JP2015006047A - 振動型アクチュエータ、交換用レンズ、撮像装置、及び自動ステージ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 接触部を有する突起部を備えた弾性体と、電気−機械エネルギー変換素子と、を備えた振動子と、電極部を備え、前記電気−機械エネルギー変換素子に固定されたフレキシブルプリント基板と、を有し、前記接触部と前記電気−機械エネルギー変換素子の間には空間部があり、少なくとも前記フレキシブルプリント基板の電極部の端は、前記弾性体の前記面に垂直な方向において、前記空間部と重なっていない振動型アクチュエータ。
【選択図】 図1
Description
本実施例を、図1を用いて説明する。図1はリニア型の振動型アクチュエータの概観斜視図である。図1において、リニア型の振動型アクチュエータは振動子1および被駆動体であるスライダ5によって構成されている。
本実施例について、図3を用いて説明する。なおフレキシブルプリント基板4以外の構成及び駆動原理については実施例1と同様である。本実施例では、フレキシブルプリント基板の加圧を、剛性の高い材料から成る部材で行う場合について述べる。
本実施例では、圧電素子3の電極層31の構成によって応力集中を緩和する方法を述べる。その他構成、駆動原理は実施例1と同様である。
本発明の振動型アクチュエータの適用例として、カメラなどの撮像装置(光学機器)のレンズ鏡筒に、レンズを駆動しオートフォーカスする為の振動型アクチュエータを組み込んだ例を図8を用いて説明する。
図8では、本発明の振動型アクチュエータを撮像装置に用いた例を示したが、応用例はこれに限定されず、顕微鏡等の各種ステージの駆動にも用いることができる。例えば、顕微鏡のステージの駆動に用いた例を図9を用いて説明する。
2 弾性体
21 突起部
3 圧電素子
31 電極パターン
4 フレキシブルプリント基板
41 ベース部
42 電極部
106 振動子
107 電気−機械エネルギー変換素子
108 突起部
109 フレキシブルプリント基板
116 スライダ
Claims (14)
- 接触部を有する突起部を備えた弾性体と、前記弾性体の1つの面に接着された電気−機械エネルギー変換素子と、を備えた振動子と、
電極部を備え、前記電気−機械エネルギー変換素子に固定されたフレキシブルプリント基板と、
を有し、
前記接触部と前記電気−機械エネルギー変換素子の間には空間部があり、
少なくとも前記フレキシブルプリント基板の電極部の端は、前記弾性体の前記面に垂直な方向において、前記空間部と重なっていない振動型アクチュエータ。 - 前記前記フレキシブルプリント基板の電極部は、前記弾性体の前記面に垂直な方向において、前記空間と重なっていない、請求項1に記載の振動型アクチュエータ。
- 接触部を有する突起部を備えた弾性体と、前記弾性体の1つの面に接着された電気−機械エネルギー変換素子と、を備えた振動子と、
ベース部及びベース部に設けられた電極部を備え、前記電気−機械エネルギー変換素子に固定されたフレキシブルプリント基板と、
を有し、
前記接触部と前記電気−機械エネルギー変換素子の間には空間部があり、
少なくとも前記フレキシブルプリント基板のベース部の端は、前記弾性体の前記面に垂直な方向において、前記空間部と重なっていないこと、振動型アクチュエータ。 - 前記前記フレキシブルプリント基板は、前記弾性体の前記面に垂直な方向において、前記空間部と重なっていない、請求項3に記載の振動型アクチュエータ。
- 接触部を有する突起部を備えた弾性体と、前記弾性体の1つの面に接着され、電極層を有する電気−機械エネルギー変換素子と、を備えた振動子と、
前記電気−機械エネルギー変換素子に固定されたフレキシブルプリント基板と、
を有し、
前記接触部と前記電気−機械エネルギー変換素子の間には空間部があり、
少なくとも前記電気−機械エネルギー変換素子の前記電極層の端は、前記弾性体の前記面に垂直な方向において、前記空間部と重なっていない振動型アクチュエータ。 - 前記弾性体は、前記電気−機械エネルギー変換素子が接合される接合部を有し、
前記突起部は、前記接触部と前記接合部の間に、立ち上がり部を有し、
前記空間は、前記接触部、前記立ち上がり部、及び前記電気−機械エネルギー変換素子に囲まれている、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。 - 前記弾性体は、更に前記立ち上がり部と前記接触部の間に、バネ部を有する、請求項6に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記突起部は、前記振動子の長手方向における振動の、節部に設けられる、請求項1乃至7のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記突起部は、前記振動子の短手方向における振動の、腹部に設けられる、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記立ち上がり部は、前記接触部の周囲において空隙を有する、請求項6または7に記載の振動型アクチュエータ。
- レンズと、前記レンズを保持するレンズ保持部材を駆動する請求項1乃至10のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータと、を備えた交換用レンズ。
- 撮像素子と、レンズと、前記レンズを保持するレンズ保持部材を駆動する請求項1乃至10のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータと、を備えた撮像装置。
- レンズと、撮像素子と、前記撮像素子を駆動する請求項1乃至10のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータと、を備えた撮像装置。
- ステージと、前記ステージを駆動する請求項1乃至10のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータと、を備えた自動ステージ。
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