JP2015021773A - プローブ - Google Patents
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Abstract
【課題】デバイスの電極上に設けられたバンプの変形を抑制可能なプローブを提供する。【解決手段】プローブ2の当接部10は、被測定デバイスのバンプよりも柔らかい材料で形成され、例えば、導電性ゴムを用いて形成される。導電性ゴムは、天然ゴム、合成ゴム等の各種ゴム材料に、導電性のあるカーボンブラックや金属粉末等を配合した材質であり、所定の導電性を示す。プローブ本体4は、腕部6、自由端部8、当接部から形成され、プローブ本体は、例えば、タングステンや、パラジウム合金、代表的には、金、銀、銅、亜鉛との合金等の金属材料で形成される。【選択図】図1
Description
本発明は、半導体デバイスの電気特性を検査するために用いられるプローブ(探針)に関する。
表面にLSI等のデバイスが形成された半導体ウェーハは、各デバイスに対応するチップへと分割される前に、電気特性を検査される。この電気特性の検査は、例えば、デバイスの表面に設けられた電極に、タングステン等の金属でなるプローブを当接させることで行われる(例えば、特許文献1参照)。
ところで、近年では、デバイスの多ピン化に伴い、電極上に形成された半田等でなるバンプを用いてチップを実装基板にフェイスダウンボンディングするフリップチップ方式が広く採用されている。
しかしながら、上述したフリップチップ方式を採用する製造工程では、形成されたバンプにプローブを当接させて電気特性を検査するので、プローブとの接触でバンプが変形してしまうことがある。
変形したバンプは、ボンディングの際に接続不良等の要因となる。そのため、バンプが変形した場合には、電気特性を検査した後にバンプを成形し直さなくてはならず、工程数が増加してしまうという問題があった。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、デバイスの電極上に設けられたバンプの変形を抑制可能なプローブを提供することである。
本発明によれば、バンプに当接されるプローブであって、少なくともバンプに当接される当接部が導電性を有し該バンプよりも柔軟な材質からなることを特徴とするプローブが提供される。
本発明において、前記当接部は、導電性ゴムからなることが好ましい。
本発明のプローブは、バンプに当接される当接部がバンプよりも柔軟な材質からなるので、電気特性の検査においてバンプの変形を抑制できる。
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
(実施の形態1)
本実施の形態では、カンチレバー(片持ち梁)型のプローブについて説明する。図1は、本実施の形態に係るプローブの構成例を模式的に示す斜視図であり、図2は、本実施の形態に係るプローブを用いて実施される電気特性の検査工程を模式的に示す断面図である。
本実施の形態では、カンチレバー(片持ち梁)型のプローブについて説明する。図1は、本実施の形態に係るプローブの構成例を模式的に示す斜視図であり、図2は、本実施の形態に係るプローブを用いて実施される電気特性の検査工程を模式的に示す断面図である。
図1及び図2に示すように、本実施の形態に係るプローブ2は、薄い金属板でなるプローブ本体4を備えている。このプローブ本体4は、例えば、金属板の曲げ加工によって形成され、検査装置(不図示)に固定される基端側の腕部6と、先端側の自由端部8とを含む。
腕部6は、自由端部8に対して所定の角度で傾斜されている。プローブ2をこの腕部6の傾斜に合わせて検査装置に固定することで、自由端部8の表面8a及び裏面8bを、検査対象のデバイス11(図2参照)の表面11aに対して平行に位置付けることができる。
プローブ本体4は、例えば、タングステンや、パラジウム合金(代表的には、金、銀、銅、亜鉛との合金)等の金属材料で形成されている。プローブ本体4をこのような材料で形成することにより、導電性と共に高い耐久性を実現できる。
自由端部8の裏面8b側には、デバイス11の表面11aに設けられたバンプ13(図2参照)に当接される当接部10が設けられている。当接部10は、バンプ13よりも柔らかい材料を用いて、所定厚みの円盤状に形成されている。ただし、当接部10の形状は、円盤状に限定されず任意である。
具体的には、当接部10は、導電性ゴムを用いて形成されることが好ましい。導電性ゴムは、天然ゴム、合成ゴム等の各種ゴム材料に、導電性のあるカーボンブラックや金属粉末等を配合した材質であり、所定の導電性を示す。
このような導電性ゴムを用いて当接部10を形成することにより、例えば、ビッカース硬さが1Hv程度の柔らかいバンプ13(ソフトバンプ)を用いる場合にも、バンプ13の変形を十分に抑制することができる。
デバイス11の電気特性の検査は、上述したプローブ2の当接部10をバンプ13に当接させることで実施される。デバイス11は、例えばシリコン等の半導体材料でなる半導体ウェーハ(不図示)を用いて形成され、LSI等の電子回路を含んでいる。
デバイス11の表面11aには、デバイスを構成するLSI等の入出力端子となる複数の電極(不図示)が設けられており、各電極上には、半田等でなる球形のバンプ13が形成されている。チップへと分割された後の各デバイス11は、このバンプ13を用いて実装基板にフェイスダウンボンディングされる。
プローブ2の当接部10は、バンプ13より柔らかい導電性ゴム等の材料で形成されている。そのため、プローブ2をバンプ13に当接させると、まず、当接部10が変形してバンプ13にかかる下向きの力Fを逃がす。これにより、バンプ13の変形を抑制できる。
この当接部10は、通常の使用状態において弾性変形され、バンプ13への当接を解除すると元の形状に復帰する。このように、当接部10が弾性変形されることで、プローブ2を繰り返し使用できる。また、当接部10が弾性変形されることで、電気特性の検査時において当接部10とバンプ13との接触状態を一定にして、検査精度を高めることができる。
以上のように、本実施の形態に係るプローブ2は、バンプ13に当接される当接部10がバンプ13よりも柔軟な材質からなるので、電気特性の検査においてバンプ13の変形を抑制できる。
(実施の形態2)
本実施の形態では、針型のプローブについて説明する。図3は、本実施の形態に係るプローブの構成例を模式的に示す図である。図3に示すように、本実施の形態に係るプローブ12は、針状のプローブ本体14を備えている。
本実施の形態では、針型のプローブについて説明する。図3は、本実施の形態に係るプローブの構成例を模式的に示す図である。図3に示すように、本実施の形態に係るプローブ12は、針状のプローブ本体14を備えている。
プローブ本体14は、実施の形態1に係るプローブ本体4と同様の金属材料を用いて形成されている。プローブ本体14の少なくとも先端部分14aは、バンプ13よりも柔らかい材料で被覆されている。この被覆によって、デバイス11の表面11aに設けられたバンプ13(図2参照)に当接される当接部16が形成されている。
当接部16は、実施の形態1に係る当接部10と同様、導電性ゴムを用いて形成されることが好ましい。導電性ゴムを用いて当接部16を形成することにより、バンプ13の変形を十分に抑制することができる。
このように、本実施の形態に係るプローブ12も、バンプ13に当接される当接部16がバンプ13よりも柔軟な材質からなるので、電気特性の検査においてバンプ13の変形を抑制できる。
本実施の形態で示す構成、方法等は、他の実施の形態に係る構成、方法等と適宜組み合わせることが可能である。
(実施の形態3)
本実施の形態では、導電性のある液状物を用いて当接部を構成したプローブについて説明する。図4は、本実施の形態に係るプローブの構成例を模式的に示す図である。図4に示すように、本実施の形態に係るプローブ18は、針状のプローブ本体20を備えている。
本実施の形態では、導電性のある液状物を用いて当接部を構成したプローブについて説明する。図4は、本実施の形態に係るプローブの構成例を模式的に示す図である。図4に示すように、本実施の形態に係るプローブ18は、針状のプローブ本体20を備えている。
プローブ本体20の内部には、液状物が供給される空間20aが形成されている。この空間20aには、バルブ22を介して水銀を供給する水銀供給源24が接続されている。
プローブ本体20の先端部分には、プローブ本体20の内部の空間20aと外部の空間とを連通する開口20bが形成されている。水銀供給源24からバルブ22aを通じて空間20aに供給された水銀は、開口20bからプローブ本体20の外部に溢れ出る。
本実施の形態において、水銀の供給量は、プローブ本体20の開口20bから水銀が僅かに溢れる程度に調整される。これにより、プローブ本体20の先端部分には、表面張力によって半球形状に成形された液滴が付着する。本実施の形態では、この水銀の液滴を、デバイス11の表面11aに設けられたバンプ13(図2参照)に当接される当接部26として用いる。
このように、本実施の形態に係るプローブ18も、バンプ13に当接される当接部26がバンプ13よりも柔軟な材質からなるので、電気特性の検査においてバンプ13の変形を抑制できる。
本実施の形態で示す構成、方法等は、他の実施の形態に係る構成、方法等と適宜組み合わせることが可能である。
なお、本発明は上記実施の形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施の形態では、当接部26に水銀を用いているが、導電性を有する他の液状物を用いても良い。
その他、上記実施の形態に係る構成、方法などは、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
2,12,18 プローブ
4,14,20 プローブ本体
6 腕部
8 自由端部
10,16,26 当接部
20a 空間
20b 開口
22 バルブ
24 水銀供給源
4,14,20 プローブ本体
6 腕部
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10,16,26 当接部
20a 空間
20b 開口
22 バルブ
24 水銀供給源
Claims (2)
- バンプに当接されるプローブであって、
少なくともバンプに当接される当接部が導電性を有し該バンプよりも柔軟な材質からなることを特徴とするプローブ。 - 前記当接部は、導電性ゴムからなることを特徴とする請求項1に記載のプローブ。
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JP2013148266A JP2015021773A (ja) | 2013-07-17 | 2013-07-17 | プローブ |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102030511B1 (ko) * | 2018-07-13 | 2019-11-08 | 주식회사 이엘피 | 완충 범프를 구비한 프로브 유닛 및 제조방법 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6225433A (ja) * | 1985-07-25 | 1987-02-03 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体素子特性測定装置 |
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2013
- 2013-07-17 JP JP2013148266A patent/JP2015021773A/ja active Pending
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KR102030511B1 (ko) * | 2018-07-13 | 2019-11-08 | 주식회사 이엘피 | 완충 범프를 구비한 프로브 유닛 및 제조방법 |
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