JP2015011270A - 露光装置および照明ユニット - Google Patents
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Abstract
Description
露光光を出射する照明ユニットと、
露光パターンが形成され照明ユニットからの露光光の照射を受けるマスクと、
マスクを被写体とするマイクロレンズアレイと、
照明ユニットおよびマイクロレンズアレイを、マスクと、マイクロレンズアレイによりマスク上の露光パターンが結像される基板との双方に対し、所定の移動方向に相対移動させる移動機構とを備え、
上記移動機構による上記移動方向への相対移動により、基板上の、マイクロレンズアレイの静止時の露光領域を越えた広がりを持つ領域に渡って、基板を、マスク上の露光パターンに応じたパターンに露光する露光装置において、
上記マイクロレンズアレイが、上記移動方向に交差する交差方向への配列を含んで2次元的に配置された複数のマイクロレンズを有し、
上記照明ユニットが、
複数の発光素子が配列された発光素子アレイと、
発光素子アレイを構成する複数の発光素子から出射した複数の発光光を、上記交差方向についてはその交差方向に並ぶマイクロレンズ複数個に跨って広がるとともに、上記移動方向についてはその移動方向に隣接する列に並ぶマイクロレンズに及ばない広さに制限された露光光束に変換して、その露光光束を交差方向に並ぶ複数のマイクロレンズ上に導く照明光学系とを有することを特徴とする。
上記照明ユニットが、上記発光素子アレイを複数本備え、
上記照明光学系が、発光素子アレイ一本毎に、その一本の発光素子アレイから出射した複数の発光光を露光光束一本に変換して、発光素子アレイ複数本に対応する複数本の露光光束それぞれを、いずれもが上記交差方向に並ぶ複数のマイクロレンズからなる列であって移動方向について互いに異なる複数の列それぞれに導く光学系であることが好ましい。
上記照明光学系が、
発光素子アレイを構成する複数の発光素子から出射した複数の発光光が入射しスリット形状を有するスリット光束に変換して出射する、発光素子アレイに対応して配置された光束変換光学系と、
光束変換光学系から出射したスリット光束が入射しそのスリット光束を上記露光光束に変換する投光光学系とを有することが好ましい。
上記照明光学系が、発光素子アレイに対応して備えられ支持基板上に固定されて発光素子アレイに沿って延び、発光素子アレイを構成する複数の発光素子から出射した複数の発光光を反射して支持基板を透過させる反射光学系を有することが好ましい。
上記発光素子アレイが、支持基板上に、その該発光素子アレイを構成する複数の発光素子から支持基板に向かって複数の発光光が出射される姿勢に、固定されていることも好ましい形態である。
露光パターンが形成されたマスク上の露光パターンをマイクロレンズアレイで基板上に結像させて、マイクロレンズアレイをマスクおよび基板に対し所定の移動方向に相対移動させるにあたり、露光光を出射しマイクロレンズアレイとともに上記移動方向に相対移動しながらマスクを照明する照明ユニットであって、
上記マイクロレンズアレイが、上記移動方向に交差する交差方向への配列を含んで2次元的に配置された複数のマイクロレンズを有し、
この照明ユニットが、
複数の発光素子が配列された発光素子アレイと、
発光素子アレイを構成する複数の発光素子から出射した複数の発光光を、上記交差方向についてはその交差方向に並ぶマイクロレンズ複数個に跨って広がるとともに、上記移動方向についてはその移動方向に隣接する列に並ぶマイクロレンズに及ばない広さに制限された露光光束に変換して露光光束を交差方向に並ぶ複数のマイクロレンズ上に導く照明光学系とを有することを特徴とする。
10,90 照明ユニット
20 マスク
30 マイクロレンズアレイ
31 マイクロレンズ
32 視野絞り
40 駆動装置
50 基板
91 光源
92,100 照明光学系
93 露光領域
111 LD
112 フレキシブル基板
113 LDアレイドライバー
114 回路基板
115a,115b フリップチップ
116 ドライバIC
117,171 反射プリズム
118,118’ サブマウント
119 Auコーティング
120 ガラス基板
121 反射プリズム
122 ロッドレンズ
123 投光光学系
170 露光光
171,172 光束
173 露光光束
174 マルチラインビーム
301 単位マイクロレンズアレイ
911 水銀ランプ
921 第1ミラー
922 レンズ
923 第2ミラー
924 第3ミラー
Claims (6)
- 露光光を出射する照明ユニットと、
露光パターンが形成され前記照明ユニットからの露光光の照射を受けるマスクと、
前記マスクを被写体とするマイクロレンズアレイと、
前記照明ユニットおよび前記マイクロレンズアレイを、前記マスクと、該マイクロレンズアレイにより該マスク上の露光パターンが結像される基板との双方に対し、所定の移動方向に相対移動させる移動機構とを備え、
前記移動機構による前記移動方向への相対移動により、前記基板上の、前記マイクロレンズアレイの静止時の露光領域を越えた広がりを持つ領域に渡って、該基板を、前記マスク上の露光パターンに応じたパターンに露光する露光装置において、
前記マイクロレンズアレイが、前記移動方向に交差する交差方向への配列を含んで2次元的に配置された複数のマイクロレンズを有し、
前記照明ユニットが、
複数の発光素子が配列された発光素子アレイと、
前記発光素子アレイを構成する複数の発光素子から出射した複数の発光光を、前記交差方向については該交差方向に並ぶマイクロレンズ複数個に跨って広がるとともに、前記移動方向については該移動方向に隣接する列に並ぶマイクロレンズに及ばない広さに制限された露光光束に変換して、該露光光束を該交差方向に並ぶ複数のマイクロレンズ上に導く照明光学系とを有することを特徴とする露光装置。 - 前記照明ユニットが、前記発光素子アレイを複数本備え、
前記照明光学系が、前記発光素子アレイ一本毎に、該一本の発光素子アレイから出射した複数の発光光を前記露光光束一本に変換して、該発光素子アレイ複数本に対応する複数本の露光光束それぞれを、いずれもが前記交差方向に並ぶ複数のマイクロレンズからなる列であって前記移動方向について互いに異なる複数の列それぞれに導く光学系であることを特徴とする請求項1記載の露光装置。 - 前記照明光学系が、
前記発光素子アレイを構成する複数の発光素子から出射した複数の発光光が入射しスリット形状を有するスリット光束に変換して出射する、該発光素子アレイに対応して配置された光束変換光学系と、
前記光束変換光学系から出射した前記スリット光束が入射し該スリット光束を前記露光光束に変換する投光光学系とを有することを特徴とする請求項1又は2記載の露光装置。 - 前記照明ユニットがさらに、前記発光素子アレイが固定される、該発光素子アレイから出射した発光光を透過する材質からなる支持基板を備え、
前記照明光学系が、前記発光素子アレイに対応して備えられ前記支持基板上に固定されて該発光素子アレイに沿って延び、該発光素子アレイを構成する複数の発光素子から出射した複数の発光光を反射して該支持基板を透過させる反射光学系を有することを特徴とする請求項1から3のうちいずれか1項記載の露光装置。 - 前記照明ユニットがさらに、前記発光素子アレイが固定される、該発光素子アレイから出射した発光光を透過する材質からなる支持基板を備え、
前記発光素子アレイが、前記支持基板上に、該発光素子アレイを構成する複数の発光素子から該支持基盤に向かって複数の発光光が出射される姿勢に、固定されていることを特徴とする請求項1から3のうちいずれか1項記載の露光装置。 - 露光パターンが形成されたマスク上の該露光パターンをマイクロレンズアレイで基板上に結像させて、該マイクロレンズアレイを該マスクおよび該基板に対し所定の移動方向に相対移動させるにあたり、露光光を出射し該マイクロレンズアレイとともに該移動方向に相対移動しながら該マスクを照明する照明ユニットであって、
前記マイクロレンズアレイが、前記移動方向に交差する交差方向への配列を含んで2次元的に配置された複数のマイクロレンズを有し、
当該照明ユニットが、
複数の発光素子が配列された発光素子アレイと、
前記発光素子アレイを構成する複数の発光素子から出射した複数の発光光を、前記交差方向については該交差方向に並ぶマイクロレンズ複数個に跨って広がるとともに、前記移動方向については該移動方向に隣接する列に並ぶマイクロレンズに及ばない広さに制限された露光光束に変換して、該露光光束を該交差方向に並ぶ複数のマイクロレンズ上に導く照明光学系とを有することを特徴とする照明ユニット。
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