JP2015035273A - 画像取得装置、画像取得方法及び欠陥検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態に係る画像取得装置は、測定対象11に照射される電子線を生成する電子線源15と、電子線源から測定対象に照射された電子線に基づく測定対象の電子画像を検出する画像検出器18と、電子線源に印加される電圧及び測定対象に印加される電圧の少なくとも一方を変調する電圧変調部20とを備える。
【選択図】図1
Description
図1は、本実施形態に係る画像取得装置10の構成を示した図である。本実施形態の画像取得装置10は、基本的には電子顕微鏡装置に適用することが可能であるが、欠陥検査装置(半導体ウェハの欠陥検査装置やフォトマスクの欠陥検査装置)にも適用することが可能である。
次に、第2の実施形態について説明する。なお、基本的な事項は第1の実施形態と同様であるため、第1の実施形態で説明した事項についての説明は省略する。
次に、第3の実施形態について説明する。なお、基本的な事項は第1の実施形態と同様であるため、第1の実施形態で説明した事項についての説明は省略する。
次に、第4の実施形態について説明する。なお、基本的な事項は第1の実施形態と同様であるため、第1の実施形態で説明した事項についての説明は省略する。
次に、第5の実施形態について説明する。なお、基本的な事項は第1の実施形態と同様であるため、第1の実施形態で説明した事項についての説明は省略する。
次に、第6の実施形態について説明する。なお、基本的な事項は第1の実施形態等と同様である。したがって、第1の実施形態等で説明した事項についての詳細な説明は省略する。
13…電子銃 14…アノード 15…電子線源
17…E×B電子光学系 18…画像検出器
20…電圧変調部 21…同期制御部 22…画像合成部
31…金属層 32…吸収層
41…欠陥検出部
51…ラインパターン 52…厚い薄膜欠陥 53…薄い薄膜欠陥
61…測定対象 62…ステージ 63…電子線源
64…電子線照射系 65…電子像投影系 66…画像検出器
67…画像処理部 68…ビーム分離部 69…レンズ
71…タイミング制御部 72…調整部
81…電源 81a…基本電圧発生部 81b…重畳電圧発生部
82…測定対象用電源
Claims (12)
- 測定対象に照射される電子線を生成する電子線源と、
前記電子線源から前記測定対象に照射された電子線に基づく前記測定対象の電子画像を検出する画像検出器と、
前記電子線源に印加される電圧及び前記測定対象に印加される電圧の少なくとも一方を変調する電圧変調部と、
を備え、
前記電圧変調部によって前記電子線源に印加される電圧及び前記測定対象に印加される電圧の少なくとも一方を変調することにより、前記画像検出器で複数種類の電子画像が検出され、
前記複数種類の電子画像を合成する画像合成部と、
前記電圧変調部での電圧変調タイミングと、前記画像検出器での画像検出タイミングとを同期させる同期制御部と、
をさらに備え、
前記電子画像は、ミラー電子画像を含む
ことを特徴とする画像取得装置。 - 測定対象に照射される電子線を生成する電子線源と、
前記電子線源から前記測定対象に照射された電子線に基づく前記測定対象の電子画像を検出する画像検出器と、
前記電子線源に印加される電圧及び前記測定対象に印加される電圧の少なくとも一方を変調する電圧変調部と、
を備えることを特徴とする画像取得装置。 - 前記電圧変調部によって前記電子線源に印加される電圧及び前記測定対象に印加される電圧の少なくとも一方を変調することにより、前記画像検出器で複数種類の電子画像が検出される
ことを特徴とする請求項2に記載の画像取得装置。 - 前記複数種類の電子画像を合成する画像合成部をさらに備えた
ことを特徴とする請求項3に記載の画像取得装置。 - 前記電圧変調部での電圧変調タイミングと、前記画像検出器での画像検出タイミングとを同期させる同期制御部をさらに備えた
ことを特徴とする請求項2に記載の画像取得装置。 - 前記電子画像は、ミラー電子画像を含む
ことを特徴とする請求項2に記載の画像取得装置。 - 前記電圧変調部によって変調される電圧の遷移期間に、前記電子線源から出射された電子線が前記測定対象に照射されないように制御する照射制御部をさらに備えた
ことを特徴とする請求項2に記載の画像取得装置。 - 前記画像取得装置は、電子線照射系及び電子像投影系を有する写像投影型の画像取得装置であり、
前記照射制御部は、前記遷移期間に、前記電子線照射系内で前記電子線源から出射された電子線のブランキングを行う
ことを特徴とする請求項7に記載の画像取得装置。 - 前記画像検出器で検出される電子画像の倍率及び像歪の少なくとも一方を、前記電圧変調部によって変調される電圧の遷移期間に調整する調整部をさらに備えた
ことを特徴とする請求項2に記載の画像取得装置。 - 前記電圧変調部で変調される電圧を発生する電源をさらに備え、
前記電源は、基本電圧を発生する基本電圧発生部と、前記基本電圧に重畳される重畳電圧を発生する重畳電圧発生部とを含み、
前記重畳電圧が前記電圧変調部で変調される
ことを特徴とする請求項2に記載の画像取得装置。 - 電子線源で生成された電子線を測定対象に照射する工程と、
前記測定対象に照射された電子線に基づく前記測定対象の電子画像を画像検出器によって検出する工程と、
を備え、
前記電子線を測定対象に照射する際に、前記電子線源に印加される電圧及び前記測定対象に印加される電圧の少なくとも一方を変調する
ことを特徴とする画像取得方法。 - 請求項2の画像取得装置と、
請求項2の画像取得装置で取得された画像に基づいて測定対象に含まれる欠陥を検出する欠陥検出部と、
を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
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