JP2015006711A - Driving mechanism and robot - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a driving mechanism which cools a driving source while maintaining cleanliness of a clean environment.SOLUTION: A driving mechanism according to one embodiment includes: a driving source; an internal space; an air-supply fan; and an exhaust fan. The driving source is stored in the internal space. The air-supply fan supplies air to the internal space. The exhaust fan exhausts the air from the internal space. The driving mechanism maintains an inner pressure in the internal space at a pressure lower than the atmospheric pressure at the exterior of the internal space by using air flow generated by the air-supply fan and the exhaust fan.

Description

開示の実施形態は、駆動機構およびロボットに関する。   The disclosed embodiments relate to a drive mechanism and a robot.

従来、液晶パネルディスプレイの製造ラインにおいて、原材料となるガラス基板を搬送する基板搬送用のロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。かかるロボットは、塵埃（以下、「パーティクル」と記載する）などによる製品の品質低下を防ぐため、クリーンルームの内部といったクリーン環境下に置かれる。   2. Description of the Related Art Conventionally, in a production line for liquid crystal panel displays, a substrate transport robot that transports a glass substrate that is a raw material is known (see, for example, Patent Document 1). Such a robot is placed in a clean environment such as the inside of a clean room in order to prevent deterioration in product quality due to dust (hereinafter referred to as “particles”).

また、かかるクリーン環境の清浄度を保つため、ロボットが有するアーム部の駆動源は通常、カバーなどによって覆われ、ロボット内部からのパーティクルの飛散を防ぐ構造となっている。   In order to maintain the cleanliness of such a clean environment, the drive source of the arm part of the robot is usually covered with a cover or the like, so that particles are prevented from scattering from the inside of the robot.

特開２００２−９３８８１号公報JP 2002-93781 A

しかしながら、上述した従来技術には、クリーン環境の清浄度を保ちつつ、駆動源を冷却するうえで更なる改善の余地がある。   However, the above-described conventional technology has room for further improvement in cooling the drive source while maintaining the cleanliness of the clean environment.

具体的には、駆動源は、上述のようにカバーなどによって覆われているため、発生した熱が逃げにくいという問題点があった。この点、駆動源が配置された内部空間から外部へ空気を逃がすことが考えられるが、あわせてロボット内部からのパーティクルの飛散を抑える必要がある。   Specifically, since the drive source is covered with a cover or the like as described above, there is a problem that generated heat is difficult to escape. In this regard, it is conceivable that air is allowed to escape from the internal space where the drive source is arranged, but it is also necessary to suppress scattering of particles from the inside of the robot.

実施形態の一態様は、上記に鑑みてなされたものであって、クリーン環境の清浄度を保ちつつ、駆動源を冷却することができる駆動機構およびロボットを提供することを目的とする。   One aspect of the embodiments has been made in view of the above, and an object thereof is to provide a drive mechanism and a robot that can cool a drive source while maintaining cleanliness of a clean environment.

実施形態の一態様に係る駆動機構は、駆動源と、内部空間と、給気ファンと、排気ファンとを備える。前記内部空間は、前記駆動源を格納する。前記給気ファンは、前記内部空間に給気する。前記排気ファンは、前記内部空間から排気する。また、前記駆動機構は、前記給気ファンおよび前記排気ファンにより発生する気流によって、前記内部空間の内圧を前記内部空間外の気圧よりも低く維持する。   A drive mechanism according to an aspect of the embodiment includes a drive source, an internal space, an air supply fan, and an exhaust fan. The internal space stores the drive source. The air supply fan supplies air to the internal space. The exhaust fan exhausts air from the internal space. The drive mechanism maintains an internal pressure of the internal space lower than an atmospheric pressure outside the internal space by an air flow generated by the air supply fan and the exhaust fan.

実施形態の一態様によれば、クリーン環境の清浄度を保ちつつ、駆動源を冷却することができる。   According to one aspect of the embodiment, the drive source can be cooled while maintaining the cleanliness of the clean environment.

図１は、第１の実施形態に係るロボットの斜視模式図である。FIG. 1 is a schematic perspective view of the robot according to the first embodiment. 図２Ａは、第１関節部周辺の正面模式図である。FIG. 2A is a schematic front view around the first joint. 図２Ｂは、第１関節部周辺の側面模式図である。FIG. 2B is a schematic side view of the periphery of the first joint. 図２Ｃは、給気ファンと排気ファンとの関係の一例を示す図である。FIG. 2C is a diagram illustrating an example of a relationship between an air supply fan and an exhaust fan. 図３Ａは、空気の流れを示す第１関節部周辺の平面透過図である。FIG. 3A is a transparent plan view of the periphery of the first joint portion showing the air flow. 図３Ｂは、空気の流れを示す第１関節部周辺の側面透過図である。FIG. 3B is a side see-through view of the periphery of the first joint portion showing the flow of air. 図３Ｃは、ワークが第１関節部より下方に位置付けられた状態を示す模式図である。FIG. 3C is a schematic diagram illustrating a state in which the work is positioned below the first joint portion. 図４Ａは、第１の変形例に係る第１関節部周辺の正面模式図である。FIG. 4A is a schematic front view of the vicinity of the first joint according to the first modification. 図４Ｂは、第２の変形例に係る第２関節部周辺の正面模式図である。FIG. 4B is a schematic front view of the vicinity of the second joint according to the second modification. 図５は、第２の実施形態に係るロボットの斜視模式図である。FIG. 5 is a schematic perspective view of the robot according to the second embodiment.

以下、添付図面を参照して、本願の開示する駆動機構およびロボットの実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。   Hereinafter, embodiments of a drive mechanism and a robot disclosed in the present application will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In addition, this invention is not limited by embodiment shown below.

また、以下では、ロボットが、被搬送物としてガラス基板を搬送する搬送ロボットである場合を例に挙げて説明を行う。また、被搬送物については、「ワーク」と記載する。また、以下では、「機械構造を構成し、互いに相対運動可能な個々の剛体要素」を「リンク」とし、かかる「リンク」を「アーム」と記載する場合がある。   In the following description, the case where the robot is a transfer robot that transfers a glass substrate as an object to be transferred will be described as an example. Further, the conveyed object is described as “work”. In the following, “individual rigid elements that constitute a mechanical structure and can move relative to each other” may be referred to as “links”, and such “links” may be referred to as “arms”.

また、図１〜図４Ｂを用いた説明では、シングルリンク型のロボットを例に挙げた第１の実施形態について、図５を用いた説明では、ダブルリンク型のロボットを例に挙げた第２の実施形態について、それぞれ説明する。   In the description using FIGS. 1 to 4B, the first embodiment taking a single link type robot as an example, and in the explanation using FIG. 5, the second example taking a double link type robot as an example. Each embodiment will be described.

（第１の実施形態）
まず、第１の実施形態に係るロボット１の構成について図１を用いて説明する。図１は、第１の実施形態に係るロボット１の斜視模式図である。なお、以下では、説明の便宜上、ロボット１の旋回位置が図１に示す状態であるものとして、ロボット１における各部位の位置関係を説明する。 (First embodiment)
First, the configuration of the robot 1 according to the first embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a schematic perspective view of the robot 1 according to the first embodiment. In the following, for convenience of explanation, the positional relationship of each part in the robot 1 will be described on the assumption that the turning position of the robot 1 is in the state shown in FIG.

また、説明を分かりやすくするために、図１には、鉛直上向きを正方向とし、鉛直下向きを負方向とするＺ軸を含む３次元の直交座標系を図示している。したがって、ＸＹ平面に沿った方向は、「水平方向」を指す。かかる直交座標系は、以下の説明に用いる他の図面においても示す場合がある。また、以下の説明では、Ｘ軸の正方向からみた場合を「正面」と規定する。   For easy understanding, FIG. 1 shows a three-dimensional orthogonal coordinate system including a Z-axis having a vertically upward direction as a positive direction and a vertically downward direction as a negative direction. Therefore, the direction along the XY plane indicates the “horizontal direction”. Such an orthogonal coordinate system may be shown in other drawings used in the following description. In the following description, the case of viewing from the positive direction of the X axis is defined as “front”.

図１に示すように、ロボット１は、旋回機構１０と、昇降アーム部２０と、水平アーム部３０とを備える。   As shown in FIG. 1, the robot 1 includes a turning mechanism 10, a lifting arm unit 20, and a horizontal arm unit 30.

旋回機構１０は、基台１１と、旋回台１２とを備える。基台１１は、たとえば床面等に設置される。基台１１の上部には、旋回台１２が旋回軸Ｓを中心に旋回可能に取り付けられる。旋回台１２は、鉛直軸である旋回軸Ｓを中心として旋回する。かかる旋回台１２が旋回することにより、昇降アーム部２０および水平アーム部３０は、旋回軸Ｓを中心として旋回する。   The turning mechanism 10 includes a base 11 and a turntable 12. The base 11 is installed on a floor surface, for example. A swivel base 12 is attached to the upper part of the base 11 so as to be pivotable about a swivel axis S. The swivel base 12 swivels around a swivel axis S that is a vertical axis. As the swivel base 12 turns, the elevating arm unit 20 and the horizontal arm unit 30 turn about the turning axis S.

昇降アーム部２０は、基端部が旋回台１２の先端部に支持され、先端部において水平アーム部３０を支持する部材である。ロボット１は、かかる昇降アーム部２０を屈伸動作させることで、ワークＷを上下方向に搬送する（図中の矢印１０１参照）。なお、ロボット１は、大型のワークＷを数メートル規模で上下方向に搬送可能な高ストローク型として構成可能である。   The lifting arm unit 20 is a member that is supported at the distal end portion of the swivel base 12 at the proximal end portion and supports the horizontal arm portion 30 at the distal end portion. The robot 1 conveys the workpiece W in the vertical direction by bending and extending the lifting arm unit 20 (see arrow 101 in the figure). The robot 1 can be configured as a high stroke type capable of transporting a large work W in the vertical direction on a scale of several meters.

昇降アーム部２０は、具体的には、支柱部２１と、第１関節部２３と、第１昇降用アーム２４と、第２関節部２５と、第２昇降用アーム２６と、第３関節部２７とを備える。第１関節部２３は、本実施形態に係る駆動機構Ｄの一例であり、その詳細については後述する。   Specifically, the lifting / lowering arm unit 20 includes a support column 21, a first joint 23, a first lifting / lowering arm 24, a second joint 25, a second lifting / lowering arm 26, and a third joint. 27. The 1st joint part 23 is an example of the drive mechanism D which concerns on this embodiment, The detail is mentioned later.

支柱部２１は、旋回台１２の先端部から鉛直方向に沿って立設されるリンクである。なお、ロボット１は、かかる支柱部２１を１つ有するシングルリンク型のロボットである。   The support column 21 is a link that is erected along the vertical direction from the tip of the swivel base 12. The robot 1 is a single link type robot having one such support portion 21.

第１昇降用アーム２４は、基端部が支柱部２１の先端部と第１関節部２３を介して連結される。これにより、第１昇降用アーム２４は、水平軸である第１関節部２３の関節軸「軸Ｕ１」を中心として、支柱部２１の先端部に回転可能に支持される。   The first lifting / lowering arm 24 has a proximal end portion connected to the distal end portion of the column portion 21 via the first joint portion 23. As a result, the first lifting arm 24 is rotatably supported by the distal end portion of the column portion 21 around the joint axis “axis U1” of the first joint portion 23 which is a horizontal axis.

第２昇降用アーム２６は、基端部が第１昇降用アーム２４の先端部と第２関節部２５を介して連結される。これにより、第２昇降用アーム２６は、水平軸である第２関節部２５の関節軸「軸Ｕ２」を中心として、第１昇降用アーム２４の先端部に回転可能に支持される。   The base of the second lifting arm 26 is connected to the distal end of the first lifting arm 24 via the second joint 25. As a result, the second lifting arm 26 is rotatably supported by the distal end portion of the first lifting arm 24 around the joint axis “axis U2” of the second joint portion 25, which is a horizontal axis.

水平アーム部３０は、第２昇降用アーム２６の先端部と第３関節部２７を介して連結される。これにより、水平アーム部３０は、水平軸である第３関節部２７の関節軸「軸Ｕ３」を中心として、第２昇降用アーム２６の先端部に回転可能に支持される。このように、ロボット１は、昇降アーム部２０を用いて水平アーム部３０を支持する。   The horizontal arm portion 30 is connected to the distal end portion of the second lifting / lowering arm 26 via the third joint portion 27. Thereby, the horizontal arm part 30 is rotatably supported by the front-end | tip part of the 2nd raising / lowering arm 26 centering on the joint axis "axis | shaft U3" of the 3rd joint part 27 which is a horizontal axis. In this way, the robot 1 supports the horizontal arm unit 30 using the lifting arm unit 20.

水平アーム部３０は、下側アームユニット３１ａと、上側アームユニット３１ｂとを備える。下側アームユニット３１ａは、伸縮アーム部３２ａと、ハンド部３３ａと、下側支持部材３４ａとを備える。上側アームユニット３１ｂは、伸縮アーム部３２ｂと、ハンド部３３ｂと、上側支持部材３４ｂとを備える。なお、上側アームユニット３１ｂは、下側アームユニット３１ａと略同一の構成のため、ここでは、下側アームユニット３１ａの構成部品を用いた説明を行う。   The horizontal arm unit 30 includes a lower arm unit 31a and an upper arm unit 31b. The lower arm unit 31a includes a telescopic arm portion 32a, a hand portion 33a, and a lower support member 34a. The upper arm unit 31b includes a telescopic arm portion 32b, a hand portion 33b, and an upper support member 34b. Since the upper arm unit 31b has substantially the same configuration as that of the lower arm unit 31a, description will be made using the components of the lower arm unit 31a.

伸縮アーム部３２ａは、基端部が下側支持部材３４ａに支持され、先端部においてハンド部３３ａを支持する。ハンド部３３ａは、ワークＷを載置する。下側支持部材３４ａは、第２昇降用アーム２６の先端部に、軸Ｕ３を中心として回転可能に支持される。また、下側支持部材３４ａには、上側支持部材３４ｂの基端部が固定される。   The telescopic arm portion 32a is supported at the base end portion by the lower support member 34a, and supports the hand portion 33a at the distal end portion. The hand unit 33a places the workpiece W thereon. The lower support member 34a is supported by the tip of the second lifting arm 26 so as to be rotatable about the axis U3. Further, the base end portion of the upper support member 34b is fixed to the lower support member 34a.

そして、ロボット１は、かかる水平アーム部３０を伸縮動作させることで、ワークＷを水平方向に搬送する。たとえば、ロボット１が図１に示す旋回位置にある場合、ロボット１は、伸縮アーム部３２ａ，３２ｂを伸縮させて、Ｘ軸の正方向または負方向にワークＷを直線的に移動させる（図中の矢印１０２参照）。   And the robot 1 conveys the workpiece | work W in a horizontal direction by making this horizontal arm part 30 extend-contract. For example, when the robot 1 is at the turning position shown in FIG. 1, the robot 1 extends and retracts the extendable arm portions 32a and 32b to linearly move the workpiece W in the positive or negative direction of the X axis (in the drawing). Arrow 102).

なお、上述のような旋回機構１０の旋回動作、昇降アーム部２０の屈伸動作および水平アーム部３０の伸縮動作は、通信ネットワークを介してロボット１と接続された制御装置５からの指示によって行われる。   The turning operation of the turning mechanism 10 as described above, the bending / extending operation of the elevating arm unit 20 and the extending / contracting operation of the horizontal arm unit 30 are performed according to instructions from the control device 5 connected to the robot 1 via the communication network. .

制御装置５は、ロボット１の駆動制御を行う制御装置である。たとえば、ロボット１の各関節部２３，２５，２７には、連結された一対のアームの一方を他方に対して相対的に回転させる駆動源が搭載されており、制御装置５は、これら駆動源の駆動を指示する。   The control device 5 is a control device that performs drive control of the robot 1. For example, each joint portion 23, 25, 27 of the robot 1 is mounted with a drive source that rotates one of a pair of connected arms relative to the other, and the control device 5 is configured to drive these drive sources. Is instructed to drive.

駆動源は、モータ部（以下、単に「モータ」と記載する）と、減速機部（以下、単に「減速機」と記載する）とを備える。減速機は、モータから入力される回転を減じて出力する伝達機構である。上述の水平アーム部３０や第１昇降用アーム２４、第２昇降用アーム２６は、かかる減速機の出力軸に連結される。   The drive source includes a motor unit (hereinafter simply referred to as “motor”) and a reduction gear unit (hereinafter simply referred to as “reduction gear”). The speed reducer is a transmission mechanism that reduces and outputs rotation input from a motor. The horizontal arm portion 30, the first lifting / lowering arm 24, and the second lifting / lowering arm 26 are connected to the output shaft of the speed reducer.

そして、ロボット１は、制御装置５からの指示に従って各モータを個別に任意の角度だけ回転させ、減速機を介してかかる回転を減じて出力することで、昇降アーム部２０を屈伸動作させる。   Then, the robot 1 rotates each motor individually by an arbitrary angle in accordance with an instruction from the control device 5 and reduces and outputs the rotation via the speed reducer, thereby causing the lifting arm unit 20 to bend and extend.

ロボット１と制御装置５とを接続する通信ネットワークとしては、たとえば有線ＬＡＮ（Local Area Network）や無線ＬＡＮといった一般的なネットワークを用いることができる。なお、ここでは図示を省略するが、旋回台１２および伸縮アーム部３２ａ，３２ｂにも同様の駆動源が設けられており、制御装置５は、これら駆動源の駆動指示もあわせて行う。   As a communication network for connecting the robot 1 and the control device 5, for example, a general network such as a wired LAN (Local Area Network) or a wireless LAN can be used. In addition, although illustration is abbreviate | omitted here, the same drive source is provided also in the swivel base 12 and the expansion-contraction arm part 32a, 32b, and the control apparatus 5 also performs the drive instruction | indication of these drive sources together.

また、図１に示すように、第１関節部２３は、給気ファン２３ａと、排気ファン２３ｂとをさらに備える。第１関節部２３は、かかる給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂにより発生する気流によって、駆動源が格納される内部空間の内圧を内部空間外の気圧よりも低く維持する。   Moreover, as shown in FIG. 1, the 1st joint part 23 is further provided with the air supply fan 23a and the exhaust fan 23b. The first joint portion 23 maintains the internal pressure of the internal space in which the drive source is stored lower than the atmospheric pressure outside the internal space by the airflow generated by the air supply fan 23a and the exhaust fan 23b.

次に、この第１関節部２３の構成について具体的に説明する。図２Ａは、第１関節部２３周辺の正面模式図である。図２Ｂは、第１関節部２３周辺の側面模式図である。図２Ｃは、給気ファン２３ａと排気ファン２３ｂとの関係の一例を示す図である。   Next, the configuration of the first joint portion 23 will be specifically described. FIG. 2A is a schematic front view of the vicinity of the first joint portion 23. FIG. 2B is a schematic side view of the periphery of the first joint portion 23. FIG. 2C is a diagram illustrating an example of the relationship between the air supply fan 23a and the exhaust fan 23b.

図２Ａに示すように、第１関節部２３は、第１昇降用アーム２４の基端部と支柱部２１の先端部とを連結する。また、既に述べたように、第１関節部２３は、給気ファン２３ａと、排気ファン２３ｂとを備える。   As shown in FIG. 2A, the first joint portion 23 connects the proximal end portion of the first lifting / lowering arm 24 and the distal end portion of the column portion 21. Moreover, as already stated, the 1st joint part 23 is provided with the air supply fan 23a and the exhaust fan 23b.

また、図２Ｂに示すように、第１関節部２３は、モータ２３ｃと、減速機２３ｄと、モータカバー２３ｅとをさらに備える。また、第１関節部２３は、支柱部２１、第１昇降用アーム２４の各フレーム、および、モータカバー２３ｅによって形成された内部空間ＳＰを有する。   As shown in FIG. 2B, the first joint portion 23 further includes a motor 23c, a speed reducer 23d, and a motor cover 23e. The first joint portion 23 has an internal space SP formed by the support column portion 21, the frames of the first lifting arms 24, and the motor cover 23e.

給気ファン２３ａは、かかる内部空間ＳＰに給気し、排気ファン２３ｂは、かかる内部空間ＳＰから排気することとなる。   The air supply fan 23a supplies air to the internal space SP, and the exhaust fan 23b exhausts air from the internal space SP.

また、モータ２３ｃおよび減速機２３ｄは、軸Ｕ１に略同軸配置され、この内部空間ＳＰに格納される。なお、モータ２３ｃおよび減速機２３ｄは、かかるモータ２３ｃおよび減速機２３ｄにそれぞれ接した隔壁２１ａによって隔てられる。   Further, the motor 23c and the speed reducer 23d are arranged substantially coaxially with the shaft U1, and are stored in the internal space SP. The motor 23c and the speed reducer 23d are separated by a partition wall 21a that is in contact with the motor 23c and the speed reducer 23d, respectively.

具体的には、第１関節部２３では、モータ２３ｃが支柱部２１の隔壁２１ａに固定され、減速機２３ｄが第１昇降用アーム２４に固定される。   Specifically, in the first joint portion 23, the motor 23 c is fixed to the partition wall 21 a of the column portion 21, and the speed reducer 23 d is fixed to the first lifting / lowering arm 24.

減速機２３ｄは、たとえばＲＶ（Rotary Vector）型の減速機であり、本体部と、入力部と、出力部とを備える。第１昇降用アーム２４に固定されるのは、本体部および入力部である。   The reducer 23d is, for example, an RV (Rotary Vector) type reducer, and includes a main body portion, an input portion, and an output portion. Fixed to the first lifting / lowering arm 24 are a main body portion and an input portion.

この減速機２３ｄの入力部は、モータ２３ｃの出力軸と接続され、モータ２３ｃの回転力の入力を受けることとなる。そして、減速機２３ｄは、かかる入力部へモータ２３ｃの回転力が入力されると、モータ２３ｃの回転速度よりも遅い回転速度で出力部を回転させる。   The input portion of the speed reducer 23d is connected to the output shaft of the motor 23c, and receives the rotational force input from the motor 23c. When the rotational force of the motor 23c is input to the input unit, the speed reducer 23d rotates the output unit at a rotational speed that is slower than the rotational speed of the motor 23c.

この減速機２３ｄの出力部は、支柱部２１の隔壁２１ａに固定されている。このため、第１関節部２３では、モータ２３ｃの回転が減速機２３ｄの入力部へ入力されると、隔壁２１ａに固定された出力部に対して、減速機２３ｄの本体部が相対回転することとなる。この結果、第１関節部２３では、減速機２３ｄの本体部を固定する側の第１昇降用アーム２４が回転し、支柱部２１に対する第１昇降用アーム２４の姿勢が変化する。   The output part of the speed reducer 23 d is fixed to the partition wall 21 a of the column part 21. For this reason, in the 1st joint part 23, if rotation of the motor 23c is input into the input part of the reduction gear 23d, the main-body part of the reduction gear 23d will rotate relatively with respect to the output part fixed to the partition 21a. It becomes. As a result, in the first joint portion 23, the first lifting / lowering arm 24 on the side fixing the main body portion of the speed reducer 23d rotates, and the posture of the first lifting / lowering arm 24 with respect to the column portion 21 changes.

また、図２Ｂに示すように、排気ファン２３ｂは、エアフィルタ２３ｂａを有する。エアフィルタ２３ｂａは、ＨＥＰＡフィルタ（High Efficiency Particulate Air Filter）やＵＬＰＡフィルタ（Ultra Low Penetration Air Filter）のようなクリーンルーム用の高性能フィルタが好適である。   As shown in FIG. 2B, the exhaust fan 23b has an air filter 23ba. The air filter 23ba is preferably a high-performance filter for a clean room such as a HEPA filter (High Efficiency Particulate Air Filter) or a ULPA filter (Ultra Low Penetration Air Filter).

また、排気ファン２３ｂは、カバー２３ｂｂをさらに有する。なお、図２Ｂでは分かりにくいが、カバー２３ｂｂは、エアフィルタ２３ｂａ越しに排気流を下方へ誘導する形状に形成され、たとえば、下方に開口部を有する。また、排気ファン２３ｂは、モータ２３ｃの反負荷側に設けられる。   The exhaust fan 23b further includes a cover 23bb. Although it is difficult to understand in FIG. 2B, the cover 23bb is formed in a shape that guides the exhaust flow downward through the air filter 23ba, and has, for example, an opening below. Further, the exhaust fan 23b is provided on the non-load side of the motor 23c.

また、図２Ａに示すように、給気ファン２３ａは、第１関節部２３を正面視した場合の、減速機２３ｄ（図２Ｂ参照）の周囲に設けられる。また、このとき、給気ファン２３ａは、給気流が上述の隔壁２１ａへ吹き付けられるように設けられる。   2A, the air supply fan 23a is provided around the speed reducer 23d (see FIG. 2B) when the first joint portion 23 is viewed from the front. At this time, the air supply fan 23a is provided such that the air supply air is blown to the partition wall 21a.

ここで、給気ファン２３ａと排気ファン２３ｂとの関係の一例について説明しておく。本実施形態では、給気ファン２３ａの流量は、排気ファン２３ｂの流量未満となるように設けられる。   Here, an example of the relationship between the supply fan 23a and the exhaust fan 23b will be described. In the present embodiment, the flow rate of the air supply fan 23a is provided to be less than the flow rate of the exhaust fan 23b.

たとえば、図２Ｃに示すように、給気ファン２３ａの１個当りの流量が「ａ」である場合、排気ファン２３ｂは、その２倍の「２ａ」より大きい流量のものが選定される。なお、ここでは、「流量」は、給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂそれぞれの定格流量であるものとする。   For example, as shown in FIG. 2C, when the flow rate per supply fan 23a is “a”, the exhaust fan 23b is selected to have a flow rate that is twice as large as “2a”. Here, “flow rate” is the rated flow rate of each of the supply fan 23a and the exhaust fan 23b.

また、かかる場合に、排気ファン２３ｂが１個設けられるのに対して、給気ファン２３ａはその２倍の２個が設けられる。したがって、ここでは、給気ファン２３ａの総流量＜排気ファン２３ｂの総流量となる。   In such a case, one exhaust fan 23b is provided, whereas two supply fans 23a are provided. Therefore, here, the total flow rate of the supply fan 23a <the total flow rate of the exhaust fan 23b.

本実施形態では、このように給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂを組み合わせることによって、これらが発生する気流で、内部空間ＳＰの内圧を内部空間ＳＰ外の気圧よりも低く維持する。これによりまず、内部空間ＳＰが陽圧とならないので、ロボット１内部のパーティクルが飛散するのを抑えることができる。なお、図２Ｃに示した組み合わせは、あくまで一例であるのは言うまでもない。   In the present embodiment, by combining the air supply fan 23a and the exhaust fan 23b as described above, the internal pressure of the internal space SP is maintained lower than the air pressure outside the internal space SP with the airflow generated by them. Thereby, first, since the internal space SP does not become a positive pressure, it is possible to suppress scattering of particles inside the robot 1. Needless to say, the combination shown in FIG. 2C is merely an example.

図２Ａの説明に戻る。上述の図２Ｃの組み合わせで選定された給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂは、たとえば、図２Ａに示すように、中心部の高さ位置を揃え、排気ファン２３ｂを中央に配置した横並びに設けられる。   Returning to the description of FIG. 2A. The air supply fan 23a and the exhaust fan 23b selected by the combination of FIG. 2C described above, for example, are provided side by side with the height position of the central portion aligned and the exhaust fan 23b disposed at the center, as shown in FIG. 2A. .

なお、給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂによる冷却性能は、たとえば、内部空間ＳＰの形状や空間容積等の諸条件により左右される。このため、給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂの配置形態は、実験データ等に基づき、最適なものを選定することが好ましい。なお、本実施形態では、図２Ａに示す配置形態であるものとして説明を進める。   Note that the cooling performance by the air supply fan 23a and the exhaust fan 23b depends on various conditions such as the shape of the internal space SP and the space volume. For this reason, it is preferable to select the optimal arrangement of the air supply fan 23a and the exhaust fan 23b based on experimental data and the like. In the present embodiment, the description will be given assuming that the arrangement is as shown in FIG. 2A.

また、図２Ａに示すように、排気ファン２３ｂは、その中心部を軸Ｕ１から距離ｏだけオフセットさせることが好ましい。これは、排気ファン２３ｂは、エアフィルタ２３ｂａを有し、これをさらにカバー２３ｂｂで覆うため、これらの厚みによってロボット１の最小旋回径が拡大することになるのを防ぐためである。距離ｏは、カバー２３ｂｂの外形等に応じたものであればよい。なお、最小旋回径に影響しなければ、このようなオフセットは行わなくともよい。   Further, as shown in FIG. 2A, the exhaust fan 23b is preferably offset from the center U1 by a distance o. This is because the exhaust fan 23b has an air filter 23ba and is further covered with a cover 23bb, so that the minimum turning diameter of the robot 1 is prevented from being increased by the thickness thereof. The distance o may be anything depending on the outer shape of the cover 23bb. Note that such an offset need not be performed as long as the minimum turning diameter is not affected.

次に、図３Ａおよび図３Ｂを用いて、給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂによって発生する空気の流れを具体的に説明する。図３Ａは、空気の流れを示す第１関節部２３周辺の平面透過図である。図３Ｂは、空気の流れを示す第１関節部２３周辺の側面透過図である。   Next, the flow of air generated by the supply fan 23a and the exhaust fan 23b will be specifically described with reference to FIGS. 3A and 3B. FIG. 3A is a plan transparent view around the first joint portion 23 showing the flow of air. FIG. 3B is a side transparent view around the first joint portion 23 showing the flow of air.

図３Ａに示すように、まず、内部空間ＳＰ外の空気が、給気ファン２３ａによって内部空間ＳＰに給気される（図中の矢印３０１参照）。   As shown in FIG. 3A, first, air outside the internal space SP is supplied to the internal space SP by the air supply fan 23a (see arrow 301 in the figure).

そして、図３Ａまたは図３Ｂに示すように、内部空間ＳＰに給気された空気は、給気ファン２３ａによって隔壁２１ａへ吹き付けられ、隔壁２１ａに沿って流れる気流を形成する。また、これとともに、排気ファン２３ｂの回転により、モータ２３ｃの負荷側から反負荷側に沿って誘導される気流を形成する（両図中の矢印３０２参照）。   Then, as shown in FIG. 3A or 3B, the air supplied to the internal space SP is blown to the partition wall 21a by the supply fan 23a to form an airflow that flows along the partition wall 21a. At the same time, the rotation of the exhaust fan 23b forms an air flow that is guided from the load side of the motor 23c along the counter load side (see arrow 302 in both figures).

そして、図３Ａまたは図３Ｂに示すように、排気ファン２３ｂによって誘導された空気は、エアフィルタ２３ｂａを介して除塵された後、カバー２３ｂｂにより下方へ誘導されつつ排気される（両図中の矢印３０３参照）。   Then, as shown in FIG. 3A or 3B, the air guided by the exhaust fan 23b is discharged through the air filter 23ba and then exhausted while being guided downward by the cover 23bb (arrows in both figures). 303).

ここで、このような空気の流れによって得られる効果について説明する。まず、減速機２３ｄは、主に隔壁２１ａに吹き付けられた空気によって冷却される。これは、隔壁２１ａがいわば放熱板の役割を果たし、出力部２３ｄａにおいて隔壁２１ａに接する減速機２３ｄの熱を放散するためである。   Here, the effect obtained by such an air flow will be described. First, the speed reducer 23d is cooled mainly by air blown to the partition wall 21a. This is because the partition wall 21a functions as a heat radiating plate, and dissipates heat from the speed reducer 23d in contact with the partition wall 21a at the output portion 23da.

このため、少なくとも隔壁２１ａは、熱伝導性のよいアルミニウム等の金属素材であることが好ましい。また、隔壁２１ａにフィンを設けることで、さらなる冷却効率の向上を図ってもよい。   For this reason, it is preferable that at least the partition wall 21a is made of a metal material such as aluminum having good thermal conductivity. Further, the cooling efficiency may be further improved by providing fins in the partition wall 21a.

また、モータ２１ｃは、減速機２３ｄとともに隔壁２１ａによる熱の放散の効果を受けるとともに、モータ２１ｃに沿って流れる空気によっても放熱される。これは、減速機２３ｄよりも高温になりやすいモータ２１ｃを冷却するうえで効果的である。   Further, the motor 21c receives the effect of heat dissipation by the partition wall 21a together with the speed reducer 23d, and is also radiated by the air flowing along the motor 21c. This is effective in cooling the motor 21c that tends to be hotter than the speed reducer 23d.

また、上述のように、給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂにより発生する気流によって、内部空間ＳＰの内圧は内部空間ＳＰ外の気圧よりも低く維持されるので、内部空間ＳＰ内のパーティクルは、その飛散を抑えられている。   Further, as described above, since the internal pressure of the internal space SP is maintained lower than the air pressure outside the internal space SP by the airflow generated by the air supply fan 23a and the exhaust fan 23b, the particles in the internal space SP The scattering is suppressed.

そのうえで、さらに内部空間ＳＰ内の空気を高性能フィルタであるエアフィルタ２３ｂａを介して除塵するので、内部空間ＳＰの内部から外部へ清浄な空気を排気することができる。すなわち、クリーン環境の清浄度を保ちつつ、駆動源を冷却することができる。   In addition, since the dust in the internal space SP is removed through the air filter 23ba, which is a high-performance filter, clean air can be exhausted from the inside of the internal space SP to the outside. That is, the drive source can be cooled while maintaining the cleanliness of the clean environment.

また、本実施形態に係るロボット１の場合、ワークＷを上下方向に搬送する場合において、より効果的にワークＷの汚染を防ぐことができるというメリットが得られる。この点につき、図３Ｃを用いて具体的に説明する。   Further, in the case of the robot 1 according to the present embodiment, in the case where the workpiece W is conveyed in the vertical direction, there is an advantage that contamination of the workpiece W can be prevented more effectively. This point will be specifically described with reference to FIG. 3C.

図３Ｃは、ワークＷが第１関節部２３より下方に位置付けられた状態を示す模式図である。なお、図３Ｃでは、関節を示す図記号を用いてロボット１をごく模式的に示している。   FIG. 3C is a schematic diagram illustrating a state in which the workpiece W is positioned below the first joint portion 23. Note that in FIG. 3C, the robot 1 is schematically illustrated using a graphic symbol indicating a joint.

図３Ｃに示すように、ロボット１は、ワークＷを上下方向に搬送する際、第１関節部２３、第２関節部２５および第３関節部２７を回転させて、水平アーム部３０の保持するワークＷを第１関節部２３より下方に位置付ける姿勢をとる場合がある。   As illustrated in FIG. 3C, when the robot 1 transports the workpiece W in the vertical direction, the robot 1 rotates the first joint unit 23, the second joint unit 25, and the third joint unit 27 to hold the horizontal arm unit 30. There is a case where the workpiece W is positioned to be positioned below the first joint portion 23.

このような姿勢をとった場合であっても、本実施形態によれば、ワークＷを汚染することなく、駆動源を冷却することができる。すなわち、給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂにより発生する気流によって、上述のように効果的にモータ２３ｃおよび減速機２３ｄを冷却することができる。   Even in this case, according to the present embodiment, the drive source can be cooled without contaminating the workpiece W. That is, the motor 23c and the speed reducer 23d can be effectively cooled by the airflow generated by the air supply fan 23a and the exhaust fan 23b as described above.

また、給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂにより発生する気流によって、内部空間ＳＰの内圧は内部空間ＳＰ外の気圧よりも低く維持され、内部空間ＳＰ内のパーティクルは、その飛散を抑えられながら、さらにエアフィルタ２３ｂａを介して除塵される。   Further, the internal pressure of the internal space SP is maintained lower than the atmospheric pressure outside the internal space SP by the airflow generated by the air supply fan 23a and the exhaust fan 23b, and particles in the internal space SP are further suppressed while being prevented from scattering. Dust is removed through the air filter 23ba.

そのうえ、この除塵された空気は、さらに第１関節部２３のほぼ真下へ向けて排気される。このため、ロボット１が図３Ｃのような姿勢をとった場合であっても、排気によってワークＷが汚染されるのを防ぐことができる。すなわち、クリーン環境の清浄度を保ちつつ、駆動源を冷却することができる。   In addition, the dust-removed air is further exhausted almost directly below the first joint portion 23. For this reason, even if the robot 1 takes the posture as shown in FIG. 3C, it is possible to prevent the workpiece W from being contaminated by the exhaust. That is, the drive source can be cooled while maintaining the cleanliness of the clean environment.

また、上述してきた効果に加えて、本実施形態では、給気ファン２３ａによって給気される空気を直接モータ２３ｃや減速機２３ｄへ吹き付けず、隔壁２１ａへ吹き付けることとしたので、モータ２３ｃや減速機２３ｄに結露が生じるのを防ぐことができる。   In addition to the effects described above, in the present embodiment, the air supplied by the air supply fan 23a is not directly blown to the motor 23c or the speed reducer 23d, but is blown to the partition wall 21a. Condensation can be prevented from occurring in the machine 23d.

なお、これまでは、上述の図２Ｃの組み合わせで選定された給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂを、中心部の高さ位置を揃え、横並びに配置した配置形態を例に挙げたが、配置形態はこれに限られない。   Heretofore, the arrangement form in which the air supply fan 23a and the exhaust fan 23b selected by the combination of FIG. 2C described above are arranged side by side with the height position of the central portion aligned is described as an example. Is not limited to this.

図４Ａは、第１の変形例に係る第１関節部２３Ａ周辺の正面模式図である。また、図４Ｂは、第２の変形例に係る第２関節部２３Ｂ周辺の正面模式図である。   FIG. 4A is a schematic front view of the periphery of the first joint portion 23A according to the first modification. FIG. 4B is a schematic front view of the vicinity of the second joint portion 23B according to the second modification.

たとえば、第１の変形例として図４Ａに示すように、給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂを水平方向に横並びにではなく、給気ファン２３ａが水平方向に対して斜向かいとなるような配置形態であってもよい。   For example, as shown in FIG. 4A as a first modification, the supply fan 23a and the exhaust fan 23b are not horizontally arranged in the horizontal direction, but the supply fan 23a is diagonally opposed to the horizontal direction. It may be.

また、たとえば、第２の変形例として図４Ｂに示すように、水平方向に横並びに配置した給気ファン２３ａ×２個および排気ファン２３ｂ×１個の組を、２組上下に配置することとしてもよい。   Further, for example, as shown in FIG. 4B as a second modification, two sets of the supply fan 23a × 2 and the exhaust fan 23b × 1 arranged side by side in the horizontal direction are arranged vertically. Also good.

これら第１の変形例および第２の変形例のような配置形態は、既に述べたように、たとえば、内部空間ＳＰの形状や空間容積等の諸条件に応じ、冷却効率が最適なものとなるような形態であればよい。   As described above, the arrangement forms such as the first modification and the second modification have optimum cooling efficiency according to various conditions such as the shape of the internal space SP and the space volume, as described above. Any form may be used.

また、これまでは、給気ファン２３ａの流量は、排気ファン２３ｂの流量未満となるように設けられるとし、かかる流量は、給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂの定格流量であるものとしたが、たとえば、同一定格であってもよい。   Further, until now, the flow rate of the supply fan 23a is assumed to be less than the flow rate of the exhaust fan 23b, and the flow rate is the rated flow rate of the supply fan 23a and the exhaust fan 23b. For example, the same rating may be used.

この場合には、流量を実際に流れる空気の量としたうえで、給気ファン２３ａの流量が、排気ファン２３ｂの流量未満となるように、給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂそれぞれの回転数を適宜制御すればよい。   In this case, the rotational speed of each of the air supply fan 23a and the exhaust fan 23b is set so that the flow rate of the air supply fan 23a is less than the flow rate of the exhaust fan 23b, with the flow rate being the amount of air actually flowing. What is necessary is just to control suitably.

これは、給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂの回転を制御装置５から制御可能な接続構成とし、内部空間ＳＰの内圧を感圧センサ等で適宜検出して制御装置５へ出力するようにすることで実現可能である。   This is a connection configuration in which the rotation of the air supply fan 23a and the exhaust fan 23b can be controlled from the control device 5, and the internal pressure of the internal space SP is appropriately detected by a pressure sensor or the like and output to the control device 5. It is feasible.

また、排気ファン２３ｂの近傍に温度センサを設けることとしたうえで、排気ファン２３ｂからの排気の温度を制御装置５で逐次監視し、かかる温度に応じて制御装置５が給気ファン２３ａおよび排気ファン２３ｂそれぞれの回転数を制御するようにしてもよい。   In addition, a temperature sensor is provided in the vicinity of the exhaust fan 23b, and the temperature of the exhaust from the exhaust fan 23b is sequentially monitored by the control device 5, and the control device 5 controls the supply fan 23a and the exhaust according to the temperature. You may make it control the rotation speed of each fan 23b.

上述してきたように、第１の実施形態に係る駆動機構（第１関節部）は、駆動源と、内部空間と、給気ファンと、排気ファンとを備える。上記内部空間は、上記駆動源を格納する。上記給気ファンは、上記内部空間に給気する。上記排気ファンは、上記内部空間から排気する。   As described above, the drive mechanism (first joint portion) according to the first embodiment includes a drive source, an internal space, an air supply fan, and an exhaust fan. The internal space stores the drive source. The air supply fan supplies air to the internal space. The exhaust fan exhausts air from the internal space.

また、上記駆動機構は、上記給気ファンおよび上記排気ファンにより発生する気流によって、上記内部空間の内圧を上記内部空間外の気圧よりも低く維持する。   The drive mechanism maintains an internal pressure of the internal space lower than an atmospheric pressure outside the internal space by an air flow generated by the air supply fan and the exhaust fan.

したがって、第１の実施形態に係る駆動機構によれば、クリーン環境の清浄度を保ちつつ、駆動源を冷却することができる。   Therefore, according to the drive mechanism according to the first embodiment, the drive source can be cooled while maintaining the cleanliness of the clean environment.

ところで、これまでは、ロボットが、シングルリンク型のロボットである場合を例に挙げたが、ダブルリンク型であってもよい。かかる場合を第２の実施形態として、図５を用いて説明する。   By the way, although the case where the robot was a single link type robot was mentioned as an example until now, it may be a double link type. Such a case will be described as a second embodiment with reference to FIG.

（第２の実施形態）
図５は、第２の実施形態に係るロボット１ａの斜視模式図である。なお、第２の実施形態では、主に第１の実施形態と異なる構成要素についてのみ説明する。 (Second Embodiment)
FIG. 5 is a schematic perspective view of a robot 1a according to the second embodiment. Note that in the second embodiment, only components that are different from the first embodiment will be mainly described.

図５に示すように、ロボット１ａは、基台１１と、旋回台１２と、第１昇降アーム部２０−１と、第２昇降アーム部２０−２とを備える。第１昇降アーム部２０−１は、支柱部２１−１と、第１関節部２３−１とを備える。また、第２昇降アーム部２０−２は、支柱部２１−２と、第１関節部２３−２とを備える。   As shown in FIG. 5, the robot 1 a includes a base 11, a swivel base 12, a first lifting arm unit 20-1, and a second lifting arm unit 20-2. The 1st raising / lowering arm part 20-1 is provided with the support | pillar part 21-1 and the 1st joint part 23-1. Moreover, the 2nd raising / lowering arm part 20-2 is provided with the support | pillar part 21-2 and the 1st joint part 23-2.

支柱部２１−１，２１−２は、旋回軸Ｓまわりに旋回する旋回台１２左右の両端部にそれぞれ立設される。第１関節部２３−１，２３−２は、支柱部２１−１，２１−２の先端部と、これに隣り合うリンク（図１の第１昇降用アーム２４参照）の基端部とを軸Ｕ１−１，Ｕ１−２まわりに回転可能に連結する。   The support column portions 21-1 and 21-2 are provided upright at both left and right ends of the swivel base 12 that revolves around the revolving axis S. The first joint portions 23-1 and 23-2 include the distal end portions of the support column portions 21-1 and 21-2 and the proximal end portion of the link (see the first lifting / lowering arm 24 in FIG. 1) adjacent thereto. The shafts U1-1 and U1-2 are rotatably connected.

すなわち、図５に示すように、ロボット１ａは、２つの支柱部２１から延びる２つの昇降アーム部２０を有するダブルリンク型のロボットである。   That is, as shown in FIG. 5, the robot 1 a is a double link type robot having two lift arms 20 extending from the two support columns 21.

かかるダブルリンク型として構成することによって、ロボット１ａは、２つの昇降アーム部２０による高剛性を得ることができるので、たわみの少ない高精度な上下方向の搬送を実現することができる。この点は、ワークＷが大型の場合などに有用である。   By configuring as such a double link type, the robot 1a can obtain high rigidity by the two elevating arm sections 20, and therefore, it is possible to realize highly accurate vertical movement with less deflection. This point is useful when the workpiece W is large.

そして、本実施形態に係る駆動機構Ｄは、かかるロボット１ａの第１関節部２３−１，２３−２として適用可能である。これにより、ロボット１ａが、ワークＷを上下方向に搬送する際、水平アーム部３０の保持するワークＷを第１関節部２３より下方に位置付ける姿勢をとった場合でも、排気によってワークＷを汚染することなく駆動源を冷却することができる。   And the drive mechanism D which concerns on this embodiment is applicable as the 1st joint parts 23-1 and 23-2 of this robot 1a. As a result, when the robot 1a transports the workpiece W in the vertical direction, the workpiece W is contaminated by exhaust even when the workpiece W held by the horizontal arm portion 30 is positioned below the first joint portion 23. The drive source can be cooled without any problems.

なお、上述した各実施形態では、ロボットが高ストローク型として構成可能としたが、低ストローク型であってもよい。   In each embodiment described above, the robot can be configured as a high stroke type, but may be a low stroke type.

また、上述した各実施形態では、主に昇降アーム部の第１関節部を例に挙げて説明を行ったが、鉛直方向に沿って立設される支柱部に対して連結されたリンクを相対的に回転させる関節であれば、部位を問わない。   Further, in each of the above-described embodiments, the description has been given mainly taking the first joint portion of the lifting arm portion as an example, but the link connected to the column portion erected along the vertical direction is relatively Any joint can be used as long as the joint is rotated.

さらに、上述した各実施形態では、駆動機構が、ロボットの関節機構として用いられる場合を例に挙げたがこれに限られるものではない。したがって、たとえば、駆動機構が、ロボット以外の装置に備えられ、単に駆動源の駆動力を外部へ出力するようなものであってもよい。   Furthermore, in each of the above-described embodiments, the case where the drive mechanism is used as a joint mechanism of a robot has been described as an example, but the present invention is not limited thereto. Therefore, for example, the drive mechanism may be provided in a device other than the robot and simply output the drive force of the drive source to the outside.

また、上述した各実施形態では、給気ファンが、排気ファンの２倍の個数設けられる場合を例に挙げたが、これら双方の個数の比を限定するものではない。したがって、内部空間の形状等に応じて、最適な冷却効率を得られるような個数比とすればよい。   Moreover, in each embodiment mentioned above, although the case where the supply fan was provided twice as many as an exhaust fan was mentioned as an example, the ratio of the number of these both is not limited. Therefore, the number ratio may be set so as to obtain optimum cooling efficiency in accordance with the shape of the internal space.

また、上述した各実施形態では、ロボットが、ガラス基板を搬送する搬送ロボットである場合を例に挙げて説明を行ったが、被搬送物の種別を問うものではない。また、ロボットが、搬送作業以外の作業を行うロボットであってもよい。   In each of the above-described embodiments, the case where the robot is a transfer robot that transfers a glass substrate has been described as an example, but the type of the object to be transferred is not questioned. The robot may be a robot that performs work other than the transfer work.

また、上述した各実施形態によって、ロボットの腕の数やハンドの数、軸数などが限定されるものではない。   Further, the number of arms, the number of hands, the number of axes, and the like of the robot are not limited by the above-described embodiments.

さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。   Further effects and modifications can be easily derived by those skilled in the art. Thus, the broader aspects of the present invention are not limited to the specific details and representative embodiments shown and described above. Accordingly, various modifications can be made without departing from the spirit or scope of the general inventive concept as defined by the appended claims and their equivalents.

１，１ａ ロボット
５ 制御装置
１０ 旋回機構
１１ 基台
１２ 旋回台
２０ 昇降アーム部
２１ 支柱部
２１ａ 隔壁
２３，２３Ａ，２３Ｂ 第１関節部
２３ａ 給気ファン
２３ｂ 排気ファン
２３ｂａ エアフィルタ
２３ｂｂ カバー
２３ｃ モータ
２３ｄ 減速機
２３ｄａ 出力部
２３ｅ モータカバー
２４ 第１昇降用アーム
２５ 第２関節部
２６ 第２昇降用アーム
２７ 第３関節部
３０ 水平アーム部
３１ａ 下側アームユニット
３１ｂ 上側アームユニット
３２ａ，３２ｂ 伸縮アーム部
３３ａ，３３ｂ ハンド部
３４ａ 下側支持部材
３４ｂ 上側支持部材
Ｄ 駆動機構
Ｓ 旋回軸
ＳＰ 内部空間
Ｕ１ 軸
Ｕ２ 軸
Ｕ３ 軸
Ｗ ワーク
ｏ 距離
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,1a Robot 5 Control apparatus 10 Turning mechanism 11 Base 12 Turning base 20 Lifting arm part 21 Supporting part 21a Bulkhead 23, 23A, 23B 1st joint part 23a Air supply fan 23b Exhaust fan 23ba Air filter 23bb Cover 23c Motor 23d Deceleration Machine 23da Output section 23e Motor cover 24 First lifting arm 25 Second joint section 26 Second lifting arm 27 Third joint section 30 Horizontal arm section 31a Lower arm unit 31b Upper arm unit 32a, 32b Extendable arm section 33a, 33b Hand part 34a Lower support member 34b Upper support member D Drive mechanism S Swivel axis SP Internal space U1 axis U2 axis U3 axis W Work o Distance

Claims (10)

駆動源と、
前記駆動源を格納する内部空間と、
前記内部空間に給気する給気ファンと、
前記内部空間から排気する排気ファンと
を備え、
前記給気ファンおよび前記排気ファンにより発生する気流によって、前記内部空間の内圧を前記内部空間外の気圧よりも低く維持すること
を特徴とする駆動機構。 A driving source;
An internal space for storing the drive source;
An air supply fan for supplying air to the internal space;
An exhaust fan for exhausting air from the internal space,
A driving mechanism that maintains an internal pressure of the internal space lower than an atmospheric pressure outside the internal space by an air flow generated by the air supply fan and the exhaust fan. 前記給気ファンの流量は、
前記排気ファンの流量未満であること
を特徴とする請求項１に記載の駆動機構。 The flow rate of the air supply fan is
The drive mechanism according to claim 1, wherein the drive mechanism is less than a flow rate of the exhaust fan. 前記給気ファンは、
前記排気ファンの２倍の個数設けられること
を特徴とする請求項２に記載の駆動機構。 The air supply fan is
The drive mechanism according to claim 2, wherein the number of exhaust fans is twice as many. 前記駆動源は、
モータ部と、
前記モータ部から入力される回転を減じて出力する減速機部と
を備えることを特徴とする請求項１、２または３に記載の駆動機構。 The drive source is
A motor section;
The drive mechanism according to claim 1, 2 or 3, further comprising: a reduction gear unit that reduces and outputs rotation input from the motor unit. 前記給気ファンは、
前記減速機部の周囲に設けられ、
前記排気ファンは、
前記モータ部の反負荷側に設けられること
を特徴とする請求項４に記載の駆動機構。 The air supply fan is
Provided around the speed reducer,
The exhaust fan is
The drive mechanism according to claim 4, wherein the drive mechanism is provided on a non-load side of the motor unit. 前記モータ部および前記減速機部は、
該モータ部および該減速機部にそれぞれ接した隔壁によって隔てられ、
前記給気ファンは、
給気流が前記隔壁へ吹き付けられるように設けられること
を特徴とする請求項５に記載の駆動機構。 The motor part and the speed reducer part are
Separated by partition walls respectively contacting the motor part and the speed reducer part;
The air supply fan is
The drive mechanism according to claim 5, wherein a supply airflow is provided to be blown to the partition wall. 前記排気ファンは、
エアフィルタを有すること
を特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載の駆動機構。 The exhaust fan is
It has an air filter. The drive mechanism as described in any one of Claims 1-6 characterized by the above-mentioned. 前記排気ファンは、
排気流を下方へ誘導する形状に形成されたカバーを有すること
を特徴とする請求項１〜７のいずれか一つに記載の駆動機構。 The exhaust fan is
The drive mechanism according to any one of claims 1 to 7, further comprising a cover formed in a shape for guiding the exhaust flow downward. 請求項１〜８のいずれか一つに記載の駆動機構
を備え、
前記駆動機構は、
連結された一対のリンクの一方を他方に対して相対的に回転させること
を特徴とするロボット。 A drive mechanism according to any one of claims 1 to 8,
The drive mechanism is
A robot characterized by rotating one of a pair of linked links relative to the other. 立設された少なくとも１つの支柱部と、
前記駆動機構を介し、前記支柱部に対して相対回転可能に連結されたアーム部と、
前記アーム部に連結され、ガラス基板を保持する保持部と
をさらに備え、
前記アーム部が回転することによって前記ガラス基板が前記駆動機構より下方に位置付けられても、前記排気ファンからの排気流によって前記ガラス基板を汚染しないこと
を特徴とする請求項９に記載のロボット。
At least one strut portion erected;
Via the drive mechanism, an arm part connected to the support part so as to be relatively rotatable;
A holding part that is connected to the arm part and holds the glass substrate;
10. The robot according to claim 9, wherein the glass substrate is not contaminated by an exhaust flow from the exhaust fan even if the glass substrate is positioned below the drive mechanism by the rotation of the arm unit.
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