JP2015035273A5 - - Google Patents

Description

特開２００５−７１７７５号公報（特願２００３−２９９４７７） 特開２００７−２０７６８８号公報

Claims (7)

1. 測定対象に照射される電子線を生成する電子線源と、
   前記電子線源から前記測定対象に照射された電子線に基づく前記測定対象の電子画像を検出する画像検出器と、
   前記電子線を前記測定対象に照射する際に、前記電子線源に印加される電圧及び前記測定対象に印加される電圧の少なくとも一方を変調する電圧変調部と、
   前記電圧変調部での電圧変調タイミングと、前記画像検出器での画像検出タイミングとを同期させる同期制御部と、
   を備えることを特徴とする画像取得装置。
2. 前記電圧変調部によって変調される電圧の遷移期間に、前記電子線源から出射された電子線が前記測定対象に照射されないように制御する照射制御部をさらに備えた
   ことを特徴とする請求項１に記載の画像取得装置。
3. 前記画像取得装置は、電子線照射系及び電子像投影系を有する写像投影型の画像取得装置であり、
   前記照射制御部は、前記遷移期間に、前記電子線照射系内で前記電子線源から出射された電子線のブランキングを行う
   ことを特徴とする請求項２に記載の画像取得装置。
4. 前記画像検出器で検出される電子画像の倍率及び像歪の少なくとも一方を、前記電圧変調部によって変調される電圧の遷移期間に調整する調整部をさらに備えた
   ことを特徴とする請求項１に記載の画像取得装置。
5. 前記電圧変調部で変調される電圧を発生する電源をさらに備え、
   前記電源は、基本電圧を発生する基本電圧発生部と、前記基本電圧に重畳される重畳電圧を発生する重畳電圧発生部とを含み、
   前記重畳電圧が前記電圧変調部で変調される
   ことを特徴とする請求項１に記載の画像取得装置。
6. 電子線源で生成された電子線を測定対象に照射する工程と、
   前記測定対象に照射された電子線に基づく前記測定対象の電子画像を画像検出器によって検出する工程と、
   を備え、
   前記電子線を測定対象に照射する際に、前記電子線源に印加される電圧及び前記測定対象に印加される電圧の少なくとも一方を電圧変調部によって変調し、
   前記電圧変調部での電圧変調タイミングと、前記画像検出器での画像検出タイミングとを同期させる
   ことを特徴とする画像取得方法。
7. 請求項１の画像取得装置と、
   請求項１の画像取得装置で取得された画像に基づいて測定対象に含まれる欠陥を検出する欠陥検出部と、
   を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。