JP2014239232A - 薄膜の積層 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】薄膜を成長させる方法であって、表面から伸びる構造体を有する基板上に、少なくとも1つの層をコンフォーマルに形成させることによって薄膜を成長させる工程であり、1つあるコンフォーマル層または各コンフォーマル層が、上記基板の上記表面上および上記表面から伸びる上記構造体上に形成される、工程を含む。1つある上記コンフォーマル層の厚さ、または複数の上記コンフォーマル層の厚さの合計は、上記構造体の平均間隔の少なくとも半分である。上記構造体の長さ、上記構造体の平均間隔および上記構造体の最も寸法が小さいところの大きさのうち少なくとも1つは、1つある上記コンフォーマル層または上記各コンフォーマル層の成長速度が増強されるように設計されている。
【選択図】図4(b)
Description
LPCVD:定圧化学的気相成長法
PECVD:プラズマ化学的気相成長法
MBE:分子線エピタキシー
積層:基板をコーティングする処理
成長:ある容積を満たす処理
積層速度:面法線の方向に測定した、単位時間あたりの、積層される材料層の厚さ
成長速度:材料によって満たされる、単位時間あたりの容積
基板:薄膜の最初の層が積層される本体
薄膜:薄膜は、厚さが1原子層から数マイクロメートルにまでわたる材料層である。
標準薄膜:平坦基板の表面に積層され、そのため、膜の各層が元の基板表面と平行である薄膜
低次元ナノスケール構造:少なくとも一方向の水平寸法が、鉛直寸法よりも小さく(少なくとも2:1の比)、少なくとも一方向の水平寸法が、1マイクロメートルよりも小さく、好ましくは100nmよりも短い、構造(このような構造の小集団は、本特許において、「柱」とも称する)
材料が積層される表面が積層処理の過程において変化することに留意することは重要である(例えば、基板表面からの距離)。
アディティブ(例えば、積層、転写):
1.積層方法は、直接もしくは間接熱蒸発、スパッタ積層、化学的気相成長法、スピンコート、およびインクジェット印刷を含むが、これらに限定されるものではない。
2.転写方法は、スタンプに基づく転写などのドライ転写法、ならびに所望の構造の転写が溶液の外部で生じるデバイス結合およびウェット転写法を含む。
サブトラクティブ(例えば、エッチング、スパッタリング、溶解):
1.エッチングは、ウェット化学エッチングおよびドライエッチング(例えば、反応性イオンエッチング)を含む。ドライエッチング手法は、スパッタリング手法と組み合わせてもよい。
2.スパッタリングは、イオンエッチングを含む。
低次元の細長い構造は、多くの場合、その縦横比に応じて、ナノワイヤまたはナノロッドと称される。ナノワイヤは、広範囲にわたる材料によって形成することができ、通常、適した金属の触媒特性をうまく利用しながら固体基板上で成長する。この成長には、プロセスガスが供給された場合の、優先的な1次元成長が含まれる。成長の条件および基板は、ナノワイヤまたはナノロッドの成長方向が基本的に基板表面に対して垂直になるように選択することができる。しかしながら、非晶質基板上における成長方向を、好ましい方向であって、よく制御された方向にとどめておくことは、未解決の課題である。
1)高品位、高性能な、CMOSトランジスタおよび無機太陽電池などの半導体デバイスを得るために必要な、不純物レベルの低下をもたらすこと;
2)平坦基板上における同じ積層速度での平坦薄膜成長から期待される速度を超える速度で成長させること;
3)同じ積層速度での水平薄膜成長と比較して、プロセスガスの利用効率をよりよくすること;
4)制御された、上面の粗さ度を導くこと;
5)特定のナノワイヤのいかなる成長ステップをも必要としない、インターレースデバイス(interlaced device)を形成する方法を提供すること;
6)インターレースデバイス構造を構成するための厳密な制御を提供すること。
本発明の第1の態様は、薄膜を成長させる方法において、
表面から伸びる構造体を有する基板上に、少なくとも1つの層をコンフォーマルに形成させることによって薄膜を成長させる工程であって、1つある上記層または上記各層が、上記基板の上記表面上および上記表面から伸びる上記構造体上に形成される、工程を含み、
1つある上記コンフォーマル層の厚さ、または複数の上記コンフォーマル層の厚さの合計は、上記構造体の平均間隔の少なくとも半分であり、
上記構造体の長さ、上記構造体どうしの平均間隔、および上記構造体の最も寸法が小さいところの大きさ(例えば、構造体が柱である場合、構造体の最も寸法が小さいところは直径であり、構造体が平面構造である場合には、厚さである)、のうち少なくとも1つは、1つある上記コンフォーマル層または上記各コンフォーマル層の成長速度が増強されるように設計されていることを特徴とする方法を提供する。
を満たし得る。
表面から伸びる構造体の第1のセットを有する基板上に、少なくとも1つの層をコンフォーマルに形成させることによって薄膜を成長させる工程であって、1つあるコンフォーマル層または各コンフォーマル層が、上記基板の上記表面上および上記表面から伸びる上記構造体の第1のセット上に形成される、工程を含み、1つある上記コンフォーマル層の厚さまたは複数の上記コンフォーマル層の厚さの合計は、ナノ構造体間の容積を完全に満たすのに必要な薄膜の最小厚さdよりも小さく、1つまたは複数ある上記コンフォーマル層は、上記構造体のうちの近接する構造体同士の間の容積を満たしてはおらず、1つまたは複数あるコンフォーマル層に占められていない容積中に1以上の追加層を配置させることによって、上記構造体の第1のセットと組み合わさる構造体の第2のセットを得る工程をさらに含むことを特徴とする方法を提供する。
を満たしていることを特徴とする、デバイスを提供する。
を満たしていることが好ましい。非平面の基板表面上での成長は、平坦表面上での成長に比べ、常に薄膜成長が増強されているだろう。しかしながら、この不等式を充足することによって、成長速度が、平坦表面上での成長に比して少なくとも2倍増強されることが保証される。
に相当する薄膜成長では、薄膜が完全に構造体間の容積を満たすことになる。
必要に応じて、柱を形成した後、最終的な構造における柱にとられる容積が減少するように、柱を細くすることができる。柱は太陽電池の能動容積(ヘテロ結合)部を形成しないため、このことは利点となり得る。基板から能動領域への拡散を防止するために、第1のコンフォーマル層が積層されるよりも前に、保護層(例えば、図6または7に図示)および/または反射防止膜を基板4上に積層することが望ましい場合もある。誘電体層は、例えば、保護層または反射防止膜としての役割を果たすために積層されてもよい。引き続き、第1の電極が形成され、その後、太陽電池の能動領域を規定する層および光電池の構造に望ましい他の任意の層(透明導体、保護酸化物層など)が積層される。能動領域は、通常の薄膜太陽電池(図6)の平面形状とは異なる、様々な形状をとることができる。考えられる一つの形態を図7に示す。図7における構造では、保護層15は、基板4および構造体3上に設けられており、第1の電極層16は、保護層15上に設けられている。p−シリコンの層7、真性シリコンの層8およびn型シリコンの層9は、第1の電極層16上に配置されている。第2の電極層17は、n型シリコン層9上に配置されている。
ステップ1:図10に示すように、基板1の前面および後面の両方に、エッチマスク2、10を形成する。
ステップ2:ナノ構造体が形成される予定である後面に、保護層11を積層する。
ステップ3:保護層11が与えられない基板の前面、エッチマスク10に覆われていないウエハ1の領域から、材料を異方的に取り除く。
ステップ4:基板の前面からエッチマスク10を取り除いた後、マイクロレンズを形成するために、等方性のエッチを使用。
Claims (26)
- 基板と、上記基板の表面から伸びる構造体の配列と、上記表面上および上記構造体上にコンフォーマルに積層された1以上の層を含む薄膜とを備え、
上記構造体の長さhは、
xh≧d
(dは、上記構造体間の容積を満たすのに必要な上記薄膜の最小厚さであり、xは、形成プロセスにおけるコンフォーマル度である)
を満たし、
上記薄膜の厚さは、上記構造体のうち最も近接する2つの構造体どうしの間隔の半分よりも大きいものの、最も近接する3つの構造体の外面からの距離が等しい地点と、上記最も近接する3つの構造体との間隔dよりも小さいことを特徴とする、デバイス。 - 基板と、
上記基板の表面から伸びる構造体の配列と、
上記表面上および上記構造体上にコンフォーマルに積層された1以上の層を含む薄膜であって、1つあるコンフォーマル層の厚さ、または複数のコンフォーマル層の厚さの合計が、構造体のうち最も近接する2つの構造体どうしの間隔の半分よりも大きく、最も近接する3つの構造体の外面からの距離が等しい地点と、上記最も近接する3つの構造体との間隔dよりも小さいものである、薄膜と、
1つまたは複数ある上記コンフォーマル層に占められていない容積に積層されており、構造体の第1のセットに組み合わさる構造体の第2の配列を提供する、1以上の追加層とを備えていることを特徴とするデバイス。 - 上記配列における上記構造体または少なくとも1つの上記配列における上記構造体は、一定の、または実質的に一定のピッチを有していることを特徴とする請求項1または2に記載のデバイス。
- 上記配列における上記構造体または少なくとも1つの上記配列における上記構造体は、一定の、または実質的に一定の長さを有していることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載のデバイス。
- 上記配列における上記構造体または少なくとも1つの上記配列における上記構造体は、これらのピッチが上記構造体の長さよりも小さくなるように間隔が空けられていることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載のデバイス。
- 上記配列における上記構造体または少なくとも1つの上記配列における上記構造体は、細長い1次元構造体であることを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載のデバイス。
- 上記配列における上記構造体または少なくとも1つの上記配列における上記構造体は、非導電性であることを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載のデバイス。
- 上記配列における上記構造体または少なくとも1つの上記配列における上記構造体は、透明物質によって構成されていることを特徴とする請求項1〜7の何れか1項に記載のデバイス。
- 上記配列における上記構造体は、上記基板の本体と一体であることを特徴とする請求項1〜8の何れか1項に記載のデバイス。
- 上記薄膜は第1の電極層を含むことを特徴とする請求項1〜9の何れか1項に記載のデバイス。
- 上記1以上の追加層は第2の電極層を含むことを特徴とする請求項2および請求項3〜10のうち請求項2を引用している項のうち何れか1項に記載のデバイス。
- 光起電デバイスを構成していることを特徴とする請求項1〜11の何れか1項に記載のデバイス。
- 薄膜を成長させる方法において、
表面から伸びる構造体を有する基板上に、少なくとも1つの層をコンフォーマルに形成させることによって薄膜を成長させる工程であって、1つあるコンフォーマル層または各コンフォーマル層が、上記基板の上記表面上および上記表面から伸びる上記構造体上に形成される、工程を含み、
1つある上記コンフォーマル層の厚さ、または複数の上記コンフォーマル層の厚さの合計は、最も近接する3つの構造体の外面からの距離が等しい地点と、上記最も近接する3つの構造体との間隔よりも小さいものの、最も近接する2つの上記構造体どうしの間隔の半分よりは大きく、
下記の(i)および(ii)のうち少なくとも1つの構成を具備することにより、1つある上記コンフォーマル層または上記各コンフォーマル層の成長速度を平坦な成長表面において得られるであろう成長速度に比べて増強させることを特徴とする方法:
(i) 上記構造体の長さhを、
xh≧d
(dは、上記構造体間の容積を満たすのに必要な上記薄膜の最小厚さであり、xは、形成プロセスにおけるコンフォーマル度である)を満たすように構成する
(ii) 上記基板と平行な方向における上記構造体どうしの間の平均間隔を、上記構造体の長さよりも短く構成する。 - 上記構造体は、一定の、または実質的に一定のピッチを有していることを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 上記構造体は、一定の、または実質的に一定の長さを有していることを特徴とする請求項13または14に記載の方法。
- 上記構造体は、細長い一次元構造体であることを特徴とする請求項13〜15の何れか1項に記載の方法。
- 1つまたは複数ある上記コンフォーマル層は、デバイスの能動領域を構成していることを特徴とする請求項13〜16の何れか1項に記載の方法。
- 1つある上記コンフォーマル層または少なくとも1つの上記コンフォーマル層は、導体または半導体によって構成されていることを特徴とする請求項13〜17の何れか1項に記載の方法。
- 1つある上記コンフォーマル層または少なくとも1つのコンフォーマル層は、Si、Ge、III−V半導体、II−VI半導体およびCからなる群のうちの少なくとも1つによって構成されていることを特徴とする請求項18に記載の方法。
- 上記薄膜は、導電性層をさらに含んでいることを特徴とする請求項19に記載の方法。
- 上記薄膜は、少なくとも1つの半導体層を挟む少なくとも2つの導体層を含んでいることを特徴とする請求項19に記載の方法。
- 構造体を形成する方法において、
表面から伸びる構造体の第1のセットを有する基板上に、少なくとも1つの層をコンフォーマルに形成させることによって薄膜を成長させる工程であって、1つあるコンフォーマル層または各コンフォーマル層は、上記基板の上記表面上および上記表面から伸びる上記構造体の第1のセット上に形成させるものである、工程を含み、
1つある上記コンフォーマル層の厚さまたは複数の上記コンフォーマル層の厚さの合計は、上記構造体の第1のセットの構造体のうち最も近接する2つの構造体どうしの間隔の半分よりも大きく、最も近接する3つの構造体の外面からの距離が等しい地点と、上記最も近接する3つの構造体との間隔dよりも小さく、1つまたは複数ある上記コンフォーマル層は、上記構造体のうちの近接する構造体どうしの間の容積を満たしてはおらず、
1つまたは複数あるコンフォーマル層に占められていない容積中に1以上の追加層を配置させることによって、上記構造体の第1のセットと組み合わさる構造体の第2のセットを得る工程をさらに含むことを特徴とする方法。 - 請求項13〜23の何れか1項に規定された方法によって形成される、薄膜。
- 請求項13〜23の何れか1項に規定された方法によって形成される薄膜を含む、デバイス。
- 請求項22または23に規定された方法によって形成される構造体。
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