JP2014519186A5

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Publication number: JP2014519186A5
Application number: JP2014508730A
Authority: JP
Filing date: 2012-04-12
Publication date: 2015-05-21
Anticipated expiration: 2032-04-12

Claims

投影露光装置の光学系の素子を作動させる機構であって、前記投影露光装置は、担持フレーム（１１０、２１０、３１０）を有し、該担持フレームは、
制御可能な力を前記素子（１００、２００、３００）に加える少なくとも１つのアクチュエータ（１０１、２０１、３０１）
を備え、
該アクチュエータ（１０１、２０１、３０１）は、少なくとも１つのメカニカルフィルタ（１４０、２４０、３４０）を介して前記担持フレーム（１１０、２１０、３１０）に結合した第１アクチュエータ部（１０１ａ、２０１ａ、３０１ａ）と、前記担持フレーム（１１０、２１０、３１０）に直接機械的に結合した第２アクチュエータ部（１０１ｂ、２０１ｂ、３０１ｂ）とを有し、
前記素子（１００、２００、３００）に力が加わると、前記第１アクチュエータ部（１０１ａ、２０１ａ、３０１ａ）に対する荷重が前記第２アクチュエータ部（１０１ｂ、２０１ｂ、３０１ｂ）によって少なくとも部分的に緩和される機構において、
前記アクチュエータ（１０１、２０１、３０１）の駆動中に、前記アクチュエータ（１０１、２０１、３０１）が前記素子全体に加えるべき力を規定する入力信号を、種々の周波数範囲に対応する信号に分割し、該信号の和は、前記入力信号に等しいことを特徴とする機構。
投影露光装置の光学系の素子を作動させる機構であって、前記投影露光装置は、担持フレーム（１１０、２１０、３１０）を有し、該担持フレームは、
制御可能な力を前記素子（１００、２００、３００）に加える少なくとも１つのアクチュエータ（１０１、２０１、３０１）
を備え、
該アクチュエータ（１０１、２０１、３０１）は、少なくとも１つのメカニカルフィルタ（１４０、２４０、３４０）を介して前記担持フレーム（１１０、２１０、３１０）に結合した第１アクチュエータ部（１０１ａ、２０１ａ、３０１ａ）と、前記担持フレーム（１１０、２１０、３１０）に直接機械的に結合した第２アクチュエータ部（１０１ｂ、２０１ｂ、３０１ｂ）とを有し、
前記素子（１００、２００、３００）に力が加わると、前記第１アクチュエータ部（１０１ａ、２０１ａ、３０１ａ）に対する荷重が前記第２アクチュエータ部（１０１ｂ、２０１ｂ、３０１ｂ）によって少なくとも部分的に緩和される機構において、
前記メカニカルフィルタ（１４０、２４０、３４０）は、フィルタ周波数を有し、前記機構は、前記アクチュエータ（１０１、２０１、３０１）が前記素子（１００、２００、３００）に加える力が少なくとも主に前記第２アクチュエータ部（１０１ｂ、２０１ｂ、３０１ｂ）によってフィルタ周波数未満の周波数で前記素子（１００、２００、３００）に加えられるように設計されることを特徴とする機構。
請求項１又は２に記載の機構において、該機構は、前記アクチュエータ（１０１、２０１、３０１）が前記素子（１００、２００、３００）に加える力が、前記フィルタ周波数未満の周波数で少なくとも８０％程度まで、特に少なくとも９０％程度まで、より詳細には少なくとも９５％程度まで、前記第２アクチュエータ部（１０１ｂ、２０１ｂ、３０１ｂ）によって加えられるよう設計されることを特徴とする機構。
請求項１〜３のいずれか１項に記載の機構において、該機構は、前記アクチュエータ（１０１、２０１、３０１）が前記素子（１００、２００、３００）に加える静的力が、少なくとも８０％程度まで、特に少なくとも９０％程度まで、より詳細には少なくとも９５％程度まで、前記第２アクチュエータ部（１０１ｂ、２０１ｂ、３０１ｂ）によって加えられるよう設計されることを特徴とする機構。
請求項１〜４のいずれか１項に記載の機構において、前記メカニカルフィルタ（１４０、２４０、３４０）は、２Ｈｚ〜１００Ｈｚの範囲のフィルタ周波数を有することを特徴とする機構。
投影露光装置の光学系の素子を作動させる機構であって、前記投影露光装置は、担持フレーム（１１０、２１０、３１０）を有し、該担持フレームは、
制御可能な力を前記素子（１００、２００、３００）に加える少なくとも１つのアクチュエータ（１０１、２０１、３０１）
を備え、
該アクチュエータ（１０１、２０１、３０１）は、少なくとも１つのメカニカルフィルタ（１４０、２４０、３４０）を介して前記担持フレーム（１１０、２１０、３１０）に結合した第１アクチュエータ部（１０１ａ、２０１ａ、３０１ａ）と、前記担持フレーム（１１０、２１０、３１０）に直接機械的に結合した第２アクチュエータ部（１０１ｂ、２０１ｂ、３０１ｂ）とを有し、
前記素子（１００、２００、３００）に力が加わると、前記第１アクチュエータ部（１０１ａ、２０１ａ、３０１ａ）に対する荷重が前記第２アクチュエータ部（１０１ｂ、２０１ｂ、３０１ｂ）によって少なくとも部分的に緩和される機構において、
該機構は、前記アクチュエータ（３０１）が前記素子（３００）に加える力を前記素子（３００）の位置に特有のセンサ信号に応じて制御するコントローラ（３７０）を備え、前記コントローラ（３７０）は、前記センサ信号に基づいて求めたコントローラ出力変数を前記第１アクチュエータ−部（３０１ａ）に通信することを特徴とする機構。
請求項６に記載の機構において、前記コントローラ（３７０）は、前記コントローラ出力変数のうち時間的に一定であるか又は前記メカニカルフィルタの前記フィルタ周波数未満の周波数を有する部分を積分し、それを前記第２アクチュエータ（３０１ｂ）に割り当てる積分ユニットを有することを特徴とする機構。
請求項６に記載の機構において、前記アクチュエータ（１０１、２０１、３０１）の駆動中に、前記アクチュエータ（１０１、２０１、３０１）が前記素子全体に加えるべき力を規定する入力信号を、種々の周波数範囲に対応する信号に分割し、該信号の和は、前記入力信号に等しいことを特徴とする機構。
請求項８に記載の機構において、該機構は、前記入力信号を種々の周波数範囲に対応する信号に分割するネットワーク、アナログフィルタ、又はデジタルフィルタを備えることを特徴とする機構。
請求項１〜９のいずれか１項に記載の機構において、制御され事前規定された前記素子（１００、２００、３００）に加えるべき力を、前記第２アクチュエータ（３０１ｂ）により前記素子（１００、２００、３００）に加えることを特徴とする機構。
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の機構において、前記第１アクチュエータ部（２０１ａ）及び／又は前記第２アクチュエータ部（２０１ｂ）は、電流を印加できるコイル（２０２）と永久磁石（２０３）とを有する少なくとも１つのローレンツアクチュエータを有することを特徴とする機構。
請求項１１に記載の機構において、前記メカニカルフィルタ（２４０）のフィルタマスを、前記第１アクチュエータ部（２０１ａ）の永久磁石（２０３）により形成したことを特徴とする機構。
請求項１〜１２のいずれか１項に記載の機構において、前記素子（１００、２００、３００）はミラーであることを特徴とする機構。
請求項１〜１２のいずれか１項に記載の機構において、前記素子（１００、２００、３００）はレンズ素子であることを特徴とする機構。
請求項１〜１２のいずれか１項に記載の機構において、前記素子（１００、２００、３００）は、光学素子、特にレチクル、又は特にウェハ等の加工又は検査対象の素子を位置決めする可動テーブルであることを特徴とする機構。
請求項１〜１５のいずれか１項に記載の機構を備えた投影露光装置。
請求項１６に記載の投影露光装置において、該投影露光装置を１５ｎｍ未満の作動波長での動作用に設計した投影露光装置。
請求項１６に記載の投影露光装置において、該投影露光装置を２００ｎｍ未満、特に１６０ｎｍ未満の作動波長での動作用に設計した投影露光装置。