JP2015004946A - 露光画像の補償方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】露光画像の補償方法であって、複数のエッチングファクターにより元の露光画像を補償し、既に補償された露光画像に基づいてパターン化されたフォトレジスト層を形成する。次に、ウェットエッチングによりパターン化されたフォトレジスト層を用いて回路基板上の導体層をパターン化して、導体回路を形成する。測量された導体回路の線幅の誤差は、まだ考慮されていないエッチングファクターの作り上げられた結果で表される。測定された線幅が予め設定された範囲を超えるとき、まだ考慮されていないファクターのエッチング結果に対する影響を帰納した後、誤差値を算出し、誤差値を取り込んだ後、新たに導体層の回路基板上に対応する各ポイントの補償データを算出し、補償されたデータに基づいて再びパターン化フォトレジスト層及び対応する導体回路を形成する。
【選択図】図1
Description
Claims (10)
- 露光画像の補償方法であって、
(a)複数のエッチングファクターにより導体層の回路基板上における各ポイントに対応する補償データを算出して元の露光画像を補償し、該エッチングファクターは、導体層の回路基板上における各ポイントに対応する厚さ、基板の板面、フォトレジスト層の厚さ及び回路の幅、回路密度の高さ、回路構造の形式及び回路の輪郭からなるグループから選択された組み合わせを含むステップと、
(b)既に補償された露光画像に基づいて回路基板上の導体層上にパターン化されたフォトレジスト層を形成するステップと、
(c)導体層をパターン化するためにパターン化されたフォトレジスト層をエッチングマスクとして導体層のパターン化されたフォトレジスト層で露出された部分をエッチングするステップと、
(d)測量したパターン化導体層の線幅が予め設定された線幅の範囲内か否か判断し、測量された線幅が予め設定された線幅の範囲内ではないとき、まだ考慮されていないファクターのエッチング結果に対する影響を帰納した後、誤差値を計算し、誤差値を取り込んだ後、新たに導体層の回路基板上における各ポイントに対応する補償データを算出し、ステップ(b)〜(d)を繰り返し、測量された線幅が予め設定された線幅の範囲内であるときは、現在の導体層の回路基板上における各ポイント対応する補償データを最良の補償データとして採用するステップと、
を含むことを特徴とする露光画像の補償方法。 - 露光機の演算部により補償データを算出することを特徴とする請求項1に記載の露光画像の補償方法。
- 露光機の演算部により算出された補償データに基づいて、元の露光画像を補償することを特徴とする請求項1又は2に記載の露光画像の補償方法。
- 該導体層の回路基板上における各ポイントに対応する厚さのエッチングファクターは導体層の厚みが厚いほど小さな補償が必要であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の露光画像の補償方法。
- 該基板の板面のエッチングファクターは回路基板の上側の板面は回路基板の下側の板面と比べて比較的小さな補償が必要とされることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の露光画像の補償方法。
- 該フォトレジスト層の厚さのエッチングファクターは、フォトレジスト層の厚みが厚いほど大きな補償が必要となることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の露光画像の補償方法。
- 該回路の幅のエッチングファクターは線路の幅が大きいほど大きな補償が必要となることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の露光画像の補償方法。
- 該回路の密度の高さのエッチングファクターは回路の密度が高いほど小さな補償が必要となることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の露光画像の補償方法。
- 該回路構造の形式のエッチングファクターは回路の実体区域が大きいほど小さな補償が必要となることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の露光画像の補償方法。
- 該導体層の輪郭のエッチングパラメーターは該導体層と誘電体層の間の境界面の粗さが大きいほど大きな補償が必要となることを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載の露光画像の補償方法。
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