JP2007005517A - 光源ユニット、露光装置及び露光方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 オプティカルインテグレータを有する照明光学系において、光源から出射された光がオプティカルインテグレータ内で十分な回数全反射を繰り返すようにする。
【解決手段】 ロッドインテグレータ４６を有する照明光学系に、光を入射させる光源ユニット３８において、光源３８１から出射された光をロッドインテグレータ４６の光軸に対してロッドインテグレータ４６内でロッドインテグレータ４６から出射される光が均一化されるに十分な回数全反射を繰り返すような所定の角度でロッドインテグレータ４６の入射端面に入射させるようにくさび状リング３８２等の入射角度調整手段により調整する。
【選択図】 図７

Description

本発明は、出射される光の角度を調整する手段を有する光源ユニットと、該光源ユニットから出射された光を感光材料に照射して露光を行う露光装置及び露光方法に関する。

従来より、所定のパターンが形成されたマスクに光を照射し、マスクを透過した２次元パターンの光を感光材料上に結像させて露光する露光装置や、入射された光を画像信号に基づいて空間光変調して２次元パターンを形成する空間光変調手段を備え、形成された２次元パターンを感光材料上に投影して露光する露光装置が知られている。このような露光装置において、マスク又は空間光変調手段の照射面に光が均一に照射されずに露光が行われると、感光材料上におけるシェーディング（照度ムラ）が増加し、露光画像の画質低下の原因となっていた。そこで、特許文献１に開示されているように、オプティカルインテグレータ（ロッドインテグレータ）を用いて光の強度の均一化を行ってマスク又は空間光変調手段の照射面に光を照射することにより、感光材料上におけるシェーディングを抑える方法がある。
特開２００３−１４２３８７号公報

しかしながら、オプティカルインテグレータとしてロッドインテグレータを用いた場合、ロッドインテグレータに入射される光の入射角度が適切でないと、ロッドインテグレータの各側面において入射された光の反射回数が異なり、出射された光の輝度中心がロッドインテグレータの光軸からずれてしまい、所望の光を得ることができなかった。

更に、高輝度な光を得るために低ＮＡ光源（例えば、ＮＡ≦０．２４）を用いると、ロッドインテグレータ内での光の反射回数は減少する。ロッドインテグレータ内での光の反射回数が少ないと、ロッドインテグレータの各側面における光の反射回数の違いが出射された光の輝度分布に大きく影響してしまう。

特許文献１に開示されている発明では、光源から出射された光を光束偏心手段を介してロッドインテグレータに入射し、感光材料上における露光光の特性に基づいて光束偏心手段を制御することによって、ロッドインテグレータへ入射される光の角度分布を変化させて所望の露光光をえることとしている。しかしながら、感光材料上における露光光の特性を測定するための測定手段、光束偏心手段を制御するための制御手段等の複雑な機構が必要であり、露光装置のコストアップに繋がっていた。

本発明は、光源から出射された光がロッドインテグレータ内において入射角度の調整を簡単に行うことができる光源ユニット、露光装置及び露光方法を提供することを目的とする。

以上の課題を解決するために、本発明の光源ユニットは、オプティカルインテグレータを有する照明光学系に、光を入射させる光源ユニットにおいて、光源と、前記オプティカルインテグレータから出射される光が均一化されるに十分な回数前記オプティカルインテグレータ内で全反射を繰り返すような入射角度で前記光源から出射された光を前記オプティカルインテグレータの入射端面に入射させる入射角度調整手段を備えたことを特徴とする。

尚、「オプティカルインテグレータから出射される光が均一化されるに十分な回数前記オプティカルインテグレータ内で全反射を繰り返すような入射角度」とは、オプティカルインテグレータ（ロッドインテグレータ）に入射された光がオプティカルインテグレータの各側面で均等に反射されて十分均一化されるに必要な入射角度を言い、例えば、オプティカルインテグレータから出射された光が照射される所定面（例えば、空間光変調手段の照射面）上の中心部を含む複数の位置において光の照度を測定したときに、中心部の照度と他の位置の照度の差が中心部の照度の１０％以内となったときのオプティカルインテグレータの入射端面に対する光源から出射された光の入射角度のことを言う。

また、前記入射角度調整手段が、一方の端面に対して他方の端面が傾斜して形成されたくさび状リングであり、該くさび状リングは前記光源の出射側に配設されて前記くさび状リングの中央部を前記光源から出射された光が通過し、前記オプティカルインテグレータの入射端面に入射させるものであることとしてもよい。

ここで、前記くさび状リングが前記光源の光軸方向と直交する面内で回転可能であり、該回転をさせることによって、前記オプティカルインテグレータの入射端面に対する前記光源から出射された光の入射角度を調整することとしてもよい。

更に、前記くさび状リングの一方の端面に対する他方の端面の傾斜角度の異なるくさび状リングを配設することによって、前記オプティカルインテグレータの入射端面に対する前記光源から出射された光の入射角度を調整することとしてもよい。

尚、前記光源が、光を一端から入射し、入射した光を他端から出射する光ファイバを有するファイバ光源であることとしてもよい。

更に、前記光源が、光を一端から入射し、入射した光を他端から出射する光ファイバを複数本束ねたバンドル状のファイバ光源であることとしてもよい。

また、本発明の露光装置は、前記光源ユニットと、前記オプティカルインテグレータを有する照明光学系と、を備えることを特徴とする。

また、本発明の露光方法は、前記露光装置を用い、前記オプティカルインテグレータから出射した光を感光材料上に投影することを特徴とする。

光源から出射された光のオプティカルインテグレータの入射端面に対する入射角度が調整可能な入射角度調整手段（くさび状リング）を光源ユニットに配設することによって、光源から出射された光がオプティカルインテグレータ内の各側面にて均等に反射されることで十分な光輝度の均一性が確保できる入射角度に調整して、オプティカルインテグレータに光を入射させることができる。これにより、オプティカルインテグレータから出射された光輝度のムラを抑えることができる。このため、空間光変調手段等のオプティカルインテグレータから出射された光が照射される部材の照射面に対して光強度の均一な光を照射することができ、露光画質を向上させることができる。

更に、オプティカルインテグレータの入射端面への入射角度を調整するための制御手段や駆動手段等は必要でないため、低いコストで入射角度を調整する手段を提供することができる。

また、光源は使用時間の経過と共に性能が劣化するため、交換が必要な部品であるが、入射角度調整手段によってオプティカルインテグレータの入射端面に対する入射角度を簡単に調整することができるため、光源を有する光源ユニットの交換の際にも入射角度の調整を簡単に行うことができ、メンテナンスのしやすい露光装置を提供することができる。

以下、図面を参照して本発明の光源ユニット、露光装置及び露光方法について説明する。尚、本実施の形態では、オプティカルインテグレータとしてロッドインテグレータを適用した場合について説明するが、その他、所定の断面形状に切削研磨されたガラスロッドや、内面が反射コーティングされ、所定形状の穴のあいたいわゆるカレイドスコープでもよい。

まず、露光装置の外観及び構成について説明する。図１は、露光装置１０の概略外観図である。露光装置１０は、シート状の感光材料１２を表面に吸着して保持する平板状の移動ステージ１４を備えている。４本の脚部１６に支持された厚い板状の設置台１８の上面には、ステージ移動方向に沿って延びた２本のガイド２０が設置されている。ステージ１４は、その長手方向がステージ移動方向を向くように配置されると共に、ガイド２０によって往復移動可能に支持されている。更に露光装置１０は、ステージ１４をガイド２０に沿って駆動するステージ駆動装置（不図示）を備えている。

そして、設置台１８の中央部には、ステージ１４の移動経路を跨ぐようにコの字状のゲート２２が設置されている。コの字状のゲート２２の端部の各々は、設置台１８の両側面に固定されている。ゲート２２を挟んで一方側にはスキャナ２４が設置され、他方側には感光材料１２の先端及び後端を検知する複数のセンサ２６が設置されている。スキャナ２４及びセンサ２６はゲート２２に各々固定され、ステージ１４の移動経路の上方に設置されている。尚、スキャナ２４及びセンサ２６はコントローラ（不図示）に電気的に接続されており、コントローラによって動作制御がなされる。

ステージ１４にはスキャナ２４による露光開始の際にスキャナ２４から感光材料１２の露光面に照射されるレーザ光の光量を検出するための露光面計測センサ２８が設置されている。露光面計測センサ２８は、ステージ１４における感光材料１２の設置面の露光開始側の端部にステージ移動方向に直交する方向に延設されている。

図２はスキャナ２４の概略外観図である。図２に示すように、スキャナ２４は、例えば２行５列の略マトリクス状に配列された１０個の露光ヘッド３０を備えている。各露光ヘッド３０は、デジタル・マイクロミラー・デバイス（以下「ＤＭＤ」と表記する）の画素列方向が走査方向と所定の設定傾斜角度をなすように、スキャナ２４に取り付けられている。従って、各露光ヘッド３０による露光エリア３２は走査方向に対して傾斜した矩形状のエリアとなる。また、ステージ１４の移動に伴って感光材料１２には露光ヘッド３０による帯状の露光済み領域３４が形成される。

図３は、露光ヘッド３０の内部構成を詳しく示した図である。光源ユニット３８から出射したレーザ光は、照明光学系４０と、ミラー４２と、ＴＩＲプリズム７０と、ＤＭＤ３６と、結像光学系５０とを介して感光材料１２に照射される。以下、光源ユニット３８側から順次説明していく。

図４は、光源ユニット３８を構成する光源３８１の構成を説明するための図である。光源３８１は、複数のＬＤモジュール６０を備え、各ＬＤモジュール６０には第１マルチモード光ファイバ６２の一端が結合されている。第１マルチモード光ファイバ６２の他端には、第１マルチモード光ファイバ６２よりクラッド径の小さい第２マルチモード光ファイバ６４の一端が結合されている。複数の第２マルチモード光ファイバ６４は束ねられ、光源３８１のレーザ出射部６６を形成している。また、高輝度光源を実現するために、光源３８１は低ＮＡ光源（例えば、ＮＡ≦０．２４）であることが望ましい。

尚、本実施の形態の光源３８１は、複数のＬＤモジュール６０にそれぞれ第１マルチモード光ファイバ６２の一端を接続し、複数の第１マルチモード光ファイバ６２を束ねてバンドル状のファイバ光源として説明したが、光源３８１の他の形態として、１つのＬＤモジュールに１本の第１マルチモード光ファイバの一端を接続し、該第１マルチモード光ファイバの他端から光を出射するファイバ光源としてもよい。

図５は、ＬＤモジュール６０の構成を説明するための図である。ＬＤモジュール６０は、ヒートブロック８０上に配設された発光素子であるレーザダイオードＬＤ１〜ＬＤ１０（以下、包括的に「ＬＤ」と表記する。）と、各ＬＤに対応して配設されたコリメータレンズＣＯと、集光レンズ９０と、第１マルチモード光ファイバ６２と、を備えて構成されている。各ＬＤを出射した発光光はコリメータレンズＣＯを透過して集光レンズ９０によって集光される。集光された光は、第１マルチモード光ファイバ６２によって合波される。合波された光は第１マルチモード光ファイバ６２に結合された第２マルチモード光ファイバ６４の他端から出射され、第２マルチモード光ファイバ６４が束ねられて更に合波される。

尚、コリメータレンズＣＯを１０個備えることとしたが、これらのレンズが一体化されているコリメータレンズアレイを用いてもよい。また、ＬＤは、チップ状の横マルチモード又はシングルモードのＧａＮ系半導体レーザ発光素子であって、発振波長が全て共通（例えば、４０５［ｎｍ］）であり、最大出射出力も全て共通（例えば、マルチモードレーザでは１００［ｍＷ］、シングルモードレーザでは３０［ｍＷ］）である。尚、ＬＤとして、３５０［ｎｍ］〜４５０［ｎｍ］の波長範囲であれば、上記４０５［ｎｍ］以外の発振波長のＬＤを用いてもよい。

光源ユニット３８は、光源３８１の他に、入射角度調整手段としてのくさび状リングと、光源３８１から出射したレーザ光を集光する集光レンズ３８４を備えて構成される。光源ユニット３８の構成については、後ほど詳細に記述する。

図３に戻る。照明光学系４０は、集光レンズ３８４によって集光されたレーザ光の光路上に配置されたロッドインテグレータ４６と、ロッドインテグレータ４６の前方、即ちミラー４２側に配置されたフィールドレンズ４８とを備えて構成されている。

ロッドインテグレータ４６は、集光レンズ３８４によって集光されたレーザ光の強度を均一化させて出射するものである。ロッドインテグレータ４６から出射されたレーザ光はフィールドレンズ４８を透過してミラー４２によって反射され、ＴＩＲ（全反射）プリズム７０を介してＤＭＤ３６に斜入射される。ＤＭＤ３６は、画素を構成する多数のマイクロミラーが格子状に配列されてなるミラーデバイスである。本実施の形態においては、空間光変調手段としてＤＭＤを用いた場合を説明するが、画像信号に基づいて２次元パターンの光を形成する空間光変調素子であれば、これに限らない。ＤＭＤ３６の概略斜視図を図６に示す。ＤＭＤ３６は、照明光学系４０から入射された光を画像信号に基づいて空間光変調し、２次元パターンを形成する空間光変調手段である。ＤＭＤ３６は、ＳＲＡＭセル（メモリセル）３６２上に画素を構成する多数の（例えば、１０２４×７５７画素）マイクロミラー３６１が２次元状に配置されて構成されているものであり、各マイクロミラー３６１は支柱（不図示）によって支持されている。

更にＤＭＤ３６は、データ処理部とミラー駆動制御部を備えたコントローラ（不図示）に接続されている。データ処理部は、画像信号に基づいて各マイクロミラー３６１の傾斜角度を制御するための制御信号を生成する。ミラー駆動制御部は、データ処理部によって生成された制御信号に基づいて、ＤＭＤ３６の各マイクロミラー３６１の反射面の傾斜を制御する。このようにＤＭＤ３６の反射面を制御することによって、ＤＭＤ３６の照射面に照射されたレーザ光を所定の方向へ反射させ、２次元パターンが形成される。

図３に戻る。結像光学系５０は、ＤＭＤ３６で空間光変調されることによって形成された２次元パターンを感光材料１２上に結像させて投影させるための結像手段である。結像光学系５０は、レンズ５２及びレンズ５４を含む第１結像光学系５３と、マイクロレンズアレイ５５と、アパーチャアレイ５９と、レンズ５７及びレンズ５８を含む第２結像光学系５６とを備えて構成されている。ＤＭＤ３６によって形成された２次元パターンは、第１結像光学系５３を透過し、所定倍に拡大されて結像される。ここで、第１結像光学系５３を透過した光束は、第１結像光学系５３による結像位置の近傍に配設されたマイクロレンズアレイ５５の各マイクロレンズによって個別に集光される。この個別に集光された光束がアパーチャアレイ５９の各アパーチャを通過して結像される。マイクロレンズアレイ５５及びアパーチャアレイ５９を通過して結像された２次元パターンは、第２結像光学系５６を透過して更に所定倍に拡大され、感光材料１２上に結像される。最終的には、ＤＭＤ３６によって形成された２次元パターンが、第１結像光学系５３と第２結像光学系５６の拡大倍率をそれぞれ乗算した倍率で拡大されて、感光材料１２上に投影される。尚、結像光学系５０は、必ずしも第２結像光学系５６を備えた構成としなくてもよい。

図７〜図９は、光源ユニット３８とロッドインテグレータ４６の挿入されたロッドインテグレータ鏡室４６１の構造及び配置関係について説明するための図であり、図７は光源ユニット３８とロッドインテグレータ４６及びロッドインテグレータ鏡室４６１の斜視図、図８は側面図、図９は光軸方向の断面図である。光源ユニット３８は、光源３８１と、くさび状リング３８２と、集光レンズ鏡室３８３と、集光レンズ３８４とを備えて構成されている。図１０（ａ）はくさび状リング３８２の平面図及び断面図、図１０（ｂ）はくさび状リング３８２の斜視図である。くさび状リング３８２は、一方の端面に対して他方の端面が傾斜して形成されている。そして、図８に示すように、光源３８１の出射側とくさび状リング３８２の他方の端面が向き合うようにくさび状リング３８２が配設され、くさび状リング３８２の一方の端面側に集光リング３８４の嵌め込まれた集光リング鏡室３８３が配設される。このように構成された光源ユニット３８はロッドインテグレータ鏡室４６１の入射側端面に嵌合される。

くさび状リング３８２を有しない従来の露光装置の場合、ロッドインテグレータの入射端面に入射されるレーザ光の入射角度を設定する手段がないため、入射角度の調整ができない。更に、本実施の形態の光源３８１では高輝度な光を得るために低ＮＡ光源（例えば、ＮＡ≦０．２４）を用いるため、ロッドインテグレータ内におけるレーザ光の反射回数は少なくなる。つまり、ロッドインテグレータ内におけるレーザ光の反射回数が少ない上にロッドインテグレータの各側面におけるレーザ光の反射回数が異なると、ロッドインテグレータから出射されたレーザ光の輝度ムラが顕著になり、ＤＭＤ３６に対して光強度が均一なレーザ光を照射することができず、露光画質の低下の原因になっていた。

そこで、ロッドインテグレータ４６の入射端面に対するレーザ光の入射角度を適切な角度に調整する必要があり、本実施の形態に示したように、光源３８１の出射側にくさび状リング３８２を配設することによって、ロッドインテグレータ４６の光軸Ａ２に対して光源３８１の光軸Ａ１を傾けさせることができる。即ち、ロッドインテグレータ４６の光軸に対して傾斜させてレーザ光を入射させることができる。

ここで、ロッドインテグレータ４６の光軸に対して、どの程度調整してレーザ光を入射させればよいかを定義する方法の一例を説明する。ロッドインテグレータ４６の光軸に対する光源３８１から出射された光の入射角度は、入射光がロッドインテグレータ４６の各側面にて均等に反射される入射角度であることが好ましい。これにより、出射されたレーザ光の輝度ムラを少なくすることができ、ＤＭＤ３６の照射面に対して光強度の均一なレーザ光を照射させることができる。

ロッドインテグレータ４６の光軸に対するレーザ光の入射角度を決定する具体的な方法の一例について説明する。ＤＭＤ３６の照射面の所定の位置における照度を計測し、照射面の中心部の照度と所定の位置における照度の差が中心部の照度の１０％以内となるように、ロッドインテグレータ４６の入射面に対するレーザ光の入射角度を調整する。例えば、図１１に示すように、ＤＭＤ３６の照射面の四隅である位置（１）、（２）、（４）及び（５）と中心部（３）におけるレーザ光の照度を測定する。そして中心部（３）の照度を１００として、位置（１）、（２）、（３）及び（５）の相対照度を算出する。

「入射角度調整前の照度」において、中央部（３）の照度を１００としたとき、中央部（３）の照度との差が中央部（３）の照度の１０％より大きい位置は（１）と（４）である。

そして「入射角度調整後の照度」において、中央部（３）の照度を１００としたとき、中央部（３）の照度との差が全ての位置において中央部（３）の照度の１０％以下となっている。このように、中央部（３）の照度と四隅の照度の差が中央部（３）の１０％以下となるように、くさび状リング３８２を用いてロッドインテグレータ４６の入射端面に対するレーザ光の入射角度を調整していく。これにより、ＤＭＤ３６の照射面におけるシェーディング（照度ムラ）を抑えることができる。

ロッドインテグレータ４６の入射端面に対するレーザ光の入射角度の調整は、例えば、くさび状リング３８２を図７に示す矢印Ｙの方向に回転させて光源ユニット３８に配設することによって、入射角度を変化させることができる。又は、くさび状リングの一方の端面に対する他方の端面の傾斜角度が異なる複数のくさび状リングを用意し、ＤＭＤ３６の照射面における照度測定の結果に応じて、前記複数のくさび状リングから１つを選択して光源ユニット３８に配設することにより、入射角度を変化させるようにしてもよい。

以上、説明したように、光源３８１から出射されたレーザ光のロッドインテグレータ４６の入射端面に対する入射角度が調整可能なくさび状リング３８２を光源ユニット３８に配設することによって、光源３８１から出射されたレーザ光がロッドインテグレータ４６内の各側面にて均等に反射されるようにロッドインテグレータ４６に入射させることができる。これにより、ＤＭＤ３６の照射面に対して光強度の均一なレーザ光を照射することができ、露光画質を向上させることができる。

更に、ロッドインテグレータ４６の入射端面への入射角度を調整するための制御手段や駆動手段等の複雑な手段は必要ないため、低いコストで入射角度を調整することができる。

また、光源３８１を構成する光ファイバは使用時間の経過と共に性能が劣化するため、定期的な交換が必要とされる交換部品である。しかし、光源の特性は個々によって異なるため、交換前に使用されていたくさび状リング３８２を交換後に同様に配設しても、交換前と同じ入射角度でロッドインテグレータ４６の入射端面にレーザ光が入射されるとは限らない。そこで、図７の矢印Ｙに示すようにくさび状リング３８２を回転、又は一方の端面に対する他方の端面の傾斜角度が異なるくさび状リング３８２に交換することにより、ロッドインテグレータ４６の入射端面に対する入射角度を簡単に調整することができる。これにより、光源３８１を交換する際もロッドインテグレータ４６の入射端面に対する入射角度を簡単に調整することができ、メンテナンスのしやすい露光装置を提供することができる。

以上、本発明について実施の形態を用いて説明したが、本発明は上記の内容に限定されるものではなく、本発明の範囲内において他の種々の形態が実行可能である。例えば、上記実施の形態における露光装置１０では、空間光変調素子としてＤＭＤを備えた場合について説明したが、このような反射型空間光変調素子の他に、透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を使用してもよい。例えば、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）タイプの空間光変調素子（ＳＬＭ：Special Light Modulator）や電気光学効果により透過光を変調する光学素子（ＰＬＺＴ素子）や液晶光シャッタ（ＦＬＣ）等の液晶シャッタアレイ等、ＭＥＭＳタイプ以外の空間光変調素子を用いることも可能である。尚、ＭＥＭＳとは、ＩＣ製造プロセスを基盤としたマイクロマシニング技術によるマイクロサイズのセンサ、アクチュエータ、そして制御回路を集積化した微細システムの総称であり、ＭＥＭＳタイプの空間光変調素子とは、静電気力を利用した電気機械動作により駆動される空間光変調素子を意味している。更に、ＧＬＶ（Grating Light Value）を複数並べて二次元状に構成したものを用いることもできる。また、マスクを用いた露光装置に適用してもよい。

露光装置の概略外観図 スキャナの概略外観図 露光ヘッドの内部構成を詳しく示した図 光源の構成を説明するための図 ＬＤモジュールの構成を説明するための図 ＤＭＤの概略斜視図 光源ユニットとロッドインテグレータの斜視図 光源ユニットとロッドインテグレータの側面図 光源ユニットとロッドインテグレータの光軸方向の断面図 くさび状リングの平面図及び斜視図 ＤＭＤの照射面における照度の測定位置を説明するための図

符号の説明

１０ 露光装置
３０ 露光ヘッド
３８ 光源ユニット
３８１ 光源
３８２ くさび状リング
３８３ 集光レンズ鏡室
３８４ 集光レンズ
４０ 照明光学系
４６ ロッドインテグレータ
４６１ ロッドインテグレータ鏡室
４８ テレセントリック光学系
４２ ミラー
７０ ＴＩＲプリズム
３６ ＤＭＤ
５０ 結像光学系
５３ 第１結像光学系
５５ マイクロレンズアレイ
５９ アパーチャアレイ
５６ 第２結像光学系
１２ 感光材料

Claims (8)

1. オプティカルインテグレータを有する照明光学系に、光を入射させる光源ユニットにおいて、
   光源と、
   前記オプティカルインテグレータから出射される光が均一化されるに十分な回数前記オプティカルインテグレータ内で全反射を繰り返すような入射角度で前記光源から出射された光を前記オプティカルインテグレータの入射端面に入射させる入射角度調整手段を備えたことを特徴とする光源ユニット。
2. 前記入射角度調整手段が、一方の端面に対して他方の端面が傾斜して形成されたくさび状リングであり、該くさび状リングは前記光源の出射側に配設されて前記くさび状リングの中央部を前記光源から出射された光が通過し、前記オプティカルインテグレータの入射端面に入射させるものであることを特徴とする請求項１に記載の光源ユニット。
3. 前記くさび状リングが前記光源の光軸方向と直交する面内で回転可能であり、該回転をさせることによって、前記オプティカルインテグレータの入射端面に対する前記光源から出射された光の入射角度を調整することを特徴とする請求項２に記載の光源ユニット。
4. 前記くさび状リングの一方の端面に対する他方の端面の傾斜角度の異なるくさび状リングを配設することによって、前記オプティカルインテグレータの入射端面に対する前記光源から出射された光の入射角度を調整することを特徴とする請求項２に記載の光源ユニット。
5. 前記光源が、光を一端から入射し、入射した光を他端から出射する光ファイバを有するファイバ光源であることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の光源ユニット。
6. 前記光源が、光を一端から入射し、入射した光を他端から出射する光ファイバを複数本束ねたバンドル状のファイバ光源であることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の光源ユニット。
7. 請求項１〜６の何れか一項に記載の光源ユニットと、
   前記オプティカルインテグレータを有する照明光学系と、
   を備えたことを特徴とする露光装置。
8. 請求項７に記載の露光装置を用い、前記オプティカルインテグレータから出射した光を感光材料上に投影することを特徴とする露光方法。

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