JP2014518438A - 電子ビーム装置、ゲッターシート、およびゲッターシートが設けられた電子ビーム装置を製作する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
102 本体部
104 出口窓
112 カソードハウジング
120 フィラメント
124 ゲッターシート
130 離間垂板
132 離間垂板
134 切欠き
Claims (15)
- 出口窓(104)が設けられた本体部(102)を備え、前記本体部(102)が真空室を形成または少なくとも一部形成し、前記真空室がカソードハウジング(112)と電子を発生する少なくとも1つのフィラメント(120)とを内部に備える、電子ビーム装置(100)であって、
少なくとも1つのゲッターシート(124)が前記カソードハウジング(112)と前記フィラメント(120)との間に設けられることを特徴とする電子ビーム装置(100)。 - 前記本体部(102)は細長い筒状であり、前記出口窓(104)は前記筒状の本体部(102)の長手方向に延び、前記カソードハウジング(112)は細長い形状であり、電子を発生する前記少なくとも1つのフィラメント(120)は前記カソードハウジングの細長い形状に沿って延びることを特徴とする請求項1に記載の電子ビーム装置(100)。
- 前記少なくとも1つのゲッターシート(124)は前記カソードハウジング(112)に配置されることを特徴とする請求項1または2に記載の電子ビーム装置(100)。
- 前記ゲッターシート(124)は、前記カソードハウジング(112)に嵌まるように、かつ、自身の弾性回復力によって前記カソードハウジング(112)で所定位置に保持されるように、曲げられて配置されることを特徴とする請求項1または3に記載の電子ビーム装置(100)。
- 前記ゲッターシート(124)には、前記ゲッターシート(124)と前記カソードハウジング(112)の内側面との間に隙間を設けるための少なくとも1つの離間垂板(130、132)が設けられることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の電子ビーム装置(100)。
- 前記ゲッターシート(124)は0.025〜0.075mmの範囲の厚さであることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の電子ビーム装置(100)。
- 前記カソードハウジング(112)は細長い半環状の外殻として形成され、前記少なくとも1つのフィラメント(120)は、前記細長い半環状の外殻内の本質的に中央において前記外殻に沿って延びることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の電子ビーム装置(100)。
- 前記ゲッターシート(124)は非蒸発型であることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の電子ビーム装置(100)。
- 前記ゲッターシート(124)は周期系のIVA族の材料を含むことを特徴とする請求項8に記載の電子ビーム装置(100)。
- 前記ゲッターシート(124)はジルコニウムから作られることを特徴とする請求項9に記載の電子ビーム装置(100)。
- 1つまたは複数の前記ゲッターシート(124)は、前記カソードハウジング(112)の細長い形状に沿って配置され、前記フィラメント(120)の電子を発生する長さ以内で配置されることを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載の電子ビーム装置(100)。
- 複数の前記ゲッターシート(124)は、前記カソードハウジング(112)の細長い形状に沿って順に配置され、前記フィラメント(120)の電子を発生する長さ以内で配置されることを特徴とする請求項11に記載の電子ビーム装置(100)。
- 前記ゲッターシート(124)と前記カソードハウジング(112)との間の隙間からの気体の循環が容易になるように、前記ゲッターシート(124)に少なくとも切欠き(134)があることを特徴とする請求項5から12のいずれか一項に記載の電子ビーム装置(100)。
- 電子ビーム装置で使用するためのゲッターシート(124)であって、
前記ゲッターシートは、ジルコニウムまたはチタニウムを含むシート材料を含み、前記ゲッターシート(124)と前記電子ビーム装置(100)の表面との間に隙間を設けるための少なくとも1つの離間垂板(130、132)が設けられ、前記電子ビーム装置のカソードハウジング(112)に、前記カソードハウジング(112)とフィラメント(120)との間で嵌まるように、かつ、自身の弾性回復力によって前記カソードハウジング(112)で所定位置に保持されるように、曲げられて配置されることを特徴とするゲッターシート。 - 出口窓(104)が設けられた本体部(102)を備え、前記本体部(102)が真空室を形成または少なくとも一部形成し、前記真空室がカソードハウジング(112)と電子を発生する少なくとも1つのフィラメント(120)とを内部に備える、電子ビーム装置(100)を製作する方法であって、
少なくとも1つのゲッターシート(124)を前記カソードハウジング(112)と前記フィラメント(120)との間に配置するステップを含むことを特徴とする方法。
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