JP2014535158A - 基板上に付着した活性有機層を構造化する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
−フォトリソグラフィーにより基板上に、少なくとも1つのレジストで作られる犠牲層を付着させる工程、
−パターンを規定する犠牲層の内部に少なくとも1つの開口部を作る工程、
−しかし犠牲レジスト層中のパターンではなく、
−犠牲レジスト層上に活性有機層を付着させる工程、
−活性有機層上及び前記犠牲レジスト層のパターン中に、有機ポリマーで作られる保護層を付着させる工程、
−前記樹脂に溶媒を与えることによって、犠牲レジスト層を除去する工程、並びに
−前記ポリマーを溶媒中に溶解させることによって、有機ポリマー保護層を除去する工程
を含む、基板上に付着した活性有機層を構造化する方法を提供する。
−100〜130℃の範囲の温度で1から5分間、犠牲レジスト層をアニールする工程、
−少なくとも1つのパターンを含むマスクを通して、アニールされた犠牲レジスト層を光に露光させる工程、及び
−前記犠牲レジスト層上に現像液を撒くことによって、パターンを現像する工程
を少なくとも含む。
−活性層上及び犠牲レジスト層中に規定されたパターン中に、少なくとも1つの熱架橋可能なペルフルオロ化脂肪族ポリマーを、シルクスクリーン付着させる工程、及び
−40から80℃の範囲の温度で2から10分間アニールする工程
を少なくとも含む。
Claims (11)
- −フォトリソグラフィーにより基板(2)上に、少なくとも1つのレジストで作られる犠牲層(4)を付着させる工程、
−パターン(5)を規定する前記犠牲層(4)の内部に、少なくとも1つの開口部を作る工程、
−前記犠牲層(4)上及び前記パターン(5)中に、活性有機層(1)を付着させる工程、
−前記活性層(1)上及び前記犠牲層(4)の前記パターン(5)中に、有機ポリマーで作られる保護層(3)を付着させる工程、
−前記犠牲層(4)を形成する樹脂に溶媒を与えることによって、前記層を除去する工程、
−溶媒中にそれを形成する前記ポリマーを溶解させることによって、前記保護層(3)を除去する工程
を含む、基板(2)上に付着した活性有機層(1)を構造化する方法。 - 前記犠牲層(4)中に前記パターン(5)を作る工程が、以下の工程:
−100から130℃の範囲の温度で1から5分間、前記犠牲層(4)をアニールする工程、
−少なくとも1つの前記パターンを含むマスクを通して、アニールした前記犠牲層(4)を光に露光させる工程
−前記犠牲層(4)上に現像液を撒くことによって、前記パターン(5)を現像する工程
を少なくとも含む、請求項1に記載の活性有機層を構造化する方法。 - 前記犠牲層(4)を形成する前記レジストが、紫外線照射により露光された領域の重合が起きる、いわゆるネガ型樹脂で作られる、請求項1又は2に記載の活性有機層を構造化する方法。
- 前記犠牲層(4)を形成する前記レジストが、紫外線照射により前記樹脂の巨大分子の化学的変質が起きる、いわゆるポジ型樹脂で作られる、請求項1又は2に記載の活性有機層を構造化する方法。
- 前記犠牲層(4)を形成する前記レジストが、いわゆる焼き戻し工程の間に極性が変化する特性を有する、いわゆる可逆性樹脂で作られる、請求項1又は2に記載の活性有機層を構造化する方法。
- 前記犠牲層(4)を除去する工程が、5から60秒間の範囲の時間、前記犠牲層(4)に溶媒を与える工程を含む、請求項1から5のいずれか一項に記載の活性有機層を構造化する方法。
- 前記溶媒がアセトンである、請求項6に記載の活性有機層を構造化する方法。
- 活性有機層(1)を付着させる前記工程が、有機p型及びn型半導体分子又はポリマーの混合物をスピンコーティングすることによって付着させる工程を含む、請求項1から7のいずれか一項に記載の活性有機層を構造化する方法。
- 有機p型及びn型半導体分子又はポリマーの前記混合物が、o−ジクロロベンゼン中のポリ(3−ヘキシル−チオフェン)(P3HT)と1−(3−メトキシ−カルボニル)プロピル−1−フェニル−(6,6)C−61(PCBM)との混合物である、請求項8に記載の活性有機層を構造化する方法。
- 有機p型及びn型半導体分子又はポリマーの前記混合物が、ポリ(3−オクチルチオフェン2,5−ジイル)(P3OT)と(6,6)−フェニルC71ブチル酸エステル(PC71BM)との混合物である、請求項8に記載の活性有機層を構造化する方法。
- 前記活性層(1)上及び前記犠牲層(4)の前記パターン(5)中に、保護有機ポリマー層(3)を付着させる工程が、以下の工程:
−前記活性層(1)上及び前記犠牲層(4)中に規定された前記パターン(5)中に、少なくとも1つの熱架橋可能なペルフルオロ化脂肪族ポリマーを、シルクスクリーンすることによって付着させる工程、
−40から80℃の範囲の温度で2から10分間アニールする工程
を含む、請求項1から10のいずれか一項に記載の活性有機層を構造化する方法。
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