも小さい(iMC<iR)場合には、メモリセルMCに流れる電荷が少ないため、電流ドライブ節点4から供給する分が少なくて済む。そのため、電流ドライブ節点4は高い電圧のままに保持される。ここで、上記した条件iMC<iRとなるのは、抵抗変化型メモリ素子2の抵抗値が基準抵抗Rref1の抵抗値より大きい場合(即ち、抵抗変化型メモリ素子2が高抵抗状態の場合)である。図9のタイミングT2〜T3を参照すると、電流ドライブ節点4(実線)は、高い電圧のままに保持されている。また、タイミングT2〜T3のノード1aの電圧(実線)は、定常状態の電圧V2を保持している。
このように、第2の実施形態では、メモリセルMCに流れる電流iMCがiRより大きいか小さいか(即ち、抵抗変化型メモリ素子2の抵抗値が基準抵抗Rref1より小さいか大きいか)に応じて、電流ドライブ節点4の電圧が変化する。
次に、タイミングT3〜T4は判定期間である。この期間に、制御信号RJBを1ショットでLowレベルにする。この期間では、抵抗変化型メモリ素子2の抵抗状態を、読出判定回路12により判定する。抵抗変化型メモリ素子2が低抵抗状態の場合には、ノード10a(読出節点)がLowレベルからHighレベルに変化し(破線)、ラッチ回路FF1にラッチされる。一方、抵抗変化型メモリ素子2が高抵抗状態の場合には、ノード10a(読出節点)がLowレベルのままであり(実線)、ラッチ回路FF1の出力は変化しない。
その後タイミングT4で、制御信号ENBをHighレベルに非活性化してフィードバック回路電源発生回路112を非活性化し、フィードバック回路電源VFBをVSSにする。次に、タイミングT5で、データ線3を書込回路(図6の18)などでVSSにリセットし、一連の読み出し動作が完了する。
以上説明したように、第2の実施形態によれば、第1の実施形態と同様の効果が得られる。即ち、読出時データ線駆動回路23では、図22に示した関連技術の読出時データ線駆動回路243と同様にフィードバック制御を行ない、データ線3をリファレンス信号VREADREFの電圧まで高速、且つ正確に充電することができる。さらに第2の実施形態ではフィードバック回路24を簡易な構成の回路とすることができるため、小さなピッチでデータ線制御回路26を配列レイアウトすることができる。その結果、一度のセル読み出し動作で同時に読み出すメモリセルMCの数を多くすることが可能になり、高速なデータ出力を実現することができる。
また、第2の実施形態によれば、フィードバック回路電源発生回路112及びVINREF発生回路52の電流を、定電流源I3Vの電流i1からカレントミラー回路で制御している。このため、データ線3の充電期間に定常状態になった時に、PMOSトランジスタP1及びNMOSトランジスタN2に流れる電流値が共に1つの定電流源I3Vから生成されたi1となるので、データ線3の充電電圧を読出しリファレンス信号VREADREFに精度よく一致させることができる。即ち、データ線3の充電電圧の精度を高くすることができる。
さらに、第2の実施形態によれば、ウエイト期間においてデータ線3に流れる電流に応じて電流ドライブ節点4の電圧を変化させ、判定期間において電流ドライブ節点4の電圧変化を検出することにより、データ線3に接続された抵抗変化型メモリ素子2の抵抗状態を簡易な構成の回路により検出することができる。即ち、第2の実施形態によれば、高速、高精度なデータ線3の充電だけでなく、抵抗変化型メモリ素子2の抵抗状態の読み出しについても簡易な構成の回路で実現することができる。
[第3の実施形態]
(第3の実施形態の構成)
次に、第3の実施形態の構成について、図10〜図11を参照しながら説明する。図10は、第3の実施形態に係る半導体装置301の全体構成を示すブロック図である。図10を図3と比較すると分かるように、図10では、リファレンスデータ線43、リファレンスデータ線制御回路76、基準抵抗Rref2、及び1ショット回路48が新たに追加されている。上記以外の構成要素で、第1または第2の実施形態と実質的に同様の機能を有するものには同じ参照符号を付し、重複する説明を省略する。
(第3の実施形態の構成)
次に、第3の実施形態の構成について、図10〜図11を参照しながら説明する。図10は、第3の実施形態に係る半導体装置301の全体構成を示すブロック図である。図10を図3と比較すると分かるように、図10では、リファレンスデータ線43、リファレンスデータ線制御回路76、基準抵抗Rref2、及び1ショット回路48が新たに追加されている。上記以外の構成要素で、第1または第2の実施形態と実質的に同様の機能を有するものには同じ参照符号を付し、重複する説明を省略する。
リファレンスデータ線43はデータ線3と同じ配線長にし、データ線3のマルチプレクサ(MUX)7と同様のダミーマルチプレクサ(ダミーMUX)57を接続している。これにより、リファレンスデータ線43の配線容量をデータ線3の配線容量と同じになるようにしている。
次に、図11を参照しながら、第3の実施形態のデータ線制御回路36及びリファレンスデータ線制御回路76の詳細について説明する。図11は、第3の実施形態に係る半導体装置301のデータ線制御回路36及びリファレンスデータ線制御回路76の回路図である。図11のデータ線制御回路36を図6のデータ線制御回路26と比較すると、データ線制御回路36のフィードバック回路34の構成と、電流ドライブ回路35の構成が相違している。
まず、フィードバック回路34では、PMOSトランジスタP1のドレインとNMOSトランジスタN2のドレインの接続節点であるノード2aとNMOSトランジスタN1のゲート(ノード1a)との間に、NMOSトランジスタN3を新たに設けている。また、一方の端子をノード1aに接続した第2の容量素子C2を新たに設けている。ここで、NMOSトランジスタN3のゲートには制御信号WABが供給される。また、第2の容量素子C2の他方端子には、制御信号VWAVC1(電圧幅制御信号)が供給される。
また、図11の電流ドライブ回路35において図6のPMOSトランジスタP3が削除され、電流ドライブ回路35はPMOSトランジスタP4のみで構成される。
図11において、リファレンスデータ線制御回路76は、データ線制御回路36と同一構成の回路ブロックを含んで構成されている。具体的には、リファレンスデータ線制御回路76のリファレンス読出時データ線駆動回路73、電流ドライブ回路75、リファレンス読出判定回路72、データ入出回路71は、夫々、データ線制御回路36の読出時データ線駆動回路33、電流ドライブ回路35、読出判定回路12、データ入出回路11と同一構成を有している。リファレンスデータ線制御回路76に含まれる各回路素子には、データ線制御回路36の対応する回路素子と同じ参照符号を付している。
リファレンスデータ線制御回路76において、データ線制御回路36と異なる個所は、リファレンス読出判定回路72のPMOSトランジスタP6のゲートがVSSに接続されていること、及び、書込回路78のデータコントロール信号がVSSに固定され、リファレンスデータ線43の書き込みを行わないようにしていることである。リファレンスデータ線制御回路76とデータ線制御回路36では入力信号が異なるだけなので、リファレンスデータ線制御回路76は、データ線制御回路36とほぼ同じレイアウトとすることができ、繰り返し配置されるデータ線制御回路36に連続して1つのリファレンスデータ線制御回路76をレイアウトするのがよい。
また、リファレンスデータ線43には接地VSSとの間に基準抵抗Rref2が接続されている。リファレンスデータ線43がVREADREFの電圧の時、基準抵抗Rref2には電流iRが流れる。
1ショット回路48は、判定期間(図12のタイミングT3〜T4;詳細は後述)の1ショット信号を生成する機能を有する。1ショット回路48は、ノード20a(リファレンス読出節点)がLowレベルからHighレベルに遷移したときに、その立ち上がりエッジを受けて1ショットLowの信号を制御信号RJBとして出力する。制御信号RJBは各データ線制御回路36の読出判定回路12のPMOSトランジスタP6のゲート、及びデータコントロール回路37に供給される。尚、第3の実施形態のデータコントロール回路37は、図6の第2の実施形態のフィードバック回路電源発生回路112を含んで構成される。
(第3の実施形態の動作)
次に、図12〜図13を参照しながら、第3の実施形態の動作について説明する。図12は、第3の実施形態に係る半導体装置301の読み出し動作の一例を示す波形図である。図12の上段には、制御信号ENB、PRB、WAB、及びVWAVC1の電圧を示している。図12の中段には、データ線3、リファレンスデータ線43、電流ドライブ節点4、リファレンス電流ドライブ節点44、ノード1a、ノード2a、ノード11a、ノード12a、及びフィードバック回路電源VFBの電圧を示している。また、図12の下段には、ノード20a(リファレンス読出節点)及びノード10a(読出節点)の電圧を示している。ここで、上記のうち、高抵抗状態のメモリセルに対応した波形は実線で、低抵抗状態のメモリセルに対応した波形は破線で、リファレンス制御回路に関連した波形は点線で示している。
次に、図12〜図13を参照しながら、第3の実施形態の動作について説明する。図12は、第3の実施形態に係る半導体装置301の読み出し動作の一例を示す波形図である。図12の上段には、制御信号ENB、PRB、WAB、及びVWAVC1の電圧を示している。図12の中段には、データ線3、リファレンスデータ線43、電流ドライブ節点4、リファレンス電流ドライブ節点44、ノード1a、ノード2a、ノード11a、ノード12a、及びフィードバック回路電源VFBの電圧を示している。また、図12の下段には、ノード20a(リファレンス読出節点)及びノード10a(読出節点)の電圧を示している。ここで、上記のうち、高抵抗状態のメモリセルに対応した波形は実線で、低抵抗状態のメモリセルに対応した波形は破線で、リファレンス制御回路に関連した波形は点線で示している。
図12のタイミングT1〜T5の期間は、第2の実施形態と同様に、データ読み出し対象となるメモリセルMC対応したワード線WL及びマルチプレクサアドレスBAが活性化しているとする。
タイミングT1〜T2はデータ線3の充電期間である。この期間では、制御信号WABはHighレベルとし、NMOSトランジスタN3が導通するので第2の実施形態と同様の充電動作となる。また、第3の実施形態では、リファレンスデータ線43もデータ線3と同様にVREADREFの電圧に充電される。また、タイミングT1では、制御信号ENBがHighレベルからLowレベルに遷移することでPMOSトランジスタP7がオンし、ラッチ回路FF1がリセットされる。これにより、ノード10a(読出節点)及びノード20a(リファレンス読出節点)はLowレベルに初期化される。
次に、タイミングT2で制御信号WABをLowレベルにしてNMOSトランジスタN3を非導通にし、ノード1aとノード2a、及びノード11aとノード12aを夫々電気的に切り離すことで、ノード1a及びノード11aをフローティング状態にする。タイミングT2の瞬間において、ノード1a及びノード11aは充電動作の定常状態である電圧V2(=VRAEDREF+VTN)に保持される。タイミングT2の直後、制御信号VWAVC1を振幅電圧ΔVC1だけ低下させる。これにより第2の容量素子C2のカップリングにより、ノード1a及びノード11aの電圧は電圧V2よりもΔVC2だけ低下する。振幅電圧ΔVC2は、ノード1aの寄生容量と、第2の容量素子C2の容量値と、制御信号VWAVC1の振幅ΔVC1で決まる電圧である。
同時にタイミングT2で制御信号ENBをHighレベルにすることで、フィードバック回路電源発生回路112のレギュレータ回路41を非活性化し、フィードバック回路電源VFBを電圧V1からVSSに落とす。第2の実施形態ではウエイト期間(T2〜T3)もフィードバック回路電源発生回路112を活性化しVFBをVREADREFに保持していたが、第3の実施形態ではVSSに落とす点が第2の実施形態の制御と相違している。フィードバック回路電源VFBの電圧がVSSになることにより、ノード2a及びノード12aは、NMOSトランジスタN2の電流により電圧V2からVSSに低下する。また、タイミングT2〜T3では、制御信号PRBをHighレベルにして電流ドライブ回路35の供給電流を停止させる。タイミングT2直後は、電流ドライブ節点4及びリファレンス電流ドライブ節点44はそれらの節点の寄生容量にてVDD近くの電圧を保持している。
タイミングT2〜T3はウエイト期間である。この期間ではリファレンスデータ線43の大きな寄生容量(リファレンス電流ドライブ節点44の寄生容量に比べて大きな寄生容量という意味)に蓄えられた電荷が基準抵抗Rref2に流れる電流で失われていくので、リファレンスデータ線43の電圧はゆっくりと低下する(図12のT2〜T3のリファレンスデータ線43の点線)。同様にデータ線3の大きな寄生容量(電流ドライブ節点4の寄生容量に比べて大きな寄生容量という意味)に蓄えられた電荷も各抵抗変化型メモリ素子2の抵抗状態に依存して流れる電流によりゆっくりと低下する(図12のT2〜T3のデータ線3の実線及び破線)。
タイミングT2〜T3において、NMOSトランジスタN1のゲートソース間電圧VGSは小さくサブスレッショルドリーク特性の領域で動作する。図13はNMOSトランジスタN1のサブスレッショルド特性を示した図である。図13の横軸はゲートソース間電圧VGSで、縦軸はサブスレッショルドリーク電流を対数表示しており、縦軸の1目盛につき電流値が1桁異なる。リファレンスデータ線制御回路76のNMOSトランジスタN1は、タイミングT2の直前では図13の動作点Aで動作している。動作点Aでは、NMOSトランジスタN1のソースが電圧VREADREF、ゲートが電圧VREADREF+VTN(=V2)であるため、VGSはVTNであり、図13に示す電流iRが流れる。
タイミングT2の直後は、NMOSトランジスタN1のゲートを振幅電圧ΔVC2だけ低下させているので、ゲートソース間電圧VGSは、VGSB=VTN−ΔVC2になる。このとき、図13の動作点Bで動作する。このときの電流値はiRよりも大幅に小さいiBになる。図13の例では電流値iRは電流値iBよりも2桁小さい。タイミングT2の直後から、NMOSトランジスタN1が動作点Bで動作すると、リファレンス電流ドライブ節点44の寄生容量で保持された電圧が電流値iBにより低下する。
その後、リファレンスデータ線43の電圧はゆっくりと低下するが、その低下した電圧分だけNMOSトランジスタN1のゲートソース間電圧VGSはVGSBよりも大きくなり、NMOSトランジスタN1がリファレンス電流ドライブ節点44から流す電流は、電流値iBよりも次第に大きくなるため、リファレンス電流ドライブ節点44の電圧低下速度が次第に大きくなる。この電流値の増大分はリファレンスデータ線43の電圧低下速度、即ち、基準抵抗Rref2の抵抗値に依存する。
同様に、各データ線制御回路36の電流ドライブ節点4も、各データ線3に対応する抵抗変化型メモリ素子2の抵抗値に依存して電圧が低下する。抵抗変化型メモリ素子2の抵抗値が高抵抗な場合はゆっくりと(図12のタイミングT2〜T3の電流ドライブ節点4の実線)、抵抗変化型メモリ素子2の抵抗値が低抵抗な場合は速く(図12のタイミングT2〜T3の電流ドライブ節点4の破線)、電流ドライブ節点4の電圧が低下する。
このように、第3の実施形態では、抵抗変化型メモリ素子2が高抵抗の場合は電流ドライブ節点4の電圧低下速度は遅くなり、抵抗変化型メモリ素子2が低抵抗の場合は電流ドライブ節点4の電圧低下速度は速くなる。そして、次の判定期間で、基準抵抗Rref2の場合に比べて、電圧低下速度が速いか遅いかを判定する。
次に、タイミングT3〜T4は判定期間である。リファレンスデータ線43の電圧がV3(=VDD−|VTP|)まで低下すると、リファレンスデータ線制御回路76のリファレンス読出判定回路72のPMOSトランジスタP5がオンし、ノード20a(リファレンス読出節点)がLowレベルからHighレベルに遷移する(タイミングT3)。その遷移を受け、1ショット回路48により制御信号RJBが1ショットでタイミングT4までの期間、Lowレベルになる。この1ショット期間(判定期間)に、各データ線制御回路36の読出判定回路12において各電流ドライブ節点4の電圧が電圧V3より高いか低いかを判定し(即ち、電圧低下速度が基準抵抗Rref2の場合より速いか遅いかを判定し)、その判定結果を各データ入出力回路11内のラッチ回路FF1に保存する。
次にタイミングT4で、データコントロール回路37は制御信号RJBのLowレベルからHighレベルへの遷移を受けて、制御信号WABをHighレベルに、制御信号PRBをLowレベルにする。また、制御信号VWAVC1の振幅低下ΔVC1を0に戻す。その結果、ノード1a、11aがVSSに、リファレンス電流ドライブ節点44及び電流ドライブ節点4がVDDにリセットされる。
次にタイミングT5でリファレンスデータ線43及び各データ線3をVSSにリセットし、一連の読み出し動作が完了する。
尚、タイミングT2でノード1a、11aの電圧を強制的に振幅電圧ΔVC2だけ引き落としているが、これはタイミングT2からタイミングT3の時間を回路動作上適切な時間に設定するためである。もし、振幅電圧ΔVC2の引き落としをしないとすると、リファレンス電流ドライブ節点44が高速に低下し過ぎて、タイミングT2からタイミングT3の時間が制御信号RJBの1ショット幅と同程度まで短くなり、タイミングT3からタイミングT4の期間中もリファレンス電流ドライブ節点44の電圧が大きく変化するため正確な抵抗値の判定ができなくなる。
一方、振幅電圧ΔVC2を大きくし過ぎると、リファレンス電流ドライブ節点44の電圧低下が非常に低速になり、読み出し動作が遅くなってしまう。タイミングT2〜T3の時間は、容量C2及び制御信号VWAVC1の振幅電圧ΔVC1で調整することができる。特に半導体装置の動作試験などで判定抵抗を変える場合は、基準抵抗Rref2をヒューズトリミングなどで変化させるとよいが、この時、基準抵抗Rref2に合わせて振幅電圧ΔVC1も同時に適切な値になるように調整すると、読み出し動作の時間を所望の一定時間に保つことができる。
以上の読み出し動作により、基準抵抗Rref2に対して抵抗変化型メモリ素子2の抵抗値が高抵抗か、低抵抗かの読み出しが行われる。
以上説明したように、第3の実施形態によれば第1及び第2の実施形態と同様の効果が得られる。即ち、読出時データ線駆動回路33では、図22に示した関連技術の読出時データ線駆動回路243と同様にフィードバック制御を行い、データ線3をリファレンス信号VREADREFの電圧まで高速、且つ正確に充電することができる。さらに第3の実施形態によるフィードバック回路34は簡易な構成の回路とすることができるため、小さなピッチでデータ線制御回路36を配列レイアウトすることができる。その結果、一度のセル読み出し動作で同時に読み出すメモリセルMCの数を多くすることが可能になり、高速なデータ出力を実現することができる。
また、第3の実施形態によれば、高速、高精度なデータ線3の充電だけでなく、抵抗変化型メモリ素子2の抵抗状態の読み出しについても簡易な構成の回路で実現することができる。
また、第3の実施形態では、ウエイト期間及び判定期間において、フィードバック回路電源発生回路112を非活性化しているため、この期間でフィードバック回路電源発生回路112を活性化させる第2の実施形態に比べて低消費電力で動作させることができる。また、第3の実施形態では、電流ドライブ回路35において、電流ドライブ節点4に対する電流iRの供給を行わないので、電流iRの供給を行う第2の実施形態に比べて低消費電力で動作させることができる。また、第3の実施形態では、NMOSトランジスタN1をサブスレッショルド電流の小さい領域(図13の動作点B等)で動作させることで、さらに低消費電力で動作させることができる。
尚、第3の実施形態において、フィードバック回路34は、図11に示すように、第2の実施形態のフィードバック回路(図6の24)を基に、NMOSトランジスタ(第3のスイッチ素子)N3と第2の容量素子C2を追加した構成としたが、それに限定されるものではない。フィードバック回路は、データ線3の電位がVREADREFより低い場合にノード2a(第2の節点)を高い電位に制御し、データ線3の電位がVREADREFより高い場合にノード2a(第2の節点)を低い電位に制御する機能を有するものであればよい。例えば、図22に示した関連技術のフィードバック回路244の差動アンプAMP3Vの出力端子とNMOSトランジスタN1のゲートの間に、NMOSトランジスタN3と第2の容量素子C2を設けるようにしてもよい。この場合、フィードバック回路は簡易な構成とはならないが、データ線3の充電だけでなく抵抗変化型メモリ素子2の抵抗状態の読み出しをさらに回路を追加することなく実現することが可能であり、且つ、低消費電力とすることができる。
[第4の実施形態]
(第4の実施形態の構成)
次に、図14〜図15を参照しながら、第4の実施形態の構成について説明する。第4の実施形態に係る半導体装置は、第3の実施形態に係る半導体装置のデータ線制御回路36、リファレンスデータ線制御回路76、データコントロール回路37を夫々、図14のデータ線制御回路46、リファレンスデータ線制御回路86、データコントロール回路47に置き換えた構成になっている。図14において、データ線制御回路46のデータ線制御回路36からの変更点は、フィードバック回路64として第2の実施形態のフィードバック回路24と同じ構成のものを使用しているということ、及びデータ入出力回路11のPMOSトランジスタP7のゲートに第2の実施形態と同様に制御信号PRBを接続したことである。
(第4の実施形態の構成)
次に、図14〜図15を参照しながら、第4の実施形態の構成について説明する。第4の実施形態に係る半導体装置は、第3の実施形態に係る半導体装置のデータ線制御回路36、リファレンスデータ線制御回路76、データコントロール回路37を夫々、図14のデータ線制御回路46、リファレンスデータ線制御回路86、データコントロール回路47に置き換えた構成になっている。図14において、データ線制御回路46のデータ線制御回路36からの変更点は、フィードバック回路64として第2の実施形態のフィードバック回路24と同じ構成のものを使用しているということ、及びデータ入出力回路11のPMOSトランジスタP7のゲートに第2の実施形態と同様に制御信号PRBを接続したことである。
同様に、図14のリファレンスデータ線制御回路86のフィードバック回路84も第2の実施形態のフィードバック回路24と同じ構成のものを使用し、データ入出回路71のPMOSトランジスタP7のゲートに制御信号PRBを接続している。尚、第4の実施形態において、第2または第3の実施形態と同様の機能を有する構成要素には同じ参照符号を付し重複する説明を省略する。
図15は、データコントロール47の一部を示す回路図である。図15において、定電流カレントミラー源回路51及びVINREF発生回路52は第3の実施形態と同じである。一方、フィードバック回路発生回路114は、第3の実施形態のフィードバック回路発生回路112に対して、判定リファレンス信号VJUDGEREFの入力を追加し、電圧V1(=VREADREF+|VTP|)と電圧V4(=JUDGEREF+|VTP|)のいずれか一方を選択して出力することができるように機能を拡張している。
図15では、PMOSトランジスタP14VとPMOSトランジスタP13Vとで、ノード6aに電圧V4を生成している。そして、PMOSトランジスタP15V、P16V、及びインバータ回路INV2が追加され、制御信号PRBの論理によりノード3aとノード6aを切り替えてノード7aに電圧を出力している。そしてレギュレータ回路41には、ノード7aを入力している。
PMOSトランジスタP13Vは、PMOSトランジスタP1Vと同様に図14のPMOSトランジスタP1と同じプロセス工程で形成することが望ましい。同じプロセス工程とすることで2つのPMOSトランジスタ(P1、P13V)のチャネル長及びチャネル幅の一致精度が向上し、電流駆動能力を同じにすることができる。これにより、ノード6aの電圧を、VJUDGEREFにPMOSトランジスタP1の閾値電圧の絶対値|VTP|を加えた電圧に、精度よく合わせることができる。また、判定リファレンス信号VJUDGEREFの電圧は、後述するように、データ線3の判定レベルであり、読出しリファレンス信号VREADREFの電圧よりも少し低いレベル(図16のΔVC3を参照)に設定するとよい。
(第4の実施形態の動作)
次に、図16を参照しながら、第4の実施形態の動作について説明する。図16は、第4の実施形態に係る半導体装置の読み出し動作の一例を示す波形図である。図16の上段には、制御信号ENB、PRBの電圧を示している。図12の中段には、データ線3、リファレンスデータ線43、電流ドライブ節点4、リファレンス電流ドライブ節点44、ノード11a、及びフィードバック回路電源の電圧を示している。また、図16の下段には、ノード20a(リファレンス読出節点)及びノード10a(読出節点)の電圧を示している。ここで、上記のうち、高抵抗状態のメモリセルに対応した波形は実線で、低抵抗状態のメモリセルに対応した波形は破線で、リファレンス制御回路に関連した波形は点線で示している。
次に、図16を参照しながら、第4の実施形態の動作について説明する。図16は、第4の実施形態に係る半導体装置の読み出し動作の一例を示す波形図である。図16の上段には、制御信号ENB、PRBの電圧を示している。図12の中段には、データ線3、リファレンスデータ線43、電流ドライブ節点4、リファレンス電流ドライブ節点44、ノード11a、及びフィードバック回路電源の電圧を示している。また、図16の下段には、ノード20a(リファレンス読出節点)及びノード10a(読出節点)の電圧を示している。ここで、上記のうち、高抵抗状態のメモリセルに対応した波形は実線で、低抵抗状態のメモリセルに対応した波形は破線で、リファレンス制御回路に関連した波形は点線で示している。
図16において、第2及び第3の実施形態と同様にタイミングT1〜T5の期間は、データ読み出し対象となるメモリセルMCに対応したワード線WL及びマルチプレクサアドレスBAが活性化しているとする。
タイミングT1〜T2はデータ線3の充電期間である。この期間では制御信号ENB、PRBを共にLowレベルとし、ノード7a(図15)は電圧V1となり、フィードバック回路電源VFBは電圧V1を出力するので、第2及び第3の実施形態と同様に、データ線3及びリファレンスデータ線43を電圧VREADREFまで充電する。また、タイミングT1に制御信号PRBがLowレベルに遷移することでPMOSトランジスタP7がオンし、ラッチ回路FF1をリセットし、ノード10a(読出節点)、ノード20a(リファレンス読出節点)はLowレベルに初期化する。また、タイミングT1〜T2において、電流ドライブ回路35、75のPMOSトランジスタP4がオンして電流ドライブ節点4及びリファレンス電流ドライブ節点44をVDDに駆動する。
次にタイミングT2〜T3はウエイト期間である。タイミングT2で制御信号PRBをHighレベルにすることで、ノード7a(図15)は電圧V4に切り替わり、フィードバック回路電源VFBは電圧V4を出力する。その結果、フィードバック回路64のデータ線3の判定レベル、及びフィードバック回路84のリファレンスデータ線43の判定レベルは、電圧V4よりもPMOSトランジスタP1の閾値電圧の絶対値|VTP|だけ低い電圧、即ち、VJUDGEREFとなる。従って、タイミングT2の直後は、データ線3及びリファレンスデータ線43の電圧はVREADREFなので、VJUDGEREFよりも高い電圧であるため、PMOSトランジスタP1がオフし、ノード1a、11aはVSSの近くまで低下する。これにより、NMOSトランジスタN1がオフする。また、タイミングT2〜T3において制御信号PRBをHighレベルにすることで電流ドライブ回路35、75による電圧VDDの駆動を停止させている。その結果、タイミングT2直後に電流ドライブ節点4及びリファレンス電流ドライブ節点44はフローティングになるが、それらの節点の寄生容量によりVDD付近の電圧を保持している。
タイミングT2以降、リファレンスデータ線43の大きな寄生容量に蓄えられた電荷が基準抵抗Rref2に流れる電流で失われていくので、リファレンスデータ線43の電圧はゆっくりと低下する(図16のタイミングT2〜T3のリファレンスデータ線43:点線)。そして、リファレンスデータ線43がVJUDGEREFの電圧まで低下するタイミングT3で、PMOSトランジスタP1がオンしてノード11aを高い電圧に持ち上げ、NMOSトランジスタN1がオンする。NMOSトランジスタN1がオンすると、リファレンス電流ドライブ節点44がVDDからリファレンスデータ線43の電圧まで低下する(図16のタイミングT3のリファレンス電流ドライブ節点44:点線)。
同様にデータ線3の電圧も各抵抗変化型メモリ素子2の抵抗値に依存して流れる電流に応じてゆっくりと低下する(図16のタイミングT2〜T3のデータ線3)。ここで、抵抗変化型メモリ素子2が低抵抗の場合、対応するデータ線3の電圧はタイミングT3よりも早く電圧VJUDGEREFまで低下するので、そのデータ線制御回路46の電流ドライブ節点4は、タイミングT3よりも早くデータ線3の電圧まで低下する(図16のタイミングT2〜T3の電流ドライブ節点4:破線)。
一方、抵抗変化型メモリ素子2が高抵抗の場合、対応するデータ線3の電圧はタイミングT3では未だ電圧VJUDGEREFまで低下していないので、そのデータ線制御回路46の電流ドライブ節点4は、VDD付近の電圧を保持している(図16のタイミングT2〜T3の電流ドライブ節点:実線)。
このように第4の実施形態において、抵抗変化型メモリ素子2が基準抵抗Rref2より低抵抗の場合は電流ドライブ節点4の電位低下のタイミングはリファレンスドライブ節点44より早くなる。一方、抵抗変化型メモリ素子2が基準抵抗Rref2より高抵抗の場合はリファレンスドライブ節点44が電位低下した時点で、電流ドライブ節点4は未だ電位低下しない。
タイミングT3〜T4は判定期間である。タイミングT3で、リファレンス電流ドライブ節点44が電圧V3よりも低い電圧まで低下するとリファレンス読出判定回路72のPMOSトランジスタP5がオンして、ノード20a(リファレンス読出節点)がLowレベルからHighレベルに遷移する。その遷移を受け、1ショット回路48により制御信号RJBが1ショットでタイミングT4までの期間、Lowレベルになる。この1ショット期間(判定期間)に、各データ線制御回路46の読出判定回路12にて、各電流ドライブ節点4の電圧が電圧V3より高いか、低いかを判定して、その判定結果を各データ入出力回路11内の各ラッチ回路FF1に保存する。
次にタイミングT4において、データコントロール回路47は制御信号RJBのHighレベルからLowレベルの遷移を受け、制御信号ENBをHighレベルにする。その結果、フィードバック電源電圧VFB、ノード1a、及びノード11aがVSSになる。
次にタイミングT5において、リファレンスデータ線43及び各データ線3はVSSにリセットされ、一連の読み出し動作が完了する。
尚、ΔVC3(=VREADREF−VJUDGEREF)の電圧により、タイミングT2〜T3の時間を回路動作上適切な時間に設定することができる。適切な時間に設定する理由、効果、及び調整方法は、第3の実施形態の制御信号VWAVC1の振幅電圧ΔVC1の調整と同様である。
以上の読み出し動作により、基準抵抗Rref2に対して抵抗変化型メモリ素子2の抵抗値が高抵抗か低抵抗かを判定する読み出しが行われる。
以上説明したように、第4の実施形態によれば第1及び第2の実施形態と同様の効果が得られる。即ち、読出時データ線駆動回路143では、図22に示した関連技術の読出時データ線駆動回路243と同様にフィードバック制御を行い、データ線3をリファレンス信号VREADREFの電圧まで高速、且つ正確に充電することができる。さらに第4の実施形態によるフィードバック回路64は、簡易な構成の回路とすることができるため、小さなピッチでデータ線制御回路46を配列レイアウトすることができる。その結果、一度のセル読み出し動作で同時に読み出すメモリセルMCの数を多くすることが可能になり、高速なデータ出力を実現することができる。
第4の実施形態のフィードバック回路64は、第3の実施形態のフィードバック回路34の第3のスイッチ素子N3及び第2の容量素子C2を使用しない構成(即ち、第2の実施形態のフィードバック回路24と同じ構成)とすることができる。これにより、第4の実施形態のデータ線制御回路46は、第3の実施形態のデータ線制御回路36に比べて、簡易な構成とすることができる。
また、第4の実施形態では、第3の実施形態と同様に、電流ドライブ回路35において、電流ドライブ節点4に対する電流iRの供給を行わないので、電流iRの供給を行う第2の実施形態に比べて低消費電力で動作させることができる。
また、第4の実施形態によれば、高速、高精度なデータ線3の充電だけでなく、抵抗変化型メモリ素子2の抵抗状態の読み出しについても簡易な構成の回路で実現することができる。
[第5の実施形態]
(第5の実施形態の構成)
次に、図17〜図19を参照しながら、第5の実施形態の構成について説明する。第5の実施形態は、第4の実施形態に対して書込簡易判定の機能を新たに追加したものである。第5の実施形態では、書込簡易判定の機能を中心に説明を行うこととし、第4の実施形態と実質的に同様な機能を有する構成要素には同じ参照符号を付し、重複する説明を省略する。
(第5の実施形態の構成)
次に、図17〜図19を参照しながら、第5の実施形態の構成について説明する。第5の実施形態は、第4の実施形態に対して書込簡易判定の機能を新たに追加したものである。第5の実施形態では、書込簡易判定の機能を中心に説明を行うこととし、第4の実施形態と実質的に同様な機能を有する構成要素には同じ参照符号を付し、重複する説明を省略する。
まず、第5の実施形態の背景について説明する。抵抗変化型メモリ素子の書込み制御(即ち、抵抗変化型メモリ素子の抵抗値の高抵抗化/低抵抗化の遷移の制御)は、抵抗変化型メモリ素子の両端に電圧を印加することで行われるが、ReRAM等の抵抗変化型メモリ素子の場合、書込み電圧を印加した後の抵抗値は統計的な分布を有し、書込み電圧を印加する度にその分布の中で抵抗値が確率的に変動することが知られている。そのため、書込み電圧を1回印加した後に、図16等に示す正確な読出し電圧VREADREFでの読み出し動作により所望の抵抗値範囲に変化したか(即ち、書込みが成功したか)を確認する、「書込&読出」が行われる。さらに、書込みに失敗したメモリセルに対してのみ再度「書込&読出」を行い、全てのメモリセルの書込みが成功するまで「書込&読出」の制御を繰り返す、いわゆるベリファイを行う必要がある。しかし、書込み電圧を1回印加するごとに、読み出し動作で長い時間のデータ線充電期間が必要となるため、書込み成功率が低いと「書込&読出」の制御回数が増え、全てのメモリセルの書換えが成功するまでの時間が長くなるという問題がある。
そこで、第5の実施形態では上記の問題を解消するため、複数のメモリセルに同時に書き込む際に、以下のシーケンスを行うようにしている。即ち、書込みのために書込回路58によりデータ線3に大きな電圧を印加した後、書込回路58を停止させ、データ線3の寄生容量をメモリセルMCの抵抗で放電し、所定時間経過後にデータ線3の電圧を判定することで、「おおよそ書込み成功」、「おおよそ書込み失敗」のいずれかであるかを判定する簡易判定を行う。そして、おおよそ書込み失敗と判定されたメモリセルのみに対し、再度、書込回路58によりデータ線3に大きな電圧を印加した後、放電して所定時間経過後にデータ線3の電圧を簡易判定するサイクルを複数回繰り返す。その後、図16等に示す正確な読出し電圧VREADREFでの読み出し動作により所望の抵抗値範囲に変化したか(即ち、書込みが成功したか)を正確に判断する。第5の実施形態による上記のシーケンスを「書込簡易判定&読出」という。1回の「書込簡易判定&読出」の動作の中で、書込電圧の印加及び簡易判定を複数回繰り返すので、書き込み成功率を高めることができ、その結果、全体の書込み時間を短縮することが可能になる。
一般的に、ReRAM等の抵抗変化型メモリ素子の抵抗値にはバイアス依存性がある(オーミック抵抗ではない)。そのため、読み出しは、正確な読出し電圧(VREADREF)で行う必要がある。また、読出し電圧(VREADREF)よりも大きな電圧(例えば、書込み電圧)が抵抗変化型メモリ素子に印加されていると、抵抗変化型メモリ素子の抵抗値が変化していく可能性があるため、放電を行うウエイト期間に抵抗値が変化してしまう抵抗変化型メモリ素子が存在する場合がある。これらの理由により、上記の簡易判定では、書込みに関して、おおよその成功、又はおおよその失敗しか判断できない。従って、第5の実施形態では、前述したように、1回の「書込簡易判定&読出」の最後に、読出し電圧(VREADREF)による正確な読み出し動作を行うようにしている。
図17は、第5の実施形態に係る半導体装置のデータ線制御回路56及びリファレンスデータ線制御回路96の回路図である。図17を図14(第4の実施形態)と比較すると分かるように、図17では、書込回路58、リファレンス書込回路98、フィードバック回路電源発生回路116が図14に対して変更され、1ショット回路49が新たに追加されている。上記以外の構成要素で実質的に第4の実施形態と同様の機能を有するものには同じ参照符号を付し、重複する説明を省略する。
図18を参照しながら、データ線制御回路56の書込回路58について説明する。図18において、書込回路58は、データ線駆動回路120、ラッチ回路FF2、NMOSトランジスタ(N1W、N2W、N3W)を含んで構成される。データ線駆動回路120は、2つのPMOSトランジスタP1W、P2Wの直列接続により構成される。PMOSトランジスタP1Wのゲートには書込タイミング信号が供給され、PMOSトランジスタP2Wのゲートはラッチ回路FF2の出力と接続される。上記の構成により、書込タイミング信号及びラッチ回路FF2の出力が共にLowレベルの場合、2つのPMOSトランジスタP1W、P2Wが導通し、データ線3に電圧VDDが印加される。
2つのNMOSトランジスタN2W、N3Wは、ラッチ回路FF2の入力端と接地VSSの間に直列に接続される。NMOSトランジスタN2Wのゲートには1ショット回路49の出力信号WJTが供給される。また、NMOSトランジスタN3Wのゲートはノード1aと接続される。上記の構成により、ノード1aがHighレベルのときに、1ショット回路49から1ショット信号が出力され信号WJTがHighに遷移すると、2つのNMOSトランジスタN2W、N3Wが導通し、WRITE_FLAGが非活性化し(Lowレベル)、データ線駆動回路120が非活性化される。
また、NMOSトランジスタN1Wのソース/ドレインの一方はラッチ回路FF2の入力と接続され、ソース/ドレインの他方にはライトデータ59が供給される。また、NMOSトランジスタN1Wのゲートにはデータ転送信号が供給される。上記の構成により、ライトデータ59に応じてラッチ回路FF2を設定する際に、データ転送信号をHighレベルにして、ライトデータの論理レベルをラッチ回路FF2の入力に与える。
次に、図19を参照しながら、リファレンスデータ線制御回路96のリファレンス書込回路98について説明する。図19を図18と比較すると分かるように、図18のNMOSトランジスタN1Wが、図19ではPMOSトランジスタP3Wに置き換わっている。そしてPMOSトランジスタP3Wのゲートには書込タイミング信号が供給される。また、図19のリファレンス書込回路98では、図18の書込回路58のデータ線3、WRITE_FLAG、ライトデータ59、WJTを、それぞれ、リファレンスデータ線43、REF_WRITE_FLAG、VDD、VDDに置き換えている。また、図19のREF_WRITE_FLAG(ラッチ回路FF2の入力信号)は、1ショット回路49の入力と接続され、1ショット信号の生成に用いられる。
上記の構成により、リファレンス書込回路98では書込タイミング信号がLowレベルに活性化される度に、2つのPMOSトランジスタP1W、P2Wが導通して、リファレンスデータ線43に電圧VDDが印加される。また、書込タイミング信号がHighレベルのときに、ノード11aがHighレベルに遷移したタイミングでREF_WRITE_FLAGがLowレベルに遷移する。
図18の書込回路58では、簡易判定を行うのに、ノード1aの電圧を使用している。第2〜第4の実施形態の読み出し動作時には、電流ドライブ節点4の電圧変化を検出していたが、書き込み時は電流ドライブ回路35を動作させないため、電流ドライブ節点4を簡易判定に使用することはできない。そこで、簡易判定にノード1aの電圧変化を用いている。データ線3の電圧>書込簡易判定リファレンスVWJREFの場合、PMOSトランジスタP1がオフし、ノード1aはLowレベルとなる(書込簡易判定リファレンスVWJREFはデータ線3を放電させる際の判定電圧である。詳細は図20で後述)。一方、データ線3の電圧<書込簡易判定リファレンスVWJREFの場合、PMOSトランジスタP1がオンし、ノード1aはHighレベルとなる。これにより、ウエイト期間において放電されるデータ線3の電圧が書込簡易判定リファレンスVWJREFよりも高いか低いかをノード1aの電圧により判定することができる。
図19のリファレンス書込回路98においても、簡易判定の際に、ノード11aの電圧変化を用いている。リファレンスデータ線43の電圧>書込簡易判定リファレンスVWJREFの場合、PMOSトランジスタP1がオフし、ノード11aはLowレベルとなる。一方、リファレンスデータ線43の電圧<書込簡易判定リファレンスVWJREFの場合、PMOSトランジスタP1がオンし、ノード11aはHighレベルとなる。これにより、ウエイト期間において放電されるリファレンスデータ線43の電圧が書込簡易判定リファレンスVWJREFよりも高いか低いかをノード11aの電圧により判定することができる。
次に、図17の1ショット回路49について説明する。1ショット回路49は、リファレンス書込回路98が出力するREF_WRITE_FLAGの信号がHighレベルからLowレベルに遷移したことを受けて、1ショット信号をWJTに出力する機能を有する。該1ショット信号は、簡易判定の期間にHighレベルとなるパルスである(図20参照)。前述したように、REF_WRITE_FLAGは、ノード11aがHighレベルに遷移したタイミングでLowレベルに遷移するので、該1ショット信号は、ノード11aがHighレベルに遷移するタイミングで発生する。尚、WJTの配線は、書込回路58のNMOSトランジスタN2Wのゲートと接続されているので、該1ショット信号により、書込回路58のWRITE_FLAGが制御される。
次に、図17のフィードバック回路電源発生回路116について説明する。第4の実施形態では、フィードバック回路電源発生回路114が2つの電圧(VREADREF、VJUDGEREF)を入力し、それぞれ対応する出力電圧(V1、V4)を切り替え可能に構成していた(図15参照)。第5の実施形態のフィードバック回路電源発生回路116では、入力として書込簡易判定リファレンスの電圧VWJREFを追加し、対応する出力電圧VWJ1(=VWJREF+|VTP|)を生成し、VWJ1も出力可能としている。フィードバック回路電源発生回路116の詳細な回路図は図示しないが、図15のノード3a、ノード6aの電圧を生成する回路に、VWJ1を生成する回路を追加すればよい。
(第5の実施形態の動作)
次に、図20を参照しながら、第5の実施形態の動作について説明する。図20は、複数のデータ線制御回路56により、対応する複数のメモリセルに外部から供給するライトデータによる書込みを行う際に、前述した「書込簡易判定&読出」のシーケンスを実施する一例を示している。尚、書込み動作は、SET書込み(即ち、低抵抗状態にする書込み)を想定しており、ライトデータが論理値「1」の場合に、書き込み動作を行う。
次に、図20を参照しながら、第5の実施形態の動作について説明する。図20は、複数のデータ線制御回路56により、対応する複数のメモリセルに外部から供給するライトデータによる書込みを行う際に、前述した「書込簡易判定&読出」のシーケンスを実施する一例を示している。尚、書込み動作は、SET書込み(即ち、低抵抗状態にする書込み)を想定しており、ライトデータが論理値「1」の場合に、書き込み動作を行う。
図20の上段は、制御信号ENB、PRB、リードライトバスRWBS、書込回路58に供給されるデータ転送信号、書込タイミング信号を示している。図20の中段は、フィードバック回路電源VFB、データ線3の電圧、リファレンスデータ線43の電圧、ノード1aの電圧、ノード11aの電圧を示している。図20の下段は、1ショット回路49の出力であるWJT、書込みフラグ信号WRITE_FLAGを示している。ここで、上記のうち、高抵抗状態のメモリセルに対応した波形は実線で、低抵抗状態のメモリセルに対応した波形は破線で、リファレンス制御回路に関連した波形は点線で示している。
図20において、まず、タイミングTW1で図10のCOM端子に書込みコマンドが入力される。次に、タイミングTW2〜TW3の期間はデータ入力期間であり、図10のDQ端子からライトデータが入力され、RWBSを通して各データ線制御回路56のラッチ回路FF1にライトデータが順次取り込まれる。
次に、タイミングTW3から「書込簡易判定&読出」のシ−ケンスが開始される。まず、タイミングTW3では、データ転送信号が1ショットで活性化し、ラッチ回路FF1に保持されたライトデータが書込回路58へ入力され、書込回路58のラッチ回路FF2に取り込まれる。ここで、SET書込みを行うメモリセルMCに対応した書込回路58の書込みフラグ信号WRITE_FLAGはHighになる。また、タイミングTW3では制御信号ENBをLowレベルにしてフィードバック回路電源発生回路116を活性化し、フィードバック回路電源VFBに電圧VWJ1を出力する。
次に、タイミングTW41〜TW71はサイクル1の書込簡易判定期間であり、書込み電圧の印加、及び簡易判定を行う。まず、タイミングTW41で書込みタイミング信号をLowレベルに活性化する。WRITE_FLAGがHighレベルのデータ線制御回路56において、タイミングTW41〜TW51の期間(書込駆動期間)、データ線3に書込み電圧VDDを印加する。このとき、データ線3の電圧(VDD)>書込み簡易リファレンスVWJREFとなるので、ノード1aはLowレベルに遷移する。
次のタイミングTW51〜TW61は、ウエイト期間である。タイミングTW51で書込タイミング信号をHighレベルに非活性化し、書込回路58による電圧VDDの印加を停止する。この期間では、データ線3はその寄生容量に蓄えられた電荷をメモリセルMCを介して放電する。このとき、抵抗変化型メモリ素子2がSET書込みにより低い抵抗値になっていればデータ線3の電圧は高速に低下する。一方、抵抗変化型メモリ素子2が高い抵抗値ならば、データ線3の電圧はゆっくりと低下する。
タイミングTW51〜TW61のウエイト期間では、リファレンスデータ線制御回路96においても、同様に、リファレンスデータ線43はその寄生容量に蓄えられた電荷を基準抵抗Rref2を介して放電する。リファレンスデータ線43が電圧VWJREFまで低下するタイミングTW61でノード11aはHighレベルへ遷移し、図19のリファレンス書込回路98は、ノード11aの遷移を受けて、リファレンス書込みフラグ信号REF_WRITE_FLAGをHighレベルからLowレベルに遷移する。さらに、この遷移を、1ショット回路49が受け、タイミングTW61〜TW71の期間(簡易判定の期間)、制御信号WJTに1ショット信号を出力する。
タイミングTW61〜TW71の期間(簡易判定の期間)において、ノード1aがHighレベル、即ち、データ線3の電圧が大きく変化して電圧VWJREF以下になった場合、WRITE_FLAGがLowレベルに遷移する。これは、抵抗変化型メモリ素子2が基準抵抗Rref2よりも低い抵抗値であることを意味し、SET書込みにおおよそ成功していることを示している。一方、この簡易判定期間において、ノード1aがLowレベル、即ち、データ線3の電圧変化が少なく電圧VWJREF以上の場合には、WRITE_FLAGはHighレベルのままである。これは、抵抗変化型メモリ素子2が基準抵抗Rref2よりも高い抵抗値であることを意味し、SET書込みにおおよそ失敗していることを示している。
図20を参照すると、簡易判定期間において、低抵抗の抵抗変化型メモリ素子2に対応するデータ線3(破線)は電圧VWJREF以下まで低下し、WRITE_FLAG(破線)はLowレベルに遷移している。一方、高抵抗の抵抗変化型メモリ素子2対応するデータ線3(実線)は電圧VWJREF以上であり、WRITE_FLAG(実線)はHighレベルのままである。
次に、タイミングTW42〜TW72はサイクル2の書込簡易判定期間であり、書込み電圧の印加、及び簡易判定を行う。サイクル1で書込みにおおよそ失敗したメモリセルMCに対応する書込回路58のWRITE_FLAGはHighレベルのままである。サイクル2では、WRITE_FLAGがHighレベルのメモリセルMCのみに対して書き込みを行う。具体的には、タイミングTW42〜TW52(書込駆動期間)において、書込タイミング信号をLowレベルに活性化し、WRITE_FLAGがHighレベルである書込回路58に対応するデータ線3に書込み電圧VDDを印加する。一方、サイクル1で書込みにおおよそ成功したメモリセルに対応する書込回路58のWRITE_FLAGはLowレベルになっており、そのデータ線3には書込み電圧が印加されない。
尚、リファレンス書込回路98のREF_WRITE_FLAGは、タイミングTW42〜TW52の書込タイミング信号の活性化でHighレベルに活性化され、リファレンスデータ線43に書込み電圧VDDが印加される。
次のタイミングTW52〜TW62はサイクル2のウエイト期間、タイミングTW62〜TW72はサイクル2の簡易判定期間である。図20を参照すると、サイクル1でおおよそ書込み失敗となったメモリセルが、サイクル2の簡易判定期間においてデータ線3の電圧がVWJREF以下まで低下し(実線)、おおよそ書込み成功に変化している。また、その結果、対応するWRITE_FLAGはLowレベルに遷移している(実線)。
次に、タイミングTW43〜TW53は、サイクル3の期間である。この期間では、サイクル2でおおよそ書込み失敗のメモリセルMCに対応するデータ線3に対してのみ書込み電圧VDDの印加を行う。尚、サイクル3においては、ウエイト期間、簡易判定期間の動作は行わない。それは、その後、正確な読出し動作を行うためである。
次に、タイミングTW8で制御信号ENBをHighレベルにすることでフィードバック回路電源VFBを非活性化する。その後、図16(第4の実施形態)と同様の読み出し動作を実施し、正確な読み出し動作により所望の抵抗値範囲になったか否かの確認を行い、書込み成功、書込み失敗の結果が、データ入出力回路11のラッチ回路FF1に格納される。以上のタイミングTW3〜TW9の動作が1回の「書込簡易判定&読出」動作であるが、この動作の中で、書込み電圧の印加及び簡易判定を複数回繰り返しているので、書込み電圧の印加を1回のみ行う場合に対して書き込み成功率が飛躍的に高くなる。
次に、1回目の「書込簡易判定&読出」で書込み失敗のデータ線制御回路56のみに対して、2回目の「書込簡易判定&読出」の開始タイミングでWRITE_FLAGをHighレベルに活性化し書き込み動作を行う。そして、全てのメモリセルMCへの書込みが成功するまで「書込簡易判定&読出」動作を繰り返し行う。
以上説明したように、第5の実施形態によれば、以下に示す効果が得られる。第5の実施形態では、フィードバック回路54を書込簡易判定に流用することで、書込簡易判定を簡単な回路構成で行うことが可能になる。その結果、小さなピッチで書込簡易判定の機能を備えたデータ線制御回路56を配列レイアウトすることを可能にすると共に、書込み時間(ベリファイを含む書込み時間)を短くすることが可能になる。
尚、図20に示したシーケンスでは、1回の「書込簡易判定&読出」の中で、サイクル数を3回としているが、それに限定されるものではない。また、最後のサイクルは、前述したようにウエイト期間及び簡易判定を行わなくてもよい。
また、図20はSET書込み(低抵抗状態へ変化させる書き込み)の場合を一例として示したが、RESET書込み(高抵抗状態へ変化させる書き込み)の場合に、第5の実施形態と同様の方式を適用することができる。その場合は、ウエイト期間のデータ線3の電圧の変化が小さい場合(高抵抗状態になった場合)をおおよそ書込み成功とし、ウエイト期間のデータ線3の電圧の変化が大きい場合(低抵抗状態のままの場合)をおおよそ書込み失敗と判定すればよい。
[第6の実施形態]
次に、図21を参照しながら、第6の実施形態について説明する。図21は第6の実施形態に係る半導体装置のデータ線制御回路及びリファレンスデータ線制御回路の回路図である。図21を図14(第4の実施形態)と比較すると、図21では、新たに超高抵抗判定回路160が追加されている。超高抵抗判定回路160は、抵抗変化型メモリ素子2の絶縁状態又は超高抵抗状態を判定するために追加したものである。その他については図14と同じであるため、同じ参照符号を付して重複する説明を省略する。
次に、図21を参照しながら、第6の実施形態について説明する。図21は第6の実施形態に係る半導体装置のデータ線制御回路及びリファレンスデータ線制御回路の回路図である。図21を図14(第4の実施形態)と比較すると、図21では、新たに超高抵抗判定回路160が追加されている。超高抵抗判定回路160は、抵抗変化型メモリ素子2の絶縁状態又は超高抵抗状態を判定するために追加したものである。その他については図14と同じであるため、同じ参照符号を付して重複する説明を省略する。
まず、超高抵抗判定回路160を追加した背景について説明する。金属酸化物を使用するReRAMの抵抗変化型メモリ素子では、成膜後は絶縁状態又は超高抵抗状態になっており、通常の書き込み電圧ではスイッチング動作しない。そこで、フォーミング処理と呼ばれる抵抗変化型メモリ素子に高い電圧を印加する工程によって、抵抗変化型メモリ素子が高抵抗状態と抵抗状態の間をスイッチング動作可能な状態に初期化する。
フォーミング処理の電圧条件を決めるテストなどにおいて、読出回路には非常に高い抵抗状態を判定する超高抵抗測定モードが求められる。この超高抵抗測定モードで読み出し動作をさせるには、例えば、第4の実施形態(図14)において、図14の基準抵抗Rref2の抵抗値を超高抵抗に切り替える方法が考えられる。しかしながら、リファレンスデータ線43は、図10に示すとおりダミーMUX57等に接続されており、欠陥等による微小なリーク電流が発生する場合がある。このようなリーク電流が、基準抵抗Rref2の超高抵抗値による電流よりも大きくなると、そのリファレンスデータ線制御回路86で生成される制御信号RJBが該リーク電流の影響を受けているため、制御信号RJBを入力する全てのデータ線制御回路46が正常動作しないという問題が生じる。
上記の問題を解消するため、第6の実施形態では、超高抵抗測定モードに適した回路構成として、図21に示す超高抵抗判定回路160を設けている。超高抵抗判定回路160は、第1の容量素子C1とNMOSトランジスタN6とにより構成され、第1の容量素子C1の一端がNMOSトランジスタN6を介してリファレンスデータ線43に接続されている。また、第1の容量素子C1の他端は接地VSSと接続されている。また、NMOSトランジスタN6のゲートには測定モード信号MODE1が供給される。
測定モード信号MODE1をLowレベルに設定した場合は、NMOSトランジスタN6はオフし、第4の実施形態と同じ通常測定モードとして動作する。一方、測定モード信号MODE1をHighレベルに設定した場合は、NMOSトランジスタN6はオンし、超高抵抗測定モードとして動作する。即ち、第6の実施形態では、測定モード信号MODE1により通常測定モードと超高抵抗測定モードとが切り替え可能に構成されている。
超高抵抗測定モードでは、リファレンスデータ線43の配線容量に第1の容量素子の容量値C1が付加される。基準抵抗Rref2を超高抵抗にする代わりに、第1の容量素子C1を付加することにより超高抵抗としたのと同等の放電特性を実現している。
例えば、第1の容量素子の容量値C1をリファレンスデータ線43の100倍に設定すれば、判定抵抗値は基準抵抗Rref2の抵抗値の100倍になる。そして、この時欠陥等による微小なリーク電流が相対的に基準抵抗Rref2に流れる電流値よりも十分小さければ、判定抵抗誤差を小さくすることができ、超高抵抗測定モードを正常に動作させることができる。
以上説明したように、第6の実施形態によれば、以下に示す効果が得られる。第6の実施形態では、第4の実施形態と同様な効果に加えて、超高抵抗測定モードを設けることにより、超高抵抗状態の読み出しを行うことが可能になる。即ち、読み出し時の論理判定の閾値を通常測定モード時よりも高い状態に切り替えて読み出し判定を行うことが可能になる。
上記の各実施形態の一部又は全部は、以下の付記のようにも記載されうるが、以下には限られない。
(付記1)抵抗変化型メモリ素子と、
前記抵抗変化型メモリ素子と電気的に接続されるデータ線と、
制御線と、
電源供給線と、
第1の定電流素子、第1のトランジスタ、及び第2のトランジスタを含む制御回路と、 を備え、
前記制御回路において、
前記第1のトランジスタのゲートが前記データ線に、前記第1のトランジスタのソース及びドレインの一方が前記第1の定電流素子に、前記第1のトランジスタのソース及びドレインの他方が前記電源供給線に、夫々接続され、
前記第2のトランジスタのゲートが前記第1のトランジスタのソース及びドレインの一方に、前記第2のトランジスタのソース及びドレインの一方が前記データ線に、前記第2のトランジスタのソース及びドレインの他方が前記制御線に、夫々接続される、ことを特徴とする半導体装置。
前記抵抗変化型メモリ素子と電気的に接続されるデータ線と、
制御線と、
電源供給線と、
第1の定電流素子、第1のトランジスタ、及び第2のトランジスタを含む制御回路と、 を備え、
前記制御回路において、
前記第1のトランジスタのゲートが前記データ線に、前記第1のトランジスタのソース及びドレインの一方が前記第1の定電流素子に、前記第1のトランジスタのソース及びドレインの他方が前記電源供給線に、夫々接続され、
前記第2のトランジスタのゲートが前記第1のトランジスタのソース及びドレインの一方に、前記第2のトランジスタのソース及びドレインの一方が前記データ線に、前記第2のトランジスタのソース及びドレインの他方が前記制御線に、夫々接続される、ことを特徴とする半導体装置。
(付記2)前記電源供給線に電圧を供給する電源発生回路をさらに備え、
前記電源発生回路は、前記データ線の第1の設定電圧と前記第1のトランジスタの閾値電圧の絶対値とを足し合わせた第1の電圧を前記電源供給線に供給することを特徴とする付記1に記載の半導体装置。
前記電源発生回路は、前記データ線の第1の設定電圧と前記第1のトランジスタの閾値電圧の絶対値とを足し合わせた第1の電圧を前記電源供給線に供給することを特徴とする付記1に記載の半導体装置。
(付記3)前記第1の電流素子は、抵抗であることを特徴とする付記1または2に記載の半導体装置。
(付記4)前記制御回路の前記第1の定電流素子は第3のトランジスタにより構成され、
第1の定電流源と、前記第3のトランジスタとカレントミラー回路を構成する第4のトランジスタとを、前記制御回路の外部に備え、
前記第3のトランジスタの電流は、前記第1の定電流源の電流に基づいて前記カレントミラー回路により制御される、ことを特徴とする付記1または2に記載の半導体装置。
第1の定電流源と、前記第3のトランジスタとカレントミラー回路を構成する第4のトランジスタとを、前記制御回路の外部に備え、
前記第3のトランジスタの電流は、前記第1の定電流源の電流に基づいて前記カレントミラー回路により制御される、ことを特徴とする付記1または2に記載の半導体装置。
(付記5)前記電源発生回路は、
ゲート及びドレインを前記第1の設定電圧に設定し、ソースに前記第1の定電流源の電流と同等の電流を流す第5のトランジスタを備え、
前記第5のトランジスタのソース電圧を基準電圧として、該基準電圧に制御された前記第1の電圧を生成することを特徴とする付記4に記載の半導体装置。
ゲート及びドレインを前記第1の設定電圧に設定し、ソースに前記第1の定電流源の電流と同等の電流を流す第5のトランジスタを備え、
前記第5のトランジスタのソース電圧を基準電圧として、該基準電圧に制御された前記第1の電圧を生成することを特徴とする付記4に記載の半導体装置。
(付記6)前記制御回路は、第1の電源と前記制御線の間に第1のスイッチ素子を備え、
前記第1のスイッチ素子を導通に制御すると共に、前記電源発生回路から前記電源供給線に前記第1の電圧を供給して、前記データ線を前記第1の設定電圧に充電する、第1の制御を行うことを特徴とする付記2乃至5のいずれか一に記載の半導体装置。
前記第1のスイッチ素子を導通に制御すると共に、前記電源発生回路から前記電源供給線に前記第1の電圧を供給して、前記データ線を前記第1の設定電圧に充電する、第1の制御を行うことを特徴とする付記2乃至5のいずれか一に記載の半導体装置。
(付記7)前記制御線に定電流を供給する第2の定電流素子をさらに備え、
前記第1の制御の後、前記第1のスイッチ素子を非導通に制御し、前記第1のスイッチ素子を非導通にしたタイミングから所定時間後に、前記制御線の電位を判定する、第2の制御を行うことを特徴とする付記6に記載の半導体装置。
前記第1の制御の後、前記第1のスイッチ素子を非導通に制御し、前記第1のスイッチ素子を非導通にしたタイミングから所定時間後に、前記制御線の電位を判定する、第2の制御を行うことを特徴とする付記6に記載の半導体装置。
(付記8)前記電源発生回路は、
前記第1の電圧と、
前記第1の設定電圧よりも低く設定された第2の設定電圧に前記第1のトランジスタの閾値電圧の絶対値を足し合わせた第2の電圧と、のいずれか一方を前記電源供給線に供給するように構成され、
前記第1の制御の後、前記第1のスイッチ素子を非導通に制御にすると共に、前記電源発生回路が前記電源供給線に供給する電圧を前記第2の電圧に切り替え、
前記第1のスイッチ素子を非導通にしたタイミングから所定時間後に、前記制御線の電位を判定する、第3の制御を行うことを特徴とする付記6に記載の半導体装置。
前記第1の電圧と、
前記第1の設定電圧よりも低く設定された第2の設定電圧に前記第1のトランジスタの閾値電圧の絶対値を足し合わせた第2の電圧と、のいずれか一方を前記電源供給線に供給するように構成され、
前記第1の制御の後、前記第1のスイッチ素子を非導通に制御にすると共に、前記電源発生回路が前記電源供給線に供給する電圧を前記第2の電圧に切り替え、
前記第1のスイッチ素子を非導通にしたタイミングから所定時間後に、前記制御線の電位を判定する、第3の制御を行うことを特徴とする付記6に記載の半導体装置。
(付記9)基準抵抗素子と、
前記基準抵抗素子と接続するリファレンスデータ線と、
リファレンス制御線と、
前記制御回路と実質的に同一の構成を含み、前記データ線及び前記制御線に代わって前記リファレンスデータ線及び前記リファレンス制御線を夫々制御するリファレンス制御回路と、をさらに備え、
前記第1の制御において、前記データ線と同様に前記リファレンスデータ線を前記第1の設定電圧に充電し、
前記第3の制御において、前記リファレンス制御線の電位の遷移に基づいて、前記所定時間を設定する付記8に記載の半導体装置。
前記基準抵抗素子と接続するリファレンスデータ線と、
リファレンス制御線と、
前記制御回路と実質的に同一の構成を含み、前記データ線及び前記制御線に代わって前記リファレンスデータ線及び前記リファレンス制御線を夫々制御するリファレンス制御回路と、をさらに備え、
前記第1の制御において、前記データ線と同様に前記リファレンスデータ線を前記第1の設定電圧に充電し、
前記第3の制御において、前記リファレンス制御線の電位の遷移に基づいて、前記所定時間を設定する付記8に記載の半導体装置。
(付記10)前記第3の制御において、前記リファレンスデータ線の電位が前記第2の設定電圧まで低下したことに応答して前記リファレンス制御線の電位が低下するタイミングを、前記所定時間が経過したタイミングとすることを特徴とする付記9に記載の半導体装置。
(付記11)前記制御回路は、ライトデータを保持するラッチ回路と、前記ラッチ回路に保持されたライトデータに応じて前記データ線に書込電圧を印加するデータ線駆動回路と、を有する書込回路をさらに備え、
前記書込回路は、前記第1のトランジスタのソース及びドレインの一方と前記第2のトランジスタのゲートとが接続された第1の節点を入力し、
前記第1の節点の電位変化に基づいて前記ラッチ回路に保持されたライトデータを反転させて前記データ線駆動回路を非活性化する、ことを特徴とする付記2乃至10のいずれか一に記載の半導体装置。
前記書込回路は、前記第1のトランジスタのソース及びドレインの一方と前記第2のトランジスタのゲートとが接続された第1の節点を入力し、
前記第1の節点の電位変化に基づいて前記ラッチ回路に保持されたライトデータを反転させて前記データ線駆動回路を非活性化する、ことを特徴とする付記2乃至10のいずれか一に記載の半導体装置。
(付記12)前記ラッチ回路に保持されたライトデータが所定の書き込み動作に対応している場合に、前記データ線駆動回路が前記データ線に前記書込電圧を印加して書込みを行う、第4の制御と、
前記第4の制御後に前記書込電圧の印加を停止し、前記書込電圧の印加を停止したタイミングから所定時間後に前記制御線の電位を判定する、第5の制御を行うことを特徴とする付記11に記載の半導体装置。
前記第4の制御後に前記書込電圧の印加を停止し、前記書込電圧の印加を停止したタイミングから所定時間後に前記制御線の電位を判定する、第5の制御を行うことを特徴とする付記11に記載の半導体装置。
(付記13)前記第5の制御において、前記第1の節点の電位変化が検出されず、前記ラッチ回路に保持されたライトデータが反転しなかった場合に、前記第4及び第5の制御を繰り返すことを特徴とする付記12に記載の半導体装置。
(付記14)基準抵抗素子と、
前記基準抵抗素子と接続するリファレンスデータ線と、
リファレンス制御線と、
前記制御回路と実質的に同一の構成を含み、前記データ線及び前記制御線に代わって前記リファレンスデータ線及び前記リファレンス制御線を夫々制御するリファレンス制御回路と、をさらに備え、
前記第5の制御において、前記制御回路の前記第1の節点に対応する前記リファレンス制御回路の第1のリファレンス節点の電位変化に基づいて、前記所定時間を設定することを特徴とする付記12または13に記載の半導体装置。
前記基準抵抗素子と接続するリファレンスデータ線と、
リファレンス制御線と、
前記制御回路と実質的に同一の構成を含み、前記データ線及び前記制御線に代わって前記リファレンスデータ線及び前記リファレンス制御線を夫々制御するリファレンス制御回路と、をさらに備え、
前記第5の制御において、前記制御回路の前記第1の節点に対応する前記リファレンス制御回路の第1のリファレンス節点の電位変化に基づいて、前記所定時間を設定することを特徴とする付記12または13に記載の半導体装置。
(付記15)前記第5の制御の終了後に、前記第1の設定電圧の充電を含む読出し動作によるベリファイを行う特徴とする付記13または14に記載の半導体装置。
(付記16)第2のスイッチ素子と、前記第2のスイッチ素子を介して一端が前記リファレンスデータ線と接続された第1の容量素子と、をさらに備え、
前記第2のスイッチ素子を非導通にした状態で行う第1の読み出し動作と、前記第2のスイッチ素子を導通にした状態で行う第2の読み出し動作とを切り替え可能に構成したことを特徴とする付記9または14に記載の半導体装置。
前記第2のスイッチ素子を非導通にした状態で行う第1の読み出し動作と、前記第2のスイッチ素子を導通にした状態で行う第2の読み出し動作とを切り替え可能に構成したことを特徴とする付記9または14に記載の半導体装置。
(付記17)前記第2の読み出し動作で判定する抵抗状態の判定閾値は、前記第1の読み出し動作で判定する抵抗状態の判定閾値よりも高いことを特徴とする付記16に記載の半導体装置。
(付記18)前記電源供給線を共有する複数の前記制御回路を第1の方向に並べて配置したことを特徴とする付記1乃至17のいずれか一に記載の半導体装置。
(付記19)抵抗変化型メモリ素子と、
前記抵抗変化型メモリ素子と電気的に接続されるデータ線と、
制御線と、
前記データ線を入力し第2の節点の電位を制御するフィードバック回路と、第2のトランジスタと、第1の電源と前記制御線の間に設けられた第1のスイッチ素子とを含む制御回路と、
を備え、
前記第2のトランジスタのゲートが前記フィードバック回路の出力節点に、前記第2のトランジスタのソース及びドレインの一方が前記データ線に、前記第2のトランジスタのソース及びドレインの他方が前記制御線に、夫々接続され、
前記フィードバック回路は、前記第2の節点と前記フィードバック回路の出力節点の間に第3のスイッチ素子を備えたことを特徴とする半導体装置。
前記抵抗変化型メモリ素子と電気的に接続されるデータ線と、
制御線と、
前記データ線を入力し第2の節点の電位を制御するフィードバック回路と、第2のトランジスタと、第1の電源と前記制御線の間に設けられた第1のスイッチ素子とを含む制御回路と、
を備え、
前記第2のトランジスタのゲートが前記フィードバック回路の出力節点に、前記第2のトランジスタのソース及びドレインの一方が前記データ線に、前記第2のトランジスタのソース及びドレインの他方が前記制御線に、夫々接続され、
前記フィードバック回路は、前記第2の節点と前記フィードバック回路の出力節点の間に第3のスイッチ素子を備えたことを特徴とする半導体装置。
(付記20)前記第1及び第3のスイッチ素子を導通して、前記フィードバック回路は、前記データ線の電位が第1の設定電圧より低い場合に前記第2の節点を高い電位に制御し、前記データ線の電位が前記第1の設定電圧より高い場合に前記第2の節点を低い電位に制御する、ことを特徴とする付記19に記載の半導体装置。
(付記21)一方の端子を前記フィードバック回路の出力節点に接続した第2の容量素子を備え、前記第2の容量素子の他方の端子に振幅電圧が制御可能な電圧幅制御信号を供給したことを特徴とする付記19または20に記載の半導体装置。
(付記22)前記第1及び第3のスイッチ素子を導通に制御して、前記データ線を前記第1の設定電圧に充電する第1の制御と、
前記第1の制御の後に、前記第1及び第3のスイッチ素子を非導通に制御すると共に、前記電圧幅制御信号を所定の振幅電圧だけ低く設定して、前記制御線の電位の低下速度を判定する、第6の制御を行うことを特徴とする付記21に記載の半導体装置。
前記第1の制御の後に、前記第1及び第3のスイッチ素子を非導通に制御すると共に、前記電圧幅制御信号を所定の振幅電圧だけ低く設定して、前記制御線の電位の低下速度を判定する、第6の制御を行うことを特徴とする付記21に記載の半導体装置。
(付記23)前記第6の制御における前記制御線の電位の低下速度の判定は、前記第1及び第3のスイッチ素子を非導通にしたタイミングから所定時間後に前記制御線の電位を判定することにより行うことを特徴とする付記22に記載の半導体装置。
(付記24)基準抵抗素子と、
前記基準抵抗素子と接続するリファレンスデータ線と、
リファレンス制御線と、
前記制御回路と実質的に同一の構成を含み、前記データ線及び前記制御線に代わって前記リファレンスデータ線及び前記リファレンス制御線を夫々制御するリファレンス制御回路と、をさらに備え、
前記第1の制御において、前記データ線と同様に前記リファレンスデータ線を前記第1の設定電圧に充電し、
前記第6の制御において、前記リファレンス制御線の電位の低下に基づいて、前記所定時間を設定することを特徴とする付記23に記載の半導体装置。
前記基準抵抗素子と接続するリファレンスデータ線と、
リファレンス制御線と、
前記制御回路と実質的に同一の構成を含み、前記データ線及び前記制御線に代わって前記リファレンスデータ線及び前記リファレンス制御線を夫々制御するリファレンス制御回路と、をさらに備え、
前記第1の制御において、前記データ線と同様に前記リファレンスデータ線を前記第1の設定電圧に充電し、
前記第6の制御において、前記リファレンス制御線の電位の低下に基づいて、前記所定時間を設定することを特徴とする付記23に記載の半導体装置。
(付記25)前記フィードバック回路は、
第1の定電流素子と、
ゲートが前記データ線に、ソース及びドレインの一方が前記第1の定電流素子に、ソース及びドレインの他方が電源供給線に、夫々接続される第1のトランジスタと、をさらに備えたことを特徴とする付記19乃至24のいずれか一に記載の半導体装置。
第1の定電流素子と、
ゲートが前記データ線に、ソース及びドレインの一方が前記第1の定電流素子に、ソース及びドレインの他方が電源供給線に、夫々接続される第1のトランジスタと、をさらに備えたことを特徴とする付記19乃至24のいずれか一に記載の半導体装置。
(付記26)前記電源供給線に電圧を供給する電源発生回路をさらに備え、
前記電源発生回路は、前記データ線の第1の設定電圧と前記第1のトランジスタの閾値電圧の絶対値とを足し合わせた第1の電圧を前記電源供給線に供給することを特徴とする付記25に記載の半導体装置。
前記電源発生回路は、前記データ線の第1の設定電圧と前記第1のトランジスタの閾値電圧の絶対値とを足し合わせた第1の電圧を前記電源供給線に供給することを特徴とする付記25に記載の半導体装置。
(付記27)前記電源発生回路は、前記第1の制御において前記第1の電圧を前記電源供給線に供給し、前記第6の制御において前記第1の電圧の供給を停止する、ことを特徴とする付記26に記載の半導体装置。
(付記28)前記第1の定電流素子は、抵抗であることを特徴とする付記25乃至27のいずれか一に記載の半導体装置。
(付記29)前記制御回路の前記第1の定電流素子は第3のトランジスタにより構成され、
第1の定電流源と、前記第3のトランジスタとカレントミラー回路を構成する第4のトランジスタとを、前記制御回路の外部に備え、
前記第3のトランジスタの電流は、前記第1の定電流源の電流に基づいて前記カレントミラー回路により制御される、ことを特徴とする付記25乃至27のいずれか一に記載の半導体装置。
第1の定電流源と、前記第3のトランジスタとカレントミラー回路を構成する第4のトランジスタとを、前記制御回路の外部に備え、
前記第3のトランジスタの電流は、前記第1の定電流源の電流に基づいて前記カレントミラー回路により制御される、ことを特徴とする付記25乃至27のいずれか一に記載の半導体装置。
(付記30)前記電源発生回路は、
ゲート及びドレインを前記第1の設定電圧に設定し、ソースに前記第1の定電流源の電流と同等の電流を流す第5のトランジスタを備え、
前記第5のトランジスタのソース電圧を基準電圧として、該基準電圧に制御された前記第1の電圧を生成することを特徴とする付記29に記載の半導体装置。
ゲート及びドレインを前記第1の設定電圧に設定し、ソースに前記第1の定電流源の電流と同等の電流を流す第5のトランジスタを備え、
前記第5のトランジスタのソース電圧を基準電圧として、該基準電圧に制御された前記第1の電圧を生成することを特徴とする付記29に記載の半導体装置。
(付記31)第2のスイッチ素子と、前記第2のスイッチ素子を介して一端が前記リファレンスデータ線と接続された第1の容量素子と、をさらに備え、
前記第2のスイッチ素子を非導通にした状態で行う第1の読み出し動作と、前記第2のスイッチ素子を導通にした状態で行う第2の読み出し動作とを切り替え可能に構成したことを特徴とする付記24に記載の半導体装置。
前記第2のスイッチ素子を非導通にした状態で行う第1の読み出し動作と、前記第2のスイッチ素子を導通にした状態で行う第2の読み出し動作とを切り替え可能に構成したことを特徴とする付記24に記載の半導体装置。
(付記32)前記第2の読み出し動作で判定する抵抗状態の判定閾値は、前記第1の読み出し動作で判定する抵抗状態の判定閾値よりも高いことを特徴とする付記31に記載の半導体装置。
(付記33)前記電源供給線を共有する複数の前記制御回路を第1の方向に並べて配置したことを特徴とする付記19乃至32のいずれか一に記載の半導体装置。
なお、本発明の全開示(請求の範囲及び図面を含む)の枠内において、さらにその基本的技術思想に基づいて、実施形態の変更・調整が可能である。また、本発明の請求の範囲の枠内において種々の開示要素(各請求項の各要素、各実施形態の各要素、各図面の各要素等を含む)の多様な組み合わせないし選択が可能である。すなわち、本発明は、請求の範囲及び図面を含む全開示、技術的思想にしたがって当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。特に、本書に記載した数値範囲については、当該範囲内に含まれる任意の数値ないし小範囲が、別段の記載のない場合でも具体的に記載されているものと解釈されるべきである。
1、101、301:半導体装置
1a、11a:ノード(第1の節点)
2:抵抗変化型メモリ素子
2a、12a:ノード(第2の節点)
3:データ線
3a、4a、5a、6a、7a:ノード
4:電流ドライブ節点(制御線)
5:フィードバック回路電源配線(電源供給線)
6、26、36、46、56:データ線制御回路(制御回路)
7:マルチプレクサ(MUX)
8:メモリアレイ
9:セルトランジスタ
10、20、30、40、50、70、80、90:読出回路
10a:ノード(読出節点)
20a:ノード(リファレンス読出節点)
11、71:データ入出力回路
12:読出判定回路
13、23、33、53、143、243:読出時データ線駆動回路
14、24、34、54、64、74、84、94、244:フィードバック回路
15、35、75:電流ドライブ回路
17、27、37、47、67:データコントロール回路
18、58、78:書込回路
41:レギュレータ回路
43:リファレンスデータ線
44:リファレンス電流ドライブ節点(リファレンス制御線)
48、49:1ショット回路
51:定電流カレントミラー源回路
52:VINREF発生回路
63:VIPREF発生回路
57:ダミーマルチプレクサ(ダミーMUX)
59:ライトデータ
72:リファレンス読出判定回路
73、83、93:リファレンス読出時データ線駆動回路
76、86、96:リファレンスデータ線制御回路(リファレンス制御回路)
98:リファレンス書込回路
102:コマンドコントロール回路
103:アドレスコントロール回路
105:BAデコーダ
106:ロウデコーダ
107:I/O回路
110、112、114、116:フィードバック回路電源発生回路(電源発生回路)
120:データ線駆動回路
160:超高抵抗判定回路
AMP1V、AMP2V、AMP3V:差動アンプ
FF1、FF2:ラッチ回路
I1:第1の定電流素子
I2V、I4F:定電流源
I3V:定電流源(第1の定電流源)
INV1V、INV2V:インバータ回路
P1:PMOSトランジスタ(第1のトランジスタ)
N1:NMOSトランジスタ(第2のトランジスタ)
N2:NMOSトランジスタ(第3のトランジスタ)
P4:PMOSトランジスタ(第1のスイッチ素子)
N6:NMOSトランジスタ(第2のスイッチ素子)
N3:NMOSトランジスタ(第3のスイッチ素子)
P3:PMOSトランジスタ(第2の定電流素子)
P1V、P3V、P8V、P9V、P10V、P11V、P13V、P14V、P15V、P16V、P5〜7、P1F、P2F、P1W、P2W:PMOSトランジスタ
N2V、N4V、N5V、N6V、N1F、N2F、N1W、N2W、N3W:NMOSトランジスタ
Rref1、Rref2:基準抵抗
C1:第1の容量素子
C2:第2の容量素子
MC:メモリセル
WL:ワード線
BL:ビット線
SP:ソースプレート
RWBS:リードライトバス
COM:コマンド端子
ADD:アドレス端子
DQ:データ入出力端子
ADD_col:カラムアドレス
ADD_row:ロウアドレス
BA:マルチプレクサアドレス
VFB:フィードバック回路電源
iCOM:コマンド信号
VREADREF:読出しリファレンス信号(第1の設定電圧)
VINREF、VIPREF:リファレンス電圧
Ei:データコントロール信号
ENB、PRB、RJB、WJT:制御信号
VWAVC1:制御信号(電圧幅制御信号)
WRITE_FLAG:書込フラグ信号
REF_WRITE_FLAG:リファレンス書込フラグ信号
MODE1:測定モード信号
1a、11a:ノード(第1の節点)
2:抵抗変化型メモリ素子
2a、12a:ノード(第2の節点)
3:データ線
3a、4a、5a、6a、7a:ノード
4:電流ドライブ節点(制御線)
5:フィードバック回路電源配線(電源供給線)
6、26、36、46、56:データ線制御回路(制御回路)
7:マルチプレクサ(MUX)
8:メモリアレイ
9:セルトランジスタ
10、20、30、40、50、70、80、90:読出回路
10a:ノード(読出節点)
20a:ノード(リファレンス読出節点)
11、71:データ入出力回路
12:読出判定回路
13、23、33、53、143、243:読出時データ線駆動回路
14、24、34、54、64、74、84、94、244:フィードバック回路
15、35、75:電流ドライブ回路
17、27、37、47、67:データコントロール回路
18、58、78:書込回路
41:レギュレータ回路
43:リファレンスデータ線
44:リファレンス電流ドライブ節点(リファレンス制御線)
48、49:1ショット回路
51:定電流カレントミラー源回路
52:VINREF発生回路
63:VIPREF発生回路
57:ダミーマルチプレクサ(ダミーMUX)
59:ライトデータ
72:リファレンス読出判定回路
73、83、93:リファレンス読出時データ線駆動回路
76、86、96:リファレンスデータ線制御回路(リファレンス制御回路)
98:リファレンス書込回路
102:コマンドコントロール回路
103:アドレスコントロール回路
105:BAデコーダ
106:ロウデコーダ
107:I/O回路
110、112、114、116:フィードバック回路電源発生回路(電源発生回路)
120:データ線駆動回路
160:超高抵抗判定回路
AMP1V、AMP2V、AMP3V:差動アンプ
FF1、FF2:ラッチ回路
I1:第1の定電流素子
I2V、I4F:定電流源
I3V:定電流源(第1の定電流源)
INV1V、INV2V:インバータ回路
P1:PMOSトランジスタ(第1のトランジスタ)
N1:NMOSトランジスタ(第2のトランジスタ)
N2:NMOSトランジスタ(第3のトランジスタ)
P4:PMOSトランジスタ(第1のスイッチ素子)
N6:NMOSトランジスタ(第2のスイッチ素子)
N3:NMOSトランジスタ(第3のスイッチ素子)
P3:PMOSトランジスタ(第2の定電流素子)
P1V、P3V、P8V、P9V、P10V、P11V、P13V、P14V、P15V、P16V、P5〜7、P1F、P2F、P1W、P2W:PMOSトランジスタ
N2V、N4V、N5V、N6V、N1F、N2F、N1W、N2W、N3W:NMOSトランジスタ
Rref1、Rref2:基準抵抗
C1:第1の容量素子
C2:第2の容量素子
MC:メモリセル
WL:ワード線
BL:ビット線
SP:ソースプレート
RWBS:リードライトバス
COM:コマンド端子
ADD:アドレス端子
DQ:データ入出力端子
ADD_col:カラムアドレス
ADD_row:ロウアドレス
BA:マルチプレクサアドレス
VFB:フィードバック回路電源
iCOM:コマンド信号
VREADREF:読出しリファレンス信号(第1の設定電圧)
VINREF、VIPREF:リファレンス電圧
Ei:データコントロール信号
ENB、PRB、RJB、WJT:制御信号
VWAVC1:制御信号(電圧幅制御信号)
WRITE_FLAG:書込フラグ信号
REF_WRITE_FLAG:リファレンス書込フラグ信号
MODE1:測定モード信号
Claims (20)
- 抵抗変化型メモリ素子と、
前記抵抗変化型メモリ素子と電気的に接続されるデータ線と、
制御線と、
電源供給線と、
第1の定電流素子、第1のトランジスタ、及び第2のトランジスタを含む制御回路と、 を備え、
前記制御回路において、
前記第1のトランジスタのゲートが前記データ線に、前記第1のトランジスタのソース及びドレインの一方が前記第1の定電流素子に、前記第1のトランジスタのソース及びドレインの他方が前記電源供給線に、夫々接続され、
前記第2のトランジスタのゲートが前記第1のトランジスタのソース及びドレインの一方に、前記第2のトランジスタのソース及びドレインの一方が前記データ線に、前記第2のトランジスタのソース及びドレインの他方が前記制御線に、夫々接続される、ことを特徴とする半導体装置。 - 前記電源供給線に電圧を供給する電源発生回路をさらに備え、
前記電源発生回路は、前記データ線の第1の設定電圧と前記第1のトランジスタの閾値電圧の絶対値とを足し合わせた第1の電圧を前記電源供給線に供給することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記制御回路の前記第1の定電流素子は第3のトランジスタにより構成され、
第1の定電流源と、前記第3のトランジスタとカレントミラー回路を構成する第4のトランジスタとを、前記制御回路の外部に備え、
前記第3のトランジスタの電流は、前記第1の定電流源の電流に基づいて前記カレントミラー回路により制御される、ことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。 - 前記制御回路は、第1の電源と前記制御線の間に第1のスイッチ素子を備え、
前記第1のスイッチ素子を導通に制御すると共に、前記電源発生回路から前記電源供給線に前記第1の電圧を供給して、前記データ線を前記第1の設定電圧に充電する、第1の制御を行うことを特徴とする請求項2または3に記載の半導体装置。 - 前記制御線に定電流を供給する第2の定電流素子をさらに備え、
前記第1の制御の後、前記第1のスイッチ素子を非導通に制御し、前記第1のスイッチ素子を非導通にしたタイミングから所定時間後に、前記制御線の電位を判定する、第2の制御を行うことを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。 - 前記電源発生回路は、
前記第1の電圧と、
前記第1の設定電圧よりも低く設定された第2の設定電圧に前記第1のトランジスタの閾値電圧の絶対値を足し合わせた第2の電圧と、のいずれか一方を前記電源供給線に供給するように構成され、
前記第1の制御の後、前記第1のスイッチ素子を非導通に制御にすると共に、前記電源発生回路が前記電源供給線に供給する電圧を前記第2の電圧に切り替え、
前記第1のスイッチ素子を非導通にしたタイミングから所定時間後に、前記制御線の電位を判定する、第3の制御を行うことを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。 - 基準抵抗素子と、
前記基準抵抗素子と接続するリファレンスデータ線と、
リファレンス制御線と、
前記制御回路と実質的に同一の構成を含み、前記データ線及び前記制御線に代わって前記リファレンスデータ線及び前記リファレンス制御線を夫々制御するリファレンス制御回路と、をさらに備え、
前記第1の制御において、前記データ線と同様に前記リファレンスデータ線を前記第1の設定電圧に充電し、
前記第3の制御において、前記リファレンス制御線の電位の遷移に基づいて、前記所定時間を設定する請求項6に記載の半導体装置。 - 前記制御回路は、ライトデータを保持するラッチ回路と、前記ラッチ回路に保持されたライトデータに応じて前記データ線に書込電圧を印加するデータ線駆動回路と、を有する書込回路をさらに備え、
前記書込回路は、前記第1のトランジスタのソース及びドレインの一方と前記第2のトランジスタのゲートとが接続された第1の節点を入力し、
前記第1の節点の電位変化に基づいて前記ラッチ回路に保持されたライトデータを反転させて前記データ線駆動回路を非活性化する、ことを特徴とする請求項2乃至7のいずれか一に記載の半導体装置。 - 前記ラッチ回路に保持されたライトデータが所定の書き込み動作に対応している場合に、前記データ線駆動回路が前記データ線に前記書込電圧を印加して書込みを行う、第4の制御と、
前記第4の制御後に前記書込電圧の印加を停止し、前記書込電圧の印加を停止したタイミングから所定時間後に前記制御線の電位を判定する、第5の制御を行うことを特徴とする請求項8に記載の半導体装置。 - 前記第5の制御において、前記第1の節点の電位変化が検出されず、前記ラッチ回路に保持されたライトデータが反転しなかった場合に、前記第4及び第5の制御を繰り返すことを特徴とする請求項9に記載の半導体装置。
- 基準抵抗素子と、
前記基準抵抗素子と接続するリファレンスデータ線と、
リファレンス制御線と、
前記制御回路と実質的に同一の構成を含み、前記データ線及び前記制御線に代わって前記リファレンスデータ線及び前記リファレンス制御線を夫々制御するリファレンス制御回路と、をさらに備え、
前記第5の制御において、前記制御回路の前記第1の節点に対応する前記リファレンス制御回路の第1のリファレンス節点の電位変化に基づいて、前記所定時間を設定することを特徴とする請求項9または10に記載の半導体装置。 - 第2のスイッチ素子と、前記第2のスイッチ素子を介して一端が前記リファレンスデータ線と接続された第1の容量素子と、をさらに備え、
前記第2のスイッチ素子を非導通にした状態で行う第1の読み出し動作と、前記第2のスイッチ素子を導通にした状態で行う第2の読み出し動作とを切り替え可能に構成したことを特徴とする請求項7または11に記載の半導体装置。 - 抵抗変化型メモリ素子と、
前記抵抗変化型メモリ素子と電気的に接続されるデータ線と、
制御線と、
前記データ線を入力し第2の節点の電位を制御するフィードバック回路と、第2のトランジスタと、第1の電源と前記制御線の間に設けられた第1のスイッチ素子とを含む制御回路と、
を備え、
前記第2のトランジスタのゲートが前記フィードバック回路の出力節点に、前記第2のトランジスタのソース及びドレインの一方が前記データ線に、前記第2のトランジスタのソース及びドレインの他方が前記制御線に、夫々接続され、
前記フィードバック回路は、前記第2の節点と前記フィードバック回路の出力節点の間に第3のスイッチ素子を備えたことを特徴とする半導体装置。 - 一方の端子を前記フィードバック回路の出力節点に接続した第2の容量素子を備え、前記第2の容量素子の他方の端子に振幅電圧が制御可能な電圧幅制御信号を供給したことを特徴とする請求項13に記載の半導体装置。
- 前記第1及び第3のスイッチ素子を導通に制御して、前記データ線を前記第1の設定電圧に充電する第1の制御と、
前記第1の制御の後に、前記第1及び第3のスイッチ素子を非導通に制御すると共に、前記電圧幅制御信号を所定の振幅電圧だけ低く設定して、前記制御線の電位の低下速度を判定する、第6の制御を行うことを特徴とする請求項14に記載の半導体装置。 - 前記第6の制御における前記制御線の電位の低下速度の判定は、前記第1及び第3のスイッチ素子を非導通にしたタイミングから所定時間後に前記制御線の電位を判定することにより行うことを特徴とする請求項15に記載の半導体装置。
- 基準抵抗素子と、
前記基準抵抗素子と接続するリファレンスデータ線と、
リファレンス制御線と、
前記制御回路と実質的に同一の構成を含み、前記データ線及び前記制御線に代わって前記リファレンスデータ線及び前記リファレンス制御線を夫々制御するリファレンス制御回路と、をさらに備え、
前記第1の制御において、前記データ線と同様に前記リファレンスデータ線を前記第1の設定電圧に充電し、
前記第6の制御において、前記リファレンス制御線の電位の低下に基づいて、前記所定時間を設定することを特徴とする請求項16に記載の半導体装置。 - 前記フィードバック回路は、
第1の定電流素子と、
ゲートが前記データ線に、ソース及びドレインの一方が前記第1の定電流素子に、ソース及びドレインの他方が電源供給線に、夫々接続される第1のトランジスタと、をさらに備えたことを特徴とする請求項13乃至17のいずれか一に記載の半導体装置。 - 前記電源供給線に電圧を供給する電源発生回路をさらに備え、
前記電源発生回路は、前記データ線の第1の設定電圧と前記第1のトランジスタの閾値電圧の絶対値とを足し合わせた第1の電圧を前記電源供給線に供給することを特徴とする請求項18に記載の半導体装置。 - 前記制御回路の前記第1の定電流素子は第3のトランジスタにより構成され、
第1の定電流源と、前記第3のトランジスタとカレントミラー回路を構成する第4のトランジスタとを、前記制御回路の外部に備え、
前記第3のトランジスタの電流は、前記第1の定電流源の電流に基づいて前記カレントミラー回路により制御される、ことを特徴とする請求項18または19に記載の半導体装置。
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