JP2014529746A - 小型化されたガスクロマトグラフ - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、半導体装置を使用するスケーラブル大気質検知システムの一実施形態の概観図を示す。ここで、キャリアガスシリンダ7からのキャリアガスは、キャリアガス導入口6に導入される。キャリアガスは化学的に不活性であり、限定はされないが、ヘリウム、窒素、ネオン、アルゴン、および水素を含むことができる。キャリアガスの選択は、多くの場合、検知システムに使用される検知装置の種類に関連する。キャリアガスの流速は、一般的には、キャリアガスシリンダ7における圧力調節装置(不図示)および/または流量制御装置(不図示)によって制御することができる。キャリアガスの制御された流速は、流量制御装置後の流量計測装置で測定することができる。キャリアガスの流速が制御されると、キャリアガスは、キャリアガス導入口6を通じて導入される。キャリアガス導入口6は、カラム1の封止された流体流路に接続され、キャリアガスをカラム1に導入し、輸送することに寄与する。
このセクションにおいて、交流電流をカラムに印加したときにカラムへ導入された極性分子を分離し検知する方法について説明する。
イオン化装置(イオン源)は分子をイオン化する装置である。ガス分子または気相分子の一般的なイオン化は、電子イオン化(電子衝撃)によって行うことができる。イオン源において、電子は、加熱されたフィラメントから発射され、フィラメントと陽極間の電位によって加速され、トラップ電極に引きつけられることによって電子ビームとなる。試料分子は、分子蒸気を発生させるように高温に加熱され、電子ビームに対して垂直方向のイオン源に導入される。電子ビームの軌道と試料分子の軌道とは直角に交差し、衝突およびイオン化が生じる。電子は、実質的に分子の間近を通過し、分子は静電反発によって電子を放出し、これにより、1価の分子の陽イオンが形成される。続いて、イオン化された分子は、反射電極によって、試料供給口の方へ誘導される。
いくつかの実施形態において、スケーラブル大気質検知システムの好ましい小型化を達成するために、カラムはチップ上に微細加工され、長さ約500μm以下、幅約500μm以下、および厚さ約100μm以下のようなチップ寸法を有する。カラムは、例えば、ケイ素、SiO2、Ge、SiC、SiGe、III〜V族半導体、SiN、GaN、ダイヤモンドまたは酸化アルミニウムの基板上に微細加工することができる。代替として、カラムは、半導体装置作製技術、あるいは、微小電気機械システム(MEMS)技術または通常基板上に被覆されたモノマーもしくはポリマーであるインプリントレジストを変形させる工程を含むナノインプリント方法などの修正された半導体装置作製技術を使用することによって、基板に使用可能な他のいずれかの半導体材料を含有する基板上に微細加工することができる。MEMS技術によって、サブミクロンスケールへのカラムの小型化を実行することができる。集積回路10、抵抗回路9および通信システムの同一基板への埋め込みは、さらなる小型化に導くことができる。
本明細書において、分子を分離することによって大気質を検知する方法を提供する。分子を分離する方法は、試料分子を含有する試料を供給することと、試料分子の少なくとも一部およびキャリアガスを接触させ、試料分子/キャリアガスの混合物を形成することと、供給口および排出口を含む流体流路であって、内面に沿って長手方向に延びている少なくとも1つの電極対を含む流体流路に試料分子/キャリアガスの混合物を導入することと、流体流路の内面に沿って長手方向に延びている電極に交流電流を印加することと、交流電流が電極に印加されている間、流体流路の供給口から流体流路の排出口へ試料分子/キャリアガスの混合物を流すことと、流体流路の排出口から出ていく試料ガス分子の存在を検知することとを含む。試料が高濃度である場合、試料を不活性物質で希釈してもよい。
付加的な実施形態は以下の例においてより詳細に開示されるが、決して特許請求の範囲を限定することを意図するものではない。
小型化されたガスクロマトグラフを構築するために、長さ約250μm以下、幅約250μm以下、および厚さ約50μm以下のような寸法を有する半導体チップを、微小電気機械システム(MEMS)技術などの半導体装置作製技術を使用して製造する。
異なる大きさのガスクロマトグラフは、実施例1に提供した方法と同一の方法で製造され、半導体チップは、長さ約500μm以下、幅約500μm以下、および厚さ約100μm以下のような寸法を有し、20.0mmの長さを有するアルキメデス渦巻線形状のカラムが形成される。
2つの電極対を有するガスクロマトグラフは、カラムを形成した後、2つの電極対を金属被覆によってカラム内面上に堆積すること以外は、例1に提供した方法と同じ方法で製造される。
一酸化二窒素(N2O)、プロパン(C3H8)および二酸化炭素(CO2)などの、同一またはほぼ同一の分子量および異なる双極子モーメント値(ρ)を有する分子は、分子がカラムの中を通っている間、任意の周波数を有する交流電流を電極に印加することによって分離される。交流電流が電極に3周期印加された場合、分子N2O、C3H8、およびCO2は、交流電流電源によって正電圧および負電圧が交互に印加されることにより、カラムの中において電極間をジグザグ状に移動する。
異なる分子量および同一の電荷を有する、または同一もしくはほぼ同一の双極子モーメントを有する分子、アンモニア(NH3)、CH3F、およびCH3Cl、は、カラムの中を分子が通っている間、任意の周波数を有する交流電流を電極に印加した後、分子の周波数応答特性の差異を測定することによって、分離および検知される。分子NH3、CH3F、およびCH3Clは、同一の電荷、または、それぞれ、同一もしくはほぼ同一の双極子モーメント1.847D、1.85D、および1.87Dを有する一方で、それぞれ、MNH3=17.03g/mol、MCH3F=34.03g/mol、およびMCH3Cl=50.50g/molのモル質量を有する。分子NH3、CH3F、およびCH3Clがカラムの中を移動するとき、最も小さい分子量MNH3を有する分子NH3が、交流電流によって最も作用され、一方最も大きい分子MCH3Clは交流電流によって最も作用されにくい。結果として、より小さい分子NH3は、より大きい分子CH3Clに比べて、より大きな振幅でジグザグ状に移動しやすくなる。この移動の差異によって、より大きな分子が、より小さな分子よりも速くカラムに沿って進行することとなる。これにより、交流電流に対する分子の周波数応答特性を利用することによって、分子NH3、CH3F、およびCH3Clは分離および検知される。
Claims (32)
- ガス供給口と、
内面に沿って長手方向に延びている1つまたは複数の電極対を含む、封止された流体流路であって、第1の端部が前記ガス供給口に流体的に接続された流体流路と、
前記流体流路の第2の端部と流体的に接続されたガス排出口と、
前記ガス排出口と流体的に接続されたガス分子検知装置と
を備えるガスクロマトグラフ。 - 前記流体流路はシリコン基板上に微細加工される、請求項1に記載のガスクロマトグラフ。
- 前記流体流路はガラス基板上に微細加工される、請求項1に記載のガスクロマトグラフ。
- 前記流体流路はチップ上に含まれ、前記チップの寸法は、長さ約500μm以下、幅約500μm以下、および厚さ約100μm以下である、請求項1〜3のいずれか一項に記載のガスクロマトグラフ。
- ガス分子検知装置も前記チップ上に含まれる、請求項4に記載のガスクロマトグラフ。
- 前記流体流路の長さは少なくとも約1,000μmである、請求項1〜5のいずれか一項に記載のガスクロマトグラフ。
- 前記流体流路は、2つ以上の電極対を含む、請求項1〜6のいずれか一項に記載のガスクロマトグラフ。
- 前記流体流路は、前記ガス供給口および前記ガス排出口以外のすべての部分が蒸気不透過性である、請求項1〜7のいずれか一項に記載のガスクロマトグラフ。
- 前記流体流路の長さは、前記流体流路の最も大きな断面よりも少なくとも約1,000倍大きい、請求項1〜8のいずれか一項に記載のガスクロマトグラフ。
- 前記流体流路は、二次元の渦巻き形状である、請求項1〜9のいずれか一項に記載のガスクロマトグラフ。
- 前記電極対は、交流電流を前記電極対に印加したとき、帯電分子または極性分子の前記流体流路に沿った移動パターンが、交流電流を前記電極対に印加していない場合の前記帯電分子または極性分子の前記流体流路に沿った移動パターンに比べて長くなるように構成される、請求項1〜10のいずれか一項に記載のガスクロマトグラフ。
- 前記電極対は、交流電流を前記電極対に印加したとき、帯電分子または極性分子の前記流体流路に沿った移動パターンが、同一条件下における非帯電かつ非極性分子の移動パターンに比べて長くなるように構成される、請求項1〜11のいずれか一項に記載のガスクロマトグラフ。
- 前記電極の少なくとも一方は金属電極である、請求項1〜12のいずれか一項に記載のガスクロマトグラフ。
- 前記流体流路の上流の位置にバルブを介して前記ガス供給口に取り付けられた試料供給口をさらに備える、請求項1〜13のいずれか一項に記載のガスクロマトグラフ。
- 試料供給口の上流の位置に前記ガス供給口に取り付けられたキャリアガス供給口をさらに備える、請求項1〜14のいずれか一項に記載のガスクロマトグラフ。
- 前記ガス分子検知装置は抵抗回路を含む、請求項1〜15のいずれか一項に記載のガスクロマトグラフ。
- 試料中のガス分子を分離する方法であって、
試料ガス分子を含有する試料を供給することと、
前記試料の少なくとも一部とキャリアガスとを接触させて、試料/キャリアガス混合物を形成することと、
供給口および排出口を含む流体流路であって、内面に沿って長手方向に延びる少なくとも1つの電極対を含む流体流路に、前記試料/キャリアガス混合物を導入することと、
前記流体流路の前記内面に沿って長手方向に延びる前記電極に交流電流を印加することと、
前記交流電流を前記電極に印加しながら、前記流体流路の供給口から前記流体流路の排出口へ前記試料/キャリアガス混合物を流すことと、
前記流体流路の排出口を出る試料ガス分子の存在を検知することと
を含む方法。 - 前記試料ガス分子は、前記試料ガス分子の極性、帯電状態、または前記試料ガス分子の極性および帯電状態の両方に応じて分離することができる、請求項17に記載の方法。
- 極性試料ガス分子および/または帯電試料ガス分子は、前記試料ガス分子の分子量に応じて分離することができる、請求項17または18に記載の方法。
- 前記交流電流は、前記流体流路の流体流方向にほぼ垂直な電場を発生させる、請求項17〜19のいずれか一項に記載の方法。
- 前記試料/キャリアガス混合物が前記流体流路の中を流れるとき前記交流電流が変化する、請求項17〜20のいずれか一項に記載の方法。
- 前記流体流路に導入された実質的にすべての試料ガス分子を検知する、請求項17〜21のいずれか一項に記載の方法。
- 前記試料ガス分子が前記流体流路の中を流れる全時間において、前記流体流路の中を流れる実質的にすべての試料ガス分子を前記電極間に保持する、請求項17〜22のいずれか一項に記載の方法。
- 前記交流電流を前記電極対に印加するとき、帯電分子または極性分子の前記流体流路に沿った移動パターンが、交流電流を前記電極対に印加していない場合の前記帯電分子または極性分子の前記流体流路に沿った移動パターンに比べて長くなる、請求項17〜23のいずれか一項に記載の方法。
- 前記交流電流を前記電極対に印加するとき、帯電分子または極性分子の前記流体流路に沿った移動パターンが、同一条件下における非帯電かつ非極性分子の移動パターンに比べて長くなる、請求項17〜24のいずれか一項に記載の方法。
- 前記流体流路は、前記ガス供給口および前記ガス排出口以外のすべての部分が蒸気不透過性である、請求項17〜25のいずれか一項に記載の方法。
- 前記試料ガス分子の少なくとも一部が前記流体流路中に存在している間、前記交流電圧の周波数を調節することをさらに含む、請求項17〜25のいずれか一項に記載の方法。
- ガスクロマトグラフを製造する方法であって、
基板を供給することと、
前記基板をエッチングして、供給口および排出口を含む流路を形成することと、
前記流路の内面上に1つまたは複数の電極対を堆積することと、
前記流路を封止することと
を含む方法。 - 封止された前記流路は、前記供給口および前記排出口以外のすべての部分が蒸気不透過性である、請求項28に記載の方法。
- 前記流路はチップ上に包含され、前記チップの寸法は、長さ約500μm以下、幅約500μm以下、および厚さ約100μm以下である、請求項28または29に記載の方法。
- 前記基板はシリコン基板である、請求項30に記載の方法。
- 前記基板はガラス基板である、請求項30に記載の方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017536553A (ja) * | 2014-12-05 | 2017-12-07 | ユニヴェルシテ・ドゥ・ストラスブールUniversite De Strasbourg | 揮発性有機化合物を検出するためのマイクロデバイス、およびガス試料中に含有される少なくとも1種の揮発性有機化合物を検出するための方法 |
KR20180003579A (ko) * | 2015-05-05 | 2018-01-09 | 더 리젠츠 오브 더 유니버시티 오브 미시건 | 마이크로 유체 광이온화 검출기 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105579842A (zh) * | 2013-05-17 | 2016-05-11 | 密执安大学评议会 | 用于气相色谱的整合流体系统 |
JP2016538556A (ja) * | 2013-11-27 | 2016-12-08 | トタル ソシエテ アノニムTotal Sa | キャピラリーカラムを有するガスクロマトグラフ用プレート、キャピラリー装置、およびガスクロマトグラフ |
US20160018365A1 (en) | 2014-06-13 | 2016-01-21 | Masoud Agah | Functionalized Metal Oxides As A Stationary Phase And A Surface Template For Micro Gas Chromatography Separation Columns |
CA2963247C (en) * | 2014-10-01 | 2023-09-26 | Graphene Laboratories Inc. | Method for preparation and separation of atomic layer thickness platelets from graphite or other layered materials |
WO2017007427A1 (en) * | 2015-07-06 | 2017-01-12 | Nanyang Technological University | Chemical sensor for heavy metal detection |
EP3599463B1 (en) * | 2018-07-26 | 2023-05-10 | Inficon GmbH | Method for adapting the concentration of sample gas in a gas mixture to be analysed by a gas chromatograph assembly, and chromatograph assembly therefore |
DE112020003288T5 (de) * | 2019-07-10 | 2022-05-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Analysevorrichtung |
CN112798703B (zh) * | 2020-12-28 | 2022-01-25 | 南昌大学 | 一种具有远程控制功能的工业废气检测设置 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4471647A (en) * | 1980-04-18 | 1984-09-18 | Board Of Regents Of Stanford University | Gas chromatography system and detector and method |
JPS61191962A (ja) * | 1985-02-20 | 1986-08-26 | Toshiba Corp | クロマトグラフイ用カラム及びその製造方法 |
JPS6217656A (ja) * | 1985-07-16 | 1987-01-26 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JPS6474447A (en) * | 1987-09-17 | 1989-03-20 | Hitachi Ltd | Liquid chromatograph |
JPH05126796A (ja) * | 1991-11-05 | 1993-05-21 | Advance Co Ltd | 静電クロマトグラフイー装置 |
US5645702A (en) * | 1995-06-07 | 1997-07-08 | Hewlett-Packard Company | Low voltage miniaturized column analytical apparatus and method |
JP2001343377A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Meidensha Corp | キャピラリカラム及びそれを用いたクロマトグラフィ装置 |
JP2004037416A (ja) * | 2002-07-08 | 2004-02-05 | Hitachi Cable Ltd | キャピラリカラム及びその製造方法並びにこれを用いて形成したガスクロマトグラフィ装置 |
US20050141999A1 (en) * | 2003-12-31 | 2005-06-30 | Ulrich Bonne | Micro ion pump |
WO2005121774A2 (en) * | 2004-06-04 | 2005-12-22 | The Regents Of The University Of Michigan | High-performance separation microcolumn assembly and method of making same |
JP2008045966A (ja) * | 2006-08-14 | 2008-02-28 | Tokyo Electron Ltd | クロマトグラフィ用のカラム及びその製造方法 |
JP2008216038A (ja) * | 2007-03-05 | 2008-09-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 化学物質検出センサ |
JP2010249556A (ja) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Sharp Corp | ガス成分検出装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5439513A (en) * | 1992-05-29 | 1995-08-08 | Research Triangle Institute | Device for focussing particles suspended in a gas stream |
US6509562B1 (en) * | 1999-09-16 | 2003-01-21 | Rae Systems, Inc. | Selective photo-ionization detector using ion mobility spectrometry |
US6749733B1 (en) * | 2000-04-10 | 2004-06-15 | Intel Corporation | Materials classifier, method of using, and method of making |
US7274015B2 (en) * | 2001-08-08 | 2007-09-25 | Sionex Corporation | Capacitive discharge plasma ion source |
KR100553851B1 (ko) * | 2004-03-10 | 2006-02-24 | 한국과학기술원 | 생화학적 하전 물질 분리기 |
CN102004137A (zh) * | 2010-09-19 | 2011-04-06 | 电子科技大学 | 一种超高深宽比微型气相色谱柱及其mems加工方法 |
-
2011
- 2011-09-13 CN CN201180073257.4A patent/CN103782165B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2011-09-13 JP JP2014528367A patent/JP5844907B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2011-09-13 WO PCT/US2011/051450 patent/WO2013039487A1/en active Application Filing
- 2011-09-13 US US13/879,457 patent/US20130199264A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4471647A (en) * | 1980-04-18 | 1984-09-18 | Board Of Regents Of Stanford University | Gas chromatography system and detector and method |
JPS61191962A (ja) * | 1985-02-20 | 1986-08-26 | Toshiba Corp | クロマトグラフイ用カラム及びその製造方法 |
JPS6217656A (ja) * | 1985-07-16 | 1987-01-26 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JPS6474447A (en) * | 1987-09-17 | 1989-03-20 | Hitachi Ltd | Liquid chromatograph |
JPH05126796A (ja) * | 1991-11-05 | 1993-05-21 | Advance Co Ltd | 静電クロマトグラフイー装置 |
US5645702A (en) * | 1995-06-07 | 1997-07-08 | Hewlett-Packard Company | Low voltage miniaturized column analytical apparatus and method |
JP2001343377A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Meidensha Corp | キャピラリカラム及びそれを用いたクロマトグラフィ装置 |
JP2004037416A (ja) * | 2002-07-08 | 2004-02-05 | Hitachi Cable Ltd | キャピラリカラム及びその製造方法並びにこれを用いて形成したガスクロマトグラフィ装置 |
US20050141999A1 (en) * | 2003-12-31 | 2005-06-30 | Ulrich Bonne | Micro ion pump |
WO2005121774A2 (en) * | 2004-06-04 | 2005-12-22 | The Regents Of The University Of Michigan | High-performance separation microcolumn assembly and method of making same |
JP2008045966A (ja) * | 2006-08-14 | 2008-02-28 | Tokyo Electron Ltd | クロマトグラフィ用のカラム及びその製造方法 |
JP2008216038A (ja) * | 2007-03-05 | 2008-09-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 化学物質検出センサ |
JP2010249556A (ja) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Sharp Corp | ガス成分検出装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017536553A (ja) * | 2014-12-05 | 2017-12-07 | ユニヴェルシテ・ドゥ・ストラスブールUniversite De Strasbourg | 揮発性有機化合物を検出するためのマイクロデバイス、およびガス試料中に含有される少なくとも1種の揮発性有機化合物を検出するための方法 |
KR20180003579A (ko) * | 2015-05-05 | 2018-01-09 | 더 리젠츠 오브 더 유니버시티 오브 미시건 | 마이크로 유체 광이온화 검출기 |
US10705061B2 (en) | 2015-05-05 | 2020-07-07 | The Regents Of The University Of Michigan | Microfluidic photoionization detector |
KR102599775B1 (ko) | 2015-05-05 | 2023-11-07 | 더 리젠츠 오브 더 유니버시티 오브 미시건 | 마이크로 유체 광이온화 검출기 |
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