JP2015009352A - 熱変位補正方法および熱変位補正装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】テーブル等の移動体を個別に熱推定処理を行い、スケールの変位および移動体の傾斜量を考慮することにより、より精度よく加工点の熱変位を補正することを目的とする。
【解決手段】工作機械1の熱変位補正方法は、支持体および移動体の熱変位をそれぞれ独立に推定する熱変位推定工程91と、移動体の位置を検出するスケールの取付位置の変位を取得するスケール位置変位取得工程92と、支持体が熱変形した後における支持体に対する移動体の実位置gを取得する移動体実位置取得工程93と、実位置gにおける移動体の傾斜量Sを算出する傾斜量算出工程94と、支持体の熱変位と移動体の熱変位とを合成した変位を取得する合成変位算出工程95と、合成した変位に基づいて、補正値を算出する補正値算出工程96と、補正値により移動体の指令位置を補正する補正工程97と、を備える。
【選択図】 図6
【解決手段】工作機械1の熱変位補正方法は、支持体および移動体の熱変位をそれぞれ独立に推定する熱変位推定工程91と、移動体の位置を検出するスケールの取付位置の変位を取得するスケール位置変位取得工程92と、支持体が熱変形した後における支持体に対する移動体の実位置gを取得する移動体実位置取得工程93と、実位置gにおける移動体の傾斜量Sを算出する傾斜量算出工程94と、支持体の熱変位と移動体の熱変位とを合成した変位を取得する合成変位算出工程95と、合成した変位に基づいて、補正値を算出する補正値算出工程96と、補正値により移動体の指令位置を補正する補正工程97と、を備える。
【選択図】 図6
Description
本発明は、工作機械に使用される熱変位補正方法および熱変位補正装置に関する。
例えば、特許文献1には、工作機械全体を一体として作成したモデルを用いて熱変位を推定し、加工点における熱変位を補正する熱変位補正方法が開示されている。
しかしながら、テーブル等が移動する工作機械において、工作機械全体を一体として熱変位を推定する場合は、テーブル等の位置を検出するスケールの変位が考慮されていない。よって、テーブル等の移動した位置が精度よく把握されないため、熱変位の補正精度に影響を及ぼす。
本発明は、上述した問題を解消するためになされたもので、テーブル等の移動体を個別に熱推定処理を行い、スケールの変位および移動体の傾斜量を考慮することにより、より精度よく加工点の熱変位を補正することを目的とする。
(請求項1)本手段に係る工作機械の熱変位補正方法は、支持体と、支持体に移動可能に支持され、指令位置に基づいて支持体に対して移動する移動体と、を備える工作機械の熱変位補正方法において、支持体および移動体の熱変位を熱変位推定処理によってそれぞれ独立に推定する熱変位推定工程と、移動体の位置を検出するスケールの取付位置の変位を、支持体の熱変位に基づいて取得するスケール位置変位取得工程と、スケールの取付位置の変位およびスケールにより検出される移動体の検出値に基づいて支持体が熱変形した後における支持体に対する移動体の実位置を取得する移動体実位置取得工程と、移動体の実位置および支持体の熱変位に基づいて移動体の実位置における移動体の傾斜量を算出する傾斜量算出工程と、移動体の熱変位と、移動体の実位置と、移動体の傾斜量とに基づいて、支持体の熱変位と移動体の熱変位とを合成した変位を取得する合成変位算出工程と、合成した変位に基づいて、移動体の指令位置に対する補正値を算出する補正値算出工程と、補正値により移動体の指令位置を補正する補正工程と、を備える。
すなわち、支持体および移動体をそれぞれ個別に熱変位を推定した解析結果と、スケールの基準点の変位と、移動体の傾斜量とに基づいて、各構造体の熱変位を合成し、工作機械の熱変位を推定する。これによれば、工作機械全体を一体として熱変位を推定する場合に比べ、支持体の熱変位に基づくスケールの基準点の変位および移動体の傾斜量も考慮されているため、より精度良く指令位置に対する補正量を算出することができる。
また、支持体および移動体を個別に熱変位の推定をするときに、有限要素法による構造解析を用いる場合は、複雑な形状をもつ支持体および移動体に対してもより精度良く熱変位を推定できる。さらに、この場合は、工作機械全体を一体として構造解析する場合に比べ、剛性マトリクスを小さくできるため、演算数が少なくなる。よって、より短時間に補正値を算出できるため、より短いサイクルにて加工中の熱変位補正を行うことができる。
(請求項2)好ましくは、移動体実位置取得工程は、スケールの線膨張係数を用いて推定するスケールの熱変位をさらに用いて、移動体の実位置を取得する。
すなわち、移動体の位置がスケールの線膨張係数を用いて推定するスケール自身の熱変位も考慮して算出されるため、容易に、より精度良く指令位置に対する補正量を算出することができる。
(請求項3)また、移動体は、工作機械のテーブルを含む構造体である。
すなわち、移動体の移動した位置における傾斜量が考慮されるため、回転する移動体について、より精度よく指令位置に対する補正量を算出することができる。
すなわち、移動体の移動した位置における傾斜量が考慮されるため、回転する移動体について、より精度よく指令位置に対する補正量を算出することができる。
(請求項4)また、移動体は、工作機械のコラムである。
すなわち、熱源となる回転主軸を保持するコラムを個別に熱変位を推定することにより、コラムの熱変位を精度よく解析できるため、より精度よく指令位置に対する補正量を算出することができる。
すなわち、熱源となる回転主軸を保持するコラムを個別に熱変位を推定することにより、コラムの熱変位を精度よく解析できるため、より精度よく指令位置に対する補正量を算出することができる。
(請求項5)また、工作機械の熱変位補正装置は、支持体と、支持体に移動可能に支持され、指令位置に基づいて支持体に対して移動する移動体と、を備える工作機械の熱変位補正装置において、支持体および移動体の熱変位を熱変位推定処理によってそれぞれ独立に推定する熱変位推定部と、移動体の位置を検出するスケールの取付位置の変位を、支持体の熱変位に基づいて取得するスケール位置変位取得部と、スケールの取付位置の変位およびスケールにより検出される移動体の検出値に基づいて支持体が熱変形した後における支持体に対する移動体の実位置を取得する移動体実位置取得部と、移動体の実位置および支持体の熱変位に基づいて移動体の実位置における移動体の傾斜量を算出する傾斜量算出部と、移動体の熱変位と、移動体の実位置と、移動体の傾斜量とに基づいて、支持体の熱変位と移動体の熱変位とを合成した変位を取得する合成変位算出部と、合成した変位に基づいて、移動体の指令位置に対する補正値を算出する補正値算出部と、補正値により移動体の指令位置を補正する補正部と、を備える。
本手段に係る工作機械の熱変位補正装置によれば、上述した工作機械の熱変位補正方法における効果と同様の効果を奏する。
工作機械1の一実施形態として、横型マシニングセンタを例に挙げ、図1および図2を参照して説明する。つまり、工作機械1は駆動軸として、相互に直交する3つの直進軸(X,Y,Z軸)および鉛直方向の回転軸(B軸50b)を有する工作機械である。
図1に示すように、工作機械1は、ベッド10、コラム20、サドル30、回転主軸40、テーブル50、温度センサ70、制御装置80および熱変位補正装置90とから構成される。
ベッド10は、ほぼ矩形状からなり、床上に配置される。ただし、ベッド10の形状は矩形状に限定されるものではない。このベッド10の上面10aには、コラム20が摺動可能な一対のX軸ガイドレール11a,11bが、X軸方向(水平方向)に延びるように、且つ、相互に平行に形成されている。さらに、ベッド10には、一対のX軸ガイドレール11a,11bの間に、コラム20をX軸方向に駆動するための、図略のX軸ボールねじが配置され、このX軸ボールねじを回転駆動するX軸モータ11cが配置されている。また、ベッド10には、コラム20の位置を検出する図略のX軸スケール11dが配置されている。X軸スケール11dは、例えば光学式リニアエンコーダである。
さらに、ベッド10の上面には、テーブル50が摺動可能な一対のZ軸ガイドレール12a,12bがX軸方向と直交するZ軸方向(水平方向)に延びるように、且つ、相互に平行に形成されている。さらに、ベッド10には、一対のZ軸ガイドレール12a,12bの間に、テーブル50をZ軸方向に駆動するための、図略のZ軸ボールねじが配置され、このZ軸ボールねじを回転駆動するZ軸モータ12cが配置されている。また、ベッド10には、図2に示すように、テーブル50の位置を検出するZ軸スケール12dが配置されている。Z軸スケール12dは、例えば光学式リニアエンコーダである。
コラム20の底面(X軸摺動面)には、一対のX軸ガイド溝21a,21bがX軸方向に延びるように、且つ、相互に平行に形成されている。コラム20は、ベッド10に対してX軸方向に移動可能なように、一対のX軸ガイド溝21a,21bが一対のX軸ガイドレール11a,11b上にボールガイド22a,22bを介して嵌め込まれ、コラム20の底面がベッド10の上面に密接されている。
さらに、コラム20のX軸に平行な側面(Y軸摺動面)20aには、サドル30が摺動可能な一対のY軸ガイドレール23a,23bがY軸方向(鉛直方向)に延びるように、且つ、相互に平行に形成されている。さらに、コラム20には、一対のY軸ガイドレール23a,23bの間に、サドル30をY軸方向に駆動するための、図略のY軸ボールねじが配置され、このY軸ボールねじを回転駆動するY軸モータ23cが配置されている。また、コラム20には、テーブル50の位置を検出する、図略のY軸スケール24dが配置されている。Y軸スケール24dは、例えば光学式リニアエンコーダである。
コラム20のY軸摺動面20aに対向するサドル30の側面30aには、一対のY軸ガイド溝31a,31bがY軸方向に延びるように、且つ、相互に平行に形成されている。サドル30は、コラム20に対してY軸方向に移動可能なように、一対のY軸ガイド溝31a,31bが一対のY軸ガイドレール23a,23bに嵌め込まれ、サドル30の側面30aがコラム20のY軸摺動面20aに密接されている。
回転主軸40は、サドル30内に収容された主軸モータ41により回転可能に設けられ、工具42を支持している。工具42は、回転主軸40の先端に固定され、回転主軸40の回転に伴って回転する。また、工具42は、コラム20およびサドル30の移動に伴ってベッド10に対してX軸方向およびY軸方向に移動する。なお、工具42としては、例えば、ボールエンドミル、エンドミル、ドリル、タップ等である。
テーブル50は、ベッド10に対してZ軸方向に移動可能なように、一対のZ軸ガイドレール12a,12b上に設けられている。また、テーブル50は、ターンテーブル60を備えている。ターンテーブル60は、面50a上に、鉛直方向のB軸50b回りで回転可能に支持されている。ターンテーブル60は、ベッド10内に収容されたB軸モータ61により回転可能に設けられ、工作物Wを磁気吸着等により固定している。
温度センサ70は、工作機械1の各構造体、すなわちベッド10、コラム20、サドル30、回転主軸40およびテーブル50の任意の部位に取付けられている。この温度センサ70としては、例えば、熱電対やサーミスタが用いられる。この温度センサ70により検出される温度情報は、工作機械1の各構造体の熱変位推定処理に用いる。
制御装置80は、X軸スケール11d、Z軸スケール12dおよびY軸スケール24dと電気的に接続されている。各スケール11d、12d、24dが検出するテーブル50等の位置情報は検出信号として、制御装置80に送信される。さらに、制御装置80は、温度センサ70と電気的に接続されている。温度センサ70が検出する各構造体の温度情報は、検出信号として制御装置80に送信される。
そして、制御装置80は、主軸モータ41を制御して、工具42を回転させ、X軸モータ11c、Z軸モータ12c、Y軸モータ23c、およびB軸モータ61を制御して、工作物Wと工具42とをX軸方向、Z軸方向、Y軸方向およびB軸50b回りに相対移動することにより、工作物Wの加工を行う。
また、制御装置80は、ベッド10やコラム20などの構造体の熱変位に伴って生じる工作物Wと工具42との相対位置のずれを解消するために、指令位置を補正する熱変位補正装置90を備えている。ただし、熱変位補正装置90は、制御装置80の内部に備えるものに限られず、外部装置として適用することもできる。
ここで、指令位置とは、加工や計測などを行うためのNCプログラムによって指令される工作機械1の移動体の位置指令値である。熱変位補正装置90は、指令位置に対する補正値を求め、指令位置を補正する。例えば、指令位置および補正値は、工作物Wに対する回転主軸40の先端位置の指令値、すなわち工作物Wに対する工具42の先端位置の指令値である。また、指令位置は、各軸モータに対する位置指令値として捉えることもできる。この指令位置は、本実施形態の工作機械1においては、X軸,Y軸,Z軸,B軸座標にて表される。なお、補正値は、X軸,Y軸,Z軸に対する補正を行うため、X軸,Y軸,Z軸座標として表す。
次に、熱変位補正装置90について、図2〜図6を参照しながら説明する。本実施形態においては、工作機械1の移動体の一つであるテーブル50について、指令位置に基づいて座標Z=aに移動した場合における、Z軸方向の熱変位補正について説明する。移動体であるテーブル50に対する支持体はベッド10である。なお、テーブル50の他に、コラム20および回転主軸などの他の移動体にも同様に適用できる。
ここで、図2は、工作機械1の各構造体が熱変形していない状態を表している。そして、テーブル50およびベッド10の一部については、B軸50bを含むYZ平面に平行な面Cによる断面を表している。また、図2の右側に点線にて表されるテーブル50は、Z軸スケール12dの基準点Ps0にテーブル50のB軸50bが重なっている基準位置(座標Z=0)にある状態を示している。一方、図2の左側に実線にて表されるテーブル50は、テーブル50を座標Z=aの位置とする指令位置に基づいて、テーブル50が移動した位置(座標Z=a)にある状態を示している。点Psaは、座標Z=aのZ軸スケール12dの位置を示している。また、点Pt0は、テーブル50の上面にあるB軸50b上の点である。各構造体が熱変形していない場合、テーブル50がZ=aだけ移動したときには、点Pt0もZ方向にZ=aだけ移動する。
熱変位補正装置90は、図3に示すように、熱変位推定部91、スケール位置変位取得部92、移動体実位置取得部93、傾斜量算出部94、合成変位算出部95、補正値算出部96および補正部97を備えて構成される。ここで、熱変位推定部91、スケール位置変位取得部92、移動体実位置取得部93、傾斜量算出部94、合成変位算出部95、補正値算出部96および補正部97は、それぞれ個別のハードウエアによる構成することもできるし、ソフトウエアによりそれぞれ実現する構成とすることもできる。
熱変位推定部91は、支持体および移動体の熱変位を熱変位推定処理によってそれぞれ独立に推定する。上述したように、支持体はベッド10に、移動体はテーブル50に該当する。
また、本実施形態において、熱変位推定処理は、有限要素法による構造解析である。この構造解析の条件として、材料定数、構造体を要素に分割したときの各節点における温度情報、拘束条件等が必要となる。ここで、構造解析の条件のうち各節点における温度情報のみ変化するものであって、他の条件は既知である。そして、各節点における温度情報は、温度センサ70により検出される温度情報を用いる。例えば、予めテーブル50の温度勾配を把握しておくことで、温度センサ70により検出された温度情報に基づいて、各節点の温度を算出できる。
すなわち、熱変位推定部91は、ベッド10およびテーブル50について、温度センサ70により検出される温度情報に基づいて、有限要素法による構造解析をそれぞれ独立に行う。ベッド10およびテーブル50の推定された熱変位をそれぞれ、第一熱変位N1および第二熱変位N2とする。ここで、図4〜図6に示されているベッド10およびテーブル50は、熱変位N1,N2に基づいて作成されるモデルによって表されている。
また、図4には、熱変形前のテーブル50が点線にて表され、熱変形後のテーブル50が実線にて表されている。そして、点線にて表されるテーブル50における点Pt0は、熱変形によって、B軸50bに沿って、実線にて表されるテーブル50における点Pt1に変位する。そして、図5には、熱変形後のベッド10の面Cによる断面図が表されている。ベッド10の熱変形によって、スケール12dの取付位置が変位する。具体的には、スケール12dの基準点Ps0が点Ps1に変位する。
スケール位置変位取得部92は、移動体の位置を検出するスケールの取付位置の変位H0を、支持体の第一熱変位N1に基づいて取得する。すなわち、図5に示すように、変位H0は、具体的には、基準点Ps0と点Ps1とのZ方向の長さである。
移動体実位置取得部93は、スケールの取付位置の変位H0およびスケールにより検出される移動体の検出値に基づいて支持体が熱変形した後における支持体に対する移動体の実位置gを取得する。また、移動体実位置取得部93は、スケール12dの線膨張係数αを用いて推定するZ軸スケール12dの熱変位Hαをさらに用いて、移動体の実位置gを取得する。実位置gは、基準点Ps0に対する移動体の実際の位置である。各構造体が熱変形していない場合は、実位置gは、Z軸スケール12dが検出する位置と同じとなる。一方、各構造体が熱変形している場合は、実位置gはZ軸スケール12dが検出する位置を、第一熱変位N1に基づいて補正する。
具体的には、各構造体が熱変形した後、テーブル50が指令位置に基づいてZ軸スケール12dにおける座標Z=aの位置に移動した場合は、図5に示すように、基準点Ps0から長さLgだけZ方向へ移動した位置が実位置gとなる。ここで、長さLgは、式(1)に示すように、Z軸スケール12dの取付位置の変位H0、Z軸スケール12d上の点Psaと熱変形後のZ軸スケール12dの基準点である点Ps1とのZ方向の長さLおよびZ軸スケール12dの熱変位Hαを加算することにより求められる。なお、テーブル50が座標Z=aに移動しているため、長さL=aである。
[数1]
Lg=H0+a+Hα ・・・(1)
Lg=H0+a+Hα ・・・(1)
ここで、座標Z=aにおけるZ軸スケール12dの熱変位Hαは、式(2)に示すスケール12dの線膨張係数αを用いた関係式により算出される。線膨張係数αは、Z軸スケール12dの材料から特定される値である。また、ΔTは温度センサ70により検出されるZ軸スケール12dの温度変化である。
[数2]
Hα=a×α×ΔT ・・・(2)
Hα=a×α×ΔT ・・・(2)
傾斜量算出部94は、移動体の実位置gおよび支持体の熱変位に基づいて移動体の実位置gにおける移動体の傾斜量Sを算出する。ここで、図6には、熱変形後のテーブル50およびベッド10の面Cによる断面が表されている。そして、図6に示すように、点PsaとB軸50bとが交わり、テーブル50とガイドレール12aとが連結するように、熱変形後のテーブル50を回転させることにより、テーブル50とベッド10とを重ね合わせる(載置した状態とする)。さらに、テーブル50の実位置gにおけるテーブル50とガイドレール12aとの連結点10b,10cに相当する第一熱変位N1における節点から、点10bと点10cとを結ぶ線分Tbcの傾斜量(傾斜角)を算出する。この傾斜量が、テーブル50の実位置gにおける傾斜量Sに相当する。
合成変位算出部95は、移動体の第二熱変位N2と、移動体の実位置gと、移動体の傾斜量Sとに基づいて、支持体の第一熱変位N1と移動体の第二熱変位N2とを合成した変位を取得する。本実施形態においては、まず、図6に示す、テーブル50の実位置gにおける点Pt1の基準点Ps0からのZ方向の長さLgtを求める。そして、長さLgtと、そのときの指令位置の長さaとの差Dが合成した変位となる。
具体的には、式(3)に示すように、長さLgtは、長さLgに点Psaと点Pt1とのZ方向の長さHsを加えることにより求められる。ここで、長さHsは、式(4)に示す関係式により求められる。ここで、長さLhは、点Psaと点Pt1とのB軸方向の長さである。また、差Dは、式(5)によって表される。
[数3]
Lgt=Lg+Hs ・・・(3)
Lgt=Lg+Hs ・・・(3)
[数4]
Hs=Lh×sinS ・・・(4)
Hs=Lh×sinS ・・・(4)
[数5]
D=Lgt−a ・・・(5)
D=Lgt−a ・・・(5)
補正値算出部96は、合成変位算出部95により取得された合成した変位に基づいて、移動体の指令位置に対する補正値を算出する。具体的には、式(5)に示より算出された差Dがそのまま補正値となる。
補正部97は、補正値により移動体の指令位置を補正する。すなわち、補正部97は、テーブル50のZ方向の指令位置に補正値算出部96によって得られた補正値を加算する。
次に、熱変位補正装置90による処理について、図7を参照して説明する。この熱変位補正装置90による処理は、工作機械1に電源が投入された後に行われる。例えば、工作物Wの加工中、タッチプローブ(図示せず)などによる工作物Wの計測時において、熱変位補正処理が行われる。
図7に示すように、工作機械1の電源が投入されると(ステップS1)、熱変位推定部91にて、温度センサ70から温度情報を入力し(ステップS2)、ベッド10およびテーブル50について、それぞれ独立に有限要素法による構造解析を実行し、第一熱変位N1および第二熱変位N2を取得する(ステップS3)。さらに、熱変位推定部91は、得られた第一熱変位N1および第二熱変位N2を記憶する(ステップS4)。
そして、スケール位置変位取得部92によって。第一熱変位N1に基づいて、Z軸スケール12dの変位を取得する(ステップS5)。また、移動体実位置取得部93によって、テーブル50の実位置gを取得し(ステップS6)、傾斜量算出部94によって、テーブル50の傾斜量Sを算出する(ステップS7)。続けて、合成変位算出部95によって、第一熱変位N1と第二熱変位N2とを合成した変位を取得する(ステップS8)。
そして、合成した変位が指令位置に対する補正値となり(ステップS9)、補正部97が補正値により指令位置を補正する(ステップS10)。つまり、補正値により制御装置80が出力する指令位置を補正指令位置に補正する。そして、制御装置80により熱変位補正を実行し(ステップS11)、工作機械1の電源が切断されるまで継続する(ステップS12)。すなわち、工作機械1の電源が切断されていなければ、ステップS2に戻って上述の処理を繰り返し、工作機械1の電源が切断された場合に熱変位補正プログラムを終了する。
本実施形態によれば、支持体および移動体をそれぞれ個別に熱変位を推定した解析結果と、スケール12dの基準点Ps0の変位H0と、移動体の傾斜量Sとに基づいて、各構造体の熱変位を合成し、工作機械1の熱変位を推定する。これによれば、工作機械1全体を一体として熱変位を推定する場合に比べ、支持体の第一熱変位N1に基づくスケール12dの基準点Ps0の変位H0および移動体の傾斜量Sも考慮されているため、より精度良く指令位置に対する補正量を算出することができる。
また、支持体および移動体を個別に熱変位の推定をするときに、有限要素法による構造解析を用いる場合は、複雑な形状をもつ支持体および移動体に対してもより精度良く熱変位を推定できる。さらに、この場合は、工作機械1全体を一体として構造解析する場合に比べ、剛性マトリクスを小さくできるため、演算数が少なくなる。よって、より短時間に補正値を算出できるため、より短いサイクルにて加工中の熱変位補正を行うことができる。
また、移動体の実位置gがスケール12dの線膨張係数αを用いて推定するスケール12d自身の熱変位Hαも考慮して算出されるため、容易に、より精度良く指令位置に対する補正量を算出することができる。
また、移動体は、工作機械1の回転するターンテーブル60を含む構造体である。これによれば、移動体の移動した位置における傾斜量Sが考慮されるため、回転する移動体について、より精度よく指令位置に対する補正量を算出することができる。
なお、本実施形態については、移動体がテーブル50であったが、移動体にコラム20を適用して、熱変位補正を行うようにしても良い。
これによれば、熱源となる回転主軸40を保持するコラム20を個別に熱変位を推定することにより、コラム20の熱変位をより精度よく解析できるため、より精度よく指令位置に対する補正量を算出することができる。
これによれば、熱源となる回転主軸40を保持するコラム20を個別に熱変位を推定することにより、コラム20の熱変位をより精度よく解析できるため、より精度よく指令位置に対する補正量を算出することができる。
1…工作機械、10…ベッド、12d…Zスケール、20…コラム、50…テーブル、60…ターンテーブル、91…熱変位推定工程、92…スケール位置変位取得工程、93…移動体実位置取得工程、94…傾斜量算出工程、95…合成変位算出工程、96…補正値算出工程、97…補正工程、g…実位置、H0…変位、Hα…熱変位、N1…第一熱変位、N2…第二熱変位、Ps0…基準点、S…傾斜量、α…線膨張係数。
Claims (5)
- 支持体と、前記支持体に移動可能に支持され、指令位置に基づいて前記支持体に対して移動する移動体と、を備える工作機械の熱変位補正方法において、
前記支持体および前記移動体の熱変位を熱変位推定処理によってそれぞれ独立に推定する熱変位推定工程と、
前記移動体の位置を検出するスケールの取付位置の変位を、前記支持体の熱変位に基づいて取得するスケール位置変位取得工程と、
前記スケールの取付位置の変位および前記スケールにより検出される前記移動体の検出値に基づいて前記支持体が熱変形した後における前記支持体に対する前記移動体の実位置を取得する移動体実位置取得工程と、
前記移動体の実位置および前記支持体の熱変位に基づいて前記移動体の実位置における前記移動体の傾斜量を算出する傾斜量算出工程と、
前記移動体の熱変位と、前記移動体の実位置と、前記移動体の傾斜量とに基づいて、前記支持体の熱変位と前記移動体の熱変位とを合成した変位を取得する合成変位算出工程と、
前記合成した変位に基づいて、前記移動体の指令位置に対する補正値を算出する補正値算出工程と、
前記補正値により前記移動体の前記指令位置を補正する補正工程と、を備える工作機械の熱変位補正方法。 - 前記移動体実位置取得工程は、前記スケールの熱線膨張係数を用いて推定する前記スケールの熱変位をさらに用いて、前記移動体の実位置を取得する、請求項1に記載の工作機械の熱変位補正方法。
- 前記移動体は、前記工作機械のテーブルを含む構造体である、請求項1または2の工作機械の熱変位補正方法。
- 前記移動体は、前記工作機械のコラムである、請求項1または2の工作機械の熱変位補正方法。
- 支持体と、前記支持体に移動可能に支持され、指令位置に基づいて前記支持体に対して移動する移動体と、を備える工作機械の熱変位補正装置において、
前記支持体および前記移動体の熱変位を熱変位推定処理によってそれぞれ独立に推定する熱変位推定部と、
前記移動体の位置を検出するスケールの取付位置の変位を、前記支持体の熱変位に基づいて取得するスケール位置変位取得部と、
前記スケールの取付位置の変位および前記スケールにより検出される前記移動体の検出値に基づいて前記支持体が熱変形した後における前記支持体に対する前記移動体の実位置を取得する移動体実位置取得部と、
前記移動体の実位置および前記支持体の熱変位に基づいて前記移動体の実位置における前記移動体の傾斜量を算出する傾斜量算出部と、
前記移動体の熱変位と、前記移動体の実位置と、前記移動体の傾斜量とに基づいて、前記支持体の熱変位と前記移動体の熱変位とを合成した変位を取得する合成変位算出部と、
前記合成した変位に基づいて、前記移動体の指令位置に対する補正値を算出する補正値算出部と、
前記補正値により前記移動体の前記指令位置を補正する補正部と、を備える工作機械の熱変位補正装置。
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