JP2015019040A - 発光装置及びそれに用いられる光部品の製造方法 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 77
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 130
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 33
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 claims description 24
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 15
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 10
- 230000004927 fusion Effects 0.000 claims description 9
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 9
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 abstract description 12
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 14
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 9
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 9
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 9
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 6
- 238000005987 sulfurization reaction Methods 0.000 description 5
- JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N trimethylaluminium Chemical compound C[Al](C)C JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000640 Fe alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 2
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 2
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F21V5/00—Refractors for light sources
- F21V5/04—Refractors for light sources of lens shape
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21K—NON-ELECTRIC LIGHT SOURCES USING LUMINESCENCE; LIGHT SOURCES USING ELECTROCHEMILUMINESCENCE; LIGHT SOURCES USING CHARGES OF COMBUSTIBLE MATERIAL; LIGHT SOURCES USING SEMICONDUCTOR DEVICES AS LIGHT-GENERATING ELEMENTS; LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F21K9/00—Light sources using semiconductor devices as light-generating elements, e.g. using light-emitting diodes [LED] or lasers
- F21K9/90—Methods of manufacture
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- F21V5/10—Refractors for light sources comprising photoluminescent material
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F21V7/00—Reflectors for light sources
- F21V7/10—Construction
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F21V7/00—Reflectors for light sources
- F21V7/22—Reflectors for light sources characterised by materials, surface treatments or coatings, e.g. dichroic reflectors
- F21V7/24—Reflectors for light sources characterised by materials, surface treatments or coatings, e.g. dichroic reflectors characterised by the material
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/0001—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
- G02B6/0005—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being of the fibre type
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/02208—Mountings; Housings characterised by the shape of the housings
- H01S5/02212—Can-type, e.g. TO-CAN housings with emission along or parallel to symmetry axis
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/022—Mountings; Housings
- H01S5/0225—Out-coupling of light
- H01S5/02253—Out-coupling of light using lenses
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES F21K, F21L, F21S and F21V, RELATING TO THE FORM OR THE KIND OF THE LIGHT SOURCES OR OF THE COLOUR OF THE LIGHT EMITTED
- F21Y2115/00—Light-generating elements of semiconductor light sources
- F21Y2115/30—Semiconductor lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/58—Optical field-shaping elements
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/005—Optical components external to the laser cavity, specially adapted therefor, e.g. for homogenisation or merging of the beams or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
- H01S5/0087—Optical components external to the laser cavity, specially adapted therefor, e.g. for homogenisation or merging of the beams or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping for illuminating phosphorescent or fluorescent materials, e.g. using optical arrangements specifically adapted for guiding or shaping laser beams illuminating these materials
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
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- H01S5/0225—Out-coupling of light
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
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Abstract
Description
前記外周側面と前記第1保護膜とが接合された接合部によって前記透光部材が前記貫通孔内に固定されており、前記接合部の出射側の端部が前記第1保護膜と前記透光部材とに跨って形成された第2保護膜によって覆われていることを特徴とする。
入射開口部と出射開口部を有する貫通孔が形成された支持部材を準備し、前記貫通孔の内壁に反射膜を形成する反射膜形成工程と、
前記反射膜上に第1保護膜を形成する第1保護膜形成工程と、
光入射面と光出射面と外周側面とを有する透光部材を、加熱を伴う処理により、前記第1保護膜に前記透光部材の外周側面を接合する透光部材接合工程と、
前記外周側面と前記第1保護膜との接合部の出射側の端部を覆う第2保護膜を前記第1保護膜と前記透光部材とに跨って形成する第2保護膜形成工程と、を備えることを特徴とする。
本発明に係る光部品の製造方法によれば、光出力が低下しにくい光部品の製造方法を提供することができる。
支持部材11において、貫通孔11aは、略円錐形状に形成されており、光入射側から光出射側に向かって内径が徐々に大きくなった開口拡大部11a1と、開口拡大部11a1の入射側に位置し内径が一定の連結部11a2とを有し、連結部11a2の一端で光源側挿入孔11bに繋がっている。尚、本実施形態では、貫通孔11aの開口拡大部11a1の内壁を傾斜部B1といい、連結部11a2の内壁を非傾斜部B2という(図1参照)。また、光源側挿入孔11bの内径は、連結部11a2の内径より大きくなっており、光源側挿入孔11bと貫通孔11aとは同軸になるように支持部材11に形成されている。
また、貫通孔11aの内壁、すなわち、傾斜部B1および非傾斜部B2には、反射膜12が形成され、その反射膜12の上には、第1保護膜13が形成されている。ここで、反射膜12は、図1に示すように、支持部材11の出射側端面に延在して形成されていてもよい。また、支持部材11の出射側端面に延在して反射膜12が形成されている場合には、その反射膜12の上に第1保護膜13も延在して形成することが好ましい。
透光部材14の光出射側に第2透光部14bを設け、第2透光部14bの外周側面と傾斜部B1の間に隙間を作るようにすると、第2透光部14bの外周側面、すなわち、第2透光部14bと隙間の空間との界面で透光部材14内部を通過する光が反射され、さらに界面を透過した光が傾斜部B1に形成された反射膜12で反射され、第2透光部14bに再入射されることなく前方に出射される。これにより、透光部材14から出射される光の指向性を高くでき、良好な配光特性を維持することができる。
保護膜15で覆われているので、反射膜12の変色を効果的に抑えることができる。
また、図1に示す光部品において、第1保護膜13と透光部材14の接合部の端部に形成された第1保護膜13と透光部材14に跨って第2保護膜15を形成するような場合には、原子層堆積法を用いて第2保護膜15を形成することがより好ましい。すなわち、第1保護膜13と透光部材14の接合部の端部は、図1においてA2で示すように、略錐形状の導光空間16内にあって、その導光空間16は開口部が狭くなっている。また、図1においてA1で示す第1保護膜13と透光部材14の接合部の端部の領域は、透光部材14の第2透光部の外周側面と傾斜部B1の間に狭い隙間の奥にある。しかしながら、原子層堆積法を用いると、導光空間16内または狭い隙間の奥に第1保護膜13と透光部材14の接合部の端部があったとしても、当該端部に確実かつ効果的に第2保護膜15を形成することができる。
まず、スパッタなどにより、支持部材11の貫通孔11aの内壁に反射膜12を形成する。後述するように、反射膜12は、光部品10を発光装置100に組み込んだ場合に、貫通孔11a内に入射した光を出射側に反射し、光取出し効率を向上するためのものである。
次に、スパッタなどにより、反射膜12の上に第1保護膜13を形成する。第1保護膜13は、加熱を伴う処理の際に、反射膜12が硫化などにより変色するのを抑制するためのものである。
次に、透光部材14を支持部材11の貫通孔11a内に挿入し、加熱を伴う処理により、第1保護膜13の一領域と透光部材14の第1透光部14aの外周側面とを接合する。透光部材14は、最終的に、光源20からの光を外部に透過させるためのものである。
)、ろう材による接合(以下、単に「ろう材接合」という。)又は融着による接合(以下、単に「融着接合」という。)などがあるが、反射膜12の反射率を低下させることなく良好な接合を確保するために、好ましくはろう材接合又は融着接合、より好ましくは融着接合とすることができる。一般に、樹脂接合、ろう材接合、融着接合の順に処理温度が高くなり、処理温度が高くなるほど第1保護膜13においてクラックが生じやすくなるが、本発明では、第2保護膜15による反射膜12の変色の抑制効果が大きいことから、処理温度の高い融着接合を適用することが可能になる。
次に、例えば、ALDにより、第2保護膜15を形成する(図1参照)。図1の光部品10では、導光空間16および第2透光部14bの外周側面と傾斜面B1に間にできる隙間の内部を含む光部品10の外表面全体に第2保護膜15を形成するようにした。しかしながら、本発明では、少なくとも上記隙間内部における領域A1に第2保護膜15が形成されていればよい。さらに、上記隙間内部における領域A1及び上記導光空間16における領域A2に第2保護膜が形成されていることが好ましい。
また、本発明において、第2保護膜15の形成方法はALDに限定されるものではないが、所望の膜を分子レベルで一層ごとに形成するALDには、スパッタ等の従来の方法と異なり後述する利点がある。
以下に、TMA(トリメチルアルミニウム)及び水(H2O)を用いて、酸化アルミニウム(Al2O3)の保護膜を形成する場合について説明する。
図1、2及び3に基づいて、実施例に係る発光装置100について説明する。
図1に示すように、反射膜12は、主として、支持部材11の上面(光出射側における貫通孔11a開口部の周辺部)、傾斜部B1及び非傾斜部B2に形成する。
第2保護膜15を形成しない点以外は実施例と同様の構成を有する光部品を作製した。また、それを用いて実施例と同様の発光装置を作製した。
図5に、実施例の発光装置100を所定の条件(雰囲気:大気、光源の出力:1W、駆動時間:500時間)で寿命試験した後の写真を示す。図6に、比較例の発光装置を同様の条件で寿命試験した後の写真を示す。各写真は、光部品10を光出射側から撮影したものである。なお、図5及び図6では、透光部材14が支持部材11の貫通孔11aの全域に設けられているように見えるが、これは反射膜12が透光部材14を映し込んでいるためにそのように見えるだけである。つまり、実際は、図1に示すように、光出射側において、透光部材14が傾斜部B1の途中(傾斜部B1における光出射側から離間した一領域)で接合されているが、透光部材14の側面(図1において横方向に延びる面)が傾斜部B1における反射膜12に映り込んでいるために、透光部材14が傾斜部B1の上端(図1における傾斜部B1の右端)で接合されているように見えているだけである。
11・・・支持部材
11a・・・貫通孔
11a1・・・開口拡大部
11a2・・・連結部
11b・・・光源側挿入孔
12・・・反射膜
13・・・第1保護膜
14・・・透光部材
14a・・・第1透光部
14b・・・第2透光部
15・・・第2保護膜
16・・・導光空間
20・・・光源
21・・・ステム
22・・・リード
23・・・ヒートシンク
24・・・レーザダイオード
30・・・レンズ
40・・・コネクタ
50・・・光ファイバ
60・・・先端部材
Claims (13)
- 貫通孔を有する支持部材と、
前記貫通孔の内壁に形成された反射膜と、
前記反射膜上に形成された第1保護膜と、
光入射面と光出射面と外周側面とを有し、前記貫通孔の中に配置された透光部材と、
を備えた光部品であって、
前記外周側面と前記第1保護膜とが接合された接合部によって前記透光部材が前記貫通孔内に固定されており、前記接合部の出射側の端部が前記第1保護膜と前記透光部材とに跨って形成された第2保護膜によって覆われている光部品。 - 前記接合部の入射側の端部が、前記第1保護膜と前記光入射面とに跨って形成された第2保護膜によって覆われている請求項1に記載の光部品。
- 前記貫通孔は、入射側から出射側に向かって拡がっている請求項1又は2に記載の光部品。
- 前記透光部材は、前記貫通孔の内壁と同じ傾斜の接合面を有し、
該接合面と錐形状の内壁に形成された前記保護膜との接合によって前記接合部が形成されている請求項3に記載の光部品。 - 前記透光部材は、入射側に位置し、光入射面と前記接合面からなる外周側面とを有する第1透光部と、該第1透光部の出射側に位置し、光出射面と該光出射面に向かって貫通孔の内壁からの距離が大きくなった外周側面とを有する第2透光部を含む請求項4に記載の光部品。
- 前記第1透光部と前記第2透光部の境界近傍に、前記接合部の端部が形成され、
前記第2保護膜が前記第1保護膜と第2透光部の外周側面とに跨って形成されている請求項5に記載の光部品。 - 前記反射膜は銀を含む請求項1〜6のいずれか1項に記載の光部品。
- 請求項1〜7のいずれか1つに記載の光部品と、半導体レーザ素子とを含む発光装置。
- 入射開口部と出射開口部を有する貫通孔が形成された支持部材を準備し、前記貫通孔の内壁に反射膜を形成する反射膜形成工程と、
前記反射膜上に第1保護膜を形成する第1保護膜形成工程と、
光入射面と光出射面と外周側面とを有する透光部材を、加熱を伴う処理により、前記第1保護膜に前記透光部材の外周側面を接合する透光部材接合工程と、
前記外周側面と前記第1保護膜との接合部の出射側の端部を覆う第2保護膜を前記第1保護膜と前記透光部材とに跨って形成する第2保護膜形成工程と、を備える光部品の製造方法。 - 前記第2保護膜形成工程において、原子層堆積法により、前記第2保護膜を形成する請求項9に記載の光部品の製造方法。
- 前記第2保護膜形成工程において、さらに、前記接合部の入射側の端部を覆う前記第2保護膜を前記第1保護膜と前記光入射面とに跨って形成する請求項9又は10に記載の光部品の製造方法。
- 前記透光部材接合工程において、融着により、前記第1保護膜に前記透光部材の外周側面を接合する請求項9〜11のいずれか1つに記載の光部品の製造方法。
- 前記反射膜形成工程において、銀を含む材料により前記反射膜を形成する請求項9〜12のいずれか1つに記載の光部品の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013244607A JP6102696B2 (ja) | 2012-12-11 | 2013-11-27 | 発光装置及びそれに用いられる光部品の製造方法 |
US14/098,992 US9488332B2 (en) | 2012-12-11 | 2013-12-06 | Light emitting device and method of manufacturing light emitting device and optical component used in the same |
EP13196481.9A EP2743998B1 (en) | 2012-12-11 | 2013-12-10 | Light emitting device and method of manufacturing light emitting device and optical component used in the same |
BR102013031833-7A BR102013031833B1 (pt) | 2012-12-11 | 2013-12-11 | Componente óptico, seu método de fabricação e dispositivo emissor de luz |
US15/272,118 US9989214B2 (en) | 2012-12-11 | 2016-09-21 | Light emitting device and method of manufacturing light emitting device and optical component used in the same |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012269914 | 2012-12-11 | ||
JP2012269914 | 2012-12-11 | ||
JP2013123632 | 2013-06-12 | ||
JP2013123632 | 2013-06-12 | ||
JP2013244607A JP6102696B2 (ja) | 2012-12-11 | 2013-11-27 | 発光装置及びそれに用いられる光部品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015019040A true JP2015019040A (ja) | 2015-01-29 |
JP6102696B2 JP6102696B2 (ja) | 2017-03-29 |
Family
ID=49753045
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013244607A Active JP6102696B2 (ja) | 2012-12-11 | 2013-11-27 | 発光装置及びそれに用いられる光部品の製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9488332B2 (ja) |
EP (1) | EP2743998B1 (ja) |
JP (1) | JP6102696B2 (ja) |
BR (1) | BR102013031833B1 (ja) |
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- 2013-11-27 JP JP2013244607A patent/JP6102696B2/ja active Active
- 2013-12-06 US US14/098,992 patent/US9488332B2/en active Active
- 2013-12-10 EP EP13196481.9A patent/EP2743998B1/en active Active
- 2013-12-11 BR BR102013031833-7A patent/BR102013031833B1/pt active IP Right Grant
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2016
- 2016-09-21 US US15/272,118 patent/US9989214B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9989214B2 (en) | 2018-06-05 |
JP6102696B2 (ja) | 2017-03-29 |
EP2743998A1 (en) | 2014-06-18 |
BR102013031833B1 (pt) | 2021-12-21 |
US20170009958A1 (en) | 2017-01-12 |
US20140160759A1 (en) | 2014-06-12 |
US9488332B2 (en) | 2016-11-08 |
BR102013031833A2 (pt) | 2014-09-02 |
EP2743998B1 (en) | 2015-09-30 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A621 | Written request for application examination |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A977 | Report on retrieval |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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