JP2014507000A - 単一パッケージブリッジ型磁界角度センサ - Google Patents
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Abstract
【選択図】図4
Description
低磁界勾配:この場合、センサブリッジの共通の中心を必要とすることなく、複数のセンサチップを並べて配置することができる。
Claims (10)
- 半導体パッケージリードフレームに接着される1対のMTJ磁気抵抗センサチップまたはGMR磁気抵抗センサチップを備えた単一パッケージ磁気角度センサであって、
前記1対のMTJ磁気抵抗センサチップまたはGMR磁気抵抗センサチップの一方は、他方に対して90度の方向に向けられており、
前記複数のMTJ磁気抵抗センサチップまたはGMR磁気抵抗センサチップのそれぞれは、固定抵抗を有する基準抵抗器と、磁界に応じて変化する抵抗を有する検出抵抗器とを含むハーフブリッジであり、
前記基準抵抗器および前記検出抵抗器のそれぞれは、単一の磁気抵抗素子として、横列に並んで相互接続された複数のMTJセンサ素子またはGMRセンサ素子と、前記磁気抵抗素子にバイアスをかけるために、前記複数のMTJセンサ素子またはGMRセンサ素子の列の間に配置された複数の棒状永久磁石とを含み、
複数の前記検出抵抗器は、それぞれの磁気抵抗伝達曲線の一部において、抵抗が印加磁界に線形的に比例しており、
前記センサチップの複数のボンドパッドは、2つ以上のワイヤボンドが一連の前記MTJセンサ素子またはGMRセンサ素子のそれぞれの側に取り付けられるように設計されており、
ブリッジセンサを形成するために、前記複数のMTJ磁気抵抗センサチップまたはGMR磁気抵抗センサチップは、ワイヤボンディングによって互いに接続されるとともに、前記半導体パッケージリードフレームにも接続されており、
前記半導体パッケージリードフレームおよび前記複数のMTJ磁気抵抗センサチップまたはGMR磁気抵抗センサチップがプラスチックに封入されることにより、標準半導体パッケージを形成することを特徴とする単一パッケージ磁気角度センサ。 - 半導体パッケージリードフレームに接着される2対のMTJ磁気抵抗センサチップまたはGMR磁気抵抗センサチップからなる、第1のフルブリッジセンサおよび第2のフルブリッジセンサを備えた単一パッケージ磁気角度センサであって、
前記複数のMTJ磁気抵抗センサチップまたはGMR磁気抵抗センサチップのそれぞれは、固定抵抗を有する基準抵抗器と、磁界に応じて変化する抵抗を有する検出抵抗器とを含むハーフブリッジであり、
前記基準抵抗器および前記検出抵抗器のそれぞれは、単一の磁気抵抗素子として、横列に並んで相互接続された複数のMTJセンサ素子またはGMRセンサ素子と、前記磁気抵抗素子にバイアスをかけるために、前記複数のMTJセンサ素子またはGMRセンサ素子の列の間に配置された複数の棒状永久磁石とを含み、
複数の前記検出抵抗器は、それぞれの磁気抵抗伝達曲線の一部において、抵抗が印加磁界に線形的に比例しており、
前記MTJセンサチップまたはGMRセンサチップの複数のボンドパッドは、2つ以上のワイヤボンドが一連の前記MTJセンサ素子またはGMRセンサ素子のそれぞれの側に取り付けられるように設計されており、
ブリッジセンサを形成するために、前記複数のMTJ磁気抵抗センサチップまたはGMR磁気抵抗センサチップは、ワイヤボンディングによって互いに接続されるとともに、前記半導体パッケージリードフレームにも接続されており、
前記半導体パッケージリードフレームおよび前記複数のMTJ磁気抵抗センサチップまたはGMR磁気抵抗センサチップがプラスチックに封入されることにより、標準半導体パッケージを形成することを特徴とする単一パッケージ磁気角度センサ。 - 前記複数のフルブリッジセンサのそれぞれは、互いに180度回転した2つのセンサチップを含み、2軸検出を可能にするために、前記複数のフルブリッジセンサは、互いに90度になるように調整されている請求項2に記載の単一パッケージ磁気角度センサ。
- 複数の前記磁気抵抗素子は、楕円形にパターニングされる請求項1または2に記載の単一パッケージ磁気角度センサ。
- 前記基準抵抗器における複数の前記磁気抵抗素子は、前記検出抵抗器における複数の前記磁気抵抗素子とは異なる形状のアスペクト比でパターニングされる請求項1または2に記載の単一パッケージ磁気角度センサ。
- 前記基準抵抗器は、1つ以上の磁気遮蔽によって印加磁界から遮蔽されている請求項1に記載の単一パッケージ磁気角度センサ。
- 前記複数のMTJ磁気抵抗センサチップまたはGMR磁気抵抗センサチップは、電圧または電流を用いてバイアスがかけられている請求項1または2に記載の単一パッケージ磁気角度センサ。
- 前記複数のMTJ磁気抵抗センサチップまたはGMR磁気抵抗センサチップは、それぞれの伝達曲線の特徴を一致させるために、組立前に検査および選別される請求項1または2に記載の単一パッケージ磁気角度センサ。
- 勾配がわずかしかない場合の磁界角度の検出に用いるために、前記複数のMTJ磁気抵抗センサチップまたはGMR磁気抵抗センサチップが並んで設置される請求項1または2に記載の単一パッケージ磁気角度センサ。
- 大きな磁界勾配がある状態で角度を測定する機能を得るために、前記複数のMTJ磁気抵抗センサチップまたはGMR磁気抵抗センサチップが共通の中心を有するように配置される請求項1または2に記載の単一パッケージ磁気角度センサ。
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