JP2014531706A - 光電子デバイスパッケージ、アレイ及び製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】光電子デバイスパッケージ、光電子デバイスパッケージのアレイ並びに光電子デバイスパッケージを製造する方法を提供すること。【解決手段】光電子デバイスパッケージ、光電子デバイスパッケージのアレイ並びに光電子デバイスパッケージを製造する方法を提供する。このアレイは、各々が光電子デバイスを囲繞すると共に1以上の列に配置された複数の光電子デバイスパッケージを含む。各パッケージは、2つの幾何学的に平行な透明縁部と、透明縁部に対して実質的に直角な方向を向いた2つの幾何学的に平行な不透明縁部とを含む。この透明縁部は、1以上の隣接パッケージと重なるように構成されており、またハーメチックシールされることがある。光電子デバイス部分はR2R製造技術を用いて製造される。【選択図】図16

Description

光電子デバイスは一般に、発光デバイス及び光起電力デバイスを含む。これらのデバイスは一般に、その少なくとも1つを透明とするのが一般的である表面電極及び背面電極と呼ばれることがある2つの電極間に挟み合された活性層を含む。この活性層は典型的には1種以上の半導体材料を含む。発光デバイス(例えば、有機発光ダイオード(OLED)デバイス)では、その2つの電極間に印加された電圧によって活性層内に電流が流される。この電流によって活性層が光を発する。光起電力デバイス(例えば、太陽電池)では、活性層が光からエネルギーを吸収してこれを電気エネルギーに変換し、この電気エネルギーが2つの電極間に特徴的なある電圧で電流を発生させる。
光は、OLEDデバイスの電極の少なくとも1つを通して伝達される。適当な透明電極の設計には、これによって面内導電性が提供されること(より厚い材料層に好適)、並びにこれによってその厚さを通過する光伝播が提供されること(より薄い材料層に好適)が必要である。電極設計に関するこうした相反する制約を解決しようとする試みにおいて、個々の発光領域(ピクセル)のサイズが制限され、またこの結果として電極の面内を側面性に流れている電流の量が制限されることがある。電流が少ない場合は、電極内の抵抗性の損失は少なくかつ得られるデバイスは高効率となる。このケースでは、ピクセルがその周囲を画成する非照明のラインによって画成されており、またその電流はこれらの領域にバス接続されている。この非照明領域があると、これがなければ均一となるようなOLEDの外観が中断される。電流が流れる方向におけるピクセルの典型的な最大寸法は、過剰な損失及び非均一外観に至らない場合に1cm台である。この問題を解決するための方針は、非照明領域を非常に小さく製造すること(製造過程の複雑性は増大する)或いは拡散フィルムによってこれらを暈かすこと(効率は低下しかつコストは増大する)を含む。したがって、非照明領域の外観を低減させ広い非中断領域の光を生成することを可能とする一方で製造過程を簡略としてコストを最小限にすることが望ましい。より一般的には、設計柔軟性及び製造の容易性を提供しながら、個々のピクセル(又は、デバイスパッケージ)から照明領域の大型のアレイを構成することが望ましい。製造コストを削減しようとする試みにおいて、連続ロールツーロール(R2R)方式(新聞を大きなロール紙上に印刷する方式と同様の方式)での発光デバイスの柔軟な基材上へのプリントを可能とするような製造過程を利用することが望ましい。R2R製造の利用によれば、個々のピクセル又はデバイスを照明領域の大アレイとするように製造しかつ構成させることが可能であり、この際に製造過程の容易性を維持しながらこれらのピクセル又はデバイスの電気的接続を直列、並列或いは交互に個別アドレス指定可能とさせている。
米国特許出願公開第2011/186866号
簡単に述べると一態様において本発明は、第1の縁部及び第2の縁部に沿って透明領域を画成しているエッジシールゾーンと、第3の縁部及び第4の縁部に沿って不透明領域を画成しているエッジシールゾーンとを含んだ光電子デバイスパッケージに関する。第1及び第2の縁部は光電子デバイスパッケージの幾何学的に平行な部分である。第3及び第4の縁部は幾何学的に平行な縁部であり、かつ光電子デバイスパッケージの第1の縁部及び第2の縁部に対して実質的に直角方向を向いている。エッジシールゾーンの透明な第1及び第2の縁部の少なくとも一方は1以上の隣接光電子デバイスパッケージと重なるように構成されている。エッジシールゾーンの不透明な第3及び第4の縁部は、複数の接点を介して光電子デバイスのアノード及びカソードを外部電源に接続するように構成された導電層を備える。
別の態様では本発明は、1以上の列に配置された複数の光電子デバイスパッケージであって、各々が第1の縁部及び第2の縁部に沿って透明領域を画成しているエッジシールゾーンと第3の縁部及び第4の縁部に沿って不透明領域を画成しているエッジシールゾーンとを含んだ光電子デバイスを囲繞している複数の光電子デバイスパッケージを含んだアレイに関する。第1及び第2の縁部は光電子デバイスパッケージの幾何学的に平行な部分である。第3及び第4の縁部は幾何学的に平行な縁部であり、かつ光電子デバイスパッケージの第1の縁部及び第2の縁部に対して実質的に直角方向を向いている。エッジシールゾーンの透明な第1及び第2の縁部の少なくとも一方は1以上の隣接光電子デバイスパッケージと重なるように構成されている。エッジシールゾーンの不透明な第3及び第4の縁部は、複数の接点を介して光電子デバイスのアノード及びカソードを外部電源に接続するように構成された導電層を備える。各光電子デバイスパッケージは1以上の隣接光電子デバイスパッケージと重なっている。
別の態様では本発明は、連続照明領域を形成するOLED発光アレイに関する。このOLED発光アレイは、各々が光電子デバイスを囲繞すると共に1以上の列に配置された複数のパッケージを備える。各パッケージは、電気活性領域と、透明部分及び不透明部分を画成するエッジシールゾーンとを備えており、この不透明部分は複数の端子を介して光電子デバイスを外部電源に接続するように構成された導電層を備えている。各パッケージのエッジシールゾーンの透明部分は隣接パッケージの電気活性領域に重なっている。列内の各隣接パッケージの電気活性領域は列内の隣接パッケージのエッジシールゾーンの不透明部分と重なっている。各パッケージの透明エッジは直線状のアノードバスラインに沿って整列させている。
さらに別の態様では本発明は、ロールツーロール(R2R)製造技術を用いて光電子デバイスパッケージを製造する方法であって、基材材料のセグメントを位置決めする工程と、基材材料上に透明導電性酸化物(TCO)の層を堆積する工程と、基材材料上にクロスウェブ領域を形成する工程と、複数の電気活性層ストライプを画成するように透明導電性酸化物(TCO)上で離間した一連の不連続ストライプの形に電気活性層を堆積する工程であって、少なくとも2つの平行な長手方向エッジ上で電気活性層と基材の周囲の間にギャップを残すことを含む電気活性層の堆積工程と、複数の電気活性層ストライプの各々の上に複数の連続ストライプの形に金属層を堆積する工程であって、これにより複数のカソード層ストライプ及びアノードバスラインを確定する金属層の堆積工程と、複数のアノードバスラインを確定するように透明導電性酸化物(TCO)上に複数の連続ストライプの形にアノード層を堆積する工程であって、複数のアノードバスライン及びカソード層ストライプのそれぞれの間にギャップを残すことを含むアノード層の堆積工程と、アノード及びカソード層の最上部の上に透明バリア層を堆積する工程であって、バリア層はカソード層ストライプとアノード層ストライプの各々の一部分を露出するように構成されている透明バリア層の堆積工程と、個々の光電子デバイスパッケージを形成させるように切除する工程とを含む方法に関する。
さらに別の態様では本発明は、ロールツーロール(R2R)製造技術を用いて光電子デバイスパッケージを製造する方法に関する。本方法は、基材材料のセグメントを位置決めする工程と、基材材料上に透明導電性酸化物(TCO)の層を堆積する工程と、複数のアノードバスラインを画成するように透明導電性酸化物(TCO)上で離間した一連の連続ストライプの形に導電層を堆積する工程であって、少なくとも2つの平行な長手方向エッジ上で導電層と基材の周囲の間にギャップを残すことを含む導電層の堆積工程と、複数のアノードバスラインの各々の上に離間した一連の連続ストライプの形に絶縁層を堆積する工程と、複数のアノードバスラインの間に連続ストライプの形で電気活性層を堆積しこれにより電気活性層ストライプを画成する工程と、電気活性層ストライプ上に連続ストライプの形で金属カソード層を堆積し、これによりカソード層ストライプを画成する工程と、電気活性層ストライプの最上部の上に透明バリア層を堆積する工程と、個々の光電子デバイスパッケージを形成させるように切除する工程とを含む。
これらの利点及び特徴並びにその他の利点及び特徴は、添付の図面に関連して提供した本発明の好ましい実施形態に関する以下の詳細な説明からより十分な理解が得られよう。
本開示に関する上述の態様、特徴及び利点並びにその他の態様、特徴及び利点は、添付の図面に連携して取り上げた以下の詳細な説明に照らしてより明らかとなろう。
一実施形態に係るアレイ内で用いるためのパッケージの断面図である。 図1の一実施形態に係る発光アレイで用いられるパッケージの層を見通した断面図である。 図1の一実施形態に係るアレイで用いるためのパッケージを製造する方法の各ステップの概略図である。 図1の一実施形態に係るアレイで用いるためのパッケージを製造する方法の各ステップの概略図である。 図1の一実施形態に係るアレイで用いるためのパッケージを製造する方法の各ステップの概略図である。 図1の一実施形態に係るアレイで用いるためのパッケージを製造する方法の各ステップの概略図である。 図1の一実施形態に係るアレイで用いるための単一のデバイスパッケージの概略図である。 別の実施形態に係るアレイ内で用いるためのパッケージの断面図である。 図8の一実施形態に係る発光アレイで用いるためのパッケージの層を見通した断面図である。 図8の一実施形態に係るアレイで用いるためのパッケージを製造する方法の各ステップの概略図である。 図8の一実施形態に係るアレイで用いるためのパッケージを製造する方法の各ステップの概略図である。 図8の一実施形態に係るアレイで用いるためのパッケージを製造する方法の各ステップの概略図である。 図8の一実施形態に係るアレイで用いるためのパッケージを製造する方法の各ステップの概略図である。 図8の一実施形態に係るアレイで用いるためのパッケージを製造する方法の各ステップの概略図である。 図8の一実施形態に係るアレイで用いるためのパッケージを製造する方法の各ステップの概略図である。 一実施形態に係るアレイで用いるための光電子デバイスパッケージの概略図である。 図16のパッケージ済み光電子デバイスの互いに幾何学的に平行方向を向いた重ね合わせを表している一実施形態に係るアレイの図である。 一実施形態に係るアレイで用いるための光電子デバイスパッケージの概略図である。 図18のパッケージ済み光電子デバイスの互いに直列に向いた重ね合わせを表している一実施形態に係るアレイの図である。 重なり合うと共に個別にアドレス指定可能なパッケージ済み光電子デバイスを表している一実施形態に係るアレイの図である。
ここで幾つかの図の全体にわたって同じ要素を同じ番号によって示している図面を参照すると図1は、製造の中間段階(より詳細には、第1の光電子デバイスパッケージ12、第2の光電子デバイスパッケージ14及び第3の光電子デバイスパッケージ16を画成するための切除前)における隣り合わせた複数の光電子デバイスパッケージ(その全体を符号10で示す)の断面図である。各デバイスパッケージ12、14及び16は本発明の発光アレイで用いるのに適する。さらに詳細には、第1のバリア層110、第1の電極層120、第1の電極層120と共堆積させた追加の金属140、1以上の電気活性層130、第2の電極層135、任意選択の基材150及び第2のバリア層160を示しているデバイス構造10を図示している。基材150が存在しない実施形態では、これらの層を第2のバリア層160上に直接配置させることがある。第1のバリア層110と第1の電極層120の間並びに第1のバリア層110と基材150の間にエッジシールゾーン180を形成するように任意選択の接着剤層(図示せず)を配置させることがある。幾つかの実施形態では、第2の電極層135が基材150と同じ広がりをもつことがあり、また接着剤層170はエッジシールゾーン180を形成するように第2の電極層135上に部分的に配置させることがある。別の実施形態ではその基材150は、層160及び180と同じ広がりをもつことがある。エッジシールゾーン180の幾何学構成は水及び酸素の入り込みを最小化するように設計されており、また第1と第2のバリア層110と160の間の結合を形成する接着剤層170は薄くかつ幅広としこれにより好ましい幾何学構成を提供している。接着剤層170の接着剤材料は、基材と背面シートの間に強力な結合を提供するようにかつ湿気及び酸素の入り込みに対して比較的不透過性となるように選択される。この接着剤は、デバイスを構成する材料(特に、電気活性層の電極や材料)が劣化しないように湿気がなくかつ化学的に不活性としている。接着剤層170が発光領域を越えて延在してエッジシールゾーン180に至るまでの範囲では、これを透明とすべきである。透明な熱可塑性物質、感圧接着剤、アクリル及び熱硬化性のエポキシやウレタンを含む広範な接着剤が適当となる可能性がある。低コストの材料及び処理は例えば、バリア層に事前に塗布した後に乾燥させることが可能な分散剤として提供されているRohm & Haas Adcote 37T77などの熱シール材料を選択することによって可能となる。次いで、デバイスに対するバリア層160及び180の貼り合わせは、例えば連続ローリング貼り合わせ処理で穏やかな熱及び圧力に短時間露出させて完成させることが可能である。基材150が存在する場合は、第2の電極層135と第2のバリア層160の間に任意選択の接着剤層(図示せず)を配置させることがある。
基材150と第1及び第2のバリア層110、160とは非透明とすることも透明とすることもある(ただし、デバイス12、14及び16の各々が発した又は吸収した光が1以上の電気活性層130から或いはこれに至るように通過できるようにするために、デバイスの1以上の表面(すなわち、第1のバリア層110若しくは基材150及び/又は第2のバリア層160)は透明としている)。一例としてその基材150は透明であると共に、ガラス又はポリエステル(PET、PEN)などのプラスチックから成る。バリア層110、160のそれぞれは湿気及び酸素に対して比較的不透過性であり、またバリア層としての使用に適した透明材料は、例えばGeneral Electric社に譲渡された米国特許第7015640号、同第7154220号及び同第7397183号に記載されたようなガラス及び超高バリア(UHB)フィルムを含む。非透明のバリア層には金属箔が適する。第2の電極層135は、カソードとアノードのいずれにもし得るが、好ましい実施形態では第2の電極層135をアノードとしている。具体的には、第2の電極層135をインジウムスズ酸化物(ITO)などの透明導電性酸化物(TCO)から成るアノードとすることがある。1以上の電気活性層130は電気活性領域131のための1以上の層であり、これらは協働して光を発する(OLEDデバイスの場合)或いは吸収する(PVデバイスの場合)ように作用しており、また正孔/電子注入層、正孔/電子輸送層及び放出層を含むことがある。当技術分野では、真空処理や非真空処理を含め1以上の電気活性層130を堆積させる様々な手段が知られている。OLEDデバイス及びPVデバイスで用いるのに適した材料はよく知られており、本明細書では詳細には記載しないことにする。ここでデバイス構造10の製造について記載することにする。
図2は、第1の電極(カソード)層120と、第2の電極(アノード)層135と、アノードバスライン141と、第1の電極層120及び第2の電極層135の下の領域となる露出層190とを表している本発明の発光アレイでの使用に適したマルチデバイス構造20の第1の電極層120を見通した横断断面図である。具体的なある実施形態では、アノードバスライン141及び第1の電極層(カソード)120を単一の堆積工程で堆積させている。個々の各光電子デバイス12、14及び16を形成するために製造中にデバイス構造20が切除される箇所を図示するために複数の切除ライン202が描いてある。デバイス構造20は3つの別々のデバイス又はピクセルを含むように表しているが、このデバイス構造は製造方法に照らして(ここに記載したように)これより小さい複数のデバイス/ピクセルを含むことやこれより大きい複数のデバイス/ピクセルを含むことがある。
上述したようにデバイス構造20は、その上に貼り合わせたバリア(又は、絶縁)層110を含む。より具体的には、デバイス構造20の製造中に、第1の電極層120及び第2の電極層135の最も上の表面上にバリア層110が貼り合わされる。バリア層110は典型的には薄く、また電気活性領域130と概ね同じ厚さを有する(図1は縮尺どおりの図示ではない)。バリア層110はエッジシールゾーン180の画成を支援するが、電気活性領域130内までは延在していない。バリア層110は有機又は無機の様々な絶縁体から成ることがある。一例として、アノード及びカソード層の堆積に続いて薄い絶縁コーティングを形成するために、粘性が約1〜10cPsの低粘性シアノアクリレート接着剤を塗布することがある。別の例として、バリア層110を形成するようにマスクを通して無機二酸化ケイ素の薄い層(1マイクロメートル未満)を堆積させることがある。様々なプリント技術やコーティング技術のいずれかによって有機材料を塗布することがあり、また例えば真空蒸着、スパッタリング、化学蒸着法などの蒸着法によって無機材料を堆積させることがある。バリア層110の堆積に続いて、第1の電極(カソード)層120及び第2の電極(アノード)層135の一部分を露出させ個々の各デバイス12、14及び16への電気接続を設けている。
ここで図3〜6を見ると、上述したデバイス構造20の製造方法の各工程を上側平面図で表している。上で触れたように、デバイス構造20の製造にはロールツーロール(R2R)製造技術を利用する。本明細書ではR2R製造のことを、ウェブ処理やリールツーリール(reel−to−reel)処理と呼ぶこともある。一般にR2R処理は、柔軟なプラスチックや金属箔などの材料から成るロール又はウェブ上に電子デバイスを構成させる製造方法である。この処理は、プリント処理や、柔軟な材料から成るロールで開始し出力ロールを生成する処理の後で再巻き取りする別の処理を実行することを含むことがある。
非限定の例として図3には、デバイス構造20のR2R処理で用いられるロールフィルムのセグメント30を図示している。最初に基材150が設けられると共にこの基材150上にインジウムスズ酸化物(ITO)などのTCO層151が設けられ、またTCO層151と基材150の間或いは基材150の別の表面上に透明なUHB層(図示せず)を設けることがある。基材150は、連続ロールフォーマット内に或いはウェブその他などの連続ロール上に位置決めされた材料として設けられ、複数の領域の一部分をコーティングすることがある。基材150或いは下地層の一部分を露出させるためにクロスウェブ領域152を形成させる。クロスウェブ領域152は、TCO層151の一部分を除去することによって形成されることがある。より具体的には、エッチング処理によってTCOアノードを選択的に除去することがあり、これによれば(ここに記載したように)むき出しの基材150が露出しまた絶縁層が不要になる。代替的な一実施形態では、クロスウェブ領域152を画成するようにTCO層151上に絶縁層を堆積させることがある。この絶縁層は、有機材料から成ると共に、様々なプリント技術やコーティング技術のうちのいずれかによって低粘性コーティング組成物から未パターンのTCO層151に対して堆積されることがあり、或いは真空蒸着や別の蒸着方法によって未パターンのTCO層151上に無機絶縁層を堆積させることがある。コーティングのエッジ位置のステップ高の差は最小化するのが典型的である。
ここで図4を参照すると、次に不連続堆積工程でTCO層151上に直接1以上の電気活性層130を堆積させ、これによりR2R処理で用いられるウェブ又はロールを基準とした長手方向で形成された電気活性層130の実質的に連続のストライプを得ている。電気活性層130は、電気活性領域と基材150の幾つかのエッジ又はすべてのエッジにある周囲との間或いは電気活性層130のストライプ同士の間にギャップ132を残すようにして堆積させている。電気活性層130は、クロスウェブ領域152が露出されて残されるように不連続長手方向処理で堆積させている。
ここで図5を参照すると、複数の連続カソードストライプを画成するように連続長手方向ストライプ処理において第1の電極層120(またより具体的には、カソード121)を電気活性層130及びクロスウェブ部分152上に直接堆積させている。第1の電極層120は、例えば蒸着処理や導電性インクを用いたプリントタイプの処理を介してマスクを通して形成されることがある。さらに、連続長手方向ストライプ処理において基材150及びクロスウェブ部分152を覆うと共に第1の電極層120からある距離だけ離して第2の電極層135及びアノードバスライン141を堆積させ、これにより連続アノードストライプを画成している。第2の電極層120は例えば、蒸着処理や導電性インクを用いたプリントタイプの処理を介してマスクを通して形成されることがある。第1の電極層120及び第2の電極層135のR2R連続ストライプ作成技術での堆積によって、デバイスのレジスタリング、システム整列の必要性並びに均一性、加熱、マスクその他の要件のために高コストとなる堆積工程(金属蒸着その他など)の停止及び開始の必要をなくすことができる。図5に最良に示したように、電気活性領域と基材の幾つかのエッジ又はすべてのエッジにある周囲の間並びに電気活性層130、第1の電極層120及び第2の電極層135のストライプ同士の間のギャップ132は、画成を維持し電気的分離を提供している。
第1の電極層120及び第2の電極層135は、透明又は非透明の導電層を含む。第1及び第2の電極層120及び135に適した材料は当技術分野で知られており、アルミニウムや銀など元素形態の金属並びにITOや亜鉛スズ酸化物などの透明導電性酸化物を含む。具体的には、アルミニウムの薄い層を用いることがある。
ここで図6を参照すると、次に不連続ストライプの形に第1の電極層120及び第2の電極層135の最上表面の上にバリア層160が堆積又は貼り合わされ、カソード121を画成するように第1の電極層120のうちのクロスウェブ領域152と同じ広がりをもつ部分204が露出されかつアノードバスライン141を画成するように金属層140のうちのクロスウェブ領域152と同じ広がりをもつ部分206が露出される。複数のデバイス12、14及び16の画成のために、デバイス構造30は次に切除ライン202に沿って切断され複数のデバイス12、14、及び16を露出させている。
エッジシールゾーン180は、得られた各デバイス12、14及び16(図7には、その中から切除済みデバイス12の1つを示す)の周りに画成される。デバイス12は、第2の電極層135から成るアノードバスライン141と電気的に連絡した導電性領域208と、第1の電極層120から成るカソード121の延長部とを含む。導電層同士の間の短絡を防止するためにこれらの間に下地層を露出させている。
デバイスに対するハーメチック式のパッケージ化は適当な構造及び方法を用いて完成させている。様々なタイプのハーメチックパッケージ及びその製造方法は、参照によりその内容全体を範囲内に組み込むものとする米国特許出願第12/336,683号(2008年12月17日提出)、同第12/510,463号(2009年7月28日提出)及び同第12/470,033号(2009年5月21日提出)並びに同第12/570,024号(2009年9月30日提出)に記載されている。例えば、デバイスの背面に対して透明な保護用背面シートを結合させることがある。この保護用背面シートは、エッジシールゾーン180のアノード及びカソードと電気的に連絡した部分が露出されるように基材に対して位置決めし整列させることがある。透明背面シートに適した材料は、ガラス又はバリアフィルムを備えたプラスチックを含む。下地層に対してこれを、典型的には強力な結合を提供するように選択されると共に湿気がなくかつ化学的に不活性な光学的に透明な接着剤によって結合させ、これによりOLEDを劣化させないようにすると共に、湿気及び酸素のエッジ入り込みに対して比較的不透過性とすることができる。シール幾何学構成は、入り込みを最小化するように十分に薄くかつ幅広となるように設計される。
図1〜7に関連して記載した実施形態で得られる光電子デバイスパッケージは、第1及び第2の幾何学的に平行な透明縁部と、第1及び第2の幾何学的に平行な透明縁部に対して実質的に直角方向を向いている第3及び第4の不透明又は非透明な幾何学的に平行な縁部とを含む。透明縁部によって、ディスプレイ内への複数のデバイスのタイル配置が可能(ここに記載したように)となる。上述した実施形態ではアノードバスライン141は、デバイスを跨るより小さい電圧降下に相当するように有効カソード121領域に沿って電流を伝えるように構成されている。アノードバスライン141の製造は、第1の電極層120又はカソードと同じR2R堆積工程でこれを堆積させることができかつ長手方向の位置調整要件が全くないという点で、その製造過程に対して複雑性を追加することがない。さらに、開示したデバイスのタイル配置及びバス接続はデバイスの製造及びハーメチックシールの後で行っている。これに対して従来技術のデバイスでは、シールの前にデバイスがタイル配置されかつバス接続されており、さらなるコスト及び複雑性が追加される。
ここで図8〜15を見ると、光電子デバイスの別の実施形態を表しており、ここでR2R製造中にウェブの長さ方向で連続ストライプの形に複数の材料層を堆積させており、しがたってローラー、インクジェット又はスロットダイなどのよく知られたコーティング技術を活用し、堆積処理の停止及び開始を全く必要としない。ここでも、幾つかの図の全体にわたって同じ要素を同じ番号によって示していることに留意されたい。さらに詳細には図8を参照すると、複数の個々のデバイスを含む光電子デバイス構造50の断面図を表しており、これについて説明することにする。デバイス構造50は本発明の発光アレイで用いるのに適している。第1のバリア層110、背面シート111から成る絶縁層、第1の電極層120、1以上の電気活性層130、絶縁層135、第2の電極層135、任意選択の基材150及び第2のバリア層160を示すように構造50を図示している。基材150が存在しない実施形態では、これらの層を第2のバリア層160上に直接配置させることがある。第1のバリア層110と第1の電極層120の間並びに第1のバリア層110と基材150の間にはエッジシールゾーン180を形成するように任意選択の接着剤層(図示せず)を配置させることがある。一実施形態ではその基材150は、バリア層110及び160と同じ広がりをもつことがある。エッジシールゾーン180の幾何学構成は水及び酸素の入り込みを最小化するように設計されており、また第1と第2のバリア層110と160の間の結合を形成する接着剤層170は薄くかつ幅広でありこれにより好ましい幾何学構成を提供している。上の実施形態と同様に、接着剤170が発光領域を越えて延在してエッジシールゾーン180に至るまでの範囲では、これを透明とすべきである。デバイスに対するこれらのバリア層の貼り合わせは、例えば連続ロール貼り合わせ処理などで穏やかな熱及び圧力に短時間露出させて完成させることが可能である。第2の電極層135と第2のバリア層160の間に任意選択の接着剤層(図示せず)を配置させることがある。
基材150と第1及び第2のバリア層110及び160とは非透明とすることも透明とすることもある(ただし、デバイス50が発した又は吸収した光が1以上の電気活性層130から或いはこれに至るように通過できるようにするために、デバイスの1以上の表面(すなわち、第1のバリア層110若しくは基材150及び/又は第2のバリア層160)は透明である)。一例としてその基材150は透明であると共に、ガラス又はポリエステル(PET、PEN)などのプラスチックから成る。バリア層110、160のそれぞれは湿気及び酸素に対して比較的不透過性であり、またバリア層としての使用に適した透明材料は、ガラス及び上述したような超高バリア(UHB)フィルムを含む。非透明のバリア層には金属箔が適する。第2の電極層135は、カソードとアノードのいずれにもし得るが、好ましい実施形態では第2の電極層135をアノードとしている。具体的には、第2の電極層135をインジウムスズ酸化物(ITO)から成るアノードとすることがある。1以上の電気活性層130は協働して光を発する(OLEDデバイスの場合)或いは吸収する(PVデバイスの場合)ように作用し、かつ正孔/電子注入層、正孔/電子輸送層及び放出層を含み得るような1以上の層である。上で言及したように、当技術分野では真空処理や非真空処理を含めこれらの層を堆積させる様々な手段が知られている。構造50の製造についてここで記述することする。
図9は、第2の電極(カソード)層120と、絶縁層135と、アノードバスライン141として構成させた第1の電極(アノード)層135と、第2の電極層120、絶縁層135及び第1の電極層135の下にあると共に基材150及び/又はバリア層を含んだ露出層190とを表している本発明の発光アレイでの使用に適した構造50の背面シート又は絶縁層111を見通した横断断面図である。具体的なある実施形態ではその電極は、第2の電極層135からまたより具体的にはアノードバスライン141から成る。電気活性領域200は、デバイス50の長手方向の中央部分を含む。複数の個々の光電子デバイス12、14及び16を形成するためにR2R製造中にデバイス構造50が切除される箇所を図示するために複数の切除ライン202が描いてある。
上述したようにデバイス構造50は、その上に貼り合わせたバリア(又は、絶縁)層110を含む。バリア層110はエッジシールゾーン180の画成を支援するが、電気活性領域130内までは延在していない。バリア層110は、開示した最初の実施形態に関連して上で詳述したように有機又は無機の様々な絶縁体から成ることがある。
ここで図10〜15を見ると、上述したデバイス構造50の製造方法の各工程を上側平面図で表している。上の実施形態の場合と同様に、デバイス構造50の製造にはロールツーロール(R2R)製造技術を利用している。非限定の例として図10には、デバイス構造50のR2R処理に用いられるロールフィルムのセグメント30を表している。最初に、ITO層151などの透明導電性酸化物(TCO)が基材150上に設けられており、またITO層151と基材150の間又は基材150の別の表面上に透明UHB層(図示せず)が設けられることがある。この基材は、複数の領域の一部分をコーティングできるように連続ロールフォーマットの形とすることやウェブその他などの連続ロール上に位置決めされることがある。上の実施形態と異なりデバイス構造50は基材150又は下地層の一部分を露出させるためのクロスウェブ領域を含んでいない。
ここで図11を参照すると、第2の電極層135またより具体的にはアノードバスライン141が、基材150及びITOやUHBなどの任意の中間層の上に直接堆積される。電極層135は連続長手方向ストライプ処理で堆積される。電極層135の堆積と同時に、基材150及び中間の任意のITO又はUHB層上に任意選択のアノードグリッド142を堆積させることがある。アノードグリッド142によってさらに幅広のピクセルの製造が可能となると共に、幾つかの用途において複数の光電子デバイスのシングリング(shingling)やタイル配置の必要性を排除できる可能性もある。アノードグリッド142を含めるか否かと関係なく、アノードバスライン141はデバイス構造50の縁部に対して長手方向に沿って形成させる。図10〜15ではアノードバスライン141がデバイス構造50のいずれかの側に存在するように表しているが、アノードバスライン141は、得られるピクセルに要求される幅並びにタイル配置要件のために別の透明エッジを有する必要性に応じた構成として一方の側だけに存在させることがある。電極層135は、例えば蒸着処理や導電性インクを用いたプリントタイプの処理を介してマスクを通して形成されることがある。
図12に最良に示したように、次にアノードバスライン141上には連続長手方向ストライプ作成処理によって絶縁層135を堆積させている。絶縁層135は、有機材料から成ると共に、様々なプリント技術やコーティング技術のうちのいずれかによって低粘性コーティング組成物から電極層135に対して施されることがあり、或いは真空蒸着や別の蒸着方法によって電極層135上に無機絶縁層を堆積させることがある。
アノードグリッド142及び電極層135の一部分の上には次に、図13に示したように1以上の電気活性層130を堆積させている。1以上の電気活性層130は、アノード層135の間隔より大きい幅を有するような方式で堆積させている。1以上の電気活性層130は上述したように連続長手方向ストライプ処理によって堆積させており、このためにR2R処理を用いてウェブ又はロールを基準として長手方向に形成される電気活性層130の実質的に連続なストライプが得られる。
ここで図14を参照すると、1以上の電気活性層130上に連続長手方向ストライプ作成処理によって第1の電極層120またより具体的にはカソード121が直接堆積される。第1の電極層120は、例えば蒸着処理や導電性インクを用いたプリントタイプの処理を介してマスクを通して形成されることがある。第1の電極層120及び第2の電極層135は透明な導電層を含むことも非透明な導電層を含むことがある。第1及び第2の電極層120及び135として適当な材料は当技術分野で知られており、アルミニウムや銀など元素形態の金属並びにITOや亜鉛スズ酸化物などの透明導電性酸化物を含む。具体的には、アルミニウムの薄い層を用いることがある。
ここで図15を参照すると、次に第1の電極層120の最上表面の上に長手方向連続ストライプの形に保護用背面シート111を堆積させ又は貼り合わせている。保護用背面シート111は、エッジシールゾーン180のアノード及びカソードと電気的に連絡した部分が電極層120に関して図示したように露出する又は堆積されるように位置決めして基材と整列させることがあり、これによって電極層120の一部分は覆われないままとなる。透明背面シートに適した材料はガラス又はバリアフィルムを備えたプラスチックを含む。下地層に対してこれを、典型的には強力な結合を提供するように選択されると共に湿気がなくかつ化学的に不活性な光学的に透明な接着剤によって結合させ、これによりOLEDを劣化させないようにすると共に、湿気及び酸素のエッジ入り込みに対して比較的不透過性とすることができる。シール幾何学構成は、入り込みを最小化するように十分に薄くかつ幅広となるように設計される。複数のデバイス52、54及び56を画成するために、次に切除ライン202に沿ってデバイス構造50を切断し複数のデバイス52、54及び56を画成している。デバイス50或いは個々のデバイス52、54及び56に対するハーメチック式のパッケージ化は、本明細書の上で開示したような適当な構造及び方法を用いて完成させている。
個々のデバイス52、54及び56の各々は、1以上のエッジに沿ったアノードバスライン141を含むシングリングによる一体化に適する。上の実施形態と異なりR2R製造過程によれば、デバイス構造50の製造中における1回又は複数回の停止/開始操作を(排除できないにしても)最小限にすることが可能である。さらにR2R処理で生産したデバイスはハーメチックシールされ、また歩留り及び/又は性能に関して並べ替えた後にタイル配置するように一緒にマッチングさせることがある。上の実施形態と同様に図8〜15に関連して記載した実施形態で得られる光電子デバイスパッケージ52、54及び56の各々は、第1及び第2の幾何学的に平行な透明縁部と、第1及び第2の幾何学的に平行な透明縁部に対して実質的に直角方向を向いている第3及び第4の幾何学的に平行な不透明又は非透明な縁部とを含んでおり、これによってディスプレイ内における複数のデバイスのタイル配置が可能(ここに記載したように)となる。
図16〜20には、図1〜15に関連して上述したような光電子デバイスパッケージ向けの様々なタイル配置レイアウトを表している。図示した実施形態では、複数の光電子パッケージ(本明細書では、有機発光ダイオード(OLED)とも呼ぶ)に対するシングリングは、各々が概ね15.0cm×2.5cmの寸法を有すると共に1以上の透明エッジを含むようにして提供している。各平面図では、上述したエッジシールゾーン180と概して同様の透明縁部と、上述した電気活性領域130と概して同様の電気活性領域と、上述した不透明縁部と概して同様の複数の不透明縁部とを有する光電子パッケージを図示している。不透明縁部のうちの1つはアノードを包含しかつ不透明エッジシール部分のうちの1つはデバイスのカソードを包含し、アノード及びカソードと電気的に連絡させて導電性領域及び任意選択の導電性タブ接点を設けている。追加として、導電性タブと電源の間に電気リード(図示せず)を接続させることがある。そのコネクタ装着スキームに応じて、その接点の設計は様々となり得る。図では、カソード及びアノード金属に対して導電性接着剤を用いて取り付け得るリボンタイプの導体を表している。導電性タブは背面シートと基材の間を内方に延在することがあるが、幾つかの実施形態ではこれによるエッジのシールとの干渉をさせないようにこれらを基板外構成で配置させることが好ましいことがある。別の実施形態ではその導電性タブは、背面シート上の薄い金属層としてプリントすることがある。アノード及びカソードとの接点は導電性接着剤によって行うことがある。さらに、環境からの浸食に対して抵抗性の背面シートと隣接して(特に、背面シートの付与後に露出状態のままとすることが望ましいエッジ領域内で)電極金属化の最上部の上に別の層を追加することがある。これを非腐食性の金属の形態とすることが可能であり、或いはUHBや別の有機又は無機のバリア層とすることが可能である。パッケージのタイル配置によって個々のピクセル間の暗いラインを低減することができる。ここに記載したようにこの光電子デバイスパッケージは、並列構成、直列構成或いは個別アドレス指定可能なOLED構成でのタイル配置に適する。
具体的に図16を参照すると、並列のシングリングレイアウト及び並列にアドレス指定可能とした実現形態のために図1〜6か図8〜15のいずれかに関連して上述したようにして製造されかつ構成された個々の光電子デバイスパッケージ202の概略図を表している。第1の導電性タブ204は、上述したアノードバスライン141と概して同様のアノードバスライン206と電気的に連絡させている。第2の導電性タブ208は、上述したカソード121と概して同様のカソード210と電気的に連絡するように設けている。電気活性領域213は、上述した電気活性領域131と概して同様であり、透明エッジシールゾーン212に隣接して形成されている。エッジシールゾーン212は、上述した透明エッジシールゾーン180と概して同様であり、これによりアレイを形成するような複数のデバイスパッケージの重ね合わせを得ている。この例示的実施形態ではそのデバイスパッケージ202が、概ね15.25cm(Xで示す)対2.54cm(Yで示す)である。個々のデバイスパッケージ202に関して概略の寸法を与えているが、これは限定ではないこと並びに任意の寸法のデバイスパッケージを提供し得ることを理解すべきである。より具体的に図17を参照すると、各々が並列シングリングレイアウトで構成されたデバイスパッケージ202と概して同様である重なり合った光電子デバイスパッケージ216、218、220及び222から成る列を示しているアレイ214を図示している。このアレイ214は、デバイス222のエッジシールゾーン212の透明部分がデバイス220の電気活性領域213と重なりかつデバイス220の透明部分212がデバイス218の電気活性領域213と重なるようにして構成されている。さらに、デバイス218のエッジシールゾーン212の透明部分はデバイス216の電気活性領域213と重なっており、またデバイス216の透明部分212は(図では追加のパッケージと重ならないように示しているが)追加のデバイスが設けられる場合はその電気活性領域213と重なることがある。OLEDによってまたより具体的には電気活性領域213や各デバイス216、218、220及び222によって発せられた光、あるいPVデバイスが吸収する光は、この重なり合った透明部分212を通過することが可能である。OLEDにおいては、連続発光領域を形成するように干渉する非発光領域を伴うことなく各デバイス216、218、220及び222の電気活性領域213を位置決めすることがある。本発明は透明エッジシールゾーンを有するパッケージに限定されないこと、またこうした実施形態では、発光領域や光吸収領域を非発光/吸収領域によって分離し得ることに留意すべきである。
図18と19は、個々の光電子デバイスパッケージ及び電気接続の概要図(全体を302で示す)、並びに直列シングリングレイアウトで構成されかつ直列アドレス指定可能となったデバイスパッケージ302と概して同様の重なり合った複数のパッケージ316、318、320及び322を表したアレイ314の概要図である。デバイス322のエッジシールゾーン312の透明部分はデバイス320の電気活性領域313と重なり、またデバイス320のエッジシールゾーン312の透明部分はデバイス318の電気活性領域313と重なり、かつデバイス318のエッジシールゾーン312の透明部分はデバイス316の電気活性領域313と重なり、これによりアレイの1つの表面上に連続した発光又は吸収領域を形成している。個々のパッケージに対する電気接続は、アノード接点タブ304またより具体的にはアノードバスライン306が、アレイ314内の複数のパッケージ316、318、320及び320の直列アドレス指定を提供するような電気的連絡となるようにして設けられている。
図20は、複数の個別にアドレス指定可能な光電子デバイスパッケージ416、418、420及び422から成るアレイ414の概要図を表している。図示した実施形態では、電気接続404及び408が個々の各光電子デバイスパッケージ416、418、420及び422に提供されており、また各デバイスに対する個別のアドレス指定を提供している。シングリングレイアウトで構成されかつ個別アドレス指定可能となった図16のデバイスパッケージ202と各々が概して同様の重なり合った複数のパッケージ416、418、420及び422を図示している。デバイス422のエッジシールゾーン412の透明部分はデバイス420の電気活性領域413と重なり、かつデバイス420のエッジシールゾーン412の透明部分はデバイス418の電気活性領域413と重なり、かつデバイス418のエッジシールゾーン412の透明部分はデバイス416の電気活性領域413と重なり、これによりアレイ414の1つの表面上に連続した発光又は吸収領域を形成している。不透明エッジシールゾーン内の個々のパッケージに対する電気接続は、アノード接点タブ404またより具体的には個々の各パッケージのアノードバスライン406がアレイ314内の複数のパッケージ316、318、320及び320の個別のアドレス指定を提供するようにして設けられている。
本発明のある種の特徴についてのみ本明細書において図示し説明してきたが、当業者によって多くの修正及び変更がなされるであろう。したがって添付の特許請求の範囲が、こうした修正や変更のすべてを本発明の真の精神の範囲に属するようにして包含するように意図したものであることを理解されたい。
10 デバイス構造
12 第1の光電子デバイスパッケージ
14 第2の光電子デバイスパッケージ
16 第3の光電子デバイスパッケージ
20 デバイス構造
30 ロールフィルムセグメント
30 デバイス構造
50 デバイス
52 デバイス
54 デバイス
56 デバイス
110 第1のバリア層
111 背面シート
120 第1の電極層
121 カソード
130 電気活性層
131 電気活性領域
132 ギャップ
135 第2の電極層
140 金属
141 アノードバスライン
142 アノードグリッド
150 基材
151 TCO層
152 クロスウェブ領域
160 バリア層
170 接着剤層
180 エッジシールゾーン
190 露出層
200 電気活性領域
202 光電子デバイスパッケージ
204 第1の導電性タブ
206 アノードバスライン
208 第2の導電性タブ
210 カソード
212 透明エッジシールゾーン
213 電気活性領域
214 アレイ
216 光電子デバイスパッケージ
218 光電子デバイスパッケージ
220 光電子デバイスパッケージ
222 光電子デバイスパッケージ
302 電気接続
312 透明エッジシールゾーン
313 電気活性領域
314 アレイ
316 パッケージ
318 パッケージ
320 パッケージ
322 パッケージ
404 電気接続
408 電気接続
412 透明エッジシールゾーン
413 電気活性領域
414 アレイ
416 パッケージ
418 パッケージ
420 パッケージ
422 パッケージ

Claims (25)

  1. 光電子デバイスパッケージであって、
    光電子デバイスパッケージの幾何学的に平行な部分である第1の縁部及び第2の縁部に沿って透明領域を画成しているエッジシールゾーンと、
    幾何学的に平行な縁部でありかつ光電子デバイスパッケージの第1の縁部及び第2の縁部に対して実質的に直角方向を向いている第3の縁部及び第4の縁部に沿って不透明領域を画成しているエッジシールゾーンと
    を備えており、
    エッジシールゾーンの透明な第1及び第2の縁部の少なくとも一方は1以上の隣接光電子デバイスパッケージと重なるように構成され、
    エッジシールゾーンの不透明な第3及び第4の縁部は、複数の接点を介して光電子デバイスのアノード及びカソードを外部電源に接続するように構成された導電層を備えている、光電子デバイスパッケージ。
  2. エッジシールゾーンの不透明部分を通過してカソード、アノード及びアノードバスラインが延在している、請求項1記載の光電子デバイスパッケージ。
  3. アノードは長手方向に向いたアノードバスラインとして構成されている、請求項1記載の光電子デバイスパッケージ。
  4. アノード及びエッジシールゾーンの不透明部分内の導電層は、アノードをカソードから電気的に隔絶するように構成されている、請求項1記載の光電子デバイスパッケージ。
  5. カソード及びアノードはエッジシールゾーンの不透明部分を通って延在し、導電層は電気活性層上に直接配置され、アノードとエッジシールゾーンの不透明部分内の導電層の間にアノードをカソードから電気的に隔絶するように構成させた電気絶縁層が配置される、請求項4記載の光電子デバイスパッケージ。
  6. カソードはエッジシールゾーンの不透明部分を通って延在し、導電層は電気活性層上に直接配置され、アノードが、エッジシールゾーンの透明部分内の電気活性領域からある距離だけ離間してこれによりアノードをカソードから電気的に隔絶するように構成されたアノードバスラインとして構成される、請求項4記載の光電子デバイスパッケージ。
  7. 1以上の列に配置された複数の光電子デバイスパッケージを備えるアレイであって、各々の光電子デバイスパッケージが光電子デバイスを囲繞していて、
    光電子デバイスパッケージの幾何学的に平行な部分である第1の縁部及び第2の縁部に沿って透明領域を画成しているエッジシールゾーンと、
    幾何学的に平行な縁部でありかつ光電子デバイスパッケージの第1の縁部及び第2の縁部に対して実質的に直角な方向を向いている第3の縁部及び第4の縁部に沿って不透明領域を画成しているエッジシールゾーンと
    を備えていて、エッジシールゾーンの透明な第1及び第2の縁部の少なくとも一方は1以上の隣接光電子デバイスパッケージと重なるように構成されており、エッジシールゾーンの不透明な第3及び第4の縁部は、複数の接点を介して光電子デバイスのアノード及びカソードを外部電源に接続するように構成された導電層を備えており、各光電子デバイスパッケージは1以上の隣接光電子デバイスパッケージと重なっている、アレイ。
  8. 複数の光電子デバイスパッケージの各々は単一のピクセルを備える、請求項7記載のアレイ。
  9. 複数の光電子デバイスパッケージは連続又は不連続発光領域のいずれかを形成するように構成されている、請求項7記載のアレイ。
  10. アレイ内の各光電子デバイスパッケージのエッジシールゾーンの透明部分の少なくとも一部分は隣接パッケージの電気活性領域に重なっている、請求項7記載のアレイ。
  11. 各パッケージのエッジシールゾーンの透明部分のエッジは平行に整列している、請求項7記載のアレイ。
  12. エッジシールゾーンの不透明部分は複数の接点を介して光電子デバイスのアノード及びカソードを外部電源に接続するように構成された導電層を備える、請求項7記載のアレイ。
  13. カソード及びアノードはエッジシールゾーンの不透明部分を通って延在している、請求項7記載のアレイ。
  14. アノードは、エッジシールゾーンの透明部分に対して実質的に平行な方向を向いたアノードバスラインとして構成されている、請求項7記載のアレイ。
  15. アノード及びエッジシールゾーンの不透明部分内の導電層はアノードをカソードから電気的に隔絶するように構成されている、請求項7記載のアレイ。
  16. カソード及びアノードはエッジシールゾーンの不透明部分を通って延在し、導電層は電気活性層上に直接配置され、アノードとエッジシールゾーンの不透明部分内の導電層の間にアノードをカソードから電気的に絶縁するように構成させた電気絶縁層が配置されている、請求項15記載のアレイ。
  17. カソードはエッジシールゾーンの不透明部分を通って延在し、導電層は電気活性層上に直接配置され、アノードが、エッジシールゾーンの透明部分内の電気活性領域からある距離だけ離間してこれによりアノードをカソードから電気的に隔絶するように構成されたアノードバスラインとして構成される、請求項15記載のアレイ。
  18. 各光電子デバイスはOLEDである、請求項7記載のアレイ。
  19. 各光電子デバイスは光起電力デバイスである、請求項7記載のアレイ。
  20. 連続照明領域を形成するOLED発光アレイであって、OLED発光アレイが複数のパッケージを備えていて、各パッケージが光電子デバイスを囲繞しているとともに、1以上の列に配置されており、
    各パッケージは電気活性領域と透明部分及び不透明部分を画成するエッジシールゾーンとを備えており、不透明部分は複数の端子を介して光電子デバイスを外部電源に接続するように構成された導電層を備えており、
    各パッケージのエッジシールゾーンの透明部分は隣接パッケージの電気活性領域と重なっており、
    列内の各隣接パッケージの電気活性領域は列内の隣接パッケージのエッジシールゾーンの不透明部分と重なっており、
    各パッケージの透明エッジは直線状のアノードバスラインに沿って整列している、OLED発光アレイ。
  21. ロールツーロール(R2R)製造技術を用いて光電子デバイスパッケージを製造する方法であって、
    基材材料のセグメントを位置決めする工程と、
    基材材料上に透明導電性酸化物(TCO)の層を堆積する工程と、
    基材材料上にクロスウェブ領域を形成する工程と、
    複数の電気活性層ストライプを画成するように透明導電性酸化物(TCO)上で離間した一連の不連続ストライプの形に電気活性層を堆積する工程であって、少なくとも2つの平行な長手方向エッジ上で電気活性層と基材の周囲の間にギャップを残すことを含む電気活性層の堆積工程と、
    複数の電気活性層ストライプの各々の上で複数の連続ストライプの形に金属層を堆積し、これにより複数のカソード層ストライプ及びアノードバスラインを画成する工程と、
    複数のアノードバスラインを画成するように透明導電性酸化物(TCO)上で複数の連続ストライプの形にアノード層を堆積する工程であって、複数のアノードバスラインとカソード層ストライプの各々の間にギャップを残すことを含むアノード層の堆積工程と、
    アノード及びカソード層の最上部の上に透明バリア層を堆積する工程であって、バリア層はカソード層ストライプとアノード層ストライプの各々の一部分を露出するように構成されているバリア層の堆積工程と、
    個々の光電子デバイスパッケージを形成させるように切除する工程と
    を含む方法。
  22. 基材材料上にクロスウェブ領域を形成する工程は、透明導電性酸化物(TCO)の一部分を選択的に除去する工程を含む、請求項21記載の方法。
  23. 基材材料上にクロスウェブ領域を形成する工程は、透明導電性酸化物(TCO)の一部分を絶縁層で選択的に覆う工程を含む、請求項21記載の方法。
  24. ロールツーロール(R2R)製造技術を用いて光電子デバイスパッケージを製造する方法であって、
    基材材料のセグメントを位置決めする工程と、
    基材材料上に透明導電性酸化物(TCO)の層を堆積する工程と、
    複数のアノードバスラインを画成するように透明導電性酸化物(TCO)上に離間した一連の連続ストライプの形で導電層を堆積する工程であって、少なくとも2つの平行な長手方向エッジ上で導電層と基材の周囲の間にギャップを残す工程を含んだ導電層の堆積工程と、
    複数のアノードバスラインの各々の上に離間した一連の連続ストライプの形に絶縁層を堆積する工程と、
    電気活性層ストライプを画成するように複数のアノードバスライン同士の間に連続ストライプの形で電気活性層を堆積させる工程と、
    カソード層ストライプを画成するように電気活性層ストライプ上に連続ストライプの形で金属カソード層を堆積させる工程と、
    電気活性層ストライプの最上部の上に透明バリア層を堆積する工程と、
    個々の光電子デバイスパッケージを形成させるように切除する工程と、
    を含む方法。
  25. 透明導電性酸化物(TCO)の層の堆積工程、導電層の堆積工程、絶縁層の堆積工程、絶縁層の堆積工程、電気活性層の堆積工程、金属カソード層の堆積工程並びに透明バリア層の堆積工程は、連続ストライプ様の幾何学配置により構成されている、請求項24記載の光電子デバイスパッケージの製造方法。
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