JP2014241396A - インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 - Google Patents
インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014241396A JP2014241396A JP2014083998A JP2014083998A JP2014241396A JP 2014241396 A JP2014241396 A JP 2014241396A JP 2014083998 A JP2014083998 A JP 2014083998A JP 2014083998 A JP2014083998 A JP 2014083998A JP 2014241396 A JP2014241396 A JP 2014241396A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heating
- shape
- substrate
- unit
- mold
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C35/00—Heating, cooling or curing, e.g. crosslinking or vulcanising; Apparatus therefor
- B29C35/02—Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould
- B29C35/0288—Controlling heating or curing of polymers during moulding, e.g. by measuring temperatures or properties of the polymer and regulating the process
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/02—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles
- B29C43/021—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles characterised by the shape of the surface
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C43/58—Measuring, controlling or regulating
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0002—Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Oral & Maxillofacial Surgery (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
Description
本発明の第1実施形態のインプリント装置100について、図1を参照しながら説明する。インプリント装置100は、半導体デバイスなどの製造に使用され、パターンが形成されたモールド21を基板上のインプリント材(樹脂)に接触させた状態でインプリント材を硬化させる。そして、インプリント装置100は、基板11とモールド21との間隔を広げ、硬化したインプリント材からモールド21を剥離することによって基板上にパターンを転写することができる。インプリント材を硬化する方法には熱を用いる熱サイクル法と光を用いる光硬化法とがあり、第1実施形態のインプリント装置100は光硬化法を採用している。光硬化法とは、インプリント材として未硬化の紫外線硬化樹脂(以下、樹脂)を基板上に供給し、モールド21と樹脂とを接触させた状態で樹脂に紫外線を照射することにより当該樹脂を硬化させる方法である。紫外線の照射により樹脂が硬化した後、樹脂からモールド21を剥離することによって基板上にパターンを形成することができる。
本発明の第2実施形態のインプリント装置について説明する。第1実施形態のインプリント装置100では、基板上の樹脂の硬化を開始する時刻t2までに加熱部32によるショット領域8の変形が行われるように、加熱プロファイルが制御部7によって生成されている。一方で、第2実施形態のインプリント装置では、加熱部32によるショット領域8の変形が時刻t2の前までに完了し、変形したショット領域8の形状が時刻t2まで維持されるように加熱プロファイルが制御部7によって生成される。即ち、第2実施形態のインプリント装置において、制御部7により生成される加熱プロファイルには、変形したショット領域8の形状と目標形状との差が許容範囲内に収まっている状態を維持するようにショット領域8に熱を加えている範囲が含まれている。このように、ショット領域8の変形を維持することにより、モールド21のパターンと基板上の樹脂との接触状態が安定したときに、基板上の樹脂を硬化させることができる。以下では、加熱部32によるショット領域8の変形が完了する時刻を時刻t4とし、時刻t1から時刻t4まで範囲ではショット領域8の変形が行われており、時刻t4から時刻t2までの範囲ではショット領域8の形状が維持されているものとする。ここで、第2実施形態のインプリント装置は、第1実施形態のインプリント装置100と装置構成が同じであるため、ここでは装置構成に関する説明を省略する。
本発明の第3実施形態のインプリント装置について説明する。第1実施形態のインプリント装置100では、加熱部32によって変形されたショット領域8の形状がモールド上の領域21aの形状(目標形状)に一致するように加熱プロファイルが生成される。一方で、第3実施形態のインプリント装置では、加熱部32および変形部24を併用してモールド21と基板11との位置合わせが行われる。ここで、第3実施形態のインプリント装置は、第1実施形態のインプリント装置100と装置構成が同じであるため、ここでは装置構成に関する説明を省略する。
本発明の実施形態にかかる物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、基板に塗布された樹脂に上記のインプリント装置を用いてパターンを形成する工程(基板にインプリント処理を行う工程)と、かかる工程でパターンが形成された基板を加工する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (18)
- モールドと基板上のインプリント材とを接触させた状態で前記インプリント材を硬化させることにより前記基板上のショット領域に前記モールドのパターンを転写するインプリント装置であって、
前記基板における複数の部分の各々を加熱することにより当該ショット領域の形状を変形させる加熱部と、
制御部と、
を含み、
前記制御部は、前記ショット領域の形状が目標形状に近づくように前記複数の部分の各々における加熱プロファイルを生成し、生成した前記加熱プロファイルに従って前記複数の部分の各々を加熱するように前記加熱部を制御する、ことを特徴とするインプリント装置。 - 前記制御部は、前記ショット領域の形状が目標形状に近づくように前記複数の部分の各々における目標加熱量を決定し、前記複数の部分の各々における加熱量が前記目標加熱量になるように前記部分ごとに前記加熱プロファイルを生成する、ことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- 前記部分ごとに生成された前記加熱プロファイルの加熱量は、前記部分ごとに決定された前記目標加熱量より小さい、ことを特徴とする請求項2に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記複数の部分の各々について、1つの部分に所定の加熱量を与えた際の前記ショット領域の形状の変形量を取得し、
前記複数の部分の各々について取得された前記ショット領域の形状の変形量を用いることにより求められる前記ショット領域の近似形状が前記目標形状に近づくように前記部分ごとに前記加熱プロファイルを生成する、ことを特徴とする請求項2又は3に記載のインプリント装置。 - 前記加熱プロファイルは、前記ショット領域の形状が前記目標形状に近づいた後、当該ショット領域の形状と当該目標形状との差が許容範囲に収まっている状態が維持されるように、前記加熱部が前記部分に加える単位時間当たりの加熱量を時間の経過につれて減少させる範囲を含む、ことを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、1つの部分における加熱量が当該1つの部分における前記目標加熱量に到達するまでの時間を前記複数の部分について一定として前記加熱プロファイルを生成する、ことを特徴とする請求項2乃至4のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記加熱部が1つの部分に加える単位時間当たりの加熱量を前記複数の部分について一定として前記加熱プロファイルを生成する、ことを特徴とする請求項2乃至4のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記モールドに形成されたパターンの領域の形状を変形する変形部を更に含み、
前記制御部は、前記変形部により変形された前記パターンの領域の形状を前記目標形状とする、ことを特徴とする請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記基板上の各ショット領域の形状に関する形状情報を取得し、前記形状情報に基づいて各ショット領域の前記目標形状を決定する、ことを特徴とする請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、取得した前記形状情報を複数の基板において共通に使用する、ことを特徴とする請求項9に記載のインプリント装置。
- 前記モールドに形成されたパターンの領域の形状を変形する変形部を更に含み、
前記制御部は、前記目標形状に基づいて前記変形部の制御量および前記加熱プロファイルを生成する、ことを特徴とする請求項9又は10に記載のインプリント装置。 - 前記基板上の前記ショット領域と前記モールドに形成されたパターンの領域との形状差を計測する計測部を含み、
前記制御部は、前記計測部の計測結果および前記形状情報に基づいて前記目標形状を生成する、ことを特徴とする請求項11に記載のインプリント装置。 - 前記基板上の前記ショット領域と前記モールドに形成されたパターンの領域との形状差を計測する計測部を含み、
前記制御部は、前記形状情報に基づいて決定された前記目標形状を用いて前記変形部の制御量および前記加熱プロファイルを生成し、前記計測部の計測結果に基づいて前記変形部の制御量を修正する、ことを特徴とする請求項11に記載のインプリント装置。 - 前記加熱プロファイルは、1つの部分に与える単位時間当たりの加熱量と時刻との関係を示す、ことを特徴とする請求項1乃至13のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記加熱部は、光源を含み、当該光源から射出された光を前記モールドを介して前記基板に照射することにより前記複数の部分の各々に熱を加える、ことを特徴とする請求項1乃至14のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記加熱部は、前記モールドと前記基板上のインプリント材とが接触している状態で前記複数の部分の各々を加熱する、ことを特徴とする請求項1乃至15のうちいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 請求項1乃至16のうちいずれか1項に記載のインプリント装置を用いてモールドのパターンを基板に形成するステップと、
前記ステップでパターンが形成された前記基板を加工するステップと、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。 - モールドと基板上のインプリント材とを接触させた状態で前記インプリント材を硬化させることにより前記基板上のショット領域に前記モールドのパターンを転写するインプリント装置におけるインプリント方法であって、
前記インプリント装置は、前記基板における複数の部分の各々を加熱することにより当該ショット領域の形状を変形させる加熱部を含み、
前記インプリント方法は、
前記ショット領域の形状が目標形状に近づくように前記複数の部分の各々における加熱プロファイルを生成する生成工程と、
生成した前記加熱プロファイルに従って前記複数の部分の各々を加熱するように前記加熱部を制御する制御工程と、
を含む、ことを特徴とするインプリント方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014083998A JP6418773B2 (ja) | 2013-05-14 | 2014-04-15 | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 |
US14/271,777 US10493667B2 (en) | 2013-05-14 | 2014-05-07 | Imprint apparatus, imprint method, and method of manufacturing article |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013102597 | 2013-05-14 | ||
JP2013102597 | 2013-05-14 | ||
JP2014083998A JP6418773B2 (ja) | 2013-05-14 | 2014-04-15 | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014241396A true JP2014241396A (ja) | 2014-12-25 |
JP6418773B2 JP6418773B2 (ja) | 2018-11-07 |
Family
ID=51895161
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014083998A Active JP6418773B2 (ja) | 2013-05-14 | 2014-04-15 | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10493667B2 (ja) |
JP (1) | JP6418773B2 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016143875A (ja) * | 2015-02-05 | 2016-08-08 | 旭化成株式会社 | 位置合わせ方法、インプリント方法、及びインプリント装置 |
JP2017005239A (ja) * | 2015-06-10 | 2017-01-05 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
JP2017050349A (ja) * | 2015-08-31 | 2017-03-09 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
JP2017103451A (ja) * | 2015-11-24 | 2017-06-08 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
KR20180116747A (ko) * | 2017-04-17 | 2018-10-25 | 캐논 가부시끼가이샤 | 임프린트 장치 및 물품 제조 방법 |
JP2018182300A (ja) * | 2017-04-17 | 2018-11-15 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及び物品の製造方法 |
US10216104B2 (en) | 2015-02-04 | 2019-02-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint method, imprint apparatus, and method of manufacturing article |
US10386737B2 (en) | 2015-06-10 | 2019-08-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus and method for producing article |
US10642171B2 (en) | 2015-06-10 | 2020-05-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, imprint method, and method for producing article |
US11204548B2 (en) | 2016-11-30 | 2021-12-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, imprinting method, and method for manufacturing article |
JP7403325B2 (ja) | 2020-01-20 | 2023-12-22 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置、および物品の製造方法 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6647027B2 (ja) * | 2015-12-03 | 2020-02-14 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品製造方法 |
JP6679328B2 (ja) * | 2016-02-01 | 2020-04-15 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、制御方法及び物品の製造方法 |
US10754078B2 (en) * | 2018-12-20 | 2020-08-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Light source, a shaping system using the light source and an article manufacturing method |
JP7317575B2 (ja) * | 2019-05-28 | 2023-07-31 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004335808A (ja) * | 2003-05-08 | 2004-11-25 | Sony Corp | パターン転写装置、パターン転写方法およびプログラム |
WO2009153925A1 (ja) * | 2008-06-17 | 2009-12-23 | 株式会社ニコン | ナノインプリント方法及び装置 |
WO2012019874A1 (en) * | 2010-08-13 | 2012-02-16 | Asml Netherlands B.V. | Lithography method and apparatus |
US20130093113A1 (en) * | 2011-10-14 | 2013-04-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus and article manufacturing method using same |
JP2013089663A (ja) * | 2011-10-14 | 2013-05-13 | Canon Inc | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2264522A3 (en) | 2000-07-16 | 2011-12-14 | The Board of Regents of The University of Texas System | Method of forming a pattern on a substrate |
-
2014
- 2014-04-15 JP JP2014083998A patent/JP6418773B2/ja active Active
- 2014-05-07 US US14/271,777 patent/US10493667B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004335808A (ja) * | 2003-05-08 | 2004-11-25 | Sony Corp | パターン転写装置、パターン転写方法およびプログラム |
WO2009153925A1 (ja) * | 2008-06-17 | 2009-12-23 | 株式会社ニコン | ナノインプリント方法及び装置 |
WO2012019874A1 (en) * | 2010-08-13 | 2012-02-16 | Asml Netherlands B.V. | Lithography method and apparatus |
US20130093113A1 (en) * | 2011-10-14 | 2013-04-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus and article manufacturing method using same |
JP2013089663A (ja) * | 2011-10-14 | 2013-05-13 | Canon Inc | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10216104B2 (en) | 2015-02-04 | 2019-02-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint method, imprint apparatus, and method of manufacturing article |
JP2016143875A (ja) * | 2015-02-05 | 2016-08-08 | 旭化成株式会社 | 位置合わせ方法、インプリント方法、及びインプリント装置 |
JP2017005239A (ja) * | 2015-06-10 | 2017-01-05 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
JP2018110239A (ja) * | 2015-06-10 | 2018-07-12 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
US10642171B2 (en) | 2015-06-10 | 2020-05-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, imprint method, and method for producing article |
US10386737B2 (en) | 2015-06-10 | 2019-08-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus and method for producing article |
JP2017050349A (ja) * | 2015-08-31 | 2017-03-09 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
JP2017103451A (ja) * | 2015-11-24 | 2017-06-08 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
US11204548B2 (en) | 2016-11-30 | 2021-12-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, imprinting method, and method for manufacturing article |
JP2018182300A (ja) * | 2017-04-17 | 2018-11-15 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及び物品の製造方法 |
KR20180116747A (ko) * | 2017-04-17 | 2018-10-25 | 캐논 가부시끼가이샤 | 임프린트 장치 및 물품 제조 방법 |
KR102243223B1 (ko) | 2017-04-17 | 2021-04-22 | 캐논 가부시끼가이샤 | 임프린트 장치 및 물품 제조 방법 |
JP7403325B2 (ja) | 2020-01-20 | 2023-12-22 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置、および物品の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6418773B2 (ja) | 2018-11-07 |
US10493667B2 (en) | 2019-12-03 |
US20140339734A1 (en) | 2014-11-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6418773B2 (ja) | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 | |
US9823562B2 (en) | Imprint apparatus, imprint method, and method of manufacturing article | |
JP6506521B2 (ja) | インプリント方法、インプリント装置、および物品の製造方法 | |
JP6045363B2 (ja) | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 | |
US9927700B2 (en) | Imprint apparatus, and method of manufacturing article | |
JP6497954B2 (ja) | インプリント方法、インプリント装置、および物品の製造方法 | |
JP6120677B2 (ja) | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 | |
JP2013102132A (ja) | インプリント装置、それを用いた物品の製造方法 | |
JP6306830B2 (ja) | インプリント装置、および物品の製造方法 | |
JP2013055327A (ja) | インプリント装置および物品の製造方法 | |
JP6271875B2 (ja) | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 | |
JP2013125817A (ja) | インプリント装置およびインプリント方法、それを用いた物品の製造方法 | |
JP2019204907A (ja) | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 | |
JP2016082068A (ja) | インプリント装置、および物品の製造方法 | |
JP6178694B2 (ja) | インプリント装置、および物品の製造方法 | |
JP6980478B2 (ja) | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 | |
KR102316813B1 (ko) | 임프린트 장치, 임프린트 방법 및 물품 제조 방법 | |
JP6866106B2 (ja) | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 | |
JP2021114505A (ja) | インプリント装置及び物品の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170331 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180406 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180706 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180822 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180910 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181009 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6418773 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |