JP2015025765A - ハロゲン化合物中のハロゲン分子の濃度測定方法及びハロゲン化物中のハロゲン分子の濃度測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
C:塩素分子の濃度(ppm)
A:試薬30に吸収された塩素分子重量(mg)
W:試薬30に吸収された三塩化ホウ素の重量(g)
ところで、常温下において、三塩化ホウ素は気体である。このため、当業者であれば、通常は、三塩化ホウ素の気体を収容しているボンベから三塩化ホウ素のガスを試薬中に導入することを考える。塩素と試薬との反応等により試薬の温度が上昇することなどを考慮すると、三塩化ホウ素のガスを低流量で試薬中に導入する必要がある。しかしながら、ボンベから三塩化ホウ素を低流量で安定して試薬に供給することは困難である。また、一定の流量で三塩化ホウ素を安定的に供給することは困難であるため、三塩化ホウ素の供給量を正確に定量することも困難である。従って、三塩化ホウ素中の塩素分子の濃度を正確に測定することは困難である。この問題は、例えば沸点が常温よりも高い場合であっても、揮発性を有する液体(無機化合物の液体)には生じる問題である。
図2に示す濃度測定装置2を用いて、三塩化ホウ素中の塩素分子の濃度を測定した。なお、試薬としては、0−トリジン溶液を用いた。
10…第1の容器
20、20a、20b…第2の容器
24…排気口
30…試薬
40…配管
40a…一方側端部
40b…他方側端部
50…液体
Claims (10)
- 沸点が60℃以下であるハロゲン化合物におけるハロゲン分子の濃度を測定する方法であって、
前記ハロゲン化合物の液体を用意する工程と、
前記ハロゲン化合物の液体を気化させて得られたガスを、前記ハロゲン分子と反応して色調が変化する試薬中に導入する導入工程と、
前記試薬の色調を、分光光度計を用いて測定し、前記測定された色調に基づいて前記ハロゲン化合物に含まれるハロゲン分子の濃度を算出する工程と、
を備えるハロゲン化合物中のハロゲン分子の濃度測定方法。 - 一方の端部が閉鎖されている一方、他方の端部が開口した容器に配された前記ハロゲン化合物の液体を気化させ、前記容器に接続された配管を経由して、前記ハロゲン化合物のガスを前記試薬中に導入する、請求項1に記載のハロゲン化合物中のハロゲン分子の濃度測定方法。
- 前記ハロゲン化物の液体の温度を調節することにより、前記ハロゲン化物の液体から発生するガスの単位時間あたりの体積を調整する、請求項1または2に記載のハロゲン化合物中のハロゲン分子の濃度測定方法。
- 前記試薬は、前記ハロゲン化合物を、前記ハロゲン化合物のまま、若しくは反応物として吸収し、
前記ガスを吸収する前後の前記試薬の重量変化から、前記試薬に導入されたガスの重量を算出し、前記算出されたガスの重量と前記測定された色調とから前記ハロゲン分子の濃度を測定する、請求項1〜3のいずれか一項に記載のハロゲン化合物中のハロゲン分子の濃度測定方法。 - 前記導入工程において、前記試薬を冷却する、請求項4に記載のハロゲン化合物中のハロゲン分子の濃度測定方法。
- 前記ハロゲン化合物が、ホウ素、ケイ素、リンの塩化物またはフッ化物の少なくとも一種であり、前記ハロゲン分子が、塩素分子またはフッ素分子である、請求項1〜5のいずれか一項に記載のハロゲン化合物中のハロゲン分子の濃度測定方法。
- 沸点が60℃以下であるハロゲン化物におけるハロゲン分子の濃度を測定する装置であって、
前記ハロゲン化物の液体を気化させ、前記ハロゲン化物の気体を得る気化部と、
前記ハロゲン分子と反応して色調が変化する試薬が貯められた試薬溜めと、
前記ハロゲン化物の気体を前記試薬溜めに導入する導入部と、
を備えるハロゲン化物中のハロゲン分子の濃度測定装置。 - 前記導入部を構成する配管を備え、
前記配管の一方側端部が前記気化部に接続されている一方、他方側端部が前記試薬溜めに挿入されている、請求項7に記載のハロゲン化物中のハロゲン分子の濃度測定装置。 - 前記配管の他方側端部の内径が、前記配管の他の部分よりも内径よりも大きい、請求項8に記載のハロゲン化物中のハロゲン分子の濃度測定装置。
- 前記試薬の色調を測定する分光光度計をさらに備える、請求項7〜9のいずれか一項に記載のハロゲン化物中のハロゲン分子の濃度測定装置。
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Citations (10)
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---|---|---|---|---|
JPS57114839A (en) * | 1981-01-08 | 1982-07-16 | Mitsubishi Electric Corp | Measuring method for purity of gas |
JPS5834919A (ja) * | 1981-08-27 | 1983-03-01 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | プラズマ化学反応によるエツチング方法 |
JPS60170743A (ja) * | 1984-02-16 | 1985-09-04 | Toshiba Corp | ガス濃度測定器 |
JPH1082776A (ja) * | 1996-09-05 | 1998-03-31 | Tosoh Corp | ガス中の塩素分子及び/又は臭素分子の定量分析方法 |
JPH10115608A (ja) * | 1996-08-23 | 1998-05-06 | Japan Pionics Co Ltd | 検知剤 |
JPH10296031A (ja) * | 1997-04-25 | 1998-11-10 | Hitachi Ltd | 大気サンプリング装置 |
JPH11281639A (ja) * | 1998-01-30 | 1999-10-15 | Mitsubishi Chemical Corp | 燃焼排ガス中の全有機ハロゲンの分析方法 |
US20060008919A1 (en) * | 2004-07-09 | 2006-01-12 | Boay Yoke P | Method and apparatus for detecting gas/radiation that employs color change detection mechanism |
JP2006208100A (ja) * | 2005-01-26 | 2006-08-10 | Touzai Kagaku Sangyo Kk | ハロゲン量測定方法 |
JP2007532613A (ja) * | 2004-04-19 | 2007-11-15 | コミツサリア タ レネルジー アトミーク | ハロゲン化気体化合物の検出または定量のために使用される、化合物、メソ構造化多孔性ハイブリッド有機−無機材料および感知器 |
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57114839A (en) * | 1981-01-08 | 1982-07-16 | Mitsubishi Electric Corp | Measuring method for purity of gas |
JPS5834919A (ja) * | 1981-08-27 | 1983-03-01 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | プラズマ化学反応によるエツチング方法 |
JPS60170743A (ja) * | 1984-02-16 | 1985-09-04 | Toshiba Corp | ガス濃度測定器 |
JPH10115608A (ja) * | 1996-08-23 | 1998-05-06 | Japan Pionics Co Ltd | 検知剤 |
JPH1082776A (ja) * | 1996-09-05 | 1998-03-31 | Tosoh Corp | ガス中の塩素分子及び/又は臭素分子の定量分析方法 |
JPH10296031A (ja) * | 1997-04-25 | 1998-11-10 | Hitachi Ltd | 大気サンプリング装置 |
JPH11281639A (ja) * | 1998-01-30 | 1999-10-15 | Mitsubishi Chemical Corp | 燃焼排ガス中の全有機ハロゲンの分析方法 |
JP2007532613A (ja) * | 2004-04-19 | 2007-11-15 | コミツサリア タ レネルジー アトミーク | ハロゲン化気体化合物の検出または定量のために使用される、化合物、メソ構造化多孔性ハイブリッド有機−無機材料および感知器 |
US20060008919A1 (en) * | 2004-07-09 | 2006-01-12 | Boay Yoke P | Method and apparatus for detecting gas/radiation that employs color change detection mechanism |
JP2006208100A (ja) * | 2005-01-26 | 2006-08-10 | Touzai Kagaku Sangyo Kk | ハロゲン量測定方法 |
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